JP2556508Y2 - 二重加熱恒温槽 - Google Patents

二重加熱恒温槽

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JP2556508Y2
JP2556508Y2 JP1991059031U JP5903191U JP2556508Y2 JP 2556508 Y2 JP2556508 Y2 JP 2556508Y2 JP 1991059031 U JP1991059031 U JP 1991059031U JP 5903191 U JP5903191 U JP 5903191U JP 2556508 Y2 JP2556508 Y2 JP 2556508Y2
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JP
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inner tank
air
hot plate
glass substrate
hot
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JP1991059031U
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Inventor
稔 中川
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株式会社中央理研
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Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は半導体デバイスの環境試
験及びウェーハや液晶のガラス面等の電子部品の乾燥、
焼成等に使用する恒温槽に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、一般に使用されている恒温槽の一
例は図２の断面図に示すような二重構造のものがある。
この恒温槽は熱風循環式で外槽１と内槽２とからなり、
外槽１と内槽２の間の空間１５に温度調節されるヒータ
９を設け、この空間１５の上部の一端に送風機１１が設
けてあり、外部のモータ１０で駆動するように構成され
ている。
【０００３】上記送風機１１の横方向の外槽１と内槽２
の間はダクト１３を構成している。このダクト１３の前
記送風機１１からの空気の送入口にはフィルター１２が
設けてあり、下面の内槽２に接する面には複数の通風孔
８が穿設して内槽２の内部に送風可能に構成されてい
る。
【０００４】更に、内槽２の側面で前記送風機１１と反
対側の側面２ａの下部には前記空間１５に排気する排気
孔７が穿設されている。
【０００５】又、内槽２の内部には前記排気孔７より上
の位置に受け台３が設けられており、ガラス基板４等の
被試験物を載置して前記送風機１１により前記空間１５
及びダクト１３を循環する熱風により加熱し一定温度に
維持するように構成されている。
【０００６】図３に示すものは他の形式の恒温槽で非循
環式のものである。この恒温槽の内部には温度調節され
るホットプレート１４が設けられ、その上面にガラス基
板４等の被試験物を載置してホットプレート１４からの
輻射熱により加熱して一定温度を維持するように構成さ
れている。
【０００７】
【考案が解決しようとする課題】しかし、上述の熱風循
環式のものは、高温で使用する場合には風速を上げる必
要があり、ダクト１３の通風孔８からの熱風の流向や圧
力を一定に保つことが難しい。
【０００８】又、熱風はクリーンを要求されるので、フ
ィルター１２を通すため風量に制限が生じ、ガラス基板
４等の被試験物を所定の温度まで加熱するのに時間がか
かり過ぎる。
【０００９】更に、ガラス基板４等の被試験物の面積が
大きくなると、熱風による加熱では中心部と周辺部とで
温度差が生じてしまう。
【００１０】又、ホットプレート１４による非循環式の
ものは、ホットプレート１４からの高い輻射熱で直接ガ
ラス基板４等の被試験物を急速に加熱するため、所定温
度まで加熱する時間は短縮出来るが、急速加熱するため
加熱時にガラス基板４等の被試験物に歪が発生し、ガラ
ス基板４等の被試験物とホットプレート１４との隙間が
一定とならず、均一な温度分布を得ることが難しい。
【００１１】更に、ガラス基板４等の被試験物を所定温
度まで加熱するに当たって、ホットプレート１４の設定
温度は熱損失分だけ高く設定する必要が有り、電気容量
を大きくする必要がある。
【００１２】本考案は上述の問題を解決して、急速加熱
と温度分布の安定した恒温槽を提供することを課題とす
る。
【００１３】上述の課題を解決するために、外槽１と内
槽２よりなる恒温槽において、外槽１と内槽２との間の
空間１５に設けられたヒータ９と、このヒータ９により
加熱された前記空間１５内の空気を内槽２の上面から内
部に下向きに送風する送風機１１と、内槽２の内部にホ
ットプレート１４とを設けたものである。
【００１４】
【実施例】図１は本考案の二重加熱恒温槽の断面図であ
る。構造的には上述の図２の熱風循環式の恒温槽と殆ど
同じであるが、内槽２の内部に被試験物等を載置する受
け台としてホットプレート１４を併用したものである。
【００１５】このことにより、ヒータ９により加熱され
た空気を送風機１１により循環する場合、ダクト１３の
通風孔８から内槽２の内部に吹き出す熱風は層流状態を
維持出来る程度の流速とし、この結果、ガラス基板４等
の被試験物を所定温度まで上昇させる熱量の不足分はホ
ットプレート１４から供給するように構成したものであ
る。
【００１６】
【考案の効果】上述のように、ガラス基板４等の被試験
物の加熱は熱風とホットプレート１４からの輻射熱の両
方を利用するので、ガラス基板４等の被試験物の加熱が
短時間で安定した一定の温度分布状態で容易に実現する
ことが出来る。
【００１７】又、ヒータ９とホットプレート１４との温
度調整は相互の熱の循環により、熱損失量が減少され、
ヒータ９とホットプレート１４のそれぞれが通電してい
る時間が短く効率が良くなるため、電気の消費量が節約
される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の二重加熱恒温槽の断面図である。
【図２】従来の熱風循環式恒温槽の断面図である。
【図３】従来の非循環式恒温槽の断面図である。
【符号の説明】
１ 外槽 ２ 内槽 ４ ガラス基板 ７ 排気孔 ８ 通風孔 ９ ヒータ １１ 送風機 １２ フィルター １３ ダクト １４ ホットプレート １５ 空間

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 外槽と内槽よりなる恒温槽において、外
    槽と内槽との間の空間に設けられたヒータと、このヒー
    タにより加熱された前記空間内の空気を内槽の上面から
    内槽の内部に下向きに送風する送風機と、内槽の内部に
    ホットプレートを設け、熱風と輻射熱により被試験物を
    急速に乾燥及び焼成を行うことを特徴とする二重加熱恒
    温槽。
JP1991059031U 1991-07-26 1991-07-26 二重加熱恒温槽 Expired - Lifetime JP2556508Y2 (ja)

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JPH059639U JPH059639U (ja) 1993-02-09
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JPS5713673A (en) * 1980-06-26 1982-01-23 Fujitsu Ltd Combination multiconnector
JPS5928676U (ja) * 1982-08-17 1984-02-22 株式会社クボタ クロスフロ−水車
JPH0636865Y2 (ja) * 1989-06-15 1994-09-28 株式会社バンダイ 噴水走行体

Non-Patent Citations (1)

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実公 昭５９−２８６７６

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