JPH0933065A - 空気調和方法および装置 - Google Patents
空気調和方法および装置Info
- Publication number
- JPH0933065A JPH0933065A JP7182641A JP18264195A JPH0933065A JP H0933065 A JPH0933065 A JP H0933065A JP 7182641 A JP7182641 A JP 7182641A JP 18264195 A JP18264195 A JP 18264195A JP H0933065 A JPH0933065 A JP H0933065A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- cooling
- outside
- heat exchanger
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 冷却エネルギおよび加熱エネルギの消費を低
減する空気調和方法および装置を提供する。 【構成】 外部雰囲気1と内部3aとを遮断しかつ外気
1aを吸入する第1外気吸気口3bおよび第2外気吸気
口3cが設けられた本体容器部3と、本体容器部3内に
設置されかつ外気1aまたは除湿冷却後の空気2の熱交
換を行う熱交換器4と、本体容器部3内に設置されかつ
空気2を濾過するプレフィルタ5およびアフタフィルタ
6と、本体容器部3内に設置されかつ空気2を除湿冷却
する冷却コイル7と、本体容器部3内に設置されかつ空
気2を加湿する加湿ノズル8と、本体容器部3内に設置
されかつ空気2を加熱する加熱コイル9と、本体容器部
3内に設置されかつ空気2を外部1bに供給する送風フ
ァン10とから構成され、吸入後の外気1aまたは除湿
冷却後の空気2を熱交換した後、外部1bに供給する。
減する空気調和方法および装置を提供する。 【構成】 外部雰囲気1と内部3aとを遮断しかつ外気
1aを吸入する第1外気吸気口3bおよび第2外気吸気
口3cが設けられた本体容器部3と、本体容器部3内に
設置されかつ外気1aまたは除湿冷却後の空気2の熱交
換を行う熱交換器4と、本体容器部3内に設置されかつ
空気2を濾過するプレフィルタ5およびアフタフィルタ
6と、本体容器部3内に設置されかつ空気2を除湿冷却
する冷却コイル7と、本体容器部3内に設置されかつ空
気2を加湿する加湿ノズル8と、本体容器部3内に設置
されかつ空気2を加熱する加熱コイル9と、本体容器部
3内に設置されかつ空気2を外部1bに供給する送風フ
ァン10とから構成され、吸入後の外気1aまたは除湿
冷却後の空気2を熱交換した後、外部1bに供給する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程のクリ
ーンルームなどにおける空気調和(以降、空調と略す)
技術に関し、特に熱交換器を利用して空気の温度や湿度
を調節する空気調和方法および装置に関するものであ
る。
ーンルームなどにおける空気調和(以降、空調と略す)
技術に関し、特に熱交換器を利用して空気の温度や湿度
を調節する空気調和方法および装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】以下に説明する技術は、本発明を研究、
完成するに際し、本発明者によって検討されたものであ
り、その概要は次のとおりである。
完成するに際し、本発明者によって検討されたものであ
り、その概要は次のとおりである。
【0003】大形の空気調和装置を用いた空調システム
には、マルチゾーンユニット方式と呼ばれるものがあ
る。
には、マルチゾーンユニット方式と呼ばれるものがあ
る。
【0004】この空調システムは、空調する室内と空気
調和装置の本体部とを送気ダクトおよび還気ダクトによ
って接続しており、空気調和装置の本体部の内部には空
気を冷却する冷却コイル、蒸気加湿を行う加湿ノズル、
蒸気によって空気を加熱する加熱コイル、空気を濾過す
るフィルタ、本体部の外部に空気を供給する送風機など
が組み込まれている。
調和装置の本体部とを送気ダクトおよび還気ダクトによ
って接続しており、空気調和装置の本体部の内部には空
気を冷却する冷却コイル、蒸気加湿を行う加湿ノズル、
蒸気によって空気を加熱する加熱コイル、空気を濾過す
るフィルタ、本体部の外部に空気を供給する送風機など
が組み込まれている。
【0005】ここで、室内の空調は、室内サーモスタッ
トによって検出した温湿度の信号を温湿度調節計に取り
込み、予め設定した温度もしくは湿度になるように冷却
弁、加熱弁または加湿弁を制御することによって、空気
調和装置の本体部から供給する空気の温湿度を制御して
行う。
トによって検出した温湿度の信号を温湿度調節計に取り
込み、予め設定した温度もしくは湿度になるように冷却
弁、加熱弁または加湿弁を制御することによって、空気
調和装置の本体部から供給する空気の温湿度を制御して
行う。
【0006】これにより、室内の温湿度が一定に保たれ
る。
る。
【0007】また、空気調和装置は、外気をリターン空
気チャンバ内に吸入し、リターン空気と外気とを混合し
た後、冷却コイルによって冷却して除湿する。
気チャンバ内に吸入し、リターン空気と外気とを混合し
た後、冷却コイルによって冷却して除湿する。
【0008】さらに、蒸気などの加熱源、例えば、加熱
コイルによって再加熱して温度を制御する。
コイルによって再加熱して温度を制御する。
【0009】つまり、前記空調においては、除湿冷却す
る冷却源の冷却エネルギおよび再加熱用の加熱エネルギ
が必要とされる。
る冷却源の冷却エネルギおよび再加熱用の加熱エネルギ
が必要とされる。
【0010】なお、半導体製造工程などで用いられるク
リーンルームの空調技術については、例えば、株式会社
工業調査会発行「超LSI製造・試験装置ガイドブック
<1994年版>」電子材料11月号別冊、1993年
11月20日発行、143〜146頁に記載されてい
る。
リーンルームの空調技術については、例えば、株式会社
工業調査会発行「超LSI製造・試験装置ガイドブック
<1994年版>」電子材料11月号別冊、1993年
11月20日発行、143〜146頁に記載されてい
る。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記した技
術においては、冷却エネルギおよび加熱エネルギの両者
が、多大なエネルギの消費を伴うことが問題とされる。
術においては、冷却エネルギおよび加熱エネルギの両者
が、多大なエネルギの消費を伴うことが問題とされる。
【0012】そこで、本発明の目的は、冷却エネルギお
よび加熱エネルギの消費を低減する空気調和方法および
装置を提供することにある。
よび加熱エネルギの消費を低減する空気調和方法および
装置を提供することにある。
【0013】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0014】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0015】すなわち、本発明の空気調和方法は、熱交
換を行う熱交換器が設置された空気調和装置の本体容器
部内に外気を吸入し、前記外気と他の室内からの室内戻
り空気とを混合した後、前記熱交換器に通すか、または
前記混合した空気を除湿冷却した後、前記熱交換器に通
し、前記熱交換器に通した空気を前記本体容器部の外部
に供給するものである。
換を行う熱交換器が設置された空気調和装置の本体容器
部内に外気を吸入し、前記外気と他の室内からの室内戻
り空気とを混合した後、前記熱交換器に通すか、または
前記混合した空気を除湿冷却した後、前記熱交換器に通
し、前記熱交換器に通した空気を前記本体容器部の外部
に供給するものである。
【0016】さらに、本発明の空気調和方法は、熱交換
を行う熱交換器が設置された空気調和装置の本体容器部
内に外気を吸入し、前記外気を前記熱交換器に通すこと
によって冷却し、冷却した外気と他の室内からの室内戻
り空気とを混合した後、冷却手段によって除湿冷却し、
除湿冷却した空気を前記熱交換器に通すことによって加
温し、前記熱交換器に通した空気を加熱手段によって加
熱して除湿し、除湿後の空気を前記本体容器部の外部に
供給するものである。
を行う熱交換器が設置された空気調和装置の本体容器部
内に外気を吸入し、前記外気を前記熱交換器に通すこと
によって冷却し、冷却した外気と他の室内からの室内戻
り空気とを混合した後、冷却手段によって除湿冷却し、
除湿冷却した空気を前記熱交換器に通すことによって加
温し、前記熱交換器に通した空気を加熱手段によって加
熱して除湿し、除湿後の空気を前記本体容器部の外部に
供給するものである。
【0017】また、本発明の空気調和装置は、吸入後の
外気の熱交換を行う熱交換器を備えた空気調和装置であ
り、外部雰囲気と内部とを遮断しかつ外気を吸入する吸
気口が設けられた本体容器部と、前記本体容器部内に設
置されかつ空気を濾過するフィルタと、前記本体容器部
内に設置されかつ空気を除湿冷却する冷却手段と、前記
本体容器部内に設置されかつ空気を加湿する加湿手段
と、前記本体容器部内に設置されかつ空気を加熱する加
熱手段と、前記本体容器部内に設置されかつ空気を外部
に供給する送風手段とを有し、前記本体容器部内に吸入
した外気または除湿冷却後の空気の熱交換を前記熱交換
器によって行った後、前記本体容器部の外部に供給する
ものである。
外気の熱交換を行う熱交換器を備えた空気調和装置であ
り、外部雰囲気と内部とを遮断しかつ外気を吸入する吸
気口が設けられた本体容器部と、前記本体容器部内に設
置されかつ空気を濾過するフィルタと、前記本体容器部
内に設置されかつ空気を除湿冷却する冷却手段と、前記
本体容器部内に設置されかつ空気を加湿する加湿手段
と、前記本体容器部内に設置されかつ空気を加熱する加
熱手段と、前記本体容器部内に設置されかつ空気を外部
に供給する送風手段とを有し、前記本体容器部内に吸入
した外気または除湿冷却後の空気の熱交換を前記熱交換
器によって行った後、前記本体容器部の外部に供給する
ものである。
【0018】なお、本発明の空気調和装置は、前記熱交
換器が熱伝導率の高い材質の板を重ね合わせて形成され
た複数枚の仕切り板と、1枚おきにほぼ90°向きを変
えて各々の仕切り板の間に配置されたプリーツ状の間隔
板とを有し、前記間隔板の側面を交互に塞ぐことによっ
て、前記熱交換器に、ほぼ直交する2方向の流路が設け
られているものである。
換器が熱伝導率の高い材質の板を重ね合わせて形成され
た複数枚の仕切り板と、1枚おきにほぼ90°向きを変
えて各々の仕切り板の間に配置されたプリーツ状の間隔
板とを有し、前記間隔板の側面を交互に塞ぐことによっ
て、前記熱交換器に、ほぼ直交する2方向の流路が設け
られているものである。
【0019】
【作用】上記した手段によれば、空気調和装置の本体容
器部内に吸入した外気または除湿冷却後の空気の熱交換
を熱交換器によって行った後、外部に供給することによ
り、外気または除湿冷却後の空気の冷却時もしくは加熱
時に消費する冷却エネルギあるいは加熱エネルギの消費
量を低減することができる。
器部内に吸入した外気または除湿冷却後の空気の熱交換
を熱交換器によって行った後、外部に供給することによ
り、外気または除湿冷却後の空気の冷却時もしくは加熱
時に消費する冷却エネルギあるいは加熱エネルギの消費
量を低減することができる。
【0020】その結果、空気調和装置におけるエネルギ
消費量全体を低減することができる。
消費量全体を低減することができる。
【0021】さらに、熱交換器が熱伝導率の高い材質の
板を重ね合わせて形成された複数枚の仕切り板と、1枚
おきにほぼ90°向きを変えて各々の仕切り板の間に配
置されたプリーツ状の間隔板とを有し、ほぼ直交する2
方向の流路が設けられていることにより、熱交換する際
に、外気または除湿冷却後の空気をそれぞれ別々の流路
で直交させて流すことができる。
板を重ね合わせて形成された複数枚の仕切り板と、1枚
おきにほぼ90°向きを変えて各々の仕切り板の間に配
置されたプリーツ状の間隔板とを有し、ほぼ直交する2
方向の流路が設けられていることにより、熱交換する際
に、外気または除湿冷却後の空気をそれぞれ別々の流路
で直交させて流すことができる。
【0022】これにより、外気または除湿冷却後の空気
の熱交換時における熱交の効率を向上させることができ
る。
の熱交換時における熱交の効率を向上させることができ
る。
【0023】また、熱交換器における流路を形成する間
隔板がプリーツ状であるため、前記流路の面積を広くす
ることができる。
隔板がプリーツ状であるため、前記流路の面積を広くす
ることができる。
【0024】これにより、伝熱量を多くすることができ
るため、外気または除湿冷却後の空気の熱交換時におけ
る熱交の効率を向上させることができる。
るため、外気または除湿冷却後の空気の熱交換時におけ
る熱交の効率を向上させることができる。
【0025】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。
に説明する。
【0026】図1は本発明による空気調和装置の構造の
一実施例を示す構成概念図、図2は本発明による空気調
和装置に設置された熱交換器の構造の一実施例を示す斜
視図、図3は本発明の空気調和装置を使用した場合の消
費エネルギ低減効果の一実施例を示す湿り空気線図、図
4は本発明による空気調和装置の利用方法の一実施例を
示す構成概念図である。
一実施例を示す構成概念図、図2は本発明による空気調
和装置に設置された熱交換器の構造の一実施例を示す斜
視図、図3は本発明の空気調和装置を使用した場合の消
費エネルギ低減効果の一実施例を示す湿り空気線図、図
4は本発明による空気調和装置の利用方法の一実施例を
示す構成概念図である。
【0027】本実施例の空気調和装置はマルチゾーンユ
ニット方式を用い、かつ積層プレート形の熱交換器が組
み込まれた大形の空気調和装置であり、例えば、半導体
製造工場でクリーンルームなどの空調を行う際に使用さ
れるものである。
ニット方式を用い、かつ積層プレート形の熱交換器が組
み込まれた大形の空気調和装置であり、例えば、半導体
製造工場でクリーンルームなどの空調を行う際に使用さ
れるものである。
【0028】前記空気調和装置の構成について説明する
と、外部雰囲気1と内部3aとを遮断しかつ外気1aを
吸入する吸気口である第1外気吸気口3bおよび第2外
気吸気口3cが設けられた本体容器部3と、本体容器部
3内に設置されかつ外気1aまたは除湿冷却後の空気2
の熱交換を行う熱交換器4と、本体容器部3内に設置さ
れかつ空気2を濾過するフィルタであるプレフィルタ5
およびアフタフィルタ6と、本体容器部3内に設置され
かつ空気2を除湿冷却する冷却手段である冷却コイル7
と、本体容器部3内に設置されかつ空気2を加湿する加
湿手段である加湿ノズル8と、本体容器部3内に設置さ
れかつ空気2を加熱する加熱手段である加熱コイル9
と、本体容器部3内に設置されかつ空気2を外部1bに
供給する送風手段である送風ファン10とから構成され
ている。
と、外部雰囲気1と内部3aとを遮断しかつ外気1aを
吸入する吸気口である第1外気吸気口3bおよび第2外
気吸気口3cが設けられた本体容器部3と、本体容器部
3内に設置されかつ外気1aまたは除湿冷却後の空気2
の熱交換を行う熱交換器4と、本体容器部3内に設置さ
れかつ空気2を濾過するフィルタであるプレフィルタ5
およびアフタフィルタ6と、本体容器部3内に設置され
かつ空気2を除湿冷却する冷却手段である冷却コイル7
と、本体容器部3内に設置されかつ空気2を加湿する加
湿手段である加湿ノズル8と、本体容器部3内に設置さ
れかつ空気2を加熱する加熱手段である加熱コイル9
と、本体容器部3内に設置されかつ空気2を外部1bに
供給する送風手段である送風ファン10とから構成され
ている。
【0029】つまり、本実施例の空気調和装置は、本体
容器部3の内部3aに吸入した外気1aまたは除湿冷却
後の空気2の熱交換を熱交換器4によって行った後、本
体容器部3の外部1bに供給するものである。
容器部3の内部3aに吸入した外気1aまたは除湿冷却
後の空気2の熱交換を熱交換器4によって行った後、本
体容器部3の外部1bに供給するものである。
【0030】また、熱交換器4は、熱伝導率の高い材質
の板を重ね合わせて形成された複数枚の仕切り板4a
と、1枚おきにほぼ90°向きを変えて各々の仕切り板
4aの間に配置されたプリーツ状(折りひだ状)の間隔
板4bとからなる積層プレート形のものであり、間隔板
4bの側面4cを交互に塞ぐことによって、ほぼ直交す
る2方向の流路である外気熱交換流路4dと除湿冷却熱
交換流路4eとが設けられている。
の板を重ね合わせて形成された複数枚の仕切り板4a
と、1枚おきにほぼ90°向きを変えて各々の仕切り板
4aの間に配置されたプリーツ状(折りひだ状)の間隔
板4bとからなる積層プレート形のものであり、間隔板
4bの側面4cを交互に塞ぐことによって、ほぼ直交す
る2方向の流路である外気熱交換流路4dと除湿冷却熱
交換流路4eとが設けられている。
【0031】なお、仕切り板4aおよび間隔板4bは、
熱伝導率や強度を考慮して、例えば、アルミニウムなど
によって形成されることが好ましい。ただし、アルミニ
ウムだけに限らず、熱伝導率の高い材料であれば、銅な
どであってもよい。
熱伝導率や強度を考慮して、例えば、アルミニウムなど
によって形成されることが好ましい。ただし、アルミニ
ウムだけに限らず、熱伝導率の高い材料であれば、銅な
どであってもよい。
【0032】また、冷却手段である冷却コイル7は、循
環冷水7aを収容する水槽7bと循環冷水7aを冷却す
る冷凍機7cとに接続されており、循環冷水7aの冷水
流路7dには循環冷水7aの流量を調節する冷却3方弁
7eが設けられている。
環冷水7aを収容する水槽7bと循環冷水7aを冷却す
る冷凍機7cとに接続されており、循環冷水7aの冷水
流路7dには循環冷水7aの流量を調節する冷却3方弁
7eが設けられている。
【0033】すなわち、冷却3方弁7eによって循環冷
水7aの流量を制御することにより、冷却コイル7によ
る外気1aもしくは空気2の冷却の度合いを調節するこ
とができる。
水7aの流量を制御することにより、冷却コイル7によ
る外気1aもしくは空気2の冷却の度合いを調節するこ
とができる。
【0034】また、加湿手段である加湿ノズル8および
加熱手段である加熱コイル9は、ボイラー9cに接続さ
れ、それぞれの蒸気流路8a,9aには加湿2方弁8
b、加熱2方弁9bが設置されている。
加熱手段である加熱コイル9は、ボイラー9cに接続さ
れ、それぞれの蒸気流路8a,9aには加湿2方弁8
b、加熱2方弁9bが設置されている。
【0035】すなわち、加湿2方弁8bによって蒸気の
流量を制御し、また、加熱2方弁9bによって蒸気の流
量を制御する。これにより、加熱コイル9による除湿冷
却後の空気2の加熱(除湿を含む)の度合いを調節する
ことができる。
流量を制御し、また、加熱2方弁9bによって蒸気の流
量を制御する。これにより、加熱コイル9による除湿冷
却後の空気2の加熱(除湿を含む)の度合いを調節する
ことができる。
【0036】また、本体容器部3には、熱交換器4の外
気熱交換流路4dに連通する第1外気吸気口3bおよび
第2外気吸気口3cが設置され、また、第1外気吸気口
3bの近傍の流路には開閉扉である第1ダンパ11が設
置され、かつ、第2外気吸気口3cの近傍の流路には第
2ダンパ12および第3ダンパ13が設置され、それぞ
れのダンパの開閉の度合いによって通過する外気1aも
しくは空気2の流量を制御している。
気熱交換流路4dに連通する第1外気吸気口3bおよび
第2外気吸気口3cが設置され、また、第1外気吸気口
3bの近傍の流路には開閉扉である第1ダンパ11が設
置され、かつ、第2外気吸気口3cの近傍の流路には第
2ダンパ12および第3ダンパ13が設置され、それぞ
れのダンパの開閉の度合いによって通過する外気1aも
しくは空気2の流量を制御している。
【0037】さらに、本体容器部3には、他の室内の一
例であるクリーンルーム内16からの室内戻り空気2a
の取り込み口である還気口3dと、本体容器部3の外部
1bに熱交換後の空気2を供給する際の供給口である送
気口3eとが設置されている。
例であるクリーンルーム内16からの室内戻り空気2a
の取り込み口である還気口3dと、本体容器部3の外部
1bに熱交換後の空気2を供給する際の供給口である送
気口3eとが設置されている。
【0038】ここで、室内戻り空気2aは還気口3dと
その近傍に設置された開閉扉である第4ダンパ14とを
介して、本体容器部3のリターンチャンバ室3fに取り
込まれ、また、熱交換後の空気2は本体容器部3のサプ
ライチャンバ室3gから開閉扉である第5ダンパ15と
送気口3eとを介して、外部1bに供給される。
その近傍に設置された開閉扉である第4ダンパ14とを
介して、本体容器部3のリターンチャンバ室3fに取り
込まれ、また、熱交換後の空気2は本体容器部3のサプ
ライチャンバ室3gから開閉扉である第5ダンパ15と
送気口3eとを介して、外部1bに供給される。
【0039】次に、本実施例の空気調和方法について説
明する。
明する。
【0040】なお、本実施例による空気調和方法では、
夏場の除湿が必要な空調条件の場合について説明する。
夏場の除湿が必要な空調条件の場合について説明する。
【0041】まず、第2外気吸気口3cの近傍に設置さ
れた第2ダンパ12を全閉状態とし、さらに、第1ダン
パ11と第3ダンパ13を開状態にして、第1外気吸気
口3bから外気1aを取り込む。
れた第2ダンパ12を全閉状態とし、さらに、第1ダン
パ11と第3ダンパ13を開状態にして、第1外気吸気
口3bから外気1aを取り込む。
【0042】続いて、取り込んだ外気1aを熱交換器4
の外気熱交換流路4dに通して冷却した後、リターンチ
ャンバ室3fに供給する。
の外気熱交換流路4dに通して冷却した後、リターンチ
ャンバ室3fに供給する。
【0043】この時、同時に第4ダンパ14を開いてお
き、還気口3dを介してクリーンルーム内16からの室
内戻り空気2aをリターンチャンバ室3fへ取り込み、
冷却した外気1aと室内戻り空気2aとを混合する。
き、還気口3dを介してクリーンルーム内16からの室
内戻り空気2aをリターンチャンバ室3fへ取り込み、
冷却した外気1aと室内戻り空気2aとを混合する。
【0044】その後、混合した空気2をプレフィルタ5
に通過させ、続いて、冷却コイル7によって所望の露点
温度以下まで除湿冷却する。
に通過させ、続いて、冷却コイル7によって所望の露点
温度以下まで除湿冷却する。
【0045】さらに、除湿冷却した空気2を熱交換器4
の除湿冷却熱交換流路4eに通すことにより、予め加温
しておく。
の除湿冷却熱交換流路4eに通すことにより、予め加温
しておく。
【0046】ここで、熱交換器4による熱交換は、加温
時(加熱時)と冷却時とで、別々の流路、すなわち、外
気1aをその冷却時に外気熱交換流路4dに通し、かつ
空気2をその加温時(加熱時)に除湿冷却熱交換流路4
eに通し、さらに、それぞれの場合にお互いをほぼ直交
させて通すことによって行うものである。
時(加熱時)と冷却時とで、別々の流路、すなわち、外
気1aをその冷却時に外気熱交換流路4dに通し、かつ
空気2をその加温時(加熱時)に除湿冷却熱交換流路4
eに通し、さらに、それぞれの場合にお互いをほぼ直交
させて通すことによって行うものである。
【0047】その後、熱交換器4の除湿冷却熱交換流路
4eに通した空気2を加熱コイル9によって加熱して除
湿し、さらに、除湿後の空気2を送風ファン10によっ
てアフタフィルタ6に通過させた後、サプライチャンバ
室3gに供給する。
4eに通した空気2を加熱コイル9によって加熱して除
湿し、さらに、除湿後の空気2を送風ファン10によっ
てアフタフィルタ6に通過させた後、サプライチャンバ
室3gに供給する。
【0048】続いて、本体容器部3の送気口3e付近に
設置された第5ダンパ15を開き、送気口3eを介して
空気2を外部1bに供給する。
設置された第5ダンパ15を開き、送気口3eを介して
空気2を外部1bに供給する。
【0049】これによって、加熱コイル9で発生させる
昇温用蒸気を削減することができ、同様に、冷却コイル
7における冷却源、すなわち循環冷水7aを冷却する冷
凍機7cで必要とされる電力量を削減することができ
る。
昇温用蒸気を削減することができ、同様に、冷却コイル
7における冷却源、すなわち循環冷水7aを冷却する冷
凍機7cで必要とされる電力量を削減することができ
る。
【0050】なお、本実施例の空気調和方法による熱交
換方法を、図3に示す湿り空気線図を用いて、ならびに
図1を用いて説明する。
換方法を、図3に示す湿り空気線図を用いて、ならびに
図1を用いて説明する。
【0051】ここで、前記湿り空気線図は、空気2の温
度と絶対湿度との関係を表すものであり、27℃、相対
湿度70%の空気2を相対湿度50%に除湿する場合に
ついて説明する。
度と絶対湿度との関係を表すものであり、27℃、相対
湿度70%の空気2を相対湿度50%に除湿する場合に
ついて説明する。
【0052】まず、熱交換器4を設置していない空気調
和装置では、図3中A点からC点までを冷水によって露
点温度17以下まで冷却し、絶対湿度を下げる。
和装置では、図3中A点からC点までを冷水によって露
点温度17以下まで冷却し、絶対湿度を下げる。
【0053】その後、C点からD点まで再加熱すると2
7℃、相対湿度50%になる。
7℃、相対湿度50%になる。
【0054】これに対して、熱交換器4が設置された本
実施例の空気調和装置では、A点からB点までの冷却を
行う際に、熱交換器4の熱交換により、予めA点からE
点までの熱交冷却18を行い、さらに、C点からD点ま
での加熱を行う際に、熱交換器4の熱交換により、予め
C点からF点まで加温しておく。
実施例の空気調和装置では、A点からB点までの冷却を
行う際に、熱交換器4の熱交換により、予めA点からE
点までの熱交冷却18を行い、さらに、C点からD点ま
での加熱を行う際に、熱交換器4の熱交換により、予め
C点からF点まで加温しておく。
【0055】これにより、熱交冷却18分の冷却エネル
ギと熱交加温19分の再加熱エネルギを削減することが
できる。
ギと熱交加温19分の再加熱エネルギを削減することが
できる。
【0056】なお、E点からB点までの冷却分が冷却コ
イル7による冷水冷却20であり、F点からD点までの
加熱分が加熱コイル9による蒸気加熱21である。
イル7による冷水冷却20であり、F点からD点までの
加熱分が加熱コイル9による蒸気加熱21である。
【0057】また、図4に示す本実施例の空気調和装置
の利用方法について説明すると、前記空気調和装置と第
1クリーンルーム22、さらに、前記空気調和装置と第
2クリーンルーム23が、それぞれ送気ダクト24およ
び還気ダクト25によって空気2を流せるように接続さ
れている。
の利用方法について説明すると、前記空気調和装置と第
1クリーンルーム22、さらに、前記空気調和装置と第
2クリーンルーム23が、それぞれ送気ダクト24およ
び還気ダクト25によって空気2を流せるように接続さ
れている。
【0058】ここで、第1クリーンルーム22内には第
1室内サーモスタット26が、また、第2クリーンルー
ム23内には第2室内サーモスタット27がそれぞれ設
置されている。
1室内サーモスタット26が、また、第2クリーンルー
ム23内には第2室内サーモスタット27がそれぞれ設
置されている。
【0059】これにより、第1クリーンルーム22内お
よび第2クリーンルーム23内の空調は、第1室内サー
モスタット26または第2室内サーモスタット27によ
ってによって検出した温湿度の信号を温湿度調節計28
に取り込み、温湿度調節計28の設定値との差から、予
め設定した温度もしくは湿度になるように冷却3方弁7
e、加熱2方弁9bまたは加湿2方弁8bを制御するこ
とによって行い、空気調和装置から供給する空気2の温
湿度を制御して第1クリーンルーム22内および第2ク
リーンルーム23内の温湿度を一定に保つことができ
る。
よび第2クリーンルーム23内の空調は、第1室内サー
モスタット26または第2室内サーモスタット27によ
ってによって検出した温湿度の信号を温湿度調節計28
に取り込み、温湿度調節計28の設定値との差から、予
め設定した温度もしくは湿度になるように冷却3方弁7
e、加熱2方弁9bまたは加湿2方弁8bを制御するこ
とによって行い、空気調和装置から供給する空気2の温
湿度を制御して第1クリーンルーム22内および第2ク
リーンルーム23内の温湿度を一定に保つことができ
る。
【0060】次に、本実施例の空気調和方法および装置
によれば、以下のような作用効果が得られる。
によれば、以下のような作用効果が得られる。
【0061】すなわち、空気調和装置の本体容器部3の
内部3aに吸入した外気1aまたは除湿冷却後の空気2
の熱交換を熱交換器4によって行った後、外部1bに供
給することにより、外気1aまたは除湿冷却後の空気2
の冷却時または加熱時に消費する冷却エネルギあるいは
加熱エネルギの消費量を低減することができる。
内部3aに吸入した外気1aまたは除湿冷却後の空気2
の熱交換を熱交換器4によって行った後、外部1bに供
給することにより、外気1aまたは除湿冷却後の空気2
の冷却時または加熱時に消費する冷却エネルギあるいは
加熱エネルギの消費量を低減することができる。
【0062】その結果、空気調和装置におけるエネルギ
消費量全体を低減することができる。
消費量全体を低減することができる。
【0063】また、熱交換器4によって消費エネルギを
低減させることにより、簡単な構造で、かつエネルギの
消費低減が可能な空気調和装置を実現することができ
る。
低減させることにより、簡単な構造で、かつエネルギの
消費低減が可能な空気調和装置を実現することができ
る。
【0064】さらに、熱交換器4が熱伝導率の高い材質
の板を重ね合わせて形成された複数枚の仕切り板4a
と、1枚おきにほぼ90°向きを変えて各々の仕切り板
4aの間に配置されたプリーツ状の間隔板4bとを有
し、ほぼ直交する2方向の流路である外気熱交換流路4
dと除湿冷却熱交換流路4eとが設けられていることに
より、熱交換する際に、外気1aまたは除湿冷却後の空
気2をそれぞれ別々に直交させて流すことができる。
の板を重ね合わせて形成された複数枚の仕切り板4a
と、1枚おきにほぼ90°向きを変えて各々の仕切り板
4aの間に配置されたプリーツ状の間隔板4bとを有
し、ほぼ直交する2方向の流路である外気熱交換流路4
dと除湿冷却熱交換流路4eとが設けられていることに
より、熱交換する際に、外気1aまたは除湿冷却後の空
気2をそれぞれ別々に直交させて流すことができる。
【0065】これにより、外気1aまたは除湿冷却後の
空気2の熱交換時における熱交の効率を向上させること
ができる。
空気2の熱交換時における熱交の効率を向上させること
ができる。
【0066】その結果、外気1aまたは除湿冷却後の空
気2の冷却時もしくは加熱時に消費する冷却エネルギあ
るいは加熱エネルギの消費量を低減することができ、前
記同様、空気調和装置におけるエネルギ消費量全体を低
減することができる。
気2の冷却時もしくは加熱時に消費する冷却エネルギあ
るいは加熱エネルギの消費量を低減することができ、前
記同様、空気調和装置におけるエネルギ消費量全体を低
減することができる。
【0067】また、熱交換器4における2方向の流路を
形成する間隔板4bがプリーツ状(折りひだ状)である
ため、前記流路の面積を広くすることができる。
形成する間隔板4bがプリーツ状(折りひだ状)である
ため、前記流路の面積を広くすることができる。
【0068】これにより、伝熱量を多くすることができ
るため、外気1aまたは除湿冷却後の空気2の熱交換時
における熱交の効率を向上させることができる。
るため、外気1aまたは除湿冷却後の空気2の熱交換時
における熱交の効率を向上させることができる。
【0069】その結果、前記同様、冷却エネルギあるい
は加熱エネルギの消費量を低減することができ、空気調
和装置におけるエネルギ消費量全体を低減することがで
きる。
は加熱エネルギの消費量を低減することができ、空気調
和装置におけるエネルギ消費量全体を低減することがで
きる。
【0070】また、これらの結果により、地球温暖化防
止対策の一貫であるエネルギ消費量の低減を推進するこ
とが可能になる。特に、夏場の除湿負荷が増加する時期
に使用することが有効な空気調和装置であり、外気温を
熱交換器4により再加熱する熱源としての有効利用が可
能になる。
止対策の一貫であるエネルギ消費量の低減を推進するこ
とが可能になる。特に、夏場の除湿負荷が増加する時期
に使用することが有効な空気調和装置であり、外気温を
熱交換器4により再加熱する熱源としての有効利用が可
能になる。
【0071】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
【0072】例えば、前記実施例における空気調和方法
は、夏場の除湿が必要な空調条件の場合であったが、前
記空気調和方法は、夏場に限らず、他の季節に用いるこ
ともできる。
は、夏場の除湿が必要な空調条件の場合であったが、前
記空気調和方法は、夏場に限らず、他の季節に用いるこ
ともできる。
【0073】ここで、冬場などの除湿をほとんど必要と
しない空調条件の場合の空気調和方法について説明す
る。
しない空調条件の場合の空気調和方法について説明す
る。
【0074】まず、熱交換を行う熱交換器が設置された
空気調和装置の本体容器部内に外気を吸入する。
空気調和装置の本体容器部内に外気を吸入する。
【0075】続いて、前記外気を熱交換器に通さずにそ
のまま他の室内(例えば、クリーンルーム内)からの室
内戻り空気と混合した後、フィルタに通過させ、さらに
前記熱交換器に通して加温する。
のまま他の室内(例えば、クリーンルーム内)からの室
内戻り空気と混合した後、フィルタに通過させ、さらに
前記熱交換器に通して加温する。
【0076】その後、加温した空気を蒸気などによる加
湿手段によって加湿し、さらに、加熱手段によって加熱
し、送風手段によってフィルタに通過させた後、前記本
体容器部の外部に供給する。
湿手段によって加湿し、さらに、加熱手段によって加熱
し、送風手段によってフィルタに通過させた後、前記本
体容器部の外部に供給する。
【0077】なお、所望の空調条件によって前記外気を
室内戻り空気と混合した後、その混合した空気を除湿冷
却してから前記熱交換器に通してもよい。
室内戻り空気と混合した後、その混合した空気を除湿冷
却してから前記熱交換器に通してもよい。
【0078】また、図5に示す他の実施例の空気調和装
置のように、空気調和装置の本体容器部3内にさらにも
う1つの熱交換器4を設置し、生産設備からの排気であ
る生産設備熱排気29を利用するものであってもよい。
置のように、空気調和装置の本体容器部3内にさらにも
う1つの熱交換器4を設置し、生産設備からの排気であ
る生産設備熱排気29を利用するものであってもよい。
【0079】これは、所望の空調条件によって、排気3
0または排気31を切り換え、夏場は、排気30によっ
て除湿運転条件における再加熱エネルギを低減する効果
を得ることができる。
0または排気31を切り換え、夏場は、排気30によっ
て除湿運転条件における再加熱エネルギを低減する効果
を得ることができる。
【0080】なお、半導体製造工程におけるクリーンル
ームなどの空調条件は、生産設備の熱負荷が大きいこと
により、冬場においても、冷却運転条件のため、排気3
1に切り換えて、外気1aを多く吸気し、外気温の有効
利用により、冷却熱源の消費エネルギを低減することが
できる。
ームなどの空調条件は、生産設備の熱負荷が大きいこと
により、冬場においても、冷却運転条件のため、排気3
1に切り換えて、外気1aを多く吸気し、外気温の有効
利用により、冷却熱源の消費エネルギを低減することが
できる。
【0081】ここで、前記空気調和装置は、半導体製造
工程で使用する空気調和装置に限定することなく、半導
体以外の生産設備においても廃熱を利用することによ
り、冬場において、前記生産設備などの冷却熱源の消費
エネルギを低減することができる。
工程で使用する空気調和装置に限定することなく、半導
体以外の生産設備においても廃熱を利用することによ
り、冬場において、前記生産設備などの冷却熱源の消費
エネルギを低減することができる。
【0082】さらに、本体容器部3に設置する熱交換器
4の数を2つ以上の複数個にしてもよい。
4の数を2つ以上の複数個にしてもよい。
【0083】また、図6に示す他の実施例の空気調和装
置のように、空気調和装置の本体容器部3の外部1bに
おいて、本体容器部3の第1外気吸気口3bに接続され
た外部流路32に第2熱交換器33を設置し、生産設備
からの生産設備熱排気29を利用するものであってもよ
い。
置のように、空気調和装置の本体容器部3の外部1bに
おいて、本体容器部3の第1外気吸気口3bに接続され
た外部流路32に第2熱交換器33を設置し、生産設備
からの生産設備熱排気29を利用するものであってもよ
い。
【0084】これは、所望の空調条件により、例えば、
生産設備から放出される生産設備熱排気29を第2熱交
換器33によって熱交換し、排気30または排気31を
切り換えることによって、図5に示した空気調和装置と
同様の効果を得るものである。
生産設備から放出される生産設備熱排気29を第2熱交
換器33によって熱交換し、排気30または排気31を
切り換えることによって、図5に示した空気調和装置と
同様の効果を得るものである。
【0085】なお、図6に示す空気調和装置において
も、半導体以外の生産設備で使用することが可能であ
り、特に、冬場において、前記生産設備などの冷却熱源
の消費エネルギを低減することができる。
も、半導体以外の生産設備で使用することが可能であ
り、特に、冬場において、前記生産設備などの冷却熱源
の消費エネルギを低減することができる。
【0086】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0087】(1).空気調和装置の本体容器部内に吸
入した外気または除湿冷却後の空気の熱交換を熱交換器
によって行った後、外部に供給することにより、外気ま
たは除湿冷却後の空気の冷却時もしくは加熱時に消費す
る冷却エネルギあるいは加熱エネルギの消費量を低減す
ることができる。その結果、空気調和装置におけるエネ
ルギ消費量全体を低減することができる。
入した外気または除湿冷却後の空気の熱交換を熱交換器
によって行った後、外部に供給することにより、外気ま
たは除湿冷却後の空気の冷却時もしくは加熱時に消費す
る冷却エネルギあるいは加熱エネルギの消費量を低減す
ることができる。その結果、空気調和装置におけるエネ
ルギ消費量全体を低減することができる。
【0088】(2).熱交換器によって消費エネルギを
低減させることにより、簡単な構造で、かつエネルギの
消費低減が可能な空気調和装置を実現することができ
る。
低減させることにより、簡単な構造で、かつエネルギの
消費低減が可能な空気調和装置を実現することができ
る。
【0089】(3).熱交換器が熱伝導率の高い材質の
板を重ね合わせて形成された複数枚の仕切り板と、1枚
おきにほぼ90°向きを変えて各々の仕切り板の間に配
置されたプリーツ状の間隔板とを有し、ほぼ直交する2
方向の流路が設けられていることにより、熱交換する際
に、外気または除湿冷却後の空気をそれぞれ別々の流路
で直交させて流すことができる。これにより、外気また
は除湿冷却後の空気の熱交換時における熱交の効率を向
上させることができる。
板を重ね合わせて形成された複数枚の仕切り板と、1枚
おきにほぼ90°向きを変えて各々の仕切り板の間に配
置されたプリーツ状の間隔板とを有し、ほぼ直交する2
方向の流路が設けられていることにより、熱交換する際
に、外気または除湿冷却後の空気をそれぞれ別々の流路
で直交させて流すことができる。これにより、外気また
は除湿冷却後の空気の熱交換時における熱交の効率を向
上させることができる。
【0090】(4).熱交換器における流路を形成する
間隔板がプリーツ状であるため、前記流路の面積を広く
することができる。これにより、伝熱量を多くすること
ができるため、外気または除湿冷却後の空気の熱交換時
における交換の効率を向上させることができる。その結
果、冷却エネルギあるいは加熱エネルギの消費量を低減
することができ、空気調和装置におけるエネルギ消費量
全体を低減することができる。
間隔板がプリーツ状であるため、前記流路の面積を広く
することができる。これにより、伝熱量を多くすること
ができるため、外気または除湿冷却後の空気の熱交換時
における交換の効率を向上させることができる。その結
果、冷却エネルギあるいは加熱エネルギの消費量を低減
することができ、空気調和装置におけるエネルギ消費量
全体を低減することができる。
【0091】(5).前記(1)〜(4)により、地球
温暖化防止対策の一貫であるエネルギ消費量の低減を推
進することが可能になる。特に、夏場の除湿負荷が増加
する時期に使用することが有効な空気調和装置であり、
外気温を熱交換器により再加熱する熱源としての有効利
用が可能になる。
温暖化防止対策の一貫であるエネルギ消費量の低減を推
進することが可能になる。特に、夏場の除湿負荷が増加
する時期に使用することが有効な空気調和装置であり、
外気温を熱交換器により再加熱する熱源としての有効利
用が可能になる。
【図1】本発明による空気調和装置の構造の一実施例を
示す構成概念図である。
示す構成概念図である。
【図2】本発明による空気調和装置に設置された熱交換
器の構造の一実施例を示す斜視図である。
器の構造の一実施例を示す斜視図である。
【図3】本発明の空気調和装置を使用した場合の消費エ
ネルギ低減効果の一実施例を示す湿り空気線図である。
ネルギ低減効果の一実施例を示す湿り空気線図である。
【図4】本発明による空気調和装置の利用方法の一実施
例を示す構成概念図である。
例を示す構成概念図である。
【図5】本発明の他の実施例である空気調和装置の構造
の一例を示す構成概念図である。
の一例を示す構成概念図である。
【図6】本発明の他の実施例である空気調和装置の構造
の一例を示す構成概念図である。
の一例を示す構成概念図である。
1 外部雰囲気 1a 外気 1b 外部 2 空気 2a 室内戻り空気 3 本体容器部 3a 内部 3b 第1外気吸気口(吸気口) 3c 第2外気吸気口(吸気口) 3d 還気口 3e 送気口 3f リターンチャンバ室 3g サプライチャンバ室 4 熱交換器 4a 仕切り板 4b 間隔板 4c 側面 4d 外気熱交換流路(流路) 4e 除湿冷却熱交換流路(流路) 5 プレフィルタ(フィルタ) 6 アフタフィルタ(フィルタ) 7 冷却コイル(冷却手段) 7a 循環冷水 7b 水槽 7c 冷凍機 7d 冷水流路 7e 冷却3方弁 8 加湿ノズル(加湿手段) 8a 蒸気流路 8b 加湿2方弁 9 加熱コイル(加熱手段) 9a 蒸気流路 9b 加熱2方弁 9c ボイラー 10 送風ファン(送風手段) 11 第1ダンパ 12 第2ダンパ 13 第3ダンパ 14 第4ダンパ 15 第5ダンパ 16 クリーンルーム内(他の室内) 17 露点温度 18 熱交冷却 19 熱交加温 20 冷水冷却 21 蒸気加熱 22 第1クリーンルーム 23 第2クリーンルーム 24 送気ダクト 25 還気ダクト 26 第1室内サーモスタット 27 第2室内サーモスタット 28 温湿度調節計 29 生産設備熱排気 30 排気 31 排気 32 外部流路 33 第2熱交換器
Claims (7)
- 【請求項1】 吸入後の外気を熱交換して外部に供給す
る空気調和方法であって、 前記熱交換を行う熱交換器が設置された空気調和装置の
本体容器部内に外気を吸入し、 前記外気と他の室内からの室内戻り空気とを混合した
後、前記熱交換器に通すか、または前記混合した空気を
除湿冷却した後、前記熱交換器に通し、 前記熱交換器に通した空気を前記本体容器部の外部に供
給することを特徴とする空気調和方法。 - 【請求項2】 吸入後の外気を熱交換して外部に供給す
る空気調和方法であって、 前記熱交換を行う熱交換器が設置された空気調和装置の
本体容器部内に外気を吸入し、 前記外気を前記熱交換器に通すことによって冷却し、 冷却した外気と他の室内からの室内戻り空気とを混合し
た後、冷却手段によって除湿冷却し、 除湿冷却した空気を前記熱交換器に通すことによって加
温し、 前記熱交換器に通した空気を加熱手段によって加熱して
除湿し、 除湿後の空気を前記本体容器部の外部に供給することを
特徴とする空気調和方法。 - 【請求項3】 請求項1または2記載の空気調和方法で
あって、冷却時の外気または空気と、加熱時の外気また
は空気とを前記熱交換器内の別々の通路に、冷却時と加
熱時とでほぼ直交させて通すことによって熱交換を行う
ことを特徴とする空気調和方法。 - 【請求項4】 吸入後の外気の熱交換を行う熱交換器を
備えた空気調和装置であって、 外部雰囲気と内部とを遮断し、かつ外気を吸入する吸気
口が設けられた本体容器部と、 前記本体容器部内に設置され、かつ空気を濾過するフィ
ルタと、 前記本体容器部内に設置され、かつ空気を除湿冷却する
冷却手段と、 前記本体容器部内に設置され、かつ空気を加湿する加湿
手段と、 前記本体容器部内に設置され、かつ空気を加熱する加熱
手段と、 前記本体容器部内に設置され、かつ空気を外部に供給す
る送風手段とを有し、 前記本体容器部内に吸入した外気または除湿冷却後の空
気の熱交換を前記熱交換器によって行った後、前記本体
容器部の外部に供給することを特徴とする空気調和装
置。 - 【請求項5】 請求項4記載の空気調和装置であって、
前記熱交換器は、熱伝導率の高い材質の板を重ね合わせ
て形成された複数枚の仕切り板と、1枚おきにほぼ90
°向きを変えて各々の仕切り板の間に配置されたプリー
ツ状の間隔板とを有し、前記間隔板の側面を交互に塞ぐ
ことによって、前記熱交換器に、ほぼ直交する2方向の
流路が設けられていることを特徴とする空気調和装置。 - 【請求項6】 請求項4または5記載の空気調和装置で
あって、前記冷却手段は冷却コイルであり、前記冷却コ
イルが循環冷水を収容する水槽と前記循環冷水を冷却す
る冷凍機とに接続されていることを特徴とする空気調和
装置。 - 【請求項7】 請求項4,5または6記載の空気調和装
置であって、前記加熱手段は加熱コイルであり、前記加
熱コイルがボイラーに接続されていることを特徴とする
空気調和装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7182641A JPH0933065A (ja) | 1995-07-19 | 1995-07-19 | 空気調和方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7182641A JPH0933065A (ja) | 1995-07-19 | 1995-07-19 | 空気調和方法および装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0933065A true JPH0933065A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16121857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7182641A Pending JPH0933065A (ja) | 1995-07-19 | 1995-07-19 | 空気調和方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0933065A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002081691A (ja) * | 2000-09-04 | 2002-03-22 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空気浄化空調装置及び空気浄化空調方法 |
JP2007255854A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Hitachi Plant Technologies Ltd | クリーンベンチ |
KR100836232B1 (ko) * | 2008-01-07 | 2008-06-09 | 충남대학교산학협력단 | 공기조화장치용 에너지 절약형 냉각/재가열 시스템 |
KR100927488B1 (ko) * | 2008-11-27 | 2009-11-17 | (주)해팍이엔지 | 폐필터를 이용한 항온항습 설비 |
JP2010249378A (ja) * | 2009-04-14 | 2010-11-04 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調設備とその運転方法 |
CN102778010A (zh) * | 2012-07-11 | 2012-11-14 | 安徽华盛科技控股股份有限公司 | 空气净化装置的自控系统 |
CN108758821A (zh) * | 2018-07-26 | 2018-11-06 | 珠海格力电器股份有限公司 | 风道系统和空调 |
KR101967132B1 (ko) * | 2018-09-04 | 2019-04-10 | (주)대성기연 | 바닥흡입용 공조 에어조절 유니트 |
-
1995
- 1995-07-19 JP JP7182641A patent/JPH0933065A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002081691A (ja) * | 2000-09-04 | 2002-03-22 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空気浄化空調装置及び空気浄化空調方法 |
JP4616976B2 (ja) * | 2000-09-04 | 2011-01-19 | 高砂熱学工業株式会社 | 空気浄化空調装置及び空気浄化空調方法 |
JP2007255854A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Hitachi Plant Technologies Ltd | クリーンベンチ |
JP4655280B2 (ja) * | 2006-03-24 | 2011-03-23 | 株式会社日立プラントテクノロジー | クリーンベンチ |
KR100836232B1 (ko) * | 2008-01-07 | 2008-06-09 | 충남대학교산학협력단 | 공기조화장치용 에너지 절약형 냉각/재가열 시스템 |
KR100927488B1 (ko) * | 2008-11-27 | 2009-11-17 | (주)해팍이엔지 | 폐필터를 이용한 항온항습 설비 |
JP2010249378A (ja) * | 2009-04-14 | 2010-11-04 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調設備とその運転方法 |
CN102778010A (zh) * | 2012-07-11 | 2012-11-14 | 安徽华盛科技控股股份有限公司 | 空气净化装置的自控系统 |
CN102778010B (zh) * | 2012-07-11 | 2016-03-30 | 安徽华盛科技控股股份有限公司 | 空气净化装置的自控系统 |
CN108758821A (zh) * | 2018-07-26 | 2018-11-06 | 珠海格力电器股份有限公司 | 风道系统和空调 |
KR101967132B1 (ko) * | 2018-09-04 | 2019-04-10 | (주)대성기연 | 바닥흡입용 공조 에어조절 유니트 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110023686B (zh) | 热交换型换气装置 | |
JP4207166B2 (ja) | 除湿空調機 | |
EP2679924A2 (en) | Ventilation apparatus capable of recovering thermal energy | |
JP2004354040A (ja) | 換気兼用空気調和システム | |
JP5862266B2 (ja) | 換気システム | |
KR100943356B1 (ko) | 사계절 환기형 냉난방 설비 | |
KR20070054230A (ko) | 환기 장치 및 건물 | |
JPH09329371A (ja) | 空調システム | |
JPH0933065A (ja) | 空気調和方法および装置 | |
JP2007139333A (ja) | 換気装置及び建物 | |
WO2013021817A1 (ja) | 外気処理装置 | |
JPH01167541A (ja) | 空気調和器の再熱温度制御方法 | |
JP2003074906A (ja) | デシカント調湿機 | |
KR101811981B1 (ko) | 폐열 재사용 기능을 갖는 공기 조화기 | |
JP2002156148A (ja) | 空調用加湿方法 | |
JPH0814600A (ja) | デシカント型空調機 | |
JP2004340529A (ja) | 省エネルギー型空気調和システム | |
JP2003130382A (ja) | 空気調和機 | |
JPH04244537A (ja) | 空気調和システム | |
KR100511689B1 (ko) | 에너지 절약형 항온 항습 공기조화장치 | |
CN215175462U (zh) | 一种室内机及空气处理装置 | |
JP2001263724A (ja) | 空調方法及び空調機 | |
JPH01123930A (ja) | 熱交換気空調システム | |
JPH0332899Y2 (ja) | ||
JPH08334240A (ja) | 空調システム及び熱交換システム |