CN211451191U - 一种用于洁净室的精密温湿度空调系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型是一种用于洁净室的精密温湿度空调系统，其结构包括精密新风空调系统、精密冷热负荷调节系统、低导热围护结构和微孔式气流分布系统。本实用新型的优点：1)采用高精度快速反应可变量负荷处理单元，对室内空气进行精密温湿度处理，极大地降低了温湿度的波动范围；2)采用渗透型风管，保证回风夹道中的送风与回风均匀充分混合，避免了混风不均匀带来的温度场不均匀；3)采用负荷可调整调节过滤单元、负荷可调节均匀辐射照明系统，可以根据房间温度控制要求调节发热量，避免二次负荷超限；4)采用冷媒盘管——压缩机——冷却水主系统的二次温控系统，提高了控制精度，降低了传感器信号延迟带来的影响。

Description

一种用于洁净室的精密温湿度空调系统

技术领域

本实用新型涉及的是一种用于洁净室的精密温湿度空调系统，具体涉及一种用于高净化等级洁净室(要求温度波动范围在±0.05℃以内，湿度波动范围在±1％以内的百级洁净室)的单向流可调节精密温湿度控制系统，属于空调系统技术领域。

背景技术

精密温湿度空调系统是高精尖领域常用的环境控制手段，在产品加工周期温度湿度不波动的条件下，在不同温湿度环境下的性能或在特定温湿度条件下将材料加工为产品。用于测试产品材料检测，或产品加工。

精密温湿度空调系统的控制精度和气流组织直接影响到洁净室温湿度的波动范围与均匀性，现有技术的精密温湿度空调系统主要采用以下两种形式：

1、采用高效送风口非满布+普通照明灯具形式，新风与回风在机组内部混合，送风温湿度波动小，但气流为紊流，可能会导致洁净度不达标，且普通照明产生的二次负荷无法消除，不利于温度均匀性；

2、采用风机过滤单元+普通照明灯具+DCC+MAU形式，气流为层流，但新风送入上静压箱后混风不充分，不利于温湿度均匀性；且风机过滤单元及普通照明灯具本身运行产生的二次负荷无法消除，不利于温度均匀性。

实用新型内容

本实用新型提出的是一种用于洁净室的精密温湿度空调系统，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，保证高洁净等级，有利于洁净室温湿度场和气流组织的均匀分布，并消除二次负荷带来的影响，同时控制精度高，更适合要求比较高的洁净室。

本实用新型的技术解决方案：一种用于洁净室的精密温湿度空调系统，其结构包括精密新风空调系统、精密冷热负荷调节系统、低导热围护结构和微孔式气流分布系统，其中，

所述的精密新风空调系统包括精密新风空调机组、新风管、新风定风量阀、精密新风温湿度采集系统和精密控制阀组，精密新风空调机组通过新风管连接洁净室外侧的回风夹道，精密新风温湿度采集系统设置在新风管与回风夹道连接处，新风定风量阀设置在新风管中部，精密控制阀组设置在精密新风空调机组进风管上，

所述的精密冷热负荷调节系统包括高精度快速反应可变量负荷处理单元、变频压缩机、冷媒管、冷却水控制阀组、送风静压箱、送风管、渗透型均流风管、回风静压箱、送风定风量阀、电加热器、高精度可变量加湿系统、扩散管、精密循环风温湿度控制系统，高精度快速反应可变量负荷处理单元设置在上静压箱内、且内设冷盘管、并与回风静压箱连接，回风静压箱连接回风夹道，变频压缩机设置在回风夹道中、高精度快速反应可变量负荷处理单元同侧下方、且通过冷媒管连接高精度快速反应可变量负荷处理单元，变频压缩机通过冷却水控制阀组与外部冷却水系统连接，送风静压箱设置在高精度快速反应可变量负荷处理单元出口，送风静压箱、送风管和渗透型均流风管依次连接，渗透型均流风管与回风夹道相通，送风管各支路风管上设送风定风量阀和电加热器，高精度可变量加湿系统通过扩散管连接送风静压箱，精密循环风温湿度控制系统设置在洁净室内墙上，

所述的低导热围护结构包括第一低导热夹心彩钢板、第二低导热夹心彩钢板、低导热天棚维护结构、低导热地面维护结构，第一低导热夹心彩钢板设置在洁净室四周，第二低导热夹心彩钢板设置在回风夹道四周，第二低导热夹心彩钢板厚度大于第一低导热夹心彩钢板厚度，低导热天棚维护结构粘贴在上静压箱上方的楼板、混凝土梁、混凝土柱子表面，低导热地面维护结构粘贴在下静压箱下方的楼板表面；

所述的微孔式气流分布系统包括负荷可调整调节过滤单元、均流天花孔板系统、均流高架地板系统、负荷可调节均匀辐射照明系统，负荷可调整调节过滤单元安装在洁净室上部并与上静压箱和均流层连通，均流天花孔板系统设置在洁净室与均流层之间，负荷可调节均匀辐射照明系统安装在均流天花孔板系统上并避开送风孔位置，均流高架地板系统设置在洁净室底部与下静压箱之间。

本实用新型的优点：1)采用高精度快速反应可变量负荷处理单元，对室内空气进行精密温湿度处理，极大地降低了温湿度的波动范围；

2)采用渗透型风管，保证回风夹道中的送风与回风均匀充分混合，避免了混风不均匀带来的温度场不均匀；

3)采用负荷可调整调节过滤单元、负荷可调节均匀辐射照明系统，可以根据房间温度控制要求调节发热量，避免二次负荷超限；

4)采用冷媒盘管——压缩机——冷却水主系统的二次温控系统，提高了控制精度，降低了传感器信号延迟带来的影响。

附图说明

图1是本实用新型用于洁净室的精密温湿度空调系统所在洁净室的区域示意图。

图2是本实用新型用于洁净室的精密温湿度空调系统的结构示意图。

图3是图2的侧视图。

图中的1是洁净室、2是均流层、3是上静压箱、4是回风夹道、5是下静压箱；6是精密新风空调机组、7是新风管、8是新风定风量阀、9是精密新风温湿度采集系统、10是精密控制阀组、11是高精度快速反应可变量负荷处理单元、12是变频压缩机、13是冷媒管、14是冷却水控制阀组、15是送风静压箱、16是送风管、17是渗透型均流风管、18是回风静压箱、19是送风定风量阀、20是电加热器、21是高精度可变量加湿系统、22是加湿器扩散管、23是精密循环风温湿度控制系统、24是第一低导热夹心彩钢板、25是第二低导热夹心彩钢板、26是低导热天棚维护结构、27是低导热地面维护结构、28是负荷可调整调节过滤单元、29是均流天花孔板系统、30是均流高架地板系统、31是负荷可调节均匀辐射照明系统。

具体实施方式

下面结合实施例和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1所示，洁净室1所在区域的气流方向为上静压箱3→均流层2→洁净室1→下静压箱5→回风夹道4→上静压箱3，形成气流循环。

如图2、3所示，一种用于洁净室的精密温湿度空调系统，其结构包括精密新风空调系统、精密冷热负荷调节系统、低导热围护结构和微孔式气流分布系统，其中，

所述的精密新风空调系统包括精密新风空调机组6、新风管7、新风定风量阀8、精密新风温湿度采集系统9和精密控制阀组10，精密新风空调机组6通过新风管7连接洁净室1外侧的回风夹道4，精密新风温湿度采集系统9设置在新风管7与回风夹道4连接处，新风定风量阀8设置在新风管7中部，精密控制阀组10设置在精密新风空调机组6进风管上，

工作时，从室外吸入空气并处理到室内温湿度状态点后，经低导热的新风管7送入洁净室回风夹道4内，并通过新风定风量阀8保持洁净室稳定正压；并通过实时接收精密新风温湿度采集系统9的新风温湿度信号以及同步调节精密控制阀组10，保证送入洁净室内的空气对洁净室温湿度的影响在可控范围内；

所述的精密冷热负荷调节系统包括高精度快速反应可变量负荷处理单元11、变频压缩机12、冷媒管13、冷却水控制阀组14、送风静压箱15、送风管16、渗透型均流风管17、回风静压箱18、送风定风量阀19、电加热器20、高精度可变量加湿系统21、扩散管22、精密循环风温湿度控制系统23，高精度快速反应可变量负荷处理单元11设置在上静压箱3内、且内设冷盘管、并与回风静压箱18连接，回风静压箱18连接回风夹道4，变频压缩机12设置在回风夹道4中、高精度快速反应可变量负荷处理单元11同侧下方、且通过冷媒管13连接高精度快速反应可变量负荷处理单元11，变频压缩机12通过冷却水控制阀组14与外部冷却水系统连接，送风静压箱15设置在高精度快速反应可变量负荷处理单元11出口，送风静压箱15、送风管16和渗透型均流风管17依次连接，渗透型均流风管17与回风夹道4相通，送风管16各支路风管上设送风定风量阀19和电加热器20，高精度可变量加湿系统21通过扩散管22连接送风静压箱15，精密循环风温湿度控制系统23设置在洁净室1内墙上，

工作时，在接收安装在洁净室1内墙上精密循环风温湿度采集系统23的温湿度信号后，通过回风静压箱18从回风夹道4吸入空气，在接收精密循环风温湿度采集系统23的温湿度信号后，经高精度快速反应可变量负荷处理单元11内冷盘管处理湿负荷及冷负荷后，送入送风管16内；在送风管16内经分别装在各支路风管上的电加热器20处理热负荷、送风定风量阀19调整风量后，送入安装在回风夹道4内的渗透型均流风管17内，并通过渗透型均流风管17均匀地与回风夹道4内空气混合；高精度可变量加湿系统21通过扩散管22与高精度快速反应可变量负荷处理单元11出口的送风静压箱15连接，并经由扩散管22将水蒸气送入送风静压箱15中，与送风充分混合以调高室内湿度；高精度快速反应可变量负荷处理单元11通过冷媒管13连接安装在高精度快速反应可变量负荷处理单元11同侧下方的回风夹道4中的变频压缩机12，并经由冷媒管13将处理湿负荷及冷负荷产生的热量传递给变频压缩机12；变频压缩机12通过冷却水控制阀组14与外部冷却水系统连接，并经由冷却水管道将精密冷热负荷调节系统产生的热量传递给外部冷却水系统；高精度可变量加湿系统21以及变频压缩机12运转过程中，设备表面产生的冷负荷被回风夹道4内空气带入高精度快速反应可变量负荷处理单元11中处理；

所述的低导热围护结构包括第一低导热夹心彩钢板24、第二低导热夹心彩钢板25、低导热天棚维护结构26、低导热地面维护结构27，第一低导热夹心彩钢板24设置在洁净室1四周，第二低导热夹心彩钢板25设置在回风夹道4四周，第二低导热夹心彩钢板25厚度大于第一低导热夹心彩钢板24厚度，低导热天棚维护结构26粘贴在上静压箱3上方的楼板、混凝土梁、混凝土柱子表面，低导热地面维护结构27粘贴在下静压箱5下方的楼板表面；

工作时，通过安装在洁净室1四周和回风夹道4四周的低导热夹心彩钢板维护结构，粘贴在上静压箱3上方的楼板、混凝土梁、混凝土柱子表面的低导热天棚维护结构26，以及粘贴在下静压箱5下方的楼板表面的低导热地面维护结构27，减少系统外部环境对洁净室内部环境的影响；

所述的微孔式气流分布系统包括负荷可调整调节过滤单元28、均流天花孔板系统29、均流高架地板系统30、负荷可调节均匀辐射照明系统31，

负荷可调整调节过滤单元28安装在洁净室1上部并与上静压箱3和均流层2连通，均流天花孔板系统29设置在洁净室1与均流层2之间，负荷可调节均匀辐射照明系统31安装在均流天花孔板系统29上并避开送风孔位置，均流高架地板系统30设置在洁净室1底部与下静压箱5之间，

工作时，微孔式气流分布系统通过安装在房间上部的负荷可调整调节过滤单元28，从上静压箱3吸取空气并过滤后送入下方均流层2；经均流天花孔板系统29，将负荷可调整调节过滤单元28送风均匀分配到每个孔，形成层流，送入精密温控区；负荷可调节均匀辐射照明系统31，安装在均流天花孔板系统29上，避开送风孔的位置；经均流高架地板系统30布置的孔板将层流送风导入回风夹道4，并经回风夹道4与循环风、新风充分混合后导回上静压箱3，完成室内循环；另外负荷可调整调节过滤单元28运行过程中产生的冷负荷被循环风与新风混合后的空气带入均流层2，并在均流层2中与混合后的空气再次充分混合，达到消除负荷可调整调节过滤单元28系统本身产生冷负荷的目的；负荷可调节均匀辐射照明系统31运行过程中产生的冷负荷可以根据房间温度控制要求调节，避免混合后的空气超出温度波动范围。

以上所述各部件均为现有技术，本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。

以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (1)

1.一种用于洁净室的精密温湿度空调系统，其特征包括精密新风空调系统、精密冷热负荷调节系统、低导热围护结构和微孔式气流分布系统，其中，

所述的精密新风空调系统包括精密新风空调机组(6)、新风管(7)、新风定风量阀(8)、精密新风温湿度采集系统(9)和精密控制阀组(10)，精密新风空调机组(6)通过新风管(7)连接洁净室(1)外侧的回风夹道(4)，精密新风温湿度采集系统(9)设置在新风管(7)与回风夹道(4)连接处，新风定风量阀(8)设置在新风管(7)中部，精密控制阀组(10)设置在精密新风空调机组(6)进风管上，

所述的精密冷热负荷调节系统包括高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)、变频压缩机(12)、冷媒管(13)、冷却水控制阀组(14)、送风静压箱(15)、送风管(16)、渗透型均流风管(17)、回风静压箱(18)、送风定风量阀(19)、电加热器(20)、高精度可变量加湿系统(21)、扩散管(22)、精密循环风温湿度控制系统(23)，高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)设置在上静压箱(3)内、且内设冷盘管、并与回风静压箱(18)连接，回风静压箱(18)连接回风夹道(4)，变频压缩机(12)设置在回风夹道(4)中、高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)同侧下方、且通过冷媒管(13)连接高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)，变频压缩机(12)通过冷却水控制阀组(14)与外部冷却水系统连接，送风静压箱(15)设置在高精度快速反应可变量负荷处理单元(11)出口，送风静压箱(15)、送风管(16)和渗透型均流风管(17)依次连接，渗透型均流风管(17)与回风夹道(4)相通，送风管(16)各支路风管上设送风定风量阀(19)和电加热器(20)，高精度可变量加湿系统(21)通过扩散管(22)连接送风静压箱(15)，精密循环风温湿度控制系统(23)设置在洁净室(1)内墙上，

所述的低导热围护结构包括第一低导热夹心彩钢板(24)、第二低导热夹心彩钢板(25)、低导热天棚维护结构(26)、低导热地面维护结构(27)，第一低导热夹心彩钢板(24)设置在洁净室(1)四周，第二低导热夹心彩钢板(25)设置在回风夹道(4)四周，第二低导热夹心彩钢板(25)厚度大于第一低导热夹心彩钢板(24)厚度，低导热天棚维护结构(26)粘贴在上静压箱(3)上方的楼板、混凝土梁、混凝土柱子表面，低导热地面维护结构(27)粘贴在下静压箱(5)下方的楼板表面；

所述的微孔式气流分布系统包括负荷可调整调节过滤单元(28)、均流天花孔板系统(29)、均流高架地板系统(30)、负荷可调节均匀辐射照明系统(31)，负荷可调整调节过滤单元(28)安装在洁净室(1)上部并与上静压箱(3)和均流层(2)连通，均流天花孔板系统(29)设置在洁净室(1)与均流层(2)之间，负荷可调节均匀辐射照明系统(31)安装在均流天花孔板系统(29)上并避开送风孔位置，均流高架地板系统(30)设置在洁净室(1)底部与下静压箱(5)之间。

Images