JP2536226Y2 - 湿度センサ - Google Patents

湿度センサ

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JP2536226Y2
JP2536226Y2 JP1991110095U JP11009591U JP2536226Y2 JP 2536226 Y2 JP2536226 Y2 JP 2536226Y2 JP 1991110095 U JP1991110095 U JP 1991110095U JP 11009591 U JP11009591 U JP 11009591U JP 2536226 Y2 JP2536226 Y2 JP 2536226Y2
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voltage
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士郎 中川
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    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
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    • G01N27/122Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits

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Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、各種電子機器等の湿度
を検出する湿度センサに関し、更に詳しくは、湿度の変
化に対して指数関数的に大幅にインピ−ダンスを変化さ
せる湿度センサ素子を使用した場合に、直線性の高い出
力電圧を得ると共に、温度影響も低減した湿度センサに
係る。
【0002】
【従来の技術】各種の電子機器、例えば複写機、プリン
タ等に用いられる湿度センサの内の一つに、湿度の変化
に対してインピ−ダンスが変化するインピ−ダンス変化
型の湿度センサ素子を利用したものが知られている。イ
ンピ−ダンス変化型の湿度センサ素子は、インピーダン
スが相対湿度に対して指数関数的に変化する性質をもっ
ているから、実際の使用に当っては、湿度センサ素子の
非直線性を補正し、湿度ー出力電圧特性を直線化しなけ
ればならない。直線化の手段としては、ログアンプを使
用するのが一般的であるが、最近、ログアンプを使用し
ない安価な直線化技術として、特開平3−123843
号公報、特開平3−125952号公報に開示された技
術が知られている。これらの先行技術文献においては、
電圧制御可変インピ−ダンス素子となるトランンジスタ
のベ−ス電圧とエミッタ電流との関係が指数関数特性と
なり、そのインピーダンスが指数関数的に変化すること
に着目し、湿度センサ素子の非直線性をトランジスタの
上記特性により補正するようにしたものである。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の湿度センサには、以下のような問題点がある。 (A)湿度ー出力電圧特性に関して、実用上要求される
程度の直線性は得られるが、トランジスタが湿度センサ
素子の非直線非性を完全に補正し得る特性を有すること
は稀であり、多くの場合、直線化できない領域が残るこ
とが分った。一般的にいって、トランジスタの非直線性
が湿度センサ素子の非直線性を補正するのに必要な値よ
りも不足する場合が多い。このため、より高度の直線性
を有する湿度センサを得ることが困難になっていた。 (B)電圧制御可変インピ−ダンス素子となるトランジ
スタの漏れ電流が大きいため、微分時定数が温度に影響
を受け、出力電圧の温度影響が大きい。
【0004】そこで、本考案の課題は、上述した従来の
問題点を解決し、インピ−ダンス変化型の湿度センサ素
子を使用した場合に、直線性の高い湿度−出力電圧特性
を得ると共に、温度影響を低減し得る湿度センサを提供
することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本考案は、湿度センサ素子と、インピ−ダンス−周
波数変換回路と、時定数制御微分回路と、波形整形回路
と、積分回路とを有する湿度センサであって、前記湿度
センサ素子は、インピ−ダンスが相対湿度に対して指数
関数的に変化するものであり、前記インピ−ダンス−周
波数変換回路は、前記湿度センサ素子のインピ−ダンス
に対応した周波数のパルス信号を発生させるものであ
り、前記時定数制御微分回路は、コンデンサと、電圧制
御可変インピ−ダンス素子と、非直線性インピ−ダンス
素子とを含み、前記パルス信号が入力されその微分信号
を出力するものであり、前記電圧制御可変インピ−ダン
ス素子は、主電極と制御電極とを有する三端子素子でな
り、インピ−ダンスが前記制御電極に印加される電圧に
より指数関数的に変化するものでなり、前記非直線性イ
ンピ−ダンス素子は、インピーダンスが印加電圧により
指数関数的に変化するものでなり、前記時定数制御微分
回路は、前記コンデンサと前記非直線性インピ−ダンス
素子とが前記主電極のそれぞれに直列に接続され、直列
接続された前記電圧制御可変インピ−ダンス素子と前記
非直線性インピ−ダンス素子との両端から前記パルス信
号を微分した微分信号を出力するものであり、前記波形
整形回路は、前記微分信号が入力され、所定電圧で前記
微分信号を二値化したパルス信号列を出力するものであ
り、前記積分回路は、前記パルス信号列が入力され、入
力された前記パルス信号列を積分し、積分して得られた
制御電圧を前記電圧制御可変インピ−ダンス素子の前記
制御電極に供給することを特徴とする。
【0006】
【作用】湿度センサ素子は、インピ−ダンスが相対湿度
に対して指数関数的に変化し、インピ−ダンス−周波数
変換回路は、湿度センサ素子のインピ−ダンスに対応し
た周波数のパルス信号を発生させるから、インピ−ダン
ス−周波数変換回路から周波数が相対湿度に対して指数
関数的に変化するパルス信号が得られる。
【0007】電圧制御可変インピ−ダンス素子は、主電
極と制御電極とを有する三端子素子でなり、インピ−ダ
ンスが制御電極に印加される電圧により指数関数的に変
化し、非直線性インピ−ダンス素子は、インピ−ダンス
が印加電圧により指数関数的に変化し、時定数制御微分
回路は、パルス信号が入力され、コンデンサと非直線性
インピ−ダンス素子とが主電極のそれぞれに直列に接続
され、直列接続された電圧制御可変インピ−ダンス素子
と前記非直線性インピ−ダンス素子との両端からパルス
信号を微分した微分信号を出力するから、電圧制御可変
インピ−ダンス素子及び非直線性インピ−ダンス素子の
インピ−ダンス変化に追従し、時定数が指数関数的に変
化する微分信号が得られる。このため、非直線性インピ
−ダンス素子は、従来の電圧制御可変インピ−ダンス素
子が湿度センサ素子の非直線性を補正するにあたり、不
足していた非直線性を補う作用をする。
【0008】波形整形回路は、時定数が指数関数的に変
化する微分信号が入力され、所定電圧で微分信号を二値
化したパルス信号列を出力するようになっているから、
波形整形回路から、パルス信号の信号幅を周波数に対し
て対数的に圧縮した信号幅を有するパルス信号列が得ら
れる。
【0009】積分回路は、入力されたパルス信号列を積
分し、積分して得られた制御電圧を電圧可変インピ−ダ
ンス素子の制御端子に供給するようになっているから、
時定数制御微分回路に負帰還をかける。
【0010】これにより、パルス信号列を積分回路等で
処理すると直線化された湿度−出力電圧特性が得られ
る。しかも、非直線性インピ−ダンス素子が電圧制御可
変インピ−ダンス素子の補完的的役割を果たすので、従
来よりも直線性の高い湿度−出力電圧特性が得られる。
【0011】非直線性インピ−ダンス素子を電圧制御可
変インピ−ダンス素子に直列に接続したので、合成イン
ピ−ダンスが大きくなり、電圧制御可変インピ−ダンス
素子の温度による漏れ電流を抑制し、出力電圧の温度影
響を低減する。
【0012】
【実施例】図1は本考案に係る湿度センサの構成を示す
ブロック図である。図において、1は湿度センサ素子、
2はインピ−ダンス−周波数変換回路(以下「z−f変
換回路」と称する。)、3は時定数制御微分回路、4は
波形整形回路、5は積分回路である。
【0013】湿度センサ素子1は、インピ−ダンスZs
が相対湿度に対して指数関数的に変化する。本実施例の
湿度センサ素子1は、高分子材料でなり、高湿度ではイ
ンピ−ダンスが低く、低湿度ではインピ−ダンスが高く
なる。具体的には、インピ−ダンスが104 〔Ω〕〜1
7 〔Ω〕の範囲で変化する。
【0014】z−f変換回路2は、湿度センサ素子1の
インピ−ダンスZs に対応した周波数のパルス信号S1
を発生させる。インピ−ダンスZs が低いときは周波数
が高くなり、インピ−ダンスZs が高いときは周波数が
低くなる。
【0015】時定数制御微分回路3は、コンデンサ31
と、電圧制御可変インピ−ダンス素子32と、非直線性
インピ−ダンス素子33とを含んでいる。電圧制御可変
インピ−ダンス素子32は、主電極321、322と制
御電極323とを有する三端子素子でなり、インピ−ダ
ンスZt が制御電極323に印加される制御電圧Vcに
より指数関数的に変化する。非直線性インピ−ダンス素
子33は、インピ−ダンスZd が印加電圧により指数関
数的に変化する。コンデンサ31と非直線性インピ−ダ
ンス素子33とが主電極321、322のそれぞれに直
列に接続され、直列接続された電圧制御可変インピ−ダ
ンス素子32と非直線性インピ−ダンス素子33との両
端から入力されたパルス信号S1を微分した微分信号S
2を出力する。
【0016】波形整形回路4は、微分信号S2が入力さ
れ、所定電圧で微分信号S2を二値化したパルス信号列
S3を出力する。
【0017】積分回路5は、入力されたパルス信号列S
3を積分し、積分して得た制御電圧Vc を電圧制御可変
インピ−ダンス素子32の制御電極323に供給する。
具体的には、抵抗51とコンデンサ52とで構成し、コ
ンデンサ52の端子電圧を制御電圧Vc としている。
【0018】上述したように、湿度センサ素子1は、イ
ンピ−ダンスZs が相対湿度に対して指数関数的に変化
し、z−f変換回路2は、湿度センサ素子1のインピ−
ダンスZs に対応した周波数のパルス信号S1を発生さ
せるから、z−f変換回路2から周波数が相対湿度に対
して指数関数的に変化するパルス信号S1が得られる。
【0019】電圧制御可変インピ−ダンス素子32は、
インピ−ダンスZt が制御電極323に印加される制御
電圧Vc により指数関数的に変化し、非直線性インピ−
ダンス素子33は、インピ−ダンスZd が印加電圧によ
り指数関数的に変化し、時定数制御微分回路3は、パル
ス信号S1が入力され、コンデンサ31と非直線性イン
ピ−ダンス素子33とが主電極321、322のそれぞ
れに直列に接続され、直列接続された電圧制御可変イン
ピ−ダンス素子32と非直線性インピ−ダンス素子33
との両端からパルス信号S1を微分した微分信号S2を
出力するから、電圧制御可変インピ−ダンス素子32及
び非直線性インピ−ダンス素子33のインピ−ダンス変
化に追従し、時定数が指数関数的に変化する微分信号S
2が得られる。このため、非直線性インピ−ダンス素子
33は、従来の電圧制御可変インピ−ダンス素子32が
湿度センサ素子1の非直線性を補正するにあたり、不足
していた非直線性を補う作用をする。
【0020】波形整形回路4は、時定数が指数関数的に
変化する微分信号S2が入力され、所定電圧で微分信号
S2を二値化したパルス信号列S3を出力するようにな
っているから、波形整形回路4から、パルス信号S1の
信号幅を周波数に対して対数的に圧縮した信号幅を有す
るパルス信号列S3が得られる。
【0021】積分回路5は、入力されたパルス信号列S
3を積分して制御電圧Vc を得て、制御電圧Vc を電圧
制御可変インピ−ダンス素子32の制御端子333に供
給するようになっているから、時定数制御微分回路3に
負帰還をかける。
【0022】これにより、パルス信号列S3を積分回路
等で処理すると直線化された湿度−出力電圧特性が得ら
れる。しかも、非直線性インピ−ダンス素子33が電圧
制御可変インピ−ダンス素子32の補完的的役割を果た
すので、従来よりも直線性の高い湿度−出力電圧特性が
得られる。
【0023】非直線性インピ−ダンス素子33を電圧制
御可変インピ−ダンス素子32に直列接続したので、合
成インピ−ダンスが大きくなり、電圧制御可変インピ−
ダンス素子32の温度による漏れ電流を抑制し、湿度−
出力電圧特性に対する温度影響を低減する。
【0024】更に実施例では、電圧制御可変インピ−ダ
ンス素子32がトランジスタ320でなり、非直線性イ
ンピ−ダンス素子33がダイオ−ド331でなる。トラ
ンジスタ320は、コレクタが主電極321、エミッタ
が主電極322、ベ−スが制御電極323となる。ダイ
オ−ド331のアノ−ドがトランジスタ320のエミッ
タ側に接続され、コンデンサ31がトランジスタ320
のコレクタ側に接続されている。制御電圧Vc は、トラ
ンジスタ320のベ−スに供給される。ダイオ−ド33
1として、シリコンダイオ−ド、ショットキ−バリア・
ダイオ−ド等が使用可能である。
【0025】トランジスタ320のベ−ス電圧とエミッ
タ電流との関係が指数関数特性となるので、ベ−スに供
給される制御電圧Vc に従いトランジスタ320の動作
状態のインピ−ダンスZt も指数関数的に変化する。ダ
イオ−ド331は順電圧と順電流との関係が指数関数特
性となるので、ダイオ−ド331の動作状態のインピ−
ダンスZd も指数関数的に変化する。これにより、時定
数制御微分回路3は時定数が指数関数的に変化する微分
信号S2を出力する。
【0026】図2は本考案に係る湿度センサの別の実施
例の構成を示すブロック図である。図において、図1と
同一参照符号は同一性ある構成部分を示す。本実施例で
は、時定数制御微分回路3にインピ−ダンス調整回路3
4を設けてある。インピ−ダンス調整回路34は、非直
線性インピ−ダンス素子33に並列に接続され、非直線
性インピ−ダンス素子33との合成インピ−ダンスを変
化させる。これにより、非直線性インピ−ダンス素子3
3によるインピ−ダンスの補正量が多すぎた場合に、イ
ンピ−ダンス調整回路34が合成インピ−ダンスを小さ
くさせるので適切な補正が可能となる。インピ−ダンス
調整回路34として、コンデンサが最適である。その
他、抵抗、ダイオ−ド単体で構成し、またはこれらとコ
ンデンサとを組合せて構成することも可能である。
【0027】更に、本実施例では、パルス信号列S3を
積分して出力電圧を得る出力回路6を有している。出力
回路6は抵抗61とコンデンサ62とを有し積分回路を
構成してある。積分回路5と出力回路6とを分離したの
は、積分回路5が出力回路6に接続される回路の影響を
受けないようにし、時定数を互いに最適なものとするた
めである。従って、積分回路5と出力回路6とを共通化
することも可能である。
【0028】図3は本考案に係る湿度センサの具体的な
回路図である。図において、図1、図2と同一参照符号
は同一性ある構成部分を示している。
【0029】z−f変換回路2は、シュミットトリガ2
1、バッファ22、抵抗23、サ−ミスタ24、コンデ
ンサ25、コンデンサ26を有している。湿度センサ素
子1と、サ−ミスタ24と、コンデンサ25とが直列に
接続され、湿度センサ素子1の一端がシュミットトリガ
21の入力端子に接続され、コンデンサ25の一端がバ
ッファ22の出力端子に接続されている。シュミットト
リガ21、バッファ22はCMOS、TTL等のICが
用いられる。サ−ミスタ24は湿度センサ素子1のイン
ピ−ダンスZs の温度補償をするために設けてある。コ
ンデンサ25は直流カットのために設けてある。バッフ
ァ22はシュミットトリガ21の出力インピ−ダンスを
下げると共に、波形整形をするために設けてある。抵抗
23は一端がシュミットトリガ21の入力端子に接続さ
れ、他端がバッファ22の出力端子に接続されている。
コンデンサ26の一端がシュミットトリガ21の入力端
子に接続されている。これにより、z−f変換回路2
は、湿度センサ素子1、抵抗23、サ−ミスタ24及び
コンデンサ25のインピ−ダンスと、コンデンサ26の
インピ−ダンスとの関係により発振し、湿度センサ素子
1のインピ−ダンス変化に従った周波数のパルス信号S
1を出力する。
【0030】波形整形回路4は、バッファ41により構
成されている。バッファ41は、CMOS、TTL等の
ICが用いられ、スレショルドレベルを所定の電圧とし
て微分信号S2を二値化し、パルス信号列S3を出力す
る。
【0031】出力回路6は、抵抗63、サ−ミスタ64
を有している。抵抗63、サ−ミスタ64は、出力電圧
の温度補償をしている。
【0032】図4は本考案に係る湿度センサの湿度−出
力電圧特性図、図5は従来の湿度センサの湿度−出力電
圧特性図である。本考案に係る湿度センサは、非直線性
インピ−ダンス素子33としてダイオ−ド331、イン
ピ−ダンス調整回路34としてコンデンサ341を用い
ている。
【0033】図5に示すように、従来の湿度センサは、
湿度が40〜70%の範囲で電圧制御可変インピ−ダン
ス素子32の補正量が不足していたため、湿度−出力電
圧特性が低下していた。本考案に係る湿度センサは、非
直線性インピ−ダンス素子33が電圧制御可変インピ−
ダンス素子32の補正量の不足を補っているので、図4
に示すように、湿度が40〜70%の範囲で出力電圧が
上昇し、高度に直線化された湿度−出力電圧特性が得ら
れる。
【0034】図6は本考案に係る湿度センサの温度−出
力電圧特性図、図7は従来の湿度センサの温度−出力電
圧特性図である。
【0035】図7に示すように、従来の湿度センサは、
高湿度側で出力電圧の低下が著しくなっている。本考案
に係る湿度センサは、ダイオ−ド331をトランジスタ
320に直列に接続し、両者の合成インピ−ダンスを増
加させてあるので、トランジスタ320の漏れ電流を抑
制し、出力電圧の低下を防止し、図6に示すように、ほ
ぼ直線となる温度−出力電圧特性が得られる。
【0036】
【考案の効果】以上述べたように、本考案によれば、以
下のような効果が得られる。 (a)電圧制御可変インピ−ダンス素子は、主電極と制
御電極とを有する三端子素子でなり、インピ−ダンスが
制御電極に印加される電圧により指数関数的に変化し、
非直線性インピ−ダンス素子は、インピ−ダンスが印加
電圧により指数関数的に変化し、時定数制御微分回路
は、パルス信号が入力され、コンデンサと非直線性イン
ピ−ダンス素子とが主電極のそれぞれに直列に接続さ
れ、直列接続された電圧制御可変インピ−ダンス素子と
前記非直線性インピ−ダンス素子との両端からパルス信
号を微分した微分信号を出力するから、非直線性インピ
−ダンス素子が、電圧制御可変インピ−ダンス素子の不
足していた非直線性を補ない、直線性の高い湿度−出力
電圧特性を得る湿度センサを提供できる。 (b)非直線性インピ−ダンス素子を電圧制御可変イン
ピ−ダンス素子に直列接続したから、電圧制御可変イン
ピ−ダンス素子の温度による漏れ電流を抑制し、出力電
圧の温度影響を低減し得る湿度センサを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案に係る湿度センサの構成を示すブロック
図である。
【図2】本考案に係る湿度センサの別の実施例の構成を
示すブロック図である。
【図3】本考案に係る湿度センサの具体的な回路図であ
る。
【図4】本考案に係る湿度センサの湿度−出力電圧特性
図である。
【図5】従来の湿度センサの湿度−出力電圧特性図であ
る。
【図6】本考案に係る湿度センサの温度−出力電圧特性
図である。
【図7】従来の湿度センサの温度−出力電圧特性図であ
る。
【符号の説明】
1 湿度センサ素子 2 z−f変換回路 3 時定数制御微分回路 31 コンデンサ 32 電圧制御可変インピ−ダンス素子 320 トランジスタ 321、322 主電極 323 制御電極 33 非直線性インピ−ダンス素子 331 ダイオ−ド 34 インピ−ダンス調整回路 4 波形整形回路 5 積分回路 S1 パルス信号 S2 微分信号 S3 パルス信号列 Vc 制御電圧

Claims (6)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 湿度センサ素子と、インピ−ダンス−周
    波数変換回路と、時定数制御微分回路と、波形整形回路
    と、積分回路とを有する湿度センサであって、 前記湿度センサ素子は、インピ−ダンスが相対湿度に対
    して指数関数的に変化するものであり、 前記インピ−ダンス−周波数変換回路は、前記湿度セン
    サ素子のインピ−ダンスに対応した周波数のパルス信号
    を発生させるものであり、 前記時定数制御微分回路は、コンデンサと、電圧制御可
    変インピ−ダンス素子と、非直線性インピ−ダンス素子
    とを含み、前記パルス信号が入力されその微分信号を出
    力するものであり、 前記電圧制御可変インピ−ダンス素子は、主電極と制御
    電極とを有する三端子素子でなり、インピ−ダンスが前
    記制御電極に印加される電圧により指数関数的に変化す
    るものでなり、 前記非直線性インピ−ダンス素子は、インピーダンスが
    印加電圧により指数関数的に変化するものでなり、 前記時定数制御微分回路は、前記コンデンサと前記非直
    線性インピ−ダンス素子とが前記主電極のそれぞれに直
    列に接続され、直列接続された前記電圧制御可変インピ
    −ダンス素子と前記非直線性インピ−ダンス素子との両
    端から前記パルス信号を微分した微分信号を出力するも
    のであり、 前記波形整形回路は、前記微分信号が入力され、所定電
    圧で前記微分信号を二値化したパルス信号列を出力する
    ものであり、 前記積分回路は、前記パルス信号列が入力され、入力さ
    れた前記パルス信号列を積分し、積分して得られた制御
    電圧を前記電圧制御可変インピ−ダンス素子の前記制御
    電極に供給することを特徴とする湿度センサ。
  2. 【請求項2】 前記電圧制御可変インピ−ダンス素子
    は、トランジスタでなり、前記非直線性インピ−ダンス
    素子は、ダイオ−ドでなり、前記ダイオ−ドのアノ−ド
    が前記トランジスタのエミッタ側に接続され、前記コン
    デンサが前記トランジスタのコレクタ側に接続されてお
    り、 前記制御電圧は、前記トランジスタのベ−スに供給され
    ることを特徴とする請求項1に記載の湿度センサ。
  3. 【請求項3】 前記時定数制御微分回路は、インピ−ダ
    ンス調整回路を有し、前記インピ−ダンス調整回路が前
    記非直線性インピ−ダンス素子に並列に接続されている
    ことを特徴とする請求項1または2に記載の湿度セン
    サ。
  4. 【請求項4】 前記インピ−ダンス調整回路は、コンデ
    ンサを含むことを特徴とする請求項3に記載の湿度セン
    サ。
  5. 【請求項5】 前記インピ−ダンス調整回路は、抵抗を
    含むことを特徴とする請求項3または4に記載の湿度セ
    ンサ。
  6. 【請求項6】 前記インピ−ダンス調整回路は、ダイオ
    −ドを含むことを特徴とする請求項3、4または5に記
    載の湿度センサ。
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