JPH04108507A - Ｈｅｐａボックス - Google Patents
ＨｅｐａボックスInfo
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- JPH04108507A JPH04108507A JP2224294A JP22429490A JPH04108507A JP H04108507 A JPH04108507 A JP H04108507A JP 2224294 A JP2224294 A JP 2224294A JP 22429490 A JP22429490 A JP 22429490A JP H04108507 A JPH04108507 A JP H04108507A
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- JP
- Japan
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- hepa
- clean room
- box
- infrared heater
- air
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- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000003303 reheating Methods 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
半導体装置等の製造を行なうクリーンルーム及びクリー
ンルームに用いるＨＥＰＡボックスに関し、クリーンル
ーム内の温度分布の均一性の向上を目的とし、 空気の入口及び出口を有する箱の出口側にＨＥＰＡエレ
メントが設けられると共に、該ＨＥＰＡエレメントに対
向して遠赤外線ヒータが設けられて成るように構成する
。
ンルームに用いるＨＥＰＡボックスに関し、クリーンル
ーム内の温度分布の均一性の向上を目的とし、 空気の入口及び出口を有する箱の出口側にＨＥＰＡエレ
メントが設けられると共に、該ＨＥＰＡエレメントに対
向して遠赤外線ヒータが設けられて成るように構成する
。
本発明は半導体装置等の製造を行なうクリーンルーム及
びクリーンルームに用いるＨＥＰＡボックスに関する。
びクリーンルームに用いるＨＥＰＡボックスに関する。
従来、半導体装置の製造には、その製造歩留りを向上す
るためクリーンルーム内で行なわれる工程が多い。
るためクリーンルーム内で行なわれる工程が多い。
クリーンルーム内へ送風する空気は湿度制御、温度制御
、パーティクル除去が行なわれる。第５図はこのクリー
ンルームの空調システムを示す図である。同図において
、１は調和機であり、除湿を行なうため冷却を行ない１
３°Ｃの飽和状態の空気にする。なお冬期・中間期は必
要に応じて加熱、加湿を事前に行ない、さらに必要に応
じて粗いフィルターで濾過を行なう。その後−次加熱を
行ないダクト２で送風し、次いで再熱コイル３で加熱し
た後ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ−ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｐａ
ｒｔｉｃｕｌａｔ ａｉｒ ｆｉＩ ｔｅｒｓ）エレメ
ントを有するＨＥＰＡボックス４で濾過してクリーンル
ーム５に送風するようになっている。
、パーティクル除去が行なわれる。第５図はこのクリー
ンルームの空調システムを示す図である。同図において
、１は調和機であり、除湿を行なうため冷却を行ない１
３°Ｃの飽和状態の空気にする。なお冬期・中間期は必
要に応じて加熱、加湿を事前に行ない、さらに必要に応
じて粗いフィルターで濾過を行なう。その後−次加熱を
行ないダクト２で送風し、次いで再熱コイル３で加熱し
た後ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ−ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｐａ
ｒｔｉｃｕｌａｔ ａｉｒ ｆｉＩ ｔｅｒｓ）エレメ
ントを有するＨＥＰＡボックス４で濾過してクリーンル
ーム５に送風するようになっている。
上記従来のクリーンルーム用空調システムでは、１箇所
の再熱コイル３で加熱した空気を複数のＨＥＰＡボック
ス４に分配するため、加熱コイル３から近いものと遠い
ものとの間には温度差を生ずる。
の再熱コイル３で加熱した空気を複数のＨＥＰＡボック
ス４に分配するため、加熱コイル３から近いものと遠い
ものとの間には温度差を生ずる。
そのためクリーンルーム５内の温度分布にむらが生ずる
という問題があった。
という問題があった。
また、クリーンルーム内各部屋の構造・位置・性状から
も温度分布にむらが生じる。
も温度分布にむらが生じる。
本発明は上記従来の問題点に鑑み、クリーンルーム内の
温度分布の均一性を向上可能としたＨＥＰＡボックスを
捉供することを目的とする。
温度分布の均一性を向上可能としたＨＥＰＡボックスを
捉供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明のＨＥＰＡボックスで
は、空気の入口及び出口を有する箱１０の出口側に）Ｉ
ＥＰＡエレメント１２が設けられると共に、該ＨＥＰＡ
エレメント１２に対向して遠赤外線ヒータ１３が設けら
れてなることを特徴とする。
は、空気の入口及び出口を有する箱１０の出口側に）Ｉ
ＥＰＡエレメント１２が設けられると共に、該ＨＥＰＡ
エレメント１２に対向して遠赤外線ヒータ１３が設けら
れてなることを特徴とする。
また上記遠赤外線ヒータ１３の出力を制御してＨＥＰＡ
エレメント１２の温度を制御するための温度センサ１４
を該ＨＥＰＡエレメント１２に付設したことを特徴とす
る。
エレメント１２の温度を制御するための温度センサ１４
を該ＨＥＰＡエレメント１２に付設したことを特徴とす
る。
さらに上記ＨＥＰＡボックス１７の複数個をクリーンル
ーム１６の天井部に配置すると共に、該ＨＥＰＡボック
ス内の遠赤外線ヒータ１３の出力を制御してクリーンル
ーム１６内の温度を制御するための温度センサ１４を該
クリーンルーム１６内に設けたことを特徴とする。
ーム１６の天井部に配置すると共に、該ＨＥＰＡボック
ス内の遠赤外線ヒータ１３の出力を制御してクリーンル
ーム１６内の温度を制御するための温度センサ１４を該
クリーンルーム１６内に設けたことを特徴とする。
ＨＥＰＡボックス内のＩ（ＥＰＡエレメント１２に対向
して遠赤外線ヒータ１３を設けることにより、該ＨＥＰ
Ａボックス１７を複数個設けたクリーンルーム１６では
各ＨＥＰＡボックス毎に温度制御をすることができるた
めクリーンルーム１６内の温度分布を均一化することが
できる。
して遠赤外線ヒータ１３を設けることにより、該ＨＥＰ
Ａボックス１７を複数個設けたクリーンルーム１６では
各ＨＥＰＡボックス毎に温度制御をすることができるた
めクリーンルーム１６内の温度分布を均一化することが
できる。
第１図は本発明のＨＥＰＡボックスの第１の実施例を示
す図であり、（ａ）はｂ図のａ−ａ線における断面図、
（ｂ）はａ図のｂ−ｂ線における断面図である。
す図であり、（ａ）はｂ図のａ−ａ線における断面図、
（ｂ）はａ図のｂ−ｂ線における断面図である。
同図において、１０は空気の入口及び出口を有する箱で
あり、その入口側にはダクト１１が接続され、出口側に
はＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ−ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｐａｒ
ｔｉｃｕｌａｔａｉｒ ｆｉｌｔｅｒｓ）エレメント１
２が設けられている。また該箱１０内には、ＨＥＰＡエ
レメント１２に対向して波長３〜３０ｐＩｍの遠赤外線
を輻射する遠赤外線ヒータ１３が設けられている。なお
この遠赤外線ヒータ１３はＨＥＰＡエレメント１２の全
体を均一に加熱するように配置し、ＨＥＰＡエレメント
１２に熱ひずみを与えず、なおかつ熱交換を低温領域で
行なうように設ける。
あり、その入口側にはダクト１１が接続され、出口側に
はＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ−ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｐａｒ
ｔｉｃｕｌａｔａｉｒ ｆｉｌｔｅｒｓ）エレメント１
２が設けられている。また該箱１０内には、ＨＥＰＡエ
レメント１２に対向して波長３〜３０ｐＩｍの遠赤外線
を輻射する遠赤外線ヒータ１３が設けられている。なお
この遠赤外線ヒータ１３はＨＥＰＡエレメント１２の全
体を均一に加熱するように配置し、ＨＥＰＡエレメント
１２に熱ひずみを与えず、なおかつ熱交換を低温領域で
行なうように設ける。
このように構成された本実施例は、遠赤外線ヒータ１３
によってＨＥＰＡエレメント１２を加熱することにより
、ダクト１１から挿入される空気をＨＥＰＡエレメント
１２を通過するときにパーティクルの除去と同時に加熱
することができる。
によってＨＥＰＡエレメント１２を加熱することにより
、ダクト１１から挿入される空気をＨＥＰＡエレメント
１２を通過するときにパーティクルの除去と同時に加熱
することができる。
第２図は本発明のＨＥＰＡボックスの第２の実施例を示
す図である。同図において第１図と同一部分は同一符号
を付して示した。
す図である。同図において第１図と同一部分は同一符号
を付して示した。
本実施例は箱１０の空気出口側にＨＥＰＡエレメント１
２が設けられ、該ＨＥＰＡエレメント１２に対向して箱
１０内に遠赤外線ヒータ１３が設けられていることは前
実施例と同様であり、異なるところはＨＥＰＡエレメン
ト１２に遠赤外線ヒータ１３を制御するための温度セン
サ１４を付設したことである。なお１５は遠赤外線ヒー
タ１３と電源との間に設けられ制御回路であり温度セン
サ１４も該制御回路に接続されている。
２が設けられ、該ＨＥＰＡエレメント１２に対向して箱
１０内に遠赤外線ヒータ１３が設けられていることは前
実施例と同様であり、異なるところはＨＥＰＡエレメン
ト１２に遠赤外線ヒータ１３を制御するための温度セン
サ１４を付設したことである。なお１５は遠赤外線ヒー
タ１３と電源との間に設けられ制御回路であり温度セン
サ１４も該制御回路に接続されている。
このように構成された本実施例は温度センサ１４により
制御回路１５を介して遠赤外線ヒータ１３を制御するこ
とによりＨＥＰＡエレメント１２の温度を制御すること
ができ、それによりダクト１１から送入される空気を所
要の温度に加熱して送出することかできる。なおこの場
合、遠赤外線ヒータ１３の温度は１７°Ｃ〜１２７℃の
範囲内に制御されることが好ましく、またＨＥＰＡエレ
メント１２の温度は破壊防止のため４０°Ｃ以下に制御
することが好ましい。
制御回路１５を介して遠赤外線ヒータ１３を制御するこ
とによりＨＥＰＡエレメント１２の温度を制御すること
ができ、それによりダクト１１から送入される空気を所
要の温度に加熱して送出することかできる。なおこの場
合、遠赤外線ヒータ１３の温度は１７°Ｃ〜１２７℃の
範囲内に制御されることが好ましく、またＨＥＰＡエレ
メント１２の温度は破壊防止のため４０°Ｃ以下に制御
することが好ましい。
第３図は本発明のクリーンルームの第１の実施例を示す
図である。
図である。
同図において、１６はクリーンルームであり、該クリー
ンルームの天井には第１図で説明したＨＥＰＡボックス
１７の複数個が配設されている。これらの１１ＥＰＡボ
ツクス１７はダクト１１により調和機１８に接続されて
いる。またクリーンルーム１６内には温度センサ１４が
設けられ、該温度センサ１４は電源とＨＥＰＡボックス
１７内の遠赤外線ヒータとの間に挿入配置された制御回
路１５に接続されている。
ンルームの天井には第１図で説明したＨＥＰＡボックス
１７の複数個が配設されている。これらの１１ＥＰＡボ
ツクス１７はダクト１１により調和機１８に接続されて
いる。またクリーンルーム１６内には温度センサ１４が
設けられ、該温度センサ１４は電源とＨＥＰＡボックス
１７内の遠赤外線ヒータとの間に挿入配置された制御回
路１５に接続されている。
このように構成された本実施例は、調和機１８で除湿・
冷却された空気がダク目１を通してＨＥＰＡボックス１
７に送られる。ＨＥＰＡボックス１７では遠赤外線ヒー
タでＨＥＰＡエレメントを加熱し、該ＨＥＰＡエレメン
トを通過してクリーンルーム１６内に送られる空気を加
熱する。クリーンルーム１６内の温度は温度センサ１４
により制御回路１５を介して遠赤外線ヒータを制御する
ことにより所定の温度に保たれる。
冷却された空気がダク目１を通してＨＥＰＡボックス１
７に送られる。ＨＥＰＡボックス１７では遠赤外線ヒー
タでＨＥＰＡエレメントを加熱し、該ＨＥＰＡエレメン
トを通過してクリーンルーム１６内に送られる空気を加
熱する。クリーンルーム１６内の温度は温度センサ１４
により制御回路１５を介して遠赤外線ヒータを制御する
ことにより所定の温度に保たれる。
本実施例によれば、従来の再熱コイルが不要となる上、
各ＨＥＰＡボックス１７の再熱温度をコントロールする
ことにより、クリーンルーム１６内の温度を精密にコン
トロールすることが可能となる。
各ＨＥＰＡボックス１７の再熱温度をコントロールする
ことにより、クリーンルーム１６内の温度を精密にコン
トロールすることが可能となる。
第４図は本発明のクリーンルームの第２の実施例を示す
図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）はａ図のｂ−ｂ線に
おける断面図である。
図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）はａ図のｂ−ｂ線に
おける断面図である。
本実施例はプレナムチャンバ一方式のクリーンルームで
あり、クリーンルーム１６の天井部には複数のＨＥＰＡ
エレメント１２が配設され、それに対応して複数の遠赤
外線ヒータ１３が配設されている。そしてクリーンルー
ム内には複数箇所に温度センサ１４が配設され、該温度
センサ１４は図示なき制御回路を介して遠赤外線ヒータ
１３を制御するようになっている。
あり、クリーンルーム１６の天井部には複数のＨＥＰＡ
エレメント１２が配設され、それに対応して複数の遠赤
外線ヒータ１３が配設されている。そしてクリーンルー
ム内には複数箇所に温度センサ１４が配設され、該温度
センサ１４は図示なき制御回路を介して遠赤外線ヒータ
１３を制御するようになっている。
このように構成された本実施例は、前実施例と同様に再
熱コイルが不要となり、制御エリアの縮少を図ることが
できる。またクリーンルーム内の熱負荷に応じて遠赤外
線の波長強度を管理し、面の状態の温度プロファイルを
制御することができる。
熱コイルが不要となり、制御エリアの縮少を図ることが
できる。またクリーンルーム内の熱負荷に応じて遠赤外
線の波長強度を管理し、面の状態の温度プロファイルを
制御することができる。
なお本実施例ではクリーンルームの天井全面にＨＥＰＡ
エレメントが配置されているが、従来のプレナム方式で
クリーンルームの天井に部分的にＨＥＰＡエレメントが
配置された場合には、遠赤外線ヒータはＨＥＰＡエレメ
ント以外の部分（天井の壁材等）を加熱するのでクリー
ンルーム内の温度制御が困難になり、またエネルギーの
損失が生ずるが、本発明では各ＨＥＰＡエレメントを個
々に遠赤外線ヒータで加熱するようになっているので、
温度制御の困難性及びエネルギーの損失はない。
エレメントが配置されているが、従来のプレナム方式で
クリーンルームの天井に部分的にＨＥＰＡエレメントが
配置された場合には、遠赤外線ヒータはＨＥＰＡエレメ
ント以外の部分（天井の壁材等）を加熱するのでクリー
ンルーム内の温度制御が困難になり、またエネルギーの
損失が生ずるが、本発明では各ＨＥＰＡエレメントを個
々に遠赤外線ヒータで加熱するようになっているので、
温度制御の困難性及びエネルギーの損失はない。
以上説明した様に、本発明によれば、ＨＥＰＡボックス
内に再熱機能を持つため従来の再熱コイルが不要となる
。また再熱を各ＨＥＰＡエレメント毎に行ない、且つそ
の温度制御を行なうことによりクリーンルーム内の温度
分布をより精密にコントロールすることができる。
内に再熱機能を持つため従来の再熱コイルが不要となる
。また再熱を各ＨＥＰＡエレメント毎に行ない、且つそ
の温度制御を行なうことによりクリーンルーム内の温度
分布をより精密にコントロールすることができる。
第１図は本発明のＨＥＰＡボックスの第１の実施例を示
す図、 第２図は本発明のＨＥＰＡボックスの第２の実施例を示
す図、 第３図は本発明のクリーンルームの第１の実施例を示す
図、 第４図は本発明のクリーンルームの第２の実施例を示す
図、 第５図は従来のクリーンルームの空調システムを示す図
である。 図において、 １０は箱、 １１はダクト、 １２はＨＥＰＡエレメント、 １３は遠赤外線ヒータ、 １４は温度センサ、 １５は制御回路、 １６はクリーンルーム、 １７はＨＥＰＡボックス、 １８は調和機 を示す。 第２図 １０・・・箱 １１・・・ダクト １２・・・ＨＥＰＡエレメント １３・・・遠赤外線ヒータ １４・・・温度センサ １５・・・制御回路 本発明のＨＥＰＡボックスの第１の 実施例を示す図 第１因 ｌＯ・・・箱 １１・・・ダクト １２・・・１（ＥＰ＾エレメント １３・・・遠赤外線ヒータ 第３図 １１・・・ダクト １４・・・温度センサ １５・・・制御回路 １６・・・クリーンルーム １７・・・旺ＰＡボックス １８・・・調和機 （α）斜 視 図 第 １２・・・ＨＥＰＡエレメント １３・・・遠赤外線ヒータ 図 １４・・・温度センサ １６・・・クリーンルーム 第 図
す図、 第２図は本発明のＨＥＰＡボックスの第２の実施例を示
す図、 第３図は本発明のクリーンルームの第１の実施例を示す
図、 第４図は本発明のクリーンルームの第２の実施例を示す
図、 第５図は従来のクリーンルームの空調システムを示す図
である。 図において、 １０は箱、 １１はダクト、 １２はＨＥＰＡエレメント、 １３は遠赤外線ヒータ、 １４は温度センサ、 １５は制御回路、 １６はクリーンルーム、 １７はＨＥＰＡボックス、 １８は調和機 を示す。 第２図 １０・・・箱 １１・・・ダクト １２・・・ＨＥＰＡエレメント １３・・・遠赤外線ヒータ １４・・・温度センサ １５・・・制御回路 本発明のＨＥＰＡボックスの第１の 実施例を示す図 第１因 ｌＯ・・・箱 １１・・・ダクト １２・・・１（ＥＰ＾エレメント １３・・・遠赤外線ヒータ 第３図 １１・・・ダクト １４・・・温度センサ １５・・・制御回路 １６・・・クリーンルーム １７・・・旺ＰＡボックス １８・・・調和機 （α）斜 視 図 第 １２・・・ＨＥＰＡエレメント １３・・・遠赤外線ヒータ 図 １４・・・温度センサ １６・・・クリーンルーム 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、空気の入口及び出口を有する箱（１０）の出口側に
ＨＥＰＡエレメント（１２）が設けられると共に、該Ｈ
ＥＰＡエレメント（１２）に対向して遠赤外線ヒータ（
１３）が設けられて成ることを特徴とするＨＥＰＡボッ
クス。 ２、請求項１記載のＨＥＰＡボックスにおいて、上記遠
赤外線ヒータ（１３）の出力を制御してＨＥＰＡエレメ
ント（１２）の温度を制御するための温度センサ（１４
）を該ＨＥＰＡエレメント（１２）に付設したことを特
徴とするＨＥＰＡボックス。 ３、請求項１記載のＨＥＰＡボックス（１７）の複数個
をクリーンルーム（１６）の天井部に配置すると共に、
該ＨＥＰＡボックス内の遠赤外線ヒータ（１３）の出力
を制御してクリーンルーム（１６）内の温度を制御する
ための温度センサ（１４）を該クリーンルーム（１６）
内に設けたことを特徴とするクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2224294A JPH04108507A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | Ｈｅｐａボックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2224294A JPH04108507A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | Ｈｅｐａボックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04108507A true JPH04108507A (ja) | 1992-04-09 |
Family
ID=16811519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2224294A Pending JPH04108507A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | Ｈｅｐａボックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04108507A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104110744A (zh) * | 2014-06-20 | 2014-10-22 | 上海美力源环保科技有限公司 | 除pm2.5的智能新风机 |
| US11882998B2 (en) | 2017-07-18 | 2024-01-30 | Fujifilm Corporation | Endoscope |
| US11889980B2 (en) | 2017-07-18 | 2024-02-06 | Fujifilm Corporation | Endoscope |
| US11910996B2 (en) | 2017-07-18 | 2024-02-27 | Fujifilm Corporation | Endoscope |
| US11918181B2 (en) | 2017-07-18 | 2024-03-05 | Fujifilm Corporation | Endoscope |
-
1990
- 1990-08-28 JP JP2224294A patent/JPH04108507A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104110744A (zh) * | 2014-06-20 | 2014-10-22 | 上海美力源环保科技有限公司 | 除pm2.5的智能新风机 |
| US11882998B2 (en) | 2017-07-18 | 2024-01-30 | Fujifilm Corporation | Endoscope |
| US11889980B2 (en) | 2017-07-18 | 2024-02-06 | Fujifilm Corporation | Endoscope |
| US11910996B2 (en) | 2017-07-18 | 2024-02-27 | Fujifilm Corporation | Endoscope |
| US11918181B2 (en) | 2017-07-18 | 2024-03-05 | Fujifilm Corporation | Endoscope |
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