JP2534153B2 - 超音波洗浄・乾燥装置 - Google Patents
超音波洗浄・乾燥装置Info
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- JP2534153B2 JP2534153B2 JP2081141A JP8114190A JP2534153B2 JP 2534153 B2 JP2534153 B2 JP 2534153B2 JP 2081141 A JP2081141 A JP 2081141A JP 8114190 A JP8114190 A JP 8114190A JP 2534153 B2 JP2534153 B2 JP 2534153B2
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- cleaning
- tank
- cleaning tank
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- ultrasonic
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、特に金属加工部品、装置（中空部材の長尺
物を含む）等のオーバーホール時の油脂、カーボン等の
付着した物の洗浄に有効な超音波洗浄、乾燥装置に関す
るものである。
物を含む）等のオーバーホール時の油脂、カーボン等の
付着した物の洗浄に有効な超音波洗浄、乾燥装置に関す
るものである。
（従来の技術） 従来の装置は、主に油脂の除去には、蒸留再生のでき
る有機溶剤（例えば、ハロゲン化炭化水素、トリクロロ
エチレン、１−１−１−トリクロロエタン、フロン11
3、メチレンクロライド等）を用い、超音波洗浄槽部、
蒸気発生槽部よりなる洗浄装置を用いて、超音波洗浄
後、超音波洗浄槽部より引き上げ、超音波洗浄槽部の上
部で洗浄を行うか、又は、自然乾燥を行うようになって
いた。
る有機溶剤（例えば、ハロゲン化炭化水素、トリクロロ
エチレン、１−１−１−トリクロロエタン、フロン11
3、メチレンクロライド等）を用い、超音波洗浄槽部、
蒸気発生槽部よりなる洗浄装置を用いて、超音波洗浄
後、超音波洗浄槽部より引き上げ、超音波洗浄槽部の上
部で洗浄を行うか、又は、自然乾燥を行うようになって
いた。
（発明が解決しようとする課題） 前記従来の装置にあっては、装置の高さが高くなり、
又、蒸気洗浄に用いる有機溶剤を凝縮させるために、冷
却水が必要となる。
又、蒸気洗浄に用いる有機溶剤を凝縮させるために、冷
却水が必要となる。
又、カーボンを除去するためには、特殊な有機溶剤を
主体とするカーボン除去剤にて、浸漬洗浄、超音波洗浄
等を行った後、前記有機溶剤の洗浄装置にて洗浄を行っ
ていた。
主体とするカーボン除去剤にて、浸漬洗浄、超音波洗浄
等を行った後、前記有機溶剤の洗浄装置にて洗浄を行っ
ていた。
そして、前記の洗浄でハロゲン化炭化水素を用いる洗
浄方法において、トリクロロエチレン、１−１−１−ト
リクロロエタン等は有害であり、人体に対する安全面に
問題を有し、取扱いにも充分な配慮が要求される。
浄方法において、トリクロロエチレン、１−１−１−ト
リクロロエタン等は有害であり、人体に対する安全面に
問題を有し、取扱いにも充分な配慮が要求される。
又、フロン溶剤は、オゾン層破壊原因物質とされてお
り、その取扱に制限を受ける。
り、その取扱に制限を受ける。
更に、カーボン除去用の溶剤も、安全、環境面で問題
がある。
がある。
更に又、金属物品をハロゲン化炭化水素で洗浄する
と、安全脱脂が行われると、保管雰囲気によっては、発
錆も生じるという問題点もある。
と、安全脱脂が行われると、保管雰囲気によっては、発
錆も生じるという問題点もある。
そこで、本発明においては、超音波洗浄槽内で、防錆
効果のある水溶性洗剤を用いて、高圧シヤワー洗浄、超
音波洗浄を行い、洗浄完了後、洗浄液を付属タンクに移
送し、同一洗浄槽内で温風により被洗浄物を乾燥させる
ことができる超音波洗浄、乾燥装置を提供するのが目的
である。
効果のある水溶性洗剤を用いて、高圧シヤワー洗浄、超
音波洗浄を行い、洗浄完了後、洗浄液を付属タンクに移
送し、同一洗浄槽内で温風により被洗浄物を乾燥させる
ことができる超音波洗浄、乾燥装置を提供するのが目的
である。
（課題を解決するための手段） 本発明における超音波洗浄、乾燥装置は、底面に複数
個の超音波振動子を設けた洗浄槽と、洗浄槽の底と、洗
浄槽の上方に設置した複数個のスプレイノズルと底部と
に夫々別体の電磁弁と高圧ポンプを介して連通した水溶
性洗剤の洗浄液を貯留する洗浄液付属タンクと、洗浄槽
内を昇降する被洗浄物を投入する洗浄バスケットと、洗
浄槽の一方に送風口を他方に排風口を設け、両口を連通
するブロワーと乾燥用ヒーターを有するダクトホースと
から成るものである。
個の超音波振動子を設けた洗浄槽と、洗浄槽の底と、洗
浄槽の上方に設置した複数個のスプレイノズルと底部と
に夫々別体の電磁弁と高圧ポンプを介して連通した水溶
性洗剤の洗浄液を貯留する洗浄液付属タンクと、洗浄槽
内を昇降する被洗浄物を投入する洗浄バスケットと、洗
浄槽の一方に送風口を他方に排風口を設け、両口を連通
するブロワーと乾燥用ヒーターを有するダクトホースと
から成るものである。
（作 用） 本発明は前記のように構成したもので、洗浄バスケッ
トに被洗浄物を投入した後、洗浄バスケットを下降させ
て下部位置にセットする。その後、洗浄液付属タンクの
水溶性洗剤の洗浄液を高圧ポンプによりスプレーノズル
から被洗浄物に噴射して高圧スプレー洗浄を行う。
トに被洗浄物を投入した後、洗浄バスケットを下降させ
て下部位置にセットする。その後、洗浄液付属タンクの
水溶性洗剤の洗浄液を高圧ポンプによりスプレーノズル
から被洗浄物に噴射して高圧スプレー洗浄を行う。
洗浄液が洗浄槽内に所定量貯留された後に超音波振動
子を発振させて、超音波洗浄を行い、所定時間の洗浄が
終った後に、洗浄槽内の洗浄液を高圧ポンプにより洗浄
液付属タンクに戻す。
子を発振させて、超音波洗浄を行い、所定時間の洗浄が
終った後に、洗浄槽内の洗浄液を高圧ポンプにより洗浄
液付属タンクに戻す。
次に洗浄バスケットを上昇させ、上部位置において、
ブロワー及び乾燥用ヒーターを作動して洗浄槽内の空気
を排風口から吸引し、乾燥用ヒーターで加熱し、高温の
乾燥用空気を送風口から被洗浄物に送風する循環作用で
被洗浄物を乾燥させる。
ブロワー及び乾燥用ヒーターを作動して洗浄槽内の空気
を排風口から吸引し、乾燥用ヒーターで加熱し、高温の
乾燥用空気を送風口から被洗浄物に送風する循環作用で
被洗浄物を乾燥させる。
（実施例） 本発明の実施例を図面に基いて詳細に説明する。
１は洗浄槽で、上端開口部を蓋２で被うようになって
いる。洗浄槽１内には被洗浄物を入れる洗浄バスケット
３を昇降及び揺動させる昇降及び揺動機構４を設置して
おり、底面には複数個の超音波振動子51,52,…54を取付
けている。そして、洗浄槽１の高さ方向における途中か
らオーバフローさせた洗浄液６を受ける洗浄液加熱槽７
を洗浄槽１の側方に設置し、洗浄液６の温度が低下した
時に加熱する加熱ヒーター８を内部に設置している。
いる。洗浄槽１内には被洗浄物を入れる洗浄バスケット
３を昇降及び揺動させる昇降及び揺動機構４を設置して
おり、底面には複数個の超音波振動子51,52,…54を取付
けている。そして、洗浄槽１の高さ方向における途中か
らオーバフローさせた洗浄液６を受ける洗浄液加熱槽７
を洗浄槽１の側方に設置し、洗浄液６の温度が低下した
時に加熱する加熱ヒーター８を内部に設置している。
洗浄液加熱槽７は途中に循環ポンプ９を設けた導管10
を設け、この導管10を分岐させて分岐管11,11′を設
け、一方に夫々フィルター12,12′を設け、先端に洗浄
槽１内に開口する供給口13,13′を設けている。
を設け、この導管10を分岐させて分岐管11,11′を設
け、一方に夫々フィルター12,12′を設け、先端に洗浄
槽１内に開口する供給口13,13′を設けている。
一方、洗浄槽１とは別体に洗浄液付属タンク14を設置
し、内部に加熱ヒーター15を設置し、底部に三方切換電
磁弁16を介して洗浄槽１の底部と連通する導管17を取付
け、洗浄液付属タンク14の上方に開口した導管18は途中
に三方切換電磁弁19を設け、洗浄槽１の上部に開口した
複数個のスプレイノズル201,202…204に連通し、更に洗
浄槽１の側方に設けたスプレイノズル21とも連通してい
る。
し、内部に加熱ヒーター15を設置し、底部に三方切換電
磁弁16を介して洗浄槽１の底部と連通する導管17を取付
け、洗浄液付属タンク14の上方に開口した導管18は途中
に三方切換電磁弁19を設け、洗浄槽１の上部に開口した
複数個のスプレイノズル201,202…204に連通し、更に洗
浄槽１の側方に設けたスプレイノズル21とも連通してい
る。
尚、前記両三方切換電磁弁16,19は高圧ポンプ22に連
結している。
結している。
又、洗浄槽１の上端の一方に送風口23を他方に排風口
24を夫々開口し、排風口24からダクトホース25でブロワ
ー26及び乾燥用ヒータ27を介して送風口23に連通してい
る。そして、ブロワー26の排出口24側に空気を導入する
空気配給管28をダクトホース25に連結し、ブロワー26と
乾燥用ヒータ27間のダクトホース25に空気排出管29に連
結している。
24を夫々開口し、排風口24からダクトホース25でブロワ
ー26及び乾燥用ヒータ27を介して送風口23に連通してい
る。そして、ブロワー26の排出口24側に空気を導入する
空気配給管28をダクトホース25に連結し、ブロワー26と
乾燥用ヒータ27間のダクトホース25に空気排出管29に連
結している。
前記昇降及び揺動機構４は第2,3図に示すように構成
している。
している。
即ち、洗浄槽１の後方に設けた基枠30に２本の昇降案
内棒31,31′を垂直に固定し、両昇降案内棒31,31′に洗
浄バスケット３に固定した鍵型の保持部材32,32′を嵌
入している。
内棒31,31′を垂直に固定し、両昇降案内棒31,31′に洗
浄バスケット３に固定した鍵型の保持部材32,32′を嵌
入している。
両昇降案内棒31,31′の後方の両側上下に昇降用スプ
ロケットホイル33,33′を設け、この昇降用スプロケッ
トホイル33,33′にチェーン34を纏懸し、チェーン34に
保持部材32,32′に固定した突片35を固定している。そ
して、上側の昇降用スプロケットホイル33と同軸に駆動
用スプロケットホイル36を軸着し、駆動モータ37のスプ
ロケットホイル38との間にチェーン39を掛け、駆動モー
ター37の駆動でチェーン34を駆動して洗浄バスケット３
を昇降させる。
ロケットホイル33,33′を設け、この昇降用スプロケッ
トホイル33,33′にチェーン34を纏懸し、チェーン34に
保持部材32,32′に固定した突片35を固定している。そ
して、上側の昇降用スプロケットホイル33と同軸に駆動
用スプロケットホイル36を軸着し、駆動モータ37のスプ
ロケットホイル38との間にチェーン39を掛け、駆動モー
ター37の駆動でチェーン34を駆動して洗浄バスケット３
を昇降させる。
又、下側の両昇降用スプロケットホイル33′と同軸に
自由に回転できる振動用スプロケットホイル40を夫々設
け、この両揺動用スプロケットホイル40に偏心カム41を
固定し、前記保持部材32,32′に固定した乗架片42（第
３図参照）に取付けたローラ43を偏心カム41に当接して
いる。そして揺動用スプロケットホイル40と駆動モータ
44のスプロケットホイル45との間にチェーン46を掛け、
駆動モータ42を駆動することにより、偏心カム41を回転
させて下降位置（洗浄位置）にある洗浄バスケット３を
揺動させて洗浄効果を促進させる。
自由に回転できる振動用スプロケットホイル40を夫々設
け、この両揺動用スプロケットホイル40に偏心カム41を
固定し、前記保持部材32,32′に固定した乗架片42（第
３図参照）に取付けたローラ43を偏心カム41に当接して
いる。そして揺動用スプロケットホイル40と駆動モータ
44のスプロケットホイル45との間にチェーン46を掛け、
駆動モータ42を駆動することにより、偏心カム41を回転
させて下降位置（洗浄位置）にある洗浄バスケット３を
揺動させて洗浄効果を促進させる。
本実施例は前記のように構成したもので、洗浄に際し
ては洗浄液付属タンク14で加熱ヒーター15により洗浄液
６を所定温度に上昇させておく。そして、蓋２を開いて
洗浄バスケット３内に被洗浄物を投入し、スタートスイ
ッチを押すと、昇降及び揺動機構４で洗浄バスケット３
を破線で示す下降位置まで下降させる。次に、三方切換
電磁弁19を閉じ、三方切換電磁弁16が開となり高圧ポン
プ22が作動し、洗浄液付属タンク14内の加温された洗浄
液６が三方切換電磁弁16及び三方切換電磁弁19を通り導
管18から複数個のスプレイノズル201,202…204及び21か
ら洗浄バスケット３内の被洗浄物に噴射し、被洗浄物を
高圧スプレー洗浄を行いながら、洗浄槽１内に洗浄液６
を貯液する。そして、洗浄槽１及び洗浄液加熱槽７の液
深が所定位置になると、高圧ポンプ22が停止し、三方切
換電磁弁19を閉じ循環ポンプ９が作動する。
ては洗浄液付属タンク14で加熱ヒーター15により洗浄液
６を所定温度に上昇させておく。そして、蓋２を開いて
洗浄バスケット３内に被洗浄物を投入し、スタートスイ
ッチを押すと、昇降及び揺動機構４で洗浄バスケット３
を破線で示す下降位置まで下降させる。次に、三方切換
電磁弁19を閉じ、三方切換電磁弁16が開となり高圧ポン
プ22が作動し、洗浄液付属タンク14内の加温された洗浄
液６が三方切換電磁弁16及び三方切換電磁弁19を通り導
管18から複数個のスプレイノズル201,202…204及び21か
ら洗浄バスケット３内の被洗浄物に噴射し、被洗浄物を
高圧スプレー洗浄を行いながら、洗浄槽１内に洗浄液６
を貯液する。そして、洗浄槽１及び洗浄液加熱槽７の液
深が所定位置になると、高圧ポンプ22が停止し、三方切
換電磁弁19を閉じ循環ポンプ９が作動する。
循環ポンプ９の作動により洗浄液６は、洗浄液加熱槽
７から吸引され、フィルター12.12′で濾過され洗浄槽
１の側面に開口した供給口13,13′から洗浄槽１に供給
され、洗浄槽１内の洗浄液６はオーバーフローして洗浄
液加熱槽７へ流下し、洗浄槽１との洗浄液加熱槽７との
間を循環する。洗浄液加熱槽７内に設置された加熱ヒー
ター９は洗浄液６が規定液温より低下した時に作動して
洗浄液６を加熱し、規定温度になると停止する。
７から吸引され、フィルター12.12′で濾過され洗浄槽
１の側面に開口した供給口13,13′から洗浄槽１に供給
され、洗浄槽１内の洗浄液６はオーバーフローして洗浄
液加熱槽７へ流下し、洗浄槽１との洗浄液加熱槽７との
間を循環する。洗浄液加熱槽７内に設置された加熱ヒー
ター９は洗浄液６が規定液温より低下した時に作動して
洗浄液６を加熱し、規定温度になると停止する。
洗浄槽１及び洗浄液加熱槽７の液深が所定位置になっ
た時点で、洗浄槽１内の複数個の超音波振動子51,52…5
4が発振し、超音波洗浄が開始される。超音波洗浄の
際、洗浄バスケット３は昇降及び揺動機構４により、昇
降及び揺動を行って洗浄効果を高める。
た時点で、洗浄槽１内の複数個の超音波振動子51,52…5
4が発振し、超音波洗浄が開始される。超音波洗浄の
際、洗浄バスケット３は昇降及び揺動機構４により、昇
降及び揺動を行って洗浄効果を高める。
所定の洗浄時間終了後、循環ポンプ９が停止し、三方
切換電磁弁16,19が切換り、高圧ポンプ22が作動して、
洗浄槽１の底から導管17、三方切換電磁弁16,19を通り
洗浄液付属タンク14の上方へ洗浄液６を送り回収を行
う。
切換電磁弁16,19が切換り、高圧ポンプ22が作動して、
洗浄槽１の底から導管17、三方切換電磁弁16,19を通り
洗浄液付属タンク14の上方へ洗浄液６を送り回収を行
う。
洗浄液６が洗浄液付属タンク14に回収されると、高圧
ポンプ22が停止し、三方切換電磁弁16,19が切換わる。
この時ブロワー26が作動すると共に乾燥用ヒーター27も
作動し、乾燥用空気が送風口23から洗浄槽１内に送り込
まれる。この時洗浄バスケット３は上部位置に上昇し、
送風口23により送り込まれた加熱空気により、洗浄バス
ケット３内の被洗浄物の乾燥が開始される。
ポンプ22が停止し、三方切換電磁弁16,19が切換わる。
この時ブロワー26が作動すると共に乾燥用ヒーター27も
作動し、乾燥用空気が送風口23から洗浄槽１内に送り込
まれる。この時洗浄バスケット３は上部位置に上昇し、
送風口23により送り込まれた加熱空気により、洗浄バス
ケット３内の被洗浄物の乾燥が開始される。
洗浄槽１内に送り込まれた加熱空気は、排風口24から
ブロワー26の吸引力でダクトホース25に吸引され、ブロ
ワー26、乾燥用ヒーター27、洗浄槽１の間で循環され
る。循環する乾燥空気は、循環中に湿気を含んでくるの
で、一部新鮮な空気を空気供給管28から取り入れ、一部
湿気を含んだ空気を空気排出管29から外部に排出する。
ブロワー26の吸引力でダクトホース25に吸引され、ブロ
ワー26、乾燥用ヒーター27、洗浄槽１の間で循環され
る。循環する乾燥空気は、循環中に湿気を含んでくるの
で、一部新鮮な空気を空気供給管28から取り入れ、一部
湿気を含んだ空気を空気排出管29から外部に排出する。
所定の乾燥時間経過後、乾燥用ヒーター27、ブロワー
26を停止する。一連の洗浄、乾燥動作が終了した後に蓋
２を開け、被洗浄物を洗浄バスケット３から取り出す。
26を停止する。一連の洗浄、乾燥動作が終了した後に蓋
２を開け、被洗浄物を洗浄バスケット３から取り出す。
（発明の効果） 本発明は前記のような構成、作用を有するもので、一
つの洗浄槽内で防錆効果のある水溶性洗浄剤でスプレー
洗浄、超音波洗浄を行った後、乾燥まで行うことができ
るので、金属部品の発錆の恐れがなく、安全に洗浄を行
うことができる。
つの洗浄槽内で防錆効果のある水溶性洗浄剤でスプレー
洗浄、超音波洗浄を行った後、乾燥まで行うことができ
るので、金属部品の発錆の恐れがなく、安全に洗浄を行
うことができる。
尚、乾燥空気の循環により被洗浄物の乾燥を行うの
で、被洗浄物の隙間或はパイプ状の内外面は確実に乾燥
することができる。
で、被洗浄物の隙間或はパイプ状の内外面は確実に乾燥
することができる。
第１図は本発明に係る超音波洗浄、乾燥装置の一実施例
の正面図、第２図はその一部を切欠いた側面図、第３図
は洗浄バスケットの揺動部分を示す側面図である。 １……洗浄槽、２……蓋、３……−バスケット、４……
昇降及び揺動機構、51,52……54超音波振動子、６……
洗浄液、７……洗浄液加熱槽、８……加熱ヒーター、９
……循環ポンプ、10……導管、11,11′……分岐管、12,
12′……フイルター、13,13′……供給口、14……洗浄
液付属タンク、15……加熱ヒーター、16……三方切換電
磁弁、17……導管、18……導管、19……三方切換電磁
弁、201,202……204……スプレイノズル、21……スプレ
イノズル、22……高圧ポンプ、23……送風口、24……排
風口、25……ダクトホース、26……ブロワー、27……乾
燥用ヒーター、28……空気供給管、29……空気排出管、
30……基枠、31,31′……昇降案内棒、32,32′……保持
部材、33,33′……昇降用スプロケットホイル、34……
チェーン、35……突片、36……駆動用スプロケットホイ
ル、、39……チェーン、40……揺動用スプロケットホイ
ル、41……偏心カム、42……乗架片、43……ローラ、44
……駆動モータ、45……スプロケットホイル、46……チ
ェーン
の正面図、第２図はその一部を切欠いた側面図、第３図
は洗浄バスケットの揺動部分を示す側面図である。 １……洗浄槽、２……蓋、３……−バスケット、４……
昇降及び揺動機構、51,52……54超音波振動子、６……
洗浄液、７……洗浄液加熱槽、８……加熱ヒーター、９
……循環ポンプ、10……導管、11,11′……分岐管、12,
12′……フイルター、13,13′……供給口、14……洗浄
液付属タンク、15……加熱ヒーター、16……三方切換電
磁弁、17……導管、18……導管、19……三方切換電磁
弁、201,202……204……スプレイノズル、21……スプレ
イノズル、22……高圧ポンプ、23……送風口、24……排
風口、25……ダクトホース、26……ブロワー、27……乾
燥用ヒーター、28……空気供給管、29……空気排出管、
30……基枠、31,31′……昇降案内棒、32,32′……保持
部材、33,33′……昇降用スプロケットホイル、34……
チェーン、35……突片、36……駆動用スプロケットホイ
ル、、39……チェーン、40……揺動用スプロケットホイ
ル、41……偏心カム、42……乗架片、43……ローラ、44
……駆動モータ、45……スプロケットホイル、46……チ
ェーン
Claims (1)
- 【請求項１】底面に複数個の超音波振動子を設けた洗浄
槽と、洗浄槽の底と、洗浄槽の上方に設置した複数個の
スプレイノズルと底部とに夫々別体の電磁弁と高圧ポン
プを介して連通した水溶性洗剤の洗浄液を貯留する洗浄
液付属タンクと、洗浄槽内を昇降する被洗浄物を投入す
る洗浄バスケットと、洗浄槽の一方に送風口を他方に排
風口を設け、両口を連通するブロワーと乾燥用ヒーター
を有するダクトホースとから成る超音波洗浄、乾燥装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2081141A JP2534153B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 超音波洗浄・乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2081141A JP2534153B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 超音波洗浄・乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03281793A JPH03281793A (ja) | 1991-12-12 |
| JP2534153B2 true JP2534153B2 (ja) | 1996-09-11 |
Family
ID=13738132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2081141A Expired - Fee Related JP2534153B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 超音波洗浄・乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2534153B2 (ja) |
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN110102527A (zh) * | 2019-04-24 | 2019-08-09 | 宁波永仕电机有限公司 | 一种轴类超声波清洗方法及其系统 |
| CN110899232A (zh) * | 2019-12-05 | 2020-03-24 | 盐城市恒美汽车服务有限公司 | 一种汽车维修工具清洗装置 |
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| JPH06128776A (ja) * | 1992-10-14 | 1994-05-10 | Tousei Denki Kk | 金属部品などの洗滌方法および洗滌装置 |
| JPH0827583A (ja) * | 1994-07-19 | 1996-01-30 | Tokyo Denki Kogyo Kk | 洗浄装置 |
| CN103240237A (zh) * | 2013-04-23 | 2013-08-14 | 上海裕隆生物科技有限公司 | 一种超声波振动清洗槽及使用该清洗槽的清洗方法 |
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Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1990
- 1990-03-30 JP JP2081141A patent/JP2534153B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH03281793A (ja) | 1991-12-12 |
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