JP2556617B2 - 炉芯管薬液洗浄装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体製造に使用する炉芯管を薬液を用いて
洗浄する炉芯管薬液洗浄装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、一端が封止された構造の炉芯管の洗浄装置で
は、第３図の概略図に示すように、キャップ７を取り付
けた炉芯管１を水平軸まわりに回転する回転ローラー５
に乗せ、炉芯管内に薬液を供給し、モーター８で回転ロ
ーラーを回転させながら炉芯管内部を洗浄していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

このため、炉芯管奥部の曲面部中心を確実に洗浄する
ためには、薬液を炉芯管の中心線以上に供給しなければ
ならなかった。

上述した従来の炉芯管水平支持回転方式に対し、本発
明は炉芯管を傾斜させて回転させるという相違点を有す
る。

〔課題を解決するための手段〕 本発明の炉芯管薬液洗浄装置は、炉芯管を回転支持す
る回転ローラーを取り付けたテーブルと、このテーブル
を傾斜させて炉芯管の回転洗浄を行なう機構とを有す
る。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例の概略図でる。回転ローラ
ーテーブル２は一端を軸支し、他端に垂直方向に移動す
るシリンダ３を設ける。一端が封止された炉芯管１を回
転ローラーテーブル２の回転ローラー５に乗せた後、シ
リンダー３で回転ローラーテーブル２を傾斜させ、薬液
ノズル４より炉芯管内に給液する。薬液が炉芯管から溢
れる直前で給液を停止し、回転ローラー５を回転させて
洗浄を行なう。回転ローラーテーブル２の傾斜の度合
は、薬液のレベルが炉芯管の封止端で中心をわずかに越
え、又、開口端で溢れる直前のレベルとする。

第２図は本発明の応用例の概略図である。この応用例
では前述の回転ローラーテーブル２をリニアヘッド６を
用いて傾斜させたものである。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、炉芯管を傾斜させるこ
とにより曲面部中心を完全に薬液中に浸しながら、少い
薬液量で洗浄することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の概略図、第２図は本発明の
応用例の概略図、第３図は従来の装置の概略図である。 １……炉芯管、２……回転ローラーテーブル、３……シ
リンダー、４……薬液ノズル、５……回転ローラー、６
……リニアヘッド、７……キャップ、８……モーター。

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一端が封止され他端が開口された炉芯管を
   回転ローラー上に支持して回転させ、炉芯管内部の洗浄
   を行なう炉芯管洗浄装置において、前記回転ローラーを
   傾斜可能なテーブルに取り付け、炉芯管を傾斜させて薬
   液レベルが炉芯管の封止端で中心をわずかに越え、また
   開口端で溢れる直前のレベルとなるように薬液を供給
   し、炉芯管を回転させて炉芯管内部の洗浄を行なうこと
   を特徴とする炉芯管洗浄装置。
2. 【請求項２】前記テーブルを傾斜させる手段がシリンダ
   又はリニアヘッドである請求項１記載の炉芯管薬液洗浄
   装置。