JPH0933065A - 空気調和方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 冷却エネルギおよび加熱エネルギの消費を低
減する空気調和方法および装置を提供する。 【構成】 外部雰囲気１と内部３ａとを遮断しかつ外気
１ａを吸入する第１外気吸気口３ｂおよび第２外気吸気
口３ｃが設けられた本体容器部３と、本体容器部３内に
設置されかつ外気１ａまたは除湿冷却後の空気２の熱交
換を行う熱交換器４と、本体容器部３内に設置されかつ
空気２を濾過するプレフィルタ５およびアフタフィルタ
６と、本体容器部３内に設置されかつ空気２を除湿冷却
する冷却コイル７と、本体容器部３内に設置されかつ空
気２を加湿する加湿ノズル８と、本体容器部３内に設置
されかつ空気２を加熱する加熱コイル９と、本体容器部
３内に設置されかつ空気２を外部１ｂに供給する送風フ
ァン１０とから構成され、吸入後の外気１ａまたは除湿
冷却後の空気２を熱交換した後、外部１ｂに供給する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程のクリ
ーンルームなどにおける空気調和（以降、空調と略す）
技術に関し、特に熱交換器を利用して空気の温度や湿度
を調節する空気調和方法および装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】以下に説明する技術は、本発明を研究、
完成するに際し、本発明者によって検討されたものであ
り、その概要は次のとおりである。

【０００３】大形の空気調和装置を用いた空調システム
には、マルチゾーンユニット方式と呼ばれるものがあ
る。

【０００４】この空調システムは、空調する室内と空気
調和装置の本体部とを送気ダクトおよび還気ダクトによ
って接続しており、空気調和装置の本体部の内部には空
気を冷却する冷却コイル、蒸気加湿を行う加湿ノズル、
蒸気によって空気を加熱する加熱コイル、空気を濾過す
るフィルタ、本体部の外部に空気を供給する送風機など
が組み込まれている。

【０００５】ここで、室内の空調は、室内サーモスタッ
トによって検出した温湿度の信号を温湿度調節計に取り
込み、予め設定した温度もしくは湿度になるように冷却
弁、加熱弁または加湿弁を制御することによって、空気
調和装置の本体部から供給する空気の温湿度を制御して
行う。

【０００６】これにより、室内の温湿度が一定に保たれ
る。

【０００７】また、空気調和装置は、外気をリターン空
気チャンバ内に吸入し、リターン空気と外気とを混合し
た後、冷却コイルによって冷却して除湿する。

【０００８】さらに、蒸気などの加熱源、例えば、加熱
コイルによって再加熱して温度を制御する。

【０００９】つまり、前記空調においては、除湿冷却す
る冷却源の冷却エネルギおよび再加熱用の加熱エネルギ
が必要とされる。

【００１０】なお、半導体製造工程などで用いられるク
リーンルームの空調技術については、例えば、株式会社
工業調査会発行「超ＬＳＩ製造・試験装置ガイドブック
＜１９９４年版＞」電子材料１１月号別冊、１９９３年
１１月２０日発行、１４３〜１４６頁に記載されてい
る。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記した技
術においては、冷却エネルギおよび加熱エネルギの両者
が、多大なエネルギの消費を伴うことが問題とされる。

【００１２】そこで、本発明の目的は、冷却エネルギお
よび加熱エネルギの消費を低減する空気調和方法および
装置を提供することにある。

【００１３】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１５】すなわち、本発明の空気調和方法は、熱交
換を行う熱交換器が設置された空気調和装置の本体容器
部内に外気を吸入し、前記外気と他の室内からの室内戻
り空気とを混合した後、前記熱交換器に通すか、または
前記混合した空気を除湿冷却した後、前記熱交換器に通
し、前記熱交換器に通した空気を前記本体容器部の外部
に供給するものである。

【００１６】さらに、本発明の空気調和方法は、熱交換
を行う熱交換器が設置された空気調和装置の本体容器部
内に外気を吸入し、前記外気を前記熱交換器に通すこと
によって冷却し、冷却した外気と他の室内からの室内戻
り空気とを混合した後、冷却手段によって除湿冷却し、
除湿冷却した空気を前記熱交換器に通すことによって加
温し、前記熱交換器に通した空気を加熱手段によって加
熱して除湿し、除湿後の空気を前記本体容器部の外部に
供給するものである。

【００１７】また、本発明の空気調和装置は、吸入後の
外気の熱交換を行う熱交換器を備えた空気調和装置であ
り、外部雰囲気と内部とを遮断しかつ外気を吸入する吸
気口が設けられた本体容器部と、前記本体容器部内に設
置されかつ空気を濾過するフィルタと、前記本体容器部
内に設置されかつ空気を除湿冷却する冷却手段と、前記
本体容器部内に設置されかつ空気を加湿する加湿手段
と、前記本体容器部内に設置されかつ空気を加熱する加
熱手段と、前記本体容器部内に設置されかつ空気を外部
に供給する送風手段とを有し、前記本体容器部内に吸入
した外気または除湿冷却後の空気の熱交換を前記熱交換
器によって行った後、前記本体容器部の外部に供給する
ものである。

【００１８】なお、本発明の空気調和装置は、前記熱交
換器が熱伝導率の高い材質の板を重ね合わせて形成され
た複数枚の仕切り板と、１枚おきにほぼ９０°向きを変
えて各々の仕切り板の間に配置されたプリーツ状の間隔
板とを有し、前記間隔板の側面を交互に塞ぐことによっ
て、前記熱交換器に、ほぼ直交する２方向の流路が設け
られているものである。

【００１９】

【作用】上記した手段によれば、空気調和装置の本体容
器部内に吸入した外気または除湿冷却後の空気の熱交換
を熱交換器によって行った後、外部に供給することによ
り、外気または除湿冷却後の空気の冷却時もしくは加熱
時に消費する冷却エネルギあるいは加熱エネルギの消費
量を低減することができる。

【００２０】その結果、空気調和装置におけるエネルギ
消費量全体を低減することができる。

【００２１】さらに、熱交換器が熱伝導率の高い材質の
板を重ね合わせて形成された複数枚の仕切り板と、１枚
おきにほぼ９０°向きを変えて各々の仕切り板の間に配
置されたプリーツ状の間隔板とを有し、ほぼ直交する２
方向の流路が設けられていることにより、熱交換する際
に、外気または除湿冷却後の空気をそれぞれ別々の流路
で直交させて流すことができる。

【００２２】これにより、外気または除湿冷却後の空気
の熱交換時における熱交の効率を向上させることができ
る。

【００２３】また、熱交換器における流路を形成する間
隔板がプリーツ状であるため、前記流路の面積を広くす
ることができる。

【００２４】これにより、伝熱量を多くすることができ
るため、外気または除湿冷却後の空気の熱交換時におけ
る熱交の効率を向上させることができる。

【００２５】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【００２６】図１は本発明による空気調和装置の構造の
一実施例を示す構成概念図、図２は本発明による空気調
和装置に設置された熱交換器の構造の一実施例を示す斜
視図、図３は本発明の空気調和装置を使用した場合の消
費エネルギ低減効果の一実施例を示す湿り空気線図、図
４は本発明による空気調和装置の利用方法の一実施例を
示す構成概念図である。

【００２７】本実施例の空気調和装置はマルチゾーンユ
ニット方式を用い、かつ積層プレート形の熱交換器が組
み込まれた大形の空気調和装置であり、例えば、半導体
製造工場でクリーンルームなどの空調を行う際に使用さ
れるものである。

【００２８】前記空気調和装置の構成について説明する
と、外部雰囲気１と内部３ａとを遮断しかつ外気１ａを
吸入する吸気口である第１外気吸気口３ｂおよび第２外
気吸気口３ｃが設けられた本体容器部３と、本体容器部
３内に設置されかつ外気１ａまたは除湿冷却後の空気２
の熱交換を行う熱交換器４と、本体容器部３内に設置さ
れかつ空気２を濾過するフィルタであるプレフィルタ５
およびアフタフィルタ６と、本体容器部３内に設置され
かつ空気２を除湿冷却する冷却手段である冷却コイル７
と、本体容器部３内に設置されかつ空気２を加湿する加
湿手段である加湿ノズル８と、本体容器部３内に設置さ
れかつ空気２を加熱する加熱手段である加熱コイル９
と、本体容器部３内に設置されかつ空気２を外部１ｂに
供給する送風手段である送風ファン１０とから構成され
ている。

【００２９】つまり、本実施例の空気調和装置は、本体
容器部３の内部３ａに吸入した外気１ａまたは除湿冷却
後の空気２の熱交換を熱交換器４によって行った後、本
体容器部３の外部１ｂに供給するものである。

【００３０】また、熱交換器４は、熱伝導率の高い材質
の板を重ね合わせて形成された複数枚の仕切り板４ａ
と、１枚おきにほぼ９０°向きを変えて各々の仕切り板
４ａの間に配置されたプリーツ状（折りひだ状）の間隔
板４ｂとからなる積層プレート形のものであり、間隔板
４ｂの側面４ｃを交互に塞ぐことによって、ほぼ直交す
る２方向の流路である外気熱交換流路４ｄと除湿冷却熱
交換流路４ｅとが設けられている。

【００３１】なお、仕切り板４ａおよび間隔板４ｂは、
熱伝導率や強度を考慮して、例えば、アルミニウムなど
によって形成されることが好ましい。ただし、アルミニ
ウムだけに限らず、熱伝導率の高い材料であれば、銅な
どであってもよい。

【００３２】また、冷却手段である冷却コイル７は、循
環冷水７ａを収容する水槽７ｂと循環冷水７ａを冷却す
る冷凍機７ｃとに接続されており、循環冷水７ａの冷水
流路７ｄには循環冷水７ａの流量を調節する冷却３方弁
７ｅが設けられている。

【００３３】すなわち、冷却３方弁７ｅによって循環冷
水７ａの流量を制御することにより、冷却コイル７によ
る外気１ａもしくは空気２の冷却の度合いを調節するこ
とができる。

【００３４】また、加湿手段である加湿ノズル８および
加熱手段である加熱コイル９は、ボイラー９ｃに接続さ
れ、それぞれの蒸気流路８ａ，９ａには加湿２方弁８
ｂ、加熱２方弁９ｂが設置されている。

【００３５】すなわち、加湿２方弁８ｂによって蒸気の
流量を制御し、また、加熱２方弁９ｂによって蒸気の流
量を制御する。これにより、加熱コイル９による除湿冷
却後の空気２の加熱（除湿を含む）の度合いを調節する
ことができる。

【００３６】また、本体容器部３には、熱交換器４の外
気熱交換流路４ｄに連通する第１外気吸気口３ｂおよび
第２外気吸気口３ｃが設置され、また、第１外気吸気口
３ｂの近傍の流路には開閉扉である第１ダンパ１１が設
置され、かつ、第２外気吸気口３ｃの近傍の流路には第
２ダンパ１２および第３ダンパ１３が設置され、それぞ
れのダンパの開閉の度合いによって通過する外気１ａも
しくは空気２の流量を制御している。

【００３７】さらに、本体容器部３には、他の室内の一
例であるクリーンルーム内１６からの室内戻り空気２ａ
の取り込み口である還気口３ｄと、本体容器部３の外部
１ｂに熱交換後の空気２を供給する際の供給口である送
気口３ｅとが設置されている。

【００３８】ここで、室内戻り空気２ａは還気口３ｄと
その近傍に設置された開閉扉である第４ダンパ１４とを
介して、本体容器部３のリターンチャンバ室３ｆに取り
込まれ、また、熱交換後の空気２は本体容器部３のサプ
ライチャンバ室３ｇから開閉扉である第５ダンパ１５と
送気口３ｅとを介して、外部１ｂに供給される。

【００３９】次に、本実施例の空気調和方法について説
明する。

【００４０】なお、本実施例による空気調和方法では、
夏場の除湿が必要な空調条件の場合について説明する。

【００４１】まず、第２外気吸気口３ｃの近傍に設置さ
れた第２ダンパ１２を全閉状態とし、さらに、第１ダン
パ１１と第３ダンパ１３を開状態にして、第１外気吸気
口３ｂから外気１ａを取り込む。

【００４２】続いて、取り込んだ外気１ａを熱交換器４
の外気熱交換流路４ｄに通して冷却した後、リターンチ
ャンバ室３ｆに供給する。

【００４３】この時、同時に第４ダンパ１４を開いてお
き、還気口３ｄを介してクリーンルーム内１６からの室
内戻り空気２ａをリターンチャンバ室３ｆへ取り込み、
冷却した外気１ａと室内戻り空気２ａとを混合する。

【００４４】その後、混合した空気２をプレフィルタ５
に通過させ、続いて、冷却コイル７によって所望の露点
温度以下まで除湿冷却する。

【００４５】さらに、除湿冷却した空気２を熱交換器４
の除湿冷却熱交換流路４ｅに通すことにより、予め加温
しておく。

【００４６】ここで、熱交換器４による熱交換は、加温
時（加熱時）と冷却時とで、別々の流路、すなわち、外
気１ａをその冷却時に外気熱交換流路４ｄに通し、かつ
空気２をその加温時（加熱時）に除湿冷却熱交換流路４
ｅに通し、さらに、それぞれの場合にお互いをほぼ直交
させて通すことによって行うものである。

【００４７】その後、熱交換器４の除湿冷却熱交換流路
４ｅに通した空気２を加熱コイル９によって加熱して除
湿し、さらに、除湿後の空気２を送風ファン１０によっ
てアフタフィルタ６に通過させた後、サプライチャンバ
室３ｇに供給する。

【００４８】続いて、本体容器部３の送気口３ｅ付近に
設置された第５ダンパ１５を開き、送気口３ｅを介して
空気２を外部１ｂに供給する。

【００４９】これによって、加熱コイル９で発生させる
昇温用蒸気を削減することができ、同様に、冷却コイル
７における冷却源、すなわち循環冷水７ａを冷却する冷
凍機７ｃで必要とされる電力量を削減することができ
る。

【００５０】なお、本実施例の空気調和方法による熱交
換方法を、図３に示す湿り空気線図を用いて、ならびに
図１を用いて説明する。

【００５１】ここで、前記湿り空気線図は、空気２の温
度と絶対湿度との関係を表すものであり、２７℃、相対
湿度７０％の空気２を相対湿度５０％に除湿する場合に
ついて説明する。

【００５２】まず、熱交換器４を設置していない空気調
和装置では、図３中Ａ点からＣ点までを冷水によって露
点温度１７以下まで冷却し、絶対湿度を下げる。

【００５３】その後、Ｃ点からＤ点まで再加熱すると２
７℃、相対湿度５０％になる。

【００５４】これに対して、熱交換器４が設置された本
実施例の空気調和装置では、Ａ点からＢ点までの冷却を
行う際に、熱交換器４の熱交換により、予めＡ点からＥ
点までの熱交冷却１８を行い、さらに、Ｃ点からＤ点ま
での加熱を行う際に、熱交換器４の熱交換により、予め
Ｃ点からＦ点まで加温しておく。

【００５５】これにより、熱交冷却１８分の冷却エネル
ギと熱交加温１９分の再加熱エネルギを削減することが
できる。

【００５６】なお、Ｅ点からＢ点までの冷却分が冷却コ
イル７による冷水冷却２０であり、Ｆ点からＤ点までの
加熱分が加熱コイル９による蒸気加熱２１である。

【００５７】また、図４に示す本実施例の空気調和装置
の利用方法について説明すると、前記空気調和装置と第
１クリーンルーム２２、さらに、前記空気調和装置と第
２クリーンルーム２３が、それぞれ送気ダクト２４およ
び還気ダクト２５によって空気２を流せるように接続さ
れている。

【００５８】ここで、第１クリーンルーム２２内には第
１室内サーモスタット２６が、また、第２クリーンルー
ム２３内には第２室内サーモスタット２７がそれぞれ設
置されている。

【００５９】これにより、第１クリーンルーム２２内お
よび第２クリーンルーム２３内の空調は、第１室内サー
モスタット２６または第２室内サーモスタット２７によ
ってによって検出した温湿度の信号を温湿度調節計２８
に取り込み、温湿度調節計２８の設定値との差から、予
め設定した温度もしくは湿度になるように冷却３方弁７
ｅ、加熱２方弁９ｂまたは加湿２方弁８ｂを制御するこ
とによって行い、空気調和装置から供給する空気２の温
湿度を制御して第１クリーンルーム２２内および第２ク
リーンルーム２３内の温湿度を一定に保つことができ
る。

【００６０】次に、本実施例の空気調和方法および装置
によれば、以下のような作用効果が得られる。

【００６１】すなわち、空気調和装置の本体容器部３の
内部３ａに吸入した外気１ａまたは除湿冷却後の空気２
の熱交換を熱交換器４によって行った後、外部１ｂに供
給することにより、外気１ａまたは除湿冷却後の空気２
の冷却時または加熱時に消費する冷却エネルギあるいは
加熱エネルギの消費量を低減することができる。

【００６２】その結果、空気調和装置におけるエネルギ
消費量全体を低減することができる。

【００６３】また、熱交換器４によって消費エネルギを
低減させることにより、簡単な構造で、かつエネルギの
消費低減が可能な空気調和装置を実現することができ
る。

【００６４】さらに、熱交換器４が熱伝導率の高い材質
の板を重ね合わせて形成された複数枚の仕切り板４ａ
と、１枚おきにほぼ９０°向きを変えて各々の仕切り板
４ａの間に配置されたプリーツ状の間隔板４ｂとを有
し、ほぼ直交する２方向の流路である外気熱交換流路４
ｄと除湿冷却熱交換流路４ｅとが設けられていることに
より、熱交換する際に、外気１ａまたは除湿冷却後の空
気２をそれぞれ別々に直交させて流すことができる。

【００６５】これにより、外気１ａまたは除湿冷却後の
空気２の熱交換時における熱交の効率を向上させること
ができる。

【００６６】その結果、外気１ａまたは除湿冷却後の空
気２の冷却時もしくは加熱時に消費する冷却エネルギあ
るいは加熱エネルギの消費量を低減することができ、前
記同様、空気調和装置におけるエネルギ消費量全体を低
減することができる。

【００６７】また、熱交換器４における２方向の流路を
形成する間隔板４ｂがプリーツ状（折りひだ状）である
ため、前記流路の面積を広くすることができる。

【００６８】これにより、伝熱量を多くすることができ
るため、外気１ａまたは除湿冷却後の空気２の熱交換時
における熱交の効率を向上させることができる。

【００６９】その結果、前記同様、冷却エネルギあるい
は加熱エネルギの消費量を低減することができ、空気調
和装置におけるエネルギ消費量全体を低減することがで
きる。

【００７０】また、これらの結果により、地球温暖化防
止対策の一貫であるエネルギ消費量の低減を推進するこ
とが可能になる。特に、夏場の除湿負荷が増加する時期
に使用することが有効な空気調和装置であり、外気温を
熱交換器４により再加熱する熱源としての有効利用が可
能になる。

【００７１】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。

【００７２】例えば、前記実施例における空気調和方法
は、夏場の除湿が必要な空調条件の場合であったが、前
記空気調和方法は、夏場に限らず、他の季節に用いるこ
ともできる。

【００７３】ここで、冬場などの除湿をほとんど必要と
しない空調条件の場合の空気調和方法について説明す
る。

【００７４】まず、熱交換を行う熱交換器が設置された
空気調和装置の本体容器部内に外気を吸入する。

【００７５】続いて、前記外気を熱交換器に通さずにそ
のまま他の室内（例えば、クリーンルーム内）からの室
内戻り空気と混合した後、フィルタに通過させ、さらに
前記熱交換器に通して加温する。

【００７６】その後、加温した空気を蒸気などによる加
湿手段によって加湿し、さらに、加熱手段によって加熱
し、送風手段によってフィルタに通過させた後、前記本
体容器部の外部に供給する。

【００７７】なお、所望の空調条件によって前記外気を
室内戻り空気と混合した後、その混合した空気を除湿冷
却してから前記熱交換器に通してもよい。

【００７８】また、図５に示す他の実施例の空気調和装
置のように、空気調和装置の本体容器部３内にさらにも
う１つの熱交換器４を設置し、生産設備からの排気であ
る生産設備熱排気２９を利用するものであってもよい。

【００７９】これは、所望の空調条件によって、排気３
０または排気３１を切り換え、夏場は、排気３０によっ
て除湿運転条件における再加熱エネルギを低減する効果
を得ることができる。

【００８０】なお、半導体製造工程におけるクリーンル
ームなどの空調条件は、生産設備の熱負荷が大きいこと
により、冬場においても、冷却運転条件のため、排気３
１に切り換えて、外気１ａを多く吸気し、外気温の有効
利用により、冷却熱源の消費エネルギを低減することが
できる。

【００８１】ここで、前記空気調和装置は、半導体製造
工程で使用する空気調和装置に限定することなく、半導
体以外の生産設備においても廃熱を利用することによ
り、冬場において、前記生産設備などの冷却熱源の消費
エネルギを低減することができる。

【００８２】さらに、本体容器部３に設置する熱交換器
４の数を２つ以上の複数個にしてもよい。

【００８３】また、図６に示す他の実施例の空気調和装
置のように、空気調和装置の本体容器部３の外部１ｂに
おいて、本体容器部３の第１外気吸気口３ｂに接続され
た外部流路３２に第２熱交換器３３を設置し、生産設備
からの生産設備熱排気２９を利用するものであってもよ
い。

【００８４】これは、所望の空調条件により、例えば、
生産設備から放出される生産設備熱排気２９を第２熱交
換器３３によって熱交換し、排気３０または排気３１を
切り換えることによって、図５に示した空気調和装置と
同様の効果を得るものである。

【００８５】なお、図６に示す空気調和装置において
も、半導体以外の生産設備で使用することが可能であ
り、特に、冬場において、前記生産設備などの冷却熱源
の消費エネルギを低減することができる。

【００８６】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００８７】（１）．空気調和装置の本体容器部内に吸
入した外気または除湿冷却後の空気の熱交換を熱交換器
によって行った後、外部に供給することにより、外気ま
たは除湿冷却後の空気の冷却時もしくは加熱時に消費す
る冷却エネルギあるいは加熱エネルギの消費量を低減す
ることができる。その結果、空気調和装置におけるエネ
ルギ消費量全体を低減することができる。

【００８８】（２）．熱交換器によって消費エネルギを
低減させることにより、簡単な構造で、かつエネルギの
消費低減が可能な空気調和装置を実現することができ
る。

【００８９】（３）．熱交換器が熱伝導率の高い材質の
板を重ね合わせて形成された複数枚の仕切り板と、１枚
おきにほぼ９０°向きを変えて各々の仕切り板の間に配
置されたプリーツ状の間隔板とを有し、ほぼ直交する２
方向の流路が設けられていることにより、熱交換する際
に、外気または除湿冷却後の空気をそれぞれ別々の流路
で直交させて流すことができる。これにより、外気また
は除湿冷却後の空気の熱交換時における熱交の効率を向
上させることができる。

【００９０】（４）．熱交換器における流路を形成する
間隔板がプリーツ状であるため、前記流路の面積を広く
することができる。これにより、伝熱量を多くすること
ができるため、外気または除湿冷却後の空気の熱交換時
における交換の効率を向上させることができる。その結
果、冷却エネルギあるいは加熱エネルギの消費量を低減
することができ、空気調和装置におけるエネルギ消費量
全体を低減することができる。

【００９１】（５）．前記（１）〜（４）により、地球
温暖化防止対策の一貫であるエネルギ消費量の低減を推
進することが可能になる。特に、夏場の除湿負荷が増加
する時期に使用することが有効な空気調和装置であり、
外気温を熱交換器により再加熱する熱源としての有効利
用が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による空気調和装置の構造の一実施例を
示す構成概念図である。

【図２】本発明による空気調和装置に設置された熱交換
器の構造の一実施例を示す斜視図である。

【図３】本発明の空気調和装置を使用した場合の消費エ
ネルギ低減効果の一実施例を示す湿り空気線図である。

【図４】本発明による空気調和装置の利用方法の一実施
例を示す構成概念図である。

【図５】本発明の他の実施例である空気調和装置の構造
の一例を示す構成概念図である。

【図６】本発明の他の実施例である空気調和装置の構造
の一例を示す構成概念図である。

【符号の説明】

１ 外部雰囲気 １ａ 外気 １ｂ 外部 ２ 空気 ２ａ 室内戻り空気 ３ 本体容器部 ３ａ 内部 ３ｂ 第１外気吸気口（吸気口） ３ｃ 第２外気吸気口（吸気口） ３ｄ 還気口 ３ｅ 送気口 ３ｆ リターンチャンバ室 ３ｇ サプライチャンバ室 ４ 熱交換器 ４ａ 仕切り板 ４ｂ 間隔板 ４ｃ 側面 ４ｄ 外気熱交換流路（流路） ４ｅ 除湿冷却熱交換流路（流路） ５ プレフィルタ（フィルタ） ６ アフタフィルタ（フィルタ） ７ 冷却コイル（冷却手段） ７ａ 循環冷水 ７ｂ 水槽 ７ｃ 冷凍機 ７ｄ 冷水流路 ７ｅ 冷却３方弁 ８ 加湿ノズル（加湿手段） ８ａ 蒸気流路 ８ｂ 加湿２方弁 ９ 加熱コイル（加熱手段） ９ａ 蒸気流路 ９ｂ 加熱２方弁 ９ｃ ボイラー １０ 送風ファン（送風手段） １１ 第１ダンパ １２ 第２ダンパ １３ 第３ダンパ １４ 第４ダンパ １５ 第５ダンパ １６ クリーンルーム内（他の室内） １７ 露点温度 １８ 熱交冷却 １９ 熱交加温 ２０ 冷水冷却 ２１ 蒸気加熱 ２２ 第１クリーンルーム ２３ 第２クリーンルーム ２４ 送気ダクト ２５ 還気ダクト ２６ 第１室内サーモスタット ２７ 第２室内サーモスタット ２８ 温湿度調節計 ２９ 生産設備熱排気 ３０ 排気 ３１ 排気 ３２ 外部流路 ３３ 第２熱交換器

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吸入後の外気を熱交換して外部に供給す
   る空気調和方法であって、 前記熱交換を行う熱交換器が設置された空気調和装置の
   本体容器部内に外気を吸入し、 前記外気と他の室内からの室内戻り空気とを混合した
   後、前記熱交換器に通すか、または前記混合した空気を
   除湿冷却した後、前記熱交換器に通し、 前記熱交換器に通した空気を前記本体容器部の外部に供
   給することを特徴とする空気調和方法。
2. 【請求項２】 吸入後の外気を熱交換して外部に供給す
   る空気調和方法であって、 前記熱交換を行う熱交換器が設置された空気調和装置の
   本体容器部内に外気を吸入し、 前記外気を前記熱交換器に通すことによって冷却し、 冷却した外気と他の室内からの室内戻り空気とを混合し
   た後、冷却手段によって除湿冷却し、 除湿冷却した空気を前記熱交換器に通すことによって加
   温し、 前記熱交換器に通した空気を加熱手段によって加熱して
   除湿し、 除湿後の空気を前記本体容器部の外部に供給することを
   特徴とする空気調和方法。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の空気調和方法で
   あって、冷却時の外気または空気と、加熱時の外気また
   は空気とを前記熱交換器内の別々の通路に、冷却時と加
   熱時とでほぼ直交させて通すことによって熱交換を行う
   ことを特徴とする空気調和方法。
4. 【請求項４】 吸入後の外気の熱交換を行う熱交換器を
   備えた空気調和装置であって、 外部雰囲気と内部とを遮断し、かつ外気を吸入する吸気
   口が設けられた本体容器部と、 前記本体容器部内に設置され、かつ空気を濾過するフィ
   ルタと、 前記本体容器部内に設置され、かつ空気を除湿冷却する
   冷却手段と、 前記本体容器部内に設置され、かつ空気を加湿する加湿
   手段と、 前記本体容器部内に設置され、かつ空気を加熱する加熱
   手段と、 前記本体容器部内に設置され、かつ空気を外部に供給す
   る送風手段とを有し、 前記本体容器部内に吸入した外気または除湿冷却後の空
   気の熱交換を前記熱交換器によって行った後、前記本体
   容器部の外部に供給することを特徴とする空気調和装
   置。
5. 【請求項５】 請求項４記載の空気調和装置であって、
   前記熱交換器は、熱伝導率の高い材質の板を重ね合わせ
   て形成された複数枚の仕切り板と、１枚おきにほぼ９０
   °向きを変えて各々の仕切り板の間に配置されたプリー
   ツ状の間隔板とを有し、前記間隔板の側面を交互に塞ぐ
   ことによって、前記熱交換器に、ほぼ直交する２方向の
   流路が設けられていることを特徴とする空気調和装置。
6. 【請求項６】 請求項４または５記載の空気調和装置で
   あって、前記冷却手段は冷却コイルであり、前記冷却コ
   イルが循環冷水を収容する水槽と前記循環冷水を冷却す
   る冷凍機とに接続されていることを特徴とする空気調和
   装置。
7. 【請求項７】 請求項４，５または６記載の空気調和装
   置であって、前記加熱手段は加熱コイルであり、前記加
   熱コイルがボイラーに接続されていることを特徴とする
   空気調和装置。