JP2539472B2 - 被処理物収納部支持機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はウエーハなどの被処理物を収納するウエーハ
カセツトなどの被処理物収納部をロボツトなどにより自
動供給する機構に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、回転運動を含む動きによりウエーハを搬送する
機構を有する処理装置では、ウエーハカセツトを処理装
置前面に対し、非平行に供給せざるを得なかった。な
お、この種の装置として関連するものには例えば雑誌日
経マイクロデバイス1987年11月号137ページ等が挙げら
れる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記の従来技術では、ウエーハカセツトはロボツトで
自動供給する場合、装置の前面に対して、斜めに設置す
る必要があり、前面に対して平行に設置する場合に比較
し、１動作多く必要とし、従来のロボツトでは対応でき
ない。又、この対応をするには高価なロボツトを必要と
した。

したがつて、本発明の目的は、上記の欠点を解消する
ことの出来る機構を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕 上記の目的を解決するには、ウエーハカセツト支持機
構に回転機構を設置することにより達成される。

〔作用〕

その動作は次のようになる。

（１）通常ロボツトによりウエーハカセツトを処理装置
前面に平行に供給する。

（２）しかる後に、ウエーハカセツト支持機構を回転さ
せ、搬送機中心にウエーハカセツトを向ける。

したがって、安価なロボツトでウエーハカセツトを自
動供給できるようになる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図および第２図により
説明する。

ウエーハの入つたウエーハカセツト１を第１図のごと
くロボツトによりウエーハカセツト支持機構２に供給す
る。又、空のウエーハカセツト１′をウエーハカセツト
支持機構２′に供給する。３は搬送機、4,4′は処理
室、５は処理装置を示す。

その後、ウエーハカセツト支持機構２を回転させ、第
２図のごとく、搬送機３の中心に向ける。

搬送機３はその中心軸のまわりに回転し、さらに上
下，前進後退運動をする機構を備えており、ウエーハを
ウエーハカセツト１から処理室3,3′へロードしたり、
アンロードしたりすることができる。

この時、処理室4,4′の数は本発明とはかかわりな
い。

又、ウエーハカセツト支持機構2,2′が上下運動を
し、搬送機３が上下運転をしないものでも良い。

〔発明の効果〕

本発明によれば、安価なロボツトでウエーハカセツト
を自動供給できるメリツトがある。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は、本発明による装置の平面図であ
る。 1,1′…被処理物収納部、2,2′…被処理物収納部支持機
構、３…搬送機、4,4′…処理室、５…処理装置。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】処理室と被処理物収納部とを同一円周上又
   は同心円周上に配置し、その中心に設置した搬送機の回
   転運動を含む動きにより被処理物を搬送する機構を備え
   た処理装置において、被処理物収納部を処理装置の前面
   に平行に供給したのち、その支持機構を回転させ、被処
   理物収納部を搬送機中心部へ向けることを特徴とした被
   処理物収納支持機構。