JPH02307241A - ウェハー搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はウェハー処理装置間でウエノ１−の搬送を行う
ためのウェハー搬送装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の搬送装置は、第３図の正面図の様に、ウ
ェハー２１をキャリアー２２に入れて、さらにそのキャ
リアー２２をボックス１０に入れて移動部２５の移載可
動部２４に載せ、ウェハー処理装置２８のボックス置台
２９へ搭載又は運び出しを行うようになっていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のウェハー搬送装置は、特定のキャリア又
は特定のボックスでウェハーを搬送している。その為、
装置によって使用するキャリア又はボックスの形状が異
なっている場合には、一度装置内又は装置外で専用治工
具や装置を用いて、ある形状のキャリアから別形状のキ
ャリアへウェハーを移し換える必要がある。そのため搬
送時には、搬送装置移載可動部２４のキャリア２２又は
ボックス１０を支持する所に合せなげればならないため
、キャリア２２又はボックス１０の特定部分の形状を同
一にしなければならないという欠点がある。

又、各装置ごとに別形状のキャリアを使用する場合、ウ
ェハーを搬送したキャリアから別の装置で使用するキャ
リアへ立て替える為の立て替え装置を、各装置ごとに設
置せねばならず、各装置の肥大化、価格の高騰化を招く
欠点がある。

その上、キャリア内でウェハーを固定するのがむずかし
い為、搬送にウェハーが振動し、キャリアとウェハーの
接触によるウェハーの割れの発生やキャリアの塵埃をウ
ェハーへ付着させるという欠点がある。

本発明は、ウェハー搬送時にキャリア又はボックスとい
う搬送媒体を使用することなく、ウェハー自体をそのま
ま搬送するようにしたウェハー搬送装置を提供するもの
である。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、ウェハーを収納するキャリアを搭載する移載
可動部と、この可動部を備えた移動部とからなり、前記
ウェハーを処理装置から他の処理装置へ搬送するための
ウェハー搬送装置において、キャリアに収納され又は収
納する個々のウェハーに対応し、これら複数のウェハー
を同時に保持又は離脱せしめるウェハー保持具を前記移
載可動部に設けたウェハー搬送装置である。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１の実施例の縦断面図である。本実
施例のウェハー搬送装置（以下、単に搬送装置と呼ぶ）
は、ウェハー保持具３．移載可動部４及び移動部５とか
ら構成されている。

ウェハー１は、ウェハー処理装置８に設置されたキャリ
ア置台７上のキャリア２の中に収納されており、移載可
動部４を動かす事によりウェハー保持具３をウェハー１
の所へ移動させる。その後ウェハー保持具３を使用して
ウェハーｌを保持。

固定した後、移載可動部４を動かしウェハー１を搬送装
置側へ移動させる。

前述の状態で移動部を動作させて別のウェハー処理装置
へ搬送装置を移動させた後、ウェハー１を保持、固定し
ているウェハー保持具３を、移載可動部４を動作させて
、別のキャリア２の中にウェハー１を移動させる。その
後、ウェハー保持具３の保持を中止し、移載可動部４を
動作させ、ウェハー保持具３をキャリア２から出し、移
動部５側へ収納する事によりキャリア２の中にウェハー
１を移し換える事ができる。

第２図は本発明の第２の実施例の縦断面図である。

ウェハー１１はキャリアＩ２の中に収納されており、キ
ャリア１２はウェハー処理装置１８上のキャリア置台１
７の上に置いである。ウェハー保持具１３はウェハー１
１を１枚づつ保持、固定する冶具であり、種々の形状、
形式があるが、本実施例では保持具表面に開口部を持ち
、この開口部をウェハー裏面に当てて、開口部より真空
吸着させる事によりウェハーを吸着する方式を取るもの
トスル。ウェハー保持具合１６には、ウェハー保持具１
３が−キャリアに収納されるウェハーと同数設けられて
いる。

搬送時には、移動部１５を動かし、搬送されるウェハー
の置いであるウェハー処理装置１８の所へ搬送装置が移
動し、移載可動部１４の動作により、搬送されるウェハ
ー１１を入れであるキャリア１２上へウェハー保持具１
３が、ウェハー１１を吸着できる様にウェハー保持具合
１６を移動させる。その後、ウェハー保持具１３ヘウェ
ハ−１１を吸着させ、移載可動部１４を動作させてウェ
ハー１１をウェハー保持具１３に吸着させたままキャリ
ア１２より取り出す。

次いで、移動部１５を動作させて、ウェハーを運搬する
別のウェハー処理装置へ搬送装置を移動させ、前のウェ
ハー処理装置よりウェハーを取り出した時と逆の順序で
ウェハー保持具台１３をウェハーを入れるキャリア上へ
移載可動部１４で移動させ、ウェハー保持具１３の吸着
を中止する事によりキャリア内へウェハー１１を収納し
、搬送を完了する。特にこの実施例では、多関節形の移
載可動部１４を使用する事により、ウェハーを保持する
時にウェハーを置く方向を自由に設定できる利点がある
。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、ウェハーをキャリア又は
ボックスに収納せずに直接搬送するので、ウェハーとキ
ャリアの接触に伴うウェハーの割れの発生や、キャリア
の塵埃をウェハーへ付着させるという事を防止できる効
果がある。

又、ウェハー自身を搬送する為、ウェハー処理装置ごと
に専用キャリアを使用している場合は、キャリア及びボ
ックス等にウェハーを入れて運ぶ場合に比べ、キャリア
及びボックス等からウェハーを取り出して専用キャリア
へ立て替える為の装置や時間を省くことができるという
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の縦断面図、第２図は本
発明の第２の実施例の縦断面図、第３図は従来の搬送装
置の正面図である。 １．１１．２１・・・・・・ウェハー、２，１２．２２
・・・・・・キャリア、３．１３・・・・・・ウェハー
保持具、４゜１４；２４・・・・・・移載可動部、５，
１５．２５・・・・・・移動部、６・・・・・・上面カ
バー、７，１７・・・・・・キャリア置台、８，１８．
２８・・・・・・ウェハー処理装置、９・・・・・・ボ
ックス置台、１０・・・・・・ボックス、１６・・・・
・・ウェハー保持具合。 代理人　弁理士　　内　原　　　晋 粥　ｌ　に 不２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェハーを収納するキャリアを搭載する移載可動部と、
   この可動部を備えた移動部とからなり、前記ウェハーを
   処理装置から他の処理装置へ搬送するためのウェハー搬
   送装置において、キャリアに収納され又は収納する個々
   のウェハーに対応し、これら複数のウェハーを同時に保
   持又は離脱せしめるウェハー保持具を前記移載可動部に
   設けたことを特徴とするウェハー搬送装置。