JP2548108B2

JP2548108B2 - Ｘ線露光装置

Info

Publication number: JP2548108B2
Application number: JP59177369A
Authority: JP
Inventors: アルフレート・ラインホルト
Original assignee: FUAINFUOOKUSU RENTOGENJUSUTEEME GmbH
Current assignee: FUAINFUOOKUSU RENTOGENJUSUTEEME GmbH
Priority date: 1983-08-26
Filing date: 1984-08-24
Publication date: 1996-10-30
Anticipated expiration: 2011-10-30
Also published as: JPS60110121A; US4899354A; DE3330806C2; DE3330806A1

Description

【発明の詳細な説明】本発明はＸ線露光装置に関し、詳しくは長波Ｘ線を得
る為のＸ線管と、Ｘ線照射を受けるべき基板の為の支持
部と、該基板のマスク材の為の支持部とから構成され、
Ｘ線管は、熱陰極と格子よりなる電子銃と、電子ビーム
を偏向並びに収束させる為の装置と、原子番号が大きく
て融点の高い物質よりなるターゲットを具備する、Ｘ線
露光装置に関するものである。

（従来の技術）露光装置は集積回路、特に大規模集積回路の製造に際
して使用されるものである。科学技術のすべての領域に
おいて、とりわけ各種プロセスの制御および算定を目的
とした電子回路の使用が飛躍的に増大したことにより、
今日では、集積回路の製造を簡単かつ迅速に行なうこと
が切実に要求されている。

理論的には、Ｘ線はこの目的に用いるのに特に適して
おり、既に数年前から、Ｘ線を用いて準ミクロンレベル
（１μｍ以下のレベル）において極めて目の細かい鮮明
な画像を得る試みがなされている。

光学的な方法に比べると、Ｘ線を利用する方法は物理
学的に次のような利点がある。すなわち、パターン幅が
１μｍ以下の場合においても、Ｘ線の偏向および干渉が
無視できるということ、従ってまた、準ミクロンレベル
で、中間に設けられたマスク材の正確なシルエットが期
待されるということである。Ｘ線の照射の場合には、光
を投影する場合に比べると、塵埃の影響は遥かに小さ
い。又、電子光学的方法の場合とは異なって、外部の漂
遊電界も無視できる。

硬質のＸ線すなわち短波長のＸ線はマスク材を事実上
妨害されることなく通過できるので、明暗に富んだ画像
を得るためには、３ないし25KVの電圧で作られる長波長
のＸ線（阻止線）を利用する必要がある。このような長
波Ｘ線は、Ｘ線露光技術に特に適している。なぜなら長
波Ｘ線は、従来から利用されている可視光線若しくは紫
外線と同様、通常のマスクに設けられた所定の部位にお
いて吸収されるか若しくは反射されるからであり、マス
ク材は、Ｘ線の吸収及び反射が可能な、目の細かい金の
被膜を通常具備している。

このようなＸ線露光装置の１つが、既に５年以上前
に、試験装置として製作されており、同装置がドイツ連
邦共和国公開特許公報第28 54 693号に記載されてい
る。該装置においては、ターゲットの材料にタングステ
ンが使用されている。タングステンは、原子番号が大き
く、かつ融点の高い物質である。電子銃の内部には、タ
ングステンフィラメントを有する熱陰極が設けられてい
る。

上記したＸ線露光装置は上記のような利点を有する長
波長のＸ線を利用するものではあるが、長波長のＸ線は
その収率が極めて低く、このため、露光時間が長くなっ
てしまい、所望の鮮明な露光画像を得ることができなか
った。このため、光学的露光装置を市場から駆逐するに
は至っていない。

その大きな理由は高強度のＸ線を得るためにフィラメ
ントを高熱として電子の放熱強度を高めるとフィラメン
トの寿命が短くなるので、十分なＸ線強度が得られず、
さらにはこのような強度の高い電子ビームがターゲット
に当たるとターゲットが溶けて寿命が短くなり、鮮明な
露光が行えなくなるからである。

このように、長波長のＸ線を利用する試みからは思わ
しい結果が得られなかったため、シンクロトロンと新種
のプラズマ源を利用して軟質のＸ線を充分な収量で得る
ための研究が行なわれた。しかしながら、シンクロトロ
ンを利用する方法では、シンクロトロンの入手が高価に
つき、かつ大きなスペースを必要とすることから、露光
用に利用するには、経済的にどうしても採算が合わな
い。また、新種のプラズマ源は、実験的な段階を出てお
らず、安全の為の極めて大幅な予防措置が必要とされる
ことから、その利用は殆ど不可能である。

更にＸ線露光用の陽電子ストレージリングが実験的に
製作されたが、これもまた、実験段階を出るものではな
い。

（発明が解決しようとする課題）本願と同一発明者は特願昭第58−110022号において太
いフィラメントを利用して寿命が長くかつ十分な強度の
Ｘ線を発生できる微焦点Ｘ線管を提案しており、本発明
は、このような微焦点Ｘ線管構造を基本として、高価か
つ大がかりなシンクロトロン等の装置を利用することな
く、Ｘ線露光に適した十分な強度のＸ線が得られ、しか
もターゲット寿命の長いＸ線露光装置を提供することを
目的とするものである。

（課題を解決するための手段）上記課題を解決するため、本発明のＸ線露光装置は長
波Ｘ線を得る為のＸ線管と、該Ｘ線管の出口窓を通じて
Ｘ線照射を受けるべき少なくとも１つの基板の為の支持
部と、該基板のマスク材の為の支持部とから構成され、
前記Ｘ線管は、熱陰極と格子よりなる電子銃と、電子ビ
ームを偏向並びに収束させる為の装置と、原子番号が大
きくて融点の高い物質よりなるターゲットを具備する、
Ｘ線露光装置であって、電子銃17のための格子９はフラ
ンジ10を有し、このフランジ10は熱陰極１の先端を取囲
む開口部11を有し、フランジ10の熱陰極１に向いた面12
は水平であるか、若しくは熱陰極１の方向に傾斜してお
り、フランジ10の、ターゲット26を向いた側の面13は熱
陰極１の方向に傾斜しており、フランジ10の厚さは開口
部11を限定する縁部14の方向に薄くなっており、前記タ
ーゲット26は電子ビーム21の反射方向を互いに異ならせ
る複数の面部分を備えているものであって、前記電子銃
17を向いた側に頂点もしくは稜線を有する形状を有し、
前記電子ビーム21を偏向並びに収束させる為の装置には
電子ビーム21のターゲット26に対する反射点を前記面部
分間で移動させるための制御装置が設けられており、前
記複数の面部分は１つの出口窓に向かう反射光を与える
ための面部分と、他の出口窓もしくは出口窓以外に向か
う反射光を与えるための面部分とを含む構成を有する。

（作用及び効果）本発明は従来技術の課題を解決するために次の２つの
構成を採用している。まず、高強度の長波Ｘ線を得るた
めの構成として、電子銃のための格子は、ターゲットに
向いた側にフランジを有し、このフランジは熱陰極の先
端が突入する中央の開口部を有し、フランジの熱陰極に
向いた面は水平であるか、若しくは熱陰極の方向に傾斜
しており、フランジの、ターゲットに向いた側の面は所
定の角度をなして熱陰極の方向に傾斜している構成を採
用している。この構成は上記特願昭58−110022号におい
て採用した構成と基本的に同一であり、熱陰極の先端部
がフランジによる吸熱作用で特に小さな電子放射面を形
成し、このため熱陰極として例えば太い径のフィラメン
トを利用でき、十分な強度の電子ビームを得ることがで
きる。

電子ビームはこのように放出面が小さいために、それ
自体既に十分に集束しているが、電子ビームの集束装置
によって、更に一層集束させられる。従って、ターゲッ
ト上に、特別に小さな反射点が生じ、3KVないし25KVの
加速電圧を利用することで、この小さな反射点で、極め
て密な長波Ｘ線が発生する。この場合、電子ビームの為
の加速電圧は原子番号が大きく融点が高いターゲット材
に適合させて、電子ビームにおける電子の大部分が、最
初の２ないし３個の分子列（Molekuelreihen）において
阻止されることを保証するような算出電圧を使用するこ
とにより、密なＸ線が発生させられる。つまり、ターゲ
ットの原子と協働する、著しく集束させられた密な電子
ビームでは、集束度並びに密度の比較的低い電子ビーム
の場合に通常生じる偏向が起こらなくなる。これに関連
して本発明では上記のように小さな電子放出面から発生
する電子ビームを収束させて、ターゲット上における像
を小さくするための電気的手段が備えられている。

次に、ターゲットの過熱を防止するための構成として
ターゲットには電子ビームの反射方向を互いに異ならせ
る複数の面部分が設けられており、前記電子ビームを偏
向並びに収束させる為の装置には電子ビームのターゲッ
トに対する反射点を前記面部分間で移動させるための制
御装置が設けられており、複数の面部分は１つの出口窓
に向かう射光を与えるための面部分と、他の出口窓もし
くは出口窓以外に向かう反射光を与えるための面部分と
を含む構成を採用している。

電子ビームの反射のための面部分をこのように複数設
けて、電子ビームのターゲットに対する反射点を面部分
間で移動させることにより、反射点において電子ビーム
が長時間継続的に当たることが防止され、ターゲット寿
命が延びる。

（実施の形態）本発明の実施の形態において、電子銃のフランジのタ
ーゲットに向いた側の面は、100゜ないし140゜の角度β
をなして熱陰極の方向に傾斜している。またフランジの
厚さは中央開口部を形成する縁部の方向に向けて15゜な
いし60゜の角度αをなしてすぼまっている。又、ターゲ
ット上における焦点（反射点が存在する領域）の直径
は、10^-4m以下である。ターゲットと、Ｘ線管の出口窓
の間の距離は、最大が２・10^-2mであり、ターゲットと
マスク材の間の距離は、最大２・10^-1mである。また、
ターゲットは、タングステン等の原子番号の高い物質を
材料とされる。

こうしたＸ線管を使用することにより、効果的なＸ線
露光印刷を得るための前提条件が得られることになる。
またこうした有利な効果は、ターゲットと出口窓の間並
びにターゲットとマスク材との間の距離を非常に小さく
選択することにより、更に一層改善される。

ターゲット上における焦点を上記のように小さくさく
すれば、ターゲットにかかる負担は当然大きくなる。従
って、以下のようにすると好都合である。すなわち、タ
ーゲットの表面はアーチ状に湾曲した１つの面に形成さ
れた複数の面部分、若しくは稜線によって互いに分離さ
れて、互いに関して傾いた、少なくとも２つの面部分よ
りなるようにする。そして、これらの面部分の１つが、
Ｘ線のための出口窓の方向に向けられ、他の面部分は、
先の面部分とは異なる側に向けられる。そして、出口窓
から出るＸ線ビームの各々について、ターゲット角度
（電子ビームの反射点におけるターゲット表面の接線と
反射したＸ線ビームとのなす角度）を、０゜ないし10
゜、望ましくは5.5゜に選択する。そして、偏向装置の
ための制御装置は、電子ビームが、同一の出口窓に向か
う方向の反射を提供するが位置的に互いに異なる反射点
間を移動する際に、ターゲット上の、電子銃に向いた頂
線若しくは電子銃に向いた１つの稜線を、２度ずつ横切
るように動かす。これにより反射点の位置交替が連続的
に行なわれることになる。すなわち、Ｘ線管は一種のパ
ルス作動を行なうことになり、しかもその際Ｘ線管は連
続的に作動し続け、従って、電子銃の断続に起因する種
々の欠点をまぬがれることができる。

この様なパルス作動においては、前記制御装置が電子
ビームの反射点を１つの反射点上にとどまらせ、電子ビ
ームを次の反射点に高速で移動させ、これを再びそこに
とどまらせるようにすると、好都合である。なぜなら、
そのようにした場合、放射された電子ビームが利用され
る時間は、電子ビームが利用されない時間に比して長い
からである。

しかしながら、電子ビームを利用し尽くす上で特に効
果的であるようにするには、次のような処置を取るとよ
い。すなわち、Ｘ線管は、少なくとも２つの向い合った
側において、Ｘ線の出口窓をそれぞれ１つずつ有し、こ
れらの間に、ターゲットを設置するようにする。そし
て、ターゲットの表面は、電子銃に向いた頂線を有する
１つの湾曲面よりなるか、若しくは少なくとも１本の稜
線で分けられて互いに対し傾斜した少なくとも２つの平
面からなるようにする。そして、前記頂線の両側におい
て前記湾曲面の各面部分が前記Ｘ線出口窓の各々に向け
られているようにするか、若しくは前記稜線の両側にお
いて各面部分がそれぞれ前記Ｘ線出口窓の１つに向けら
れているようにする。そして各々のＸ線出口窓から出る
ビームについてターゲット角度を０゜ないし10゜、望ま
しくは、5.5゜になるように選択する。そして、制御装
置は電子ビームを、１つの平面（若しくは面部分）上に
おける１つの反射点から別の平面（若しくは面部分）上
における別の反射点へ移動する際に、前記頂線若しくは
稜線を通るように動かされる。このようなＸ線露光装置
では、Ｘ線管の両側においてマスク材のための支持部
と、照射されるべき基板のための支持部とが設けられる
ものであり、この装置では一方の側における基板が照射
され、次いで他方の側における基板が照射される。従っ
て、Ｘ線管の電子ビームは、不断に利用し尽くされるこ
とになる。しかしながら、同装置の利点は、Ｘ線管の電
子ビームが不断に利用し尽くされることにとどまらず、
更に別の利点として、基板が照射されていない間に、こ
の基板を別の未照射の基板と交換できるということが挙
げられる。つまり、交換中に他方の基板の照射が行われ
るのである。

（実施例）次に本発明の実施例によるＸ線露光装置を図面を参照
して説明する。ここで、本発明において極めて重要なこ
とは、電子放出箇所の直径が可能な限り小さい熱陰極を
具備した電子銃を使用するということであり、そのよう
な電子銃が第１図において示されている。

熱陰極１を構成するＵ字形に曲げられたフィラメント
は、螺子４によって、その両脚を緊締装置2,3内に緊締
保持されている。緊締装置2,3はプラグ５につながって
おり、このプラグ５は１つの電源に接続されている。２
つの緊締装置２、３は、絶縁ディスク６内に挿入され、
該絶縁ディスク６はリング７によって支持されている。
リング７は外螺子を有し、これに、壷状の格子９の内螺
子が螺着されている。従って、格子９と熱陰極１は１つ
の構造ユニットをなし、このユニットがプラグ５によっ
て１つのソケットに差込まれることになる。この場合、
格子９の熱陰極１に対する位置は変化させることができ
る。格子９は円筒状の部分を有し、この部分は一旦側に
前記した内螺子を有し、第１図には示されていないＸ線
管のターゲットに向いた側の端部に、内向きに突出する
フランジ10を有している。このフランジ10の中心部には
開口部11が位置しており、この開口部11は熱陰極１の先
端部を取囲んでいる。このフランジ10の熱陰極１に向い
た方の面12は第１図では平坦であるが、熱陰極１の方向
に傾斜しても良い。後者の場合の傾斜の起点は、面12と
格子９の円筒状部分の内壁との遷移箇所に位置すること
ができ、従って、この場合、格子９の円筒状部分の内壁
と面12がなす角度は90゜よりも小さくなる。フランジ10
のターゲット26に向いた外側部分は円錐状すなわち漏斗
状に形成され、フランジ10は開口部11の方向にすぼまっ
ている。この漏斗状の面13の中心点（円錐の頂点に相当
する点）は熱陰極１の先端に位置するか、若しくは熱陰
極１の先端部よりも僅かに下側に位置する。面12の中心
点も、同じく熱陰極１の先端若しくはそれよりも僅かに
下側に位置している。縁部14すなわち漏斗状の面13から
面12へ移行する領域には丸みをもたせてあって、断面形
状がほぼ半円状になるように形成されている。この半円
の直径は小さい。

熱陰極１の直径は、望ましくは、0.2mmないし0.4mmに
選択され、格子９のフランジ10における縁部14から熱陰
極１への最短距離Ａは、望ましくは、0.4mmないし4mmに
選択される。円錐状の面13とフランジの内面12のなす角
度角度αは、15ないし60゜に選択され、一方、円錐状す
なわち漏斗状の面13のなす角度βは100ないし140゜に選
択される。

第２図に第１図の電子銃を利用したＸ線露光装置が示
されている。この装置はケーシングパート15,16からな
るケーシングを有するＸ線管を備えており、ケーシング
パート16内には電子銃17が設置されている。この電子銃
17の構成は図１で説明したとおりでありその２本のプラ
グがソケット18に差込まれている。ケーシングパート1
5,16は隔壁19によって隔てられている。隔壁19は電子ビ
ームを通過させる為の開口部20を中央に有する。ケーシ
ングパート16には真空用短管22が備えられ、これを通じ
て、Ｘ線管全体が、作動に際して真空にされる。このケ
ーシングパート16はケーシングパート15に固定されてい
る。ケーシングパート15内には偏向コイル及び焦点コイ
ル23,24,25が設置され、ケーシングパート15の上端の開
口部には、ターゲット26を収容するケーシングパート27
取付けられている。このケーシングパート27はターゲッ
ト26において発生されるＸ線の為の出口窓28を有する。
このＸ線出口窓28の照射域内にはマスク材の支持部と、
照射されるべき基板の支持部とが設けられる。この場合
の基板は、電子回路用のチップである。

ターゲット26を有するケーシングパート27の断面が第
３図に拡大して示してある。一点鎖線で示した直線30は
Ｘ線管の幾何学的中心線であり、ターゲット26における
湾曲面31の頂点を貫通する。電子ビーム21は直線30から
外れた進路を取り、０゜ないし10゜のターゲット角度の
もとにターゲット26の表面31に当たり、Ｘ線ビーム33を
発生させる。このＸ線ビーム33は、窓28から照射され
る。ケーシングパート27の内面には散乱Ｘ線を吸収する
内張34が設けられている。

このＸ線管内において、電子ビーム21は偏向コイル及
び焦点コイル23,24,25の制御装置により、面部分31Aか
ら頂線31B（ターゲットの頂点を通る線で、この場合は
紙面に直角な方向の線）を横切って面部分31Cに動かさ
れ、この面部分31Cにて発生させられたＸ線は窓28から
外へ出ることはない。このような動きはターゲット26上
における頂線31Bの近傍において反射点位置を一方の側
から他方の側へと交互に変化させることによって行なわ
れる。この様な変化を行なうのはターゲット26のある特
定の部分が過熱状態になって損傷することがないように
するためである。また、電子ビーム21は１つの反射点、
例えば第３図の紙面内にある反射点から、同紙面の手前
側若しくは向う側にある反射点へ到達させられ、この場
合に電子ビーム21は窓28の反対側にある反射点を経由し
て頂線31Bを２度横切る行程をとらされる。

この様に、ターゲットに湾曲した形状を与えて、電子
ビームの反射点を１つのターゲット面部分31Aから他の
ターゲット面部分31Cへ移動させるという構造は、２つ
の基板を交互にパルス式にＸ線照射する目的に利用する
ことも出来る。そうした目的の為の装置が第４図に示さ
れている。この装置は、第２図の装置と基本的に同様の
構造のものであるが、ケーシングパート27の両側にマス
ク材29のための支持部と基板35の為の支持部をそれぞれ
１つずつ有している点が第２図の装置とは異なってい
る。更に、この装置においては、ケーシングパート27は
２つの出口窓28A、28Bを具備しており、これは第５図に
も示してある。

第６図に図４及び図５に示したケーシングパート27の
横断面を示し、ターゲット26がより詳細に図示されてい
る。頂線31Bの両側の面部分31C及び面部分31Aにはそれ
ぞれ３個ずつの反射点36,37,38及び反射点39,40,41が設
定されている。図示したように電子ビーム21は反射点36
から反射点40へ、次いで反射点38に至り、そこから反射
点39へ、更には反射点37へ、そして最後に反射点41へ移
動し、そこから再び最初の反射点36へ移動する。１つの
反射点から他の反射点へ上述のように移動する都度、電
子ビーム21は頂線31Bを横切る。従って、２つの基板の
各々が一定時間ずつＸ線の照射を受けることになり、一
方の基板が照射を受けている間に、他方の基板を照射さ
れていない基板と交換できる。そして、この照射されて
いない基板は、同一ターゲット26上の他の反射点を経た
Ｘ線により照射される。図示の実施例の場合、１つのサ
イクルで６枚の基板を照射することが出来る。

この場合、照射を受けていない基板との交換は、パル
ス式に行なわれるので、Ｘ線管は、中断期間を一切伴う
ことなく、不断に作動しつづけることが出来る。

所望な波長Ｘ線を得るためには、３ないし25KVの加速
電圧を使用し、ターゲット26にはタングステンを用い
る。加速電圧は、電子阻止が電子層の可能な限り最上部
で行なわれるように計算で決め、電子ビーム全体の阻止
が、ほぼ原子層の最上部でのみ行なわれるようにする。

第７図に示したターゲット26は反射面が半球状に形成
されている。Ｘ線ビームは反射点36,37,38,39（及び図
では見えない反射点40,41）から、ターゲット26の幾何
学的軸30に対して垂直な平面内で、放射状に照射され
る。電子ビーム21は、１つの反射点から次の反射点へ順
次移動し、常に一定時間ずつ１つの反射点上にとどま
る、図９の実施例の場合、照射されるべき基板35はター
ゲット26の幾何学的軸30周りに放射状に配置されてい
る。この場合、ターゲット26上には反射点が８つ設けら
れ、電子ビーム21はこれらの反射点を電磁偏向によって
順次移動させられる。又出口窓28も８つ設けられてお
り、Ｘ線ビームがその都度ここから照射される。各々の
出口窓28の間には、遮蔽板42が設けられ、これらは、各
出口窓28から出るべきＸ線ビームが隣の出口窓28から出
るのを防止する。基板35は幾何学的軸30を中心とする１
つの円周上に配置され、そのため、特別の支持部が設け
られる。また、基板35の支持部とは別にマスク材29を１
枚づつ支持するための支持部が基板35の前方に設けられ
る。

第８図は別の形態のターゲット26を示し、これは６つ
の平面状の面部分43を有していて、電子ビーム21はこれ
らの面部分43を順次移動させられ、面部分43に反射点36
から41までが設定されている。つまり、この場合、ター
ゲット26は截頭角錐状に形成され、中央部には１つの平
面44を有し、この平面44は稜線によって平面43から分け
られ、ターゲット26の幾何学的軸に対して垂直である。

むろん、反射点及び面部分43の数は偶数である必要は
なく、奇数にすることも可能である。又、基板35は必ず
しも円周上に配置されていなくてもよく、外側のスペー
スに制約がある場合には、扇形の周上に配するようにし
ても良い。このような、照射されるべき基板35を複数個
配置して、これらをただ１つのターゲット26を利用し
て、異なる位置に設けられた複数個の出口窓から照射す
るという構成は、第１図に関連して説明した、充分に集
束させられた高密度の電子ビームをターゲット26に対し
て照射す電子銃17の構成との組み合わせで、高強度のＸ
線をターゲット26の過熱を生じることなく発生できるも
のである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示し、第１図はＸ線露光装置に
利用される電子銃であって、電子放出面が極めて小さく
て電子放出度の大きい電子銃の断面図、第２図はＸ線露
光装置の断面図、第３図はＸ線管のターゲット領域を示
す図、第４図は２つの基板を交互に照射するためのＸ線
露光装置の断面図、第５図は第４図に示した露光装置の
ターゲット領域を示す図、第６図は第４図に示したＸ線
露光装置のターゲット下部における横断面図であって、
ターゲット上の焦点を示す図、第７図は半球状ターゲッ
トの斜視図、第８図は截頭角錐状ターゲットの斜視図、
第９図はＸ線管の周りにおける照射されるべき基板の配
置の概略図である。１……熱陰極、９……格子 10……フランジ、11……開口部 17……電子銃、21……電子ビーム 23……偏向装置、26……ターゲット 28,28A,28B……出口窓 29……マスク材 31……ターゲット表面、31A,31C……面部分 31B……頂線、36−41……反射点 42……遮蔽板

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】長波Ｘ線を得る為のＸ線管と、該Ｘ線管の
出口窓を通じてＸ線照射を受けるべき少なくとも１つの
基板の為の支持部と、該基板のマスク材の為の支持部と
から構成され、前記Ｘ線管は、熱陰極と格子よりなる電
子銃と、電子ビームを偏向並びに収束させる為の装置
と、原子番号が大きくて融点の高い物質よりなるターゲ
ットを具備する、Ｘ線露光装置であって、電子銃17のた
めの格子９はフランジ10を有し、このフランジ10は熱陰
極１の先端を取囲む開口部11を有し、フランジ10の熱陰
極１に向いた面12は水平であるか、若しくは熱陰極１の
方向に傾斜しており、フランジ10の、ターゲット26を向
いた側の面13は熱陰極１の方向に傾斜しており、フラン
ジ10の厚さは開口部11を限定する縁部14の方向に薄くな
っており、前記ターゲット26は電子ビーム21の反射方向
を互いに異ならせる複数の面部分を備えているものであ
って、前記電子銃17を向いた側に頂点もしくは稜線を有
する形状を有し、前記電子ビーム21を偏向並びに収束さ
せる為の装置には電子ビーム21のターゲット26に対する
反射点を前記面部分間で移動させるための制御装置が設
けられており、前記複数の面部分は１つの出口窓に向か
う反射光を与えるための面部分と、他の出口窓もしくは
出口窓以外に向かう反射光を与えるための面部分とを含
むＸ線露光装置。
【請求項２】前記複数の面部分は１つの湾曲面に設けら
れている特許請求の範囲第１項に記載のＸ線露光装置。
【請求項３】前記複数の面部分は少なくとも３つの、稜
線にて互いに分けられかつ互いに関して角度をなす状態
に配置された平面より形成されている特許請求の範囲第
１項に記載のＸ線露光装置。
【請求項４】出口窓28は１つだけ設けられており、前記
面部分の１つはＸ線出口窓28に向けられ、他の面部分は
Ｘ線出口窓28とは異なる方向に向けられている特許請求
の範囲第１項に記載のＸ線露光装置。
【請求項５】出口窓28は前記面部分に対応して複数設け
られている特許請求の範囲第１項に記載のＸ線露光装
置。
【請求項６】各々の出口窓28の間には側方へのＸ線の放
射を防止するための遮蔽板42が設けられている特許請求
の範囲第５項に記載のＸ線露光装置。
【請求項７】２つの出口窓28A、28Bを有し、前記制御装
置は電子ビーム21を一つの反射点36から他の反射点40へ
移動させるに際してその都度、ターゲット26上における
前記頂点を通る頂線31B若しくは前記稜線を通過させる
特許請求の範囲第１項に記載のＸ線露光装置。
【請求項８】前記制御装置は、電子ビーム21の衝突点を
１つの反射点36にとどまらせ、次いで電子ビーム21を次
の反射点40へ速やかに移動させて、そこに再びとどまら
せる特許請求の範囲第７項に記載のＸ線露光装置。
【請求項９】少なくとも２つの向かい合った側におい
て、それぞれ１つずつのＸ線出口窓28A、28Bを有し、こ
れらの間にターゲット26が設けられており、前記制御装
置は電子ビーム21が、１つの面部分における１つの反射
点36から他の面部分における他の反射点へ移動する際
に、ターゲット26上における前記頂点を通る頂線31B若
しくは前記稜線を通過するように動かす特許請求の範囲
第１項に記載のＸ線露光装置。
【請求項１０】基板35用の支持部とマスク材用の支持部
が出口窓に対応した数で設けられる特許請求の範囲第１
項に記載のＸ線露光装置。
【請求項１１】ターゲットは半球状をなす特許請求の範
囲第１項に記載のＸ線露光装置。
【請求項１２】ターゲットは截頭円錐体形状をなす特許
請求の範囲第１項に記載のＸ線露光装置。
【請求項１３】ターゲットは截頭角錐体形状をなす特許
請求の範囲第１項に記載のＸ線露光装置。