JP2554952B2 - 平面度測定装置 - Google Patents
平面度測定装置Info
- Publication number
- JP2554952B2 JP2554952B2 JP2186464A JP18646490A JP2554952B2 JP 2554952 B2 JP2554952 B2 JP 2554952B2 JP 2186464 A JP2186464 A JP 2186464A JP 18646490 A JP18646490 A JP 18646490A JP 2554952 B2 JP2554952 B2 JP 2554952B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate member
- flatness
- measured
- thin plate
- gasket
- Prior art date
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は薄板状部材の平面度を測定するものに関し、
特に微少な平面度の差異を精度よく且つ自動的に測定す
ることのできる平面度測定装置に関する。
特に微少な平面度の差異を精度よく且つ自動的に測定す
ることのできる平面度測定装置に関する。
平面度とはJISによると、平面形体の幾何学的に正し
い平面からの狂いの大きさをいい、精密機械部品や各種
流体を高圧力のもとで確実に密封するガスケットなどに
おいては高精度な平面度が要求される。
い平面からの狂いの大きさをいい、精密機械部品や各種
流体を高圧力のもとで確実に密封するガスケットなどに
おいては高精度な平面度が要求される。
従来の技術 従来は、マイクロメータやダイヤルゲージなどを用い
て何箇所かの平面部を測定して平面度を算出したり、非
接触で測定するものとして、超音波の反射時間の差異で
計測したり、レーザー光の反射位置の変位で計測した
り、あるいは磁界により渦電流を発生してその大きさに
より計測するもの等が用いられていた。
て何箇所かの平面部を測定して平面度を算出したり、非
接触で測定するものとして、超音波の反射時間の差異で
計測したり、レーザー光の反射位置の変位で計測した
り、あるいは磁界により渦電流を発生してその大きさに
より計測するもの等が用いられていた。
本発明が解決しようとする課題 マイクロメータやダイヤルゲージを用いると比較的簡
単に平面度を測定することができるが、同時に複数箇所
の測定をすることが困難であったり、また機械的な計測
であるために自動化することが困難な問題があった。一
方、超音波やレーザー光や磁界を利用して非接触で測定
する場合は、非接触故に自動化することは比較的容易で
あり且つ測定精度も高精度であるが、薄板状部材の本来
の平面度以外の変位、すなわち薄板状部材の加工時や運
搬時等に発生した変形や反りや歪み、をも測定してしま
い、純粋な平面度が得られない問題があった。また、上
記非接触で測定する場合は、超音波やレーザー光を発す
るセンサー部の大きさがある程度以上必要であり、被測
定薄板状部材が非常に小さいものである場合には複数箇
所を同時に測定できない問題もあった。
単に平面度を測定することができるが、同時に複数箇所
の測定をすることが困難であったり、また機械的な計測
であるために自動化することが困難な問題があった。一
方、超音波やレーザー光や磁界を利用して非接触で測定
する場合は、非接触故に自動化することは比較的容易で
あり且つ測定精度も高精度であるが、薄板状部材の本来
の平面度以外の変位、すなわち薄板状部材の加工時や運
搬時等に発生した変形や反りや歪み、をも測定してしま
い、純粋な平面度が得られない問題があった。また、上
記非接触で測定する場合は、超音波やレーザー光を発す
るセンサー部の大きさがある程度以上必要であり、被測
定薄板状部材が非常に小さいものである場合には複数箇
所を同時に測定できない問題もあった。
従って本発明の技術的課題は、薄板状部材が小さいも
のであっても本来の平面度のみを高精度で且つ自動的に
測定することがきるようにすることである。
のであっても本来の平面度のみを高精度で且つ自動的に
測定することがきるようにすることである。
課題を解決するための手段 上記の課題を解決するために講じた本発明の技術的手
段は、薄板状部材の平面度を測定するものにおいて、被
測定薄板状部材の一端を基準平面部材の平面部に配置
し、他端に被測定薄板状部材よりも径が大きな金属材料
で形成した平板状の押え板部材を設け、該押え板部材を
被測定薄板状部材方向へ付勢するコイルバネを取り付け
て、該コイルバネのバネ力及び上記平板状の押え板部材
に自重によって被測定薄板状部材の本来の平面度以外の
変位を解消すると共に、上記径の大きな押え板部材の一
面上に平面度を測定する複数の非接触式距離測定手段を
設けて、被測定薄板状部材の平面度を径方向へ拡大して
測定するものである。
段は、薄板状部材の平面度を測定するものにおいて、被
測定薄板状部材の一端を基準平面部材の平面部に配置
し、他端に被測定薄板状部材よりも径が大きな金属材料
で形成した平板状の押え板部材を設け、該押え板部材を
被測定薄板状部材方向へ付勢するコイルバネを取り付け
て、該コイルバネのバネ力及び上記平板状の押え板部材
に自重によって被測定薄板状部材の本来の平面度以外の
変位を解消すると共に、上記径の大きな押え板部材の一
面上に平面度を測定する複数の非接触式距離測定手段を
設けて、被測定薄板状部材の平面度を径方向へ拡大して
測定するものである。
作用 上記の技術的手段の作用は下記の通りである。
被測定薄板状部材の一端を基準平面部材の平面部に接
して配置したことにより、被測定薄板状部材の一端面は
基準平面と同一面上に位置する。被測定薄板状部材の他
端を径の大きな金属材料で形成した平板状の押え板部材
で押えることにより、被測定薄板状部材の本来の平面度
以外の変位、すなわち加工時や運搬時等に生じた変形や
反りや歪み、は解消され薄板状部材の本来の板厚に相当
する距離を隔てて押え板部材が位置することとなる。板
厚のみに相当する距離を隔てた平板状の押え板部材の一
面を距離測定手段によって測定することにより被測定薄
板状部材の純粋な平面度を測定することができる。
して配置したことにより、被測定薄板状部材の一端面は
基準平面と同一面上に位置する。被測定薄板状部材の他
端を径の大きな金属材料で形成した平板状の押え板部材
で押えることにより、被測定薄板状部材の本来の平面度
以外の変位、すなわち加工時や運搬時等に生じた変形や
反りや歪み、は解消され薄板状部材の本来の板厚に相当
する距離を隔てて押え板部材が位置することとなる。板
厚のみに相当する距離を隔てた平板状の押え板部材の一
面を距離測定手段によって測定することにより被測定薄
板状部材の純粋な平面度を測定することができる。
発明の効果 薄板状部材の板厚にのみ関する平面度を測定すること
ができ、平面度の測定精度が向上する。被測定薄板状部
材よりも径の大きな押え板部材を介して測定するため
に、被測定薄板状部材が小さなものであっても径方向に
平面度を拡大して測定することができより測定精度を向
上することができると共に、ある一定の大きさのセンサ
ーであっても複数箇所を同時に測定することができる。
また、非接触式距離測定手段を介して測定することによ
り、容易に自動化することができる。
ができ、平面度の測定精度が向上する。被測定薄板状部
材よりも径の大きな押え板部材を介して測定するため
に、被測定薄板状部材が小さなものであっても径方向に
平面度を拡大して測定することができより測定精度を向
上することができると共に、ある一定の大きさのセンサ
ーであっても複数箇所を同時に測定することができる。
また、非接触式距離測定手段を介して測定することによ
り、容易に自動化することができる。
実施例 上記の技術的手段の具体例を示す実施例を説明する
（第１図乃第３図参照）。
（第１図乃第３図参照）。
本実施例は薄板リング状のガスケットの平面度を測定
する例を示す。
する例を示す。
第１図は平面度測定装置の構成図で、薄板状部材とし
てのガスケット１を基準平面部材２の平面上にのせ、該
基準平面部材２をピストンロッド３及びシリンダ４によ
り上下方向に移動可能に配置する。ガスケット１は第２
図に斜視図を示すように、厚さ:hで幅:Lの薄板リング状
である。ガスケット１の上面には平板状の押え板部材５
を配する。押え板部材５はガスケット１よりも径が大き
くまた誘導電流を生じ易いように金属材料で形成する。
押え板部材５の左右両端に押え板部材５をガスケット１
方向へ付勢するコイルバネ6a,6bを取り付ける。コイル
バネ6a,6bを支持するコイルバネ支持筒7a,7b及びシリン
ダ４は基台８上に固定する。基台８上にセンサー取り付
け部材９を固定してその上端部で且つ押え板部材５の上
面の位置を検出するための非接触式距離測定手段として
の変位センサー10,11,12を取り付ける。変位センサー1
0,11,12としては超音波やレーザー光を用いることもで
きるが、渦電流によるものが比較的安価に且つ簡単に製
作することがてきる。変位センサー10,11,12で検出され
た押え板部材５の変位は演算部15へ送られ、ガスケット
１の平面度が演算算出され、表示部16で表示される。す
なわち、第３図のガスケット１の自由状態における部分
拡大断面図に示すように、ガスケット１には加工時や運
搬時等に変形が生じ（第３図における高さ:Hで示す変
形）、押え板部材５を用いずに非接触式で測定するとそ
の変形をも含んだ値がガスケット１の平面度として算出
されていしまうが、押え板部材５を用いることにより、
押え板部材５自身の重量及びコイルバネ6a,6bのバネ力
によってガスケット１の変形は解消され、ガスケット１
の純粋な平面度（第３図における高さ:h）を算出するこ
とができる。ガスケット１は通常フランジ（図示せず）
やネジ部材（図示せず）等により締付けて取り付けられ
るために、変形を含まない純粋な平面度が必要となるの
である。また、ガスケット１の径が非常に小さい場合
で、変位センター10,11,12の大きさにより複数箇所を同
時に測定できないような場合であっても、押え板部材５
を介することにより、ガスケット１の平面度を拡大して
測定することができる。
てのガスケット１を基準平面部材２の平面上にのせ、該
基準平面部材２をピストンロッド３及びシリンダ４によ
り上下方向に移動可能に配置する。ガスケット１は第２
図に斜視図を示すように、厚さ:hで幅:Lの薄板リング状
である。ガスケット１の上面には平板状の押え板部材５
を配する。押え板部材５はガスケット１よりも径が大き
くまた誘導電流を生じ易いように金属材料で形成する。
押え板部材５の左右両端に押え板部材５をガスケット１
方向へ付勢するコイルバネ6a,6bを取り付ける。コイル
バネ6a,6bを支持するコイルバネ支持筒7a,7b及びシリン
ダ４は基台８上に固定する。基台８上にセンサー取り付
け部材９を固定してその上端部で且つ押え板部材５の上
面の位置を検出するための非接触式距離測定手段として
の変位センサー10,11,12を取り付ける。変位センサー1
0,11,12としては超音波やレーザー光を用いることもで
きるが、渦電流によるものが比較的安価に且つ簡単に製
作することがてきる。変位センサー10,11,12で検出され
た押え板部材５の変位は演算部15へ送られ、ガスケット
１の平面度が演算算出され、表示部16で表示される。す
なわち、第３図のガスケット１の自由状態における部分
拡大断面図に示すように、ガスケット１には加工時や運
搬時等に変形が生じ（第３図における高さ:Hで示す変
形）、押え板部材５を用いずに非接触式で測定するとそ
の変形をも含んだ値がガスケット１の平面度として算出
されていしまうが、押え板部材５を用いることにより、
押え板部材５自身の重量及びコイルバネ6a,6bのバネ力
によってガスケット１の変形は解消され、ガスケット１
の純粋な平面度（第３図における高さ:h）を算出するこ
とができる。ガスケット１は通常フランジ（図示せず）
やネジ部材（図示せず）等により締付けて取り付けられ
るために、変形を含まない純粋な平面度が必要となるの
である。また、ガスケット１の径が非常に小さい場合
で、変位センター10,11,12の大きさにより複数箇所を同
時に測定できないような場合であっても、押え板部材５
を介することにより、ガスケット１の平面度を拡大して
測定することができる。
第１図は本発明による平面度測定装置の実施例の構成
図、第２図は第１図における被測定部材の斜視図、第３
図は同じく被測定部材の部分拡大断面図である。 1:ガスケット、2:基準平面部材 5:押え板部材、8:基台 10,11,12:変位センサー
図、第２図は第１図における被測定部材の斜視図、第３
図は同じく被測定部材の部分拡大断面図である。 1:ガスケット、2:基準平面部材 5:押え板部材、8:基台 10,11,12:変位センサー
Claims (1)
- 【請求項１】薄板状部材の平面度を測定するものにおい
て、被測定薄板状部材の一端を基準平面部材の平面部に
配置し、他端に被測定薄板状部材よりも径が大きな金属
材料で形成した平板状の押え板部材を設け、該押え板部
材を被測定薄板状部材方向へ付勢するコイルバネを取り
付けて、該コイルバネのバネ力及び上記平板状の押え板
部材の自重によって被測定薄板状部材の本来の平面度以
外の変位を解消すると共に、上記径の大きな押え板部材
の一面上に平面度を測定する複数の非接触式距離測定手
段を設けて、被測定薄板状部材の平面度を径方向へ拡大
して測定することを特徴とする平面度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2186464A JP2554952B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 平面度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2186464A JP2554952B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 平面度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0472502A JPH0472502A (ja) | 1992-03-06 |
| JP2554952B2 true JP2554952B2 (ja) | 1996-11-20 |
Family
ID=16188929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2186464A Expired - Lifetime JP2554952B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 平面度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2554952B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9151696B2 (en) | 2012-12-12 | 2015-10-06 | Solar Turbines Incorporated | Free-state seal plate functional gage tool |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2810512C2 (de) * | 1978-03-10 | 1980-03-27 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Ebenheitsmeßvorrichtung |
| DE3225899A1 (de) * | 1982-07-10 | 1984-01-12 | Wegmann & Co GmbH, 3500 Kassel | Vorrichtung zur vermessung der radebenen von kraftfahrzeugen |
| JPS6449906A (en) * | 1987-08-20 | 1989-02-27 | Toyo Glass Co Ltd | Measuring instrument for top inclination of glass bottle |
| JPH01104503U (ja) * | 1987-12-30 | 1989-07-14 |
-
1990
- 1990-07-13 JP JP2186464A patent/JP2554952B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0472502A (ja) | 1992-03-06 |
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