JPS62236672A - 研磨装置におけるキヤリア位置決め方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、上下定盤間に、大陽歯車とインタナル歯車に
よって自転しながら公転するキャリアを介在させて、こ
のキャリアによって保持された被加工物を研磨する研磨
装置に係り、特に被加工物乞自動的に供給・取出しする
ためのキャリアの位置決め方法に関する。

〔従来技術〕

この種の研磨機に８ける被加工物の供給・取出しは、供
給働取出しのために上定盤乞上昇させると、被加工物の
いくつかが上定盤側に付着することかあるため自動化が
困難であると共に、人手による作業がめんどうなものに
なっていた、このた・め、上定盤側に被加工物の付着防
と策として、上定盤側の＃を楚布を下定盤９１１１の研
磨布より荒目のものにしたり、上定盤側の研磨布の研磨
面にスリットＺ入れたものにしたり、または上定盤側よ
りエヤーや水ン噴出させるなどの諸対策が考慮されてい
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、前記のような研磨装置における被加工物の供
給・取出しは、人手によっていたため、自動化が達成で
きなかった。さらに上昇した上定盤の下で人手によって
被加工物の供給・取出し作業７行うため、上定盤の上昇
機構の故障等から上定盤の落下による人災の危険があっ
た。

〔問題点乞解決するための手段〕

本発明は、前述したような問題点を解決し、被加工物の
供給・取出しを自動化するため、上下定盤間に大陽歯車
とインターナル歯車によって自転しながら公転するキャ
リアを介在させ、このキャリアに保持された被加工物を
研磨する研磨装置において、上定盤を開放した後、少な
くとも大陽歯車とインターナル歯車のいずれか一方を回
転させてキャリア？移動させて、キャリアをセンサで検
知して所定の位置に位置決め？行うようにしたものであ
る。

〔作　用〕

研磨作業完了後上定盤を開放し、キャリア６位置検出し
て定位置に位置決めすることができ、ロボット等の自動
給排出手段を設置して、被加工物の供給・取出しの自動
化が可能になる。

〔実施例〕

以下本発明の一実施例を示す第１図ないし第３図につい
て説明する。第１図に８いて、１は上定盤、２は下定盤
で、これらは円板状χなし、それらの主軸１ａ　、　２
ａは図示しない回転駆動源に連結されている。両定盤１
，２の互いに対向する面には研磨布などによる研磨面１
ｂ　、　２ｂが設けられ、これらの間でクエへなどの被
加工物７０両表面を研磨するようになっている。下定盤
２の中心部には、研磨面２ｂより突出する大陽歯車３が
設けられると共に、下定盤２の外側にはインターナル歯
車４が設けられている。大陽歯車３とインターナル歯車
４との間には、上下定盤１，２間に介在される複数個の
キャリア５（第２図および第３図参照）が置かれている
。

このキャリア５は円板状をなし、その外周部には上記大
陽歯車３およびインターナル歯車４にかみ合う歯部６が
設けられると共に、内部には複数枚の被加工物７を保持
する保持穴８が設けられている。

下定盤２の外側上方には、キャリア５の外周部乞検知す
る光電式センサ９が上下方向へ移動可能に設けられてい
る。

このセンサ９はキャリア５が大陽歯車３の中心Ｚ回転中
心として所定方向へ移動してくるキャリア５の外周部を
検知したとぎ、同キャリア５は所定の位置で位置決め停
止し・、被加工物供給時において図示しないロボットと
ロボットに取付けた被加工物保持具（図示せず）により
被加工物供給箱（図示せず）より未加工の被加工物７を
取出してキャリア５の保持穴８に供給でき、また被加工
物取出し時においてキャリア５の保持穴８に保持されて
いる研磨済の被加工物７を被加工物格納箱（図示せず）
の中へ前記ロボットとロボットに取付けた被加工物保持
具により取出して格納できるよう関連付けて設置されて
いる。

上記のように構成された研磨装置において、研磨時には
センサ９は上方へ後退させ、図示しない駆動源により大
陽歯車３とインターナル歯車４′？：回転することによ
りキャリア５ン上下定盤１．２転Ｚ与えられ、キャリア
５の保持穴８内に保持されて上下定盤１，２間？移動す
る被加工物７の上下両面を研磨する。

このようにして被加工物７の研磨が終了したならば、上
定盤１乞図示しない上昇機構Ｚ介して上昇させる。次い
でセンサ９ビ下方へ移動させた後、大陽歯車３のみ、ま
たはインターナル歯車４のみ、あるいは大陽歯車３とイ
ンターナル歯車４０両方を回転させる。これによりキャ
リア５は、大陽歯車３の中心を回転の中心として下定盤
２の上を自転・公転する。キャリア５の歯部６を含む外
周部がセンサ９による検知位置に達すると、これを検知
して検出信号を発し、大陽歯車３．インターナル歯車４
０回転を停止させ、キャリア５内の加工済みの被加工物
７の供給・取出し位置に位置決めして停止させる。

次いでセンサ９を上方へ後退させ、図示しないロボット
とロボットに取付けた被加工物保持具により、キャリア
５の保持穴８に保持されている被加工物７乞保持し、図
示しない被加工物採納箱に納める。その後図示しない被
加工物供給箱より未加工の被加工物７を前記ロボットに
より取出し、キャリア５の保持穴８に供給する。

こうして１つのキャリア５に保持されている被加工物７
の取出しと供給が終了したならば、センサ９を下方へ介
在させ、この前記と同様にして残りのキャリア５ン大陽
歯車３の中心を回転中心として介在させ、この該キャリ
ア５ンセンサ９で検出し、位置決めし、以下前記同様に
して該キャリア５の保持穴８に保持されている被加工物
７を取出し、さらに次に研磨を行う未加工の被加工物７
を保持穴８に供給する。

尚前述した説明では、センサ９は光電式の場合で説明し
たが、センサ９ｔうず電流式のものにし、キャリア５に
は第３図に示すように、その外周近傍に検出物１０を埋
設させ、この検出物１０Ｙセンサ９により検出するなど
いろいろ考えられることは勿論である。

〔発明の効果〕

キャリアを所定の位置に位置決めてることができ、これ
により被加工物の自動取出し・供給が可能になり、さら
に省人化ができ、人手作業の危険〆を排除できる。

【図面の簡単な説明】

＠１図ないし第３図は本発明の一実施例を示し、第１図
は第２図に示すＡ−Ａ線による概要展開断面図、第２図
は第１図Ｂ−Ｂ線による矢視平面図、第３図はキャリア
の平面図とＣ−Ｃ線断面図を示す０ １・・・上定盤、２・・・下定盤、３・・・大陽歯車、
４・・・インターナル歯車、５・・・キャリア、６・・
・歯部、７・・・被加工物、８・・・保持穴、９・・・
センサ、１０・・・検出物、ｌａ　ｊ　２３・・・主軸
、ｌｂ　、　２ｂ・・・研磨面。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）上下定盤間に、大陽歯車とインターナル歯車によ
   って自転しながら公転するキャリアを介在させ、このキ
   ャリアに保持された被加工物を研磨する研磨装置におい
   て、上定盤を開放した状態で、キャリアを移動させ、キ
   ャリアの位置を検出してキャリアの位置決めを行なうこ
   とを特徴とする研磨装置におけるキャリア位置決め方法
   。
2. （２）検出手段が、光電式センサであることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の研磨装置におけるキャリ
   ア位置決め方法。
3. （３）検出手段が、うず電流を利用したセンサであり、
   かつキャリアに検出物を埋設したことを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の研磨装置におけるキャリア位置
   決め方法。