JP2546640B2 - 研磨装置におけるキヤリア位置決め方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、上下定盤間に、太陽歯車とインタナル歯車
によって自転しながら公転するキャリアを介在させて、
このキャリアによって保持された被加工物を研磨する研
磨装置に係り、特に被加工物を自動的に供給・取出しす
るためのキャリアの位置決め方法に関する。

〔従来技術〕

この種の研磨機における被加工物の供給・取出しは、
供給・取出しのための上定盤を上昇させると、被加工物
のいくつかが上定盤側に付着することがあるため自動化
が困難であると共に、人手による作業がめんどうなもの
になっていた、このため、上定盤側に被加工物の付着防
止策として、上定盤側の研磨布を下定盤側の研磨布より
荒目のものにしたり、上定盤側の研磨布の研磨面にスリ
ットを入れたものにしたり、または上定盤側よりエヤー
や水を噴出させるなどの諸対策が考慮されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、前記のような研磨装置における被加工物の
供給・取出しは、人手によっていたため、自動化が達成
できなかった。さらに上昇した上定盤の下で人手によっ
て被加工物の供給・取出し作業を行うため、上定盤の上
昇機構の故障等から上定盤の落下による人災の危険があ
った。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、前述したような問題点を解決し、被加工物
の供給・取出しを自動化するため、上下定盤間に太陽歯
車とインターナル歯車によって自転しながら公転するキ
ャリアを介在させ、このキャリアに保持された被加工物
を研磨する研磨装置において、上定盤を開放した状態
で、キャリアを下定盤上でインターナル歯車に沿って移
動させ、このインターナル歯車の内側近傍に位置するう
ず電流を利用したセンサにより、前記キャリアの外周近
傍に該外周と同心状に埋設されたリング状の検出物を検
出して、キャリアの位置決めを行うようにしたものであ
る。

〔作 用〕

研磨作業完了後上定盤を開放し、キャリアを位置検出
して定位置に位置決めすることができ、ロボット等の自
動給排出手段を設置して、被加工物の供給・取出しの自
動化が可能になる。

〔実施例〕

以下本発明の一実施例を示す第１図ないし第３図につ
いて説明する。第１図において、１は上定盤、２は下定
盤で、これらは円板状をなし、それらの主軸1a,2aは図
示しない回転駆動源に連結されている。両定盤1,2の互
いに対向する面には研磨布などによる研磨面1b,2bが設
けられ、これらの間でウエハなどの被加工物７の両表面
を研磨するようになっている。下定盤２の中心部には、
研磨面2bより突出する太陽歯車３が設けられると共に、
下定盤２の外側にはインターナル歯車４が設けられてい
る。太陽歯車３とインターナル歯車４との間には、上下
定盤1,2間に介在される複数個のキャリア５（第２図お
よび第３図参照）が置かれている。

このキャリア５は円板状をなし、その外周部には上記
太陽歯車３およびインターナル歯車４にかみ合う歯部６
が設けられると共に、内部には複数枚の被加工物７を保
持する保持穴８が設けられ、さらに歯部６の付け根部分
であるキャリア５の外周近傍にはリング状の検出物10が
埋設されている。

下定盤２の外側上方には、キャリア５に埋設されたリ
ング状の検出物10を検知するうず電流式センサ９が上下
方向へ移動可能に設けられている。

このセンサ９はキャリア５が太陽歯車３の中心を回転
中心として所定方向へ移動してくるキャリア５のリング
状の検出物10を検知したとき、同キャリア５は所定の位
置で位置決め停止し、被加工物供給時において図示しな
いロボットとロボットに取付けた被加工物保持具（図示
せず）により被加工物供給箱（図示せず）より未加工の
被加工物７を取出してキャリア５の保持穴８に供給で
き、また被加工物取出し時においてキャリア５の保持穴
８に保持されている研磨済の被加工物７を被加工物格納
箱（図示せず）の中へ前記ロボットとロボットに取付け
た被加工物保持具により取出して格納できるよう関連付
けて設置されている。

上記のように構成された研磨装置において、研磨時に
はセンサ９は上方へ後退させ、図示しない駆動源により
太陽歯車３とインターナル歯車４を回転することにより
キャリア５を上下定盤1,2間で自転および公転させる。
上下定盤1,2は主軸1a,2aを介して図示しない回転駆動源
から回転を与えられ、キャリア５の保持穴８内に保持さ
れて上下定盤1,2間を移動する被加工物７の上下両面を
研磨する。

このようにして被加工物７の研磨が終了したならば、
上定盤１を図示しない上昇機構を介して上昇させる。次
いでセンサ９を下方へ移動させた後、太陽歯車３のみ、
またはインターナル歯車４のみ、あるいは太陽歯車３と
インターナル歯車４の両方を回転させる。これによりキ
ャリア５は、太陽歯車３の中心を回転の中心として下定
盤２の上を自転・公転する。キャリア５に埋設されたリ
ング状の検出物10がセンサ９による検知位置に達する
と、これを検知して検出信号を発し、太陽歯車3,インタ
ーナル歯車４の回転を停止させ、キャリア５内の加工済
みの被加工物７の供給・取出し位置に位置決めして停止
させる。

次いでセンサ９を上方へ後退させ、図示しないロボッ
トとロボットに取付けた被加工物保持具により、キャリ
ア５の保持穴８に保持されている被加工物７を保持し、
図示しない被加工物株納箱に納める。その後図示しない
被加工物供給箱より未加工の被加工物７を前記ロボット
により読出し、キャリア５の保持穴８に供給する。

こうして１つのキャリア５に保持されている被加工物
７の取出しと供給が終了したならば、センサ９を下方へ
移動させ、前記と同様にして残りのキャリア５を太陽歯
車３の中心を回転中心として移動させ、該キャリア５を
センサ９で検出し、位置決めし、以下前記同様にして該
キャリア５の保持穴８に保持されている被加工物７を取
出し、さらに次に研磨を行う未加工の被加工物７を保持
穴８に供給する。

〔発明の効果〕

キャリアを所定の位置に位置決めすることができ、こ
れにより被加工物の自動取出し・供給が可能になり、さ
らに省人化ができ、人手作業の危険を排除できる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本発明の一実施例を示し、第１図
は第２図に示すＡ−Ａ線による概要展開断面図、第２図
は第１図Ｂ−Ｂ線による矢視平面図、第３図はキャリア
の平面図とＣ−Ｃ線断面図を示す。 １……上定盤、２……下定盤、３……太陽歯車、４……
インターナル歯車、５……キャリア、６……歯部、７…
…被加工物、８……保持穴、９……センサ、10……検出
物、1a,2a……主軸、1b,2b……研磨面。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−187447（ＪＰ，Ａ) 特公 昭59−44186（ＪＰ，Ｂ２)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】上下定盤間に、太陽歯車とインターナル歯
   車によって自転しながら公転するキャリアを介在させ、
   このキャリアに保持された被加工物を研磨する研磨装置
   において、上定盤を開放した状態で、キャリアを下定盤
   上でインターナル歯車に沿って移動させ、このインター
   ナル歯車の内側近傍に位置するうず電流を利用したセン
   サにより、前記キャリアの外周近傍に該外周と同心状に
   埋設されたリング状の検出物を検出して、キャリアの位
   置決めを行うことを特徴とする研磨装置におけるキャリ
   ア位置決め方法。