JP2531980B2 - 導電性複合粉末及びその粉末を用いた抵抗組成物 - Google Patents
導電性複合粉末及びその粉末を用いた抵抗組成物Info
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、窒素雰囲気等の不活性雰囲気中で焼成で
き、特に抵抗値の再現性及びノイズ、ESD（静電気放
電）特性等の抵抗特性の優れたタンタル系厚膜抵抗組成
物と、これに用いる材料に関する。
き、特に抵抗値の再現性及びノイズ、ESD（静電気放
電）特性等の抵抗特性の優れたタンタル系厚膜抵抗組成
物と、これに用いる材料に関する。
従来の技術 厚膜抵抗体は、金属や金属酸化物等の金属化合物から
なる導電性粉末と、ガラス粉末とを有機ビヒクルに分散
させて塗料状又はペースト状とした組成物を、絶縁基板
上に所定のパターンで印刷した後焼成し、必要によりト
リミングを行って所定の抵抗値となるように製造され
る。従来はルテニウム酸化物系が主流であったが、近
年、不活性雰囲気中で焼成でき、卑金属厚膜導体と適合
する厚膜抵抗体として、酸化スズ系やタンタル系抵抗が
実用化されている。このうちタンタル系では、金属タン
タル、窒化タンタル、硼化タンタルなどを導電成分とす
るものが知られており、例えば特開昭55−108702号に、
タンタル粒子とガラスフリットと、所望によりチタン、
硼素、酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化チタン、
酸化バリウム、酸化タングステン、窒化タンタル、窒化
チタン、珪化モリブデン、珪酸マグネシウム等の添加剤
をタンタル粒子の50重量％まで配合した抵抗組成物が開
示されている。このようなタンタル系抵抗は、10Ω／□
〜10kΩ／□の範囲の低抵抗域から中抵抗域用として期
待されている。
なる導電性粉末と、ガラス粉末とを有機ビヒクルに分散
させて塗料状又はペースト状とした組成物を、絶縁基板
上に所定のパターンで印刷した後焼成し、必要によりト
リミングを行って所定の抵抗値となるように製造され
る。従来はルテニウム酸化物系が主流であったが、近
年、不活性雰囲気中で焼成でき、卑金属厚膜導体と適合
する厚膜抵抗体として、酸化スズ系やタンタル系抵抗が
実用化されている。このうちタンタル系では、金属タン
タル、窒化タンタル、硼化タンタルなどを導電成分とす
るものが知られており、例えば特開昭55−108702号に、
タンタル粒子とガラスフリットと、所望によりチタン、
硼素、酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化チタン、
酸化バリウム、酸化タングステン、窒化タンタル、窒化
チタン、珪化モリブデン、珪酸マグネシウム等の添加剤
をタンタル粒子の50重量％まで配合した抵抗組成物が開
示されている。このようなタンタル系抵抗は、10Ω／□
〜10kΩ／□の範囲の低抵抗域から中抵抗域用として期
待されている。
発明が解決しようとする課題 ところが、タンタル金属粉末とガラスフリットからな
る抵抗組成物を焼成して得た抵抗体は、特に100Ω／□
以上で、焼成条件即ち焼成雰囲気や温度、時間の影響を
強く受けて特性が変動し易く、抵抗値の再現性が悪いと
いう問題がある。更に抵抗値が高くなるにつれて、抵抗
値バラツキが著しく大きくなるほか、電流雑音、ESD特
性が悪化し、抵抗温度係数も負に大きくなるので、1kΩ
／□を越えると全く実用にならず、使用可能な抵抗値範
囲が狭い。
る抵抗組成物を焼成して得た抵抗体は、特に100Ω／□
以上で、焼成条件即ち焼成雰囲気や温度、時間の影響を
強く受けて特性が変動し易く、抵抗値の再現性が悪いと
いう問題がある。更に抵抗値が高くなるにつれて、抵抗
値バラツキが著しく大きくなるほか、電流雑音、ESD特
性が悪化し、抵抗温度係数も負に大きくなるので、1kΩ
／□を越えると全く実用にならず、使用可能な抵抗値範
囲が狭い。
従って本発明の目的は、広い抵抗値範囲でプロセス感
受性が低く、抵抗特性が焼成条件の変化に対して影響を
受けにくい、安定な抵抗体を再現性良く製造し得る抵抗
組成物を提供することにある。
受性が低く、抵抗特性が焼成条件の変化に対して影響を
受けにくい、安定な抵抗体を再現性良く製造し得る抵抗
組成物を提供することにある。
課題を解決するための手段 本発明は、タンタル金属粉末とガラス粉末の混合物、
或いはタンタル金属粉末と、ガラス粉末及び添加剤粉末
の混合物を、不活性雰囲気中、ガラスの軟化点以上の温
度で熱処理後粉砕してなる導電性複合粉末である。又本
発明はこの導電性複合粉末を、所望によりガラス粉末及
び／又は添加剤粉末とともに有機ビヒクルに分散させて
なる抵抗組成物である。本発明は更に、タンタル金属粉
末とガラス粉末と所望により添加剤粉末とを混合し、不
活性雰囲気中、ガラスの軟化点以上の温度で熱処理を行
った後、粉砕することを特徴とする導電性複合粉末の製
造方法をも包含する。
或いはタンタル金属粉末と、ガラス粉末及び添加剤粉末
の混合物を、不活性雰囲気中、ガラスの軟化点以上の温
度で熱処理後粉砕してなる導電性複合粉末である。又本
発明はこの導電性複合粉末を、所望によりガラス粉末及
び／又は添加剤粉末とともに有機ビヒクルに分散させて
なる抵抗組成物である。本発明は更に、タンタル金属粉
末とガラス粉末と所望により添加剤粉末とを混合し、不
活性雰囲気中、ガラスの軟化点以上の温度で熱処理を行
った後、粉砕することを特徴とする導電性複合粉末の製
造方法をも包含する。
タンタル金属粉末は平均粒径５μｍ以下、望ましくは
１μｍ以下のものが使用される。特に平均粒径0.1〜0.5
μｍ程度のものが好ましい。
１μｍ以下のものが使用される。特に平均粒径0.1〜0.5
μｍ程度のものが好ましい。
ガラス粉末は、抵抗組成物に通常使用されるものであ
れば特に制限はない。例えば硼珪酸アルカリ土類金属ガ
ラス、硼珪酸アルカリ土類金属アルミニウムガラスなど
が代表的である。粒子サイズは平均粒径10μｍ以下、好
ましくは１〜５μｍのものを用いる。
れば特に制限はない。例えば硼珪酸アルカリ土類金属ガ
ラス、硼珪酸アルカリ土類金属アルミニウムガラスなど
が代表的である。粒子サイズは平均粒径10μｍ以下、好
ましくは１〜５μｍのものを用いる。
タンタルとガラスの比率は、重量比でおよそ80/20〜1
0/90の範囲である。比率が10/90より小さくなると、電
流雑音、抵抗温度特性、抵抗値バラツキ等が悪化するの
で使用に適さない。
0/90の範囲である。比率が10/90より小さくなると、電
流雑音、抵抗温度特性、抵抗値バラツキ等が悪化するの
で使用に適さない。
添加剤も、タンタル径抵抗体の抵抗値や抵抗温度特性
その他の特性の調整用として一般的に知られているもの
が、いずれも使用できる。例えば、硼素、チタン、タン
グステン、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化ニッケ
ル、酸化コバルト、酸化タンタル、酸化バナジウム、酸
化チタン、酸化バリウム、酸化タングステン、窒化タン
タル、窒化チタン、珪化モリブデン、珪酸マグネシウム
などを、タンタルの50重量％以下の量で添加することが
できる。
その他の特性の調整用として一般的に知られているもの
が、いずれも使用できる。例えば、硼素、チタン、タン
グステン、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化ニッケ
ル、酸化コバルト、酸化タンタル、酸化バナジウム、酸
化チタン、酸化バリウム、酸化タングステン、窒化タン
タル、窒化チタン、珪化モリブデン、珪酸マグネシウム
などを、タンタルの50重量％以下の量で添加することが
できる。
タンタル金属粉末とガラス粉末の混合物、或いはこれ
に添加剤粉末を加えた混合物の熱処理は、N2、Arなどの
不活性雰囲気中、ガラスが十分軟化流動してタンタルと
の反応が起こり易くなる温度で行なう。この処理温度は
ガラスの種類によって異なるが、およそ500〜1300℃程
度である。熱処理後は冷却し、ボールミル等通常の手段
で粉砕して、所定の粒度の複合粉末を得る。複合粉末
は、平均粒径10μｍ以下、特に１〜５μｍ程度の粒度に
することが望ましい。
に添加剤粉末を加えた混合物の熱処理は、N2、Arなどの
不活性雰囲気中、ガラスが十分軟化流動してタンタルと
の反応が起こり易くなる温度で行なう。この処理温度は
ガラスの種類によって異なるが、およそ500〜1300℃程
度である。熱処理後は冷却し、ボールミル等通常の手段
で粉砕して、所定の粒度の複合粉末を得る。複合粉末
は、平均粒径10μｍ以下、特に１〜５μｍ程度の粒度に
することが望ましい。
本発明の複合粉末は、単独で、或いは処理しないガラ
ス粉末や添加剤粉末と混合して通常の有機ビヒクルに分
散させ、塗料状或いはペースト状の抵抗組成物とする。
ス粉末や添加剤粉末と混合して通常の有機ビヒクルに分
散させ、塗料状或いはペースト状の抵抗組成物とする。
作用 本発明の特徴は、導電性粉末とガラス粉末、或いは導
電性粉末とガラス粉末と添加剤を予め熱処理し、再粉砕
して複合化することにある。この複合化した粉末を用い
た抵抗組成物を焼成することにより、プロセス敏感性即
ち焼成雰囲気等の変化による特性の変動が小さくなり、
抵抗値のバラツキが減少する。このため、10Ω／□〜10
0kΩ／□の広い抵抗値範囲において、安定した特性を有
する厚膜抵抗体が得られる。更に本発明の抵抗は、電流
雑音特性においても従来より格段に優れており、又改善
されたESD特性を示す。
電性粉末とガラス粉末と添加剤を予め熱処理し、再粉砕
して複合化することにある。この複合化した粉末を用い
た抵抗組成物を焼成することにより、プロセス敏感性即
ち焼成雰囲気等の変化による特性の変動が小さくなり、
抵抗値のバラツキが減少する。このため、10Ω／□〜10
0kΩ／□の広い抵抗値範囲において、安定した特性を有
する厚膜抵抗体が得られる。更に本発明の抵抗は、電流
雑音特性においても従来より格段に優れており、又改善
されたESD特性を示す。
このような効果が得られる理由は次のように考えられ
る。
る。
タンタル金属粉末とガラスフリットからなる抵抗組成
物を窒素雰囲気中で焼成し、焼成による変化をＸ線回折
で調べると、Taのピークの強度が弱まり、Ta2O5の結晶
ピークが現れる。この結晶相の現れ方は焼成時間、焼成
温度、焼成雰囲気中の酸素濃度などにより差があること
から、これらの焼成条件によって反応の進行の度合が大
きく異なり、その結果抵抗値が焼成前の導電性粉末とガ
ラスの比によって決まらず、バラツキが大きくなるもの
と思われる。特に導電粒子が少なくなる高抵抗域に近づ
くほど、特性が悪化する傾向にある。
物を窒素雰囲気中で焼成し、焼成による変化をＸ線回折
で調べると、Taのピークの強度が弱まり、Ta2O5の結晶
ピークが現れる。この結晶相の現れ方は焼成時間、焼成
温度、焼成雰囲気中の酸素濃度などにより差があること
から、これらの焼成条件によって反応の進行の度合が大
きく異なり、その結果抵抗値が焼成前の導電性粉末とガ
ラスの比によって決まらず、バラツキが大きくなるもの
と思われる。特に導電粒子が少なくなる高抵抗域に近づ
くほど、特性が悪化する傾向にある。
しかし本発明において、タンタル粉末とガラスの熱処
理を行うことにより予め反応を行わせ、初めから複合化
させておくと、この導電性複合粉末を用いた抵抗組成物
を焼成しても、ほとんど結晶相の変化を示さない。この
ため抵抗値のバラツキが小さくなり、再現性が大幅に向
上する。更に抵抗体中に形成される導電粒子マトリクス
も安定し、ノイズやESD特性が改善されたものと考えら
れ、その結果としてこれまで実用にならなかった1k〜10
0kΩ／□の比較的高い抵抗域においても、特性の優れた
抵抗体を製造することが可能となったものである。
理を行うことにより予め反応を行わせ、初めから複合化
させておくと、この導電性複合粉末を用いた抵抗組成物
を焼成しても、ほとんど結晶相の変化を示さない。この
ため抵抗値のバラツキが小さくなり、再現性が大幅に向
上する。更に抵抗体中に形成される導電粒子マトリクス
も安定し、ノイズやESD特性が改善されたものと考えら
れ、その結果としてこれまで実用にならなかった1k〜10
0kΩ／□の比較的高い抵抗域においても、特性の優れた
抵抗体を製造することが可能となったものである。
尚、比較的Ta含有率の高い複合粉末を未処理のガラス
粉末と混合して使用しても本発明の効果は変わらない。
又添加剤は、抵抗組成物に単独で添加してもよいが、予
め導電粒子及びガラスと複合化させておく方が、各成分
間の反応が安定化し、分散状態も均一になるので望まし
い。
粉末と混合して使用しても本発明の効果は変わらない。
又添加剤は、抵抗組成物に単独で添加してもよいが、予
め導電粒子及びガラスと複合化させておく方が、各成分
間の反応が安定化し、分散状態も均一になるので望まし
い。
実施例 実施例１ Ta粉末60重量部と、ガラス粉末40重量部（組成は重量
％でBaO36.0−MgO2.5−B2O338.0−NiO5.0−SiO217.0−A
l2O31.5）を混合し、ボールミルで粉砕した後、N2雰囲
気中900℃で２時間熱処理し、次いで徐冷し、再度ボー
ルミル粉砕を行って、導電性複合粉末を得た。
％でBaO36.0−MgO2.5−B2O338.0−NiO5.0−SiO217.0−A
l2O31.5）を混合し、ボールミルで粉砕した後、N2雰囲
気中900℃で２時間熱処理し、次いで徐冷し、再度ボー
ルミル粉砕を行って、導電性複合粉末を得た。
この複合粉末100重量部に対し、有機ビヒクルとして
エチルセルロース１重量部と2,2,4−トリメチル−1,3−
ペンタンジオールモノイソブチレート30重量部を添加
し、混練して抵抗ペーストを作製した。
エチルセルロース１重量部と2,2,4−トリメチル−1,3−
ペンタンジオールモノイソブチレート30重量部を添加
し、混練して抵抗ペーストを作製した。
この抵抗ペーストを、予め銅厚膜電極が焼付けされた
アルミナ基板上に、1mm×1mmの正方形パターンに印刷
し、空気中150℃で10分間乾燥した後、N2雰囲気中最高
温度900℃10分間保持、40分サイクルの条件で焼成し
た。得られた抵抗体のシート抵抗値、抵抗値のバラツキ
（CV）及び電流雑音はそれぞれ31.0Ω／□、2.4％、−3
0dB以下であった。尚、CVは抵抗体80個についての値で
ある。
アルミナ基板上に、1mm×1mmの正方形パターンに印刷
し、空気中150℃で10分間乾燥した後、N2雰囲気中最高
温度900℃10分間保持、40分サイクルの条件で焼成し
た。得られた抵抗体のシート抵抗値、抵抗値のバラツキ
（CV）及び電流雑音はそれぞれ31.0Ω／□、2.4％、−3
0dB以下であった。尚、CVは抵抗体80個についての値で
ある。
実施例２〜４ Ta粉末と、ガラス粉末を表１に示す比率で混合し、実
施例１と同様にして熱処理し、粉砕して導電性複合粉末
を得た。
施例１と同様にして熱処理し、粉砕して導電性複合粉末
を得た。
各粉末100重量部に対し、エチルセルロース１重量部
と2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオールモノイソ
ブチレート29〜34重量部からなる有機ビヒクルを添加
し、混練してそれぞれ抵抗ペーストを作製した。
と2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオールモノイソ
ブチレート29〜34重量部からなる有機ビヒクルを添加
し、混練してそれぞれ抵抗ペーストを作製した。
この抵抗ペーストを、実施例１と同様にアルミナ基板
上に焼付けして得られた抵抗体の抵抗値、抵抗値のバラ
ツキ（CV）及び電流雑音を調べ、表１に示した。
上に焼付けして得られた抵抗体の抵抗値、抵抗値のバラ
ツキ（CV）及び電流雑音を調べ、表１に示した。
実施例５ Ta粉末25重量部と、実施例１と同一組成のガラス粉末
70重量部、及び添加剤としてＢ粉末５重量部を混合し、
ボールミルで粉砕した後、N2雰囲気中900℃で２時間熱
処理し、次いで徐冷し、再度ボールミル粉砕を行って、
導電性複合粉末を得た。
70重量部、及び添加剤としてＢ粉末５重量部を混合し、
ボールミルで粉砕した後、N2雰囲気中900℃で２時間熱
処理し、次いで徐冷し、再度ボールミル粉砕を行って、
導電性複合粉末を得た。
この粉末を用い、実施例１と同様にして抵抗ペースト
を作製し、アルミナ基板上に焼付けして抵抗体を得た。
特性を表１に併せて示す。
を作製し、アルミナ基板上に焼付けして抵抗体を得た。
特性を表１に併せて示す。
実施例６ Ta粉末25重量部と、ガラス粉末70重量部、及び添加剤
としてZrO2粉末５重量部を混合し、実施例６と同様に熱
処理して得た複合粉末を用い、抵抗ペストを作製した。
このペーストをアルミナ基板上に焼付けして抵抗体を得
た。特性を表１に併せて示す。
としてZrO2粉末５重量部を混合し、実施例６と同様に熱
処理して得た複合粉末を用い、抵抗ペストを作製した。
このペーストをアルミナ基板上に焼付けして抵抗体を得
た。特性を表１に併せて示す。
実施例７ Ta粉末とガラス粉末の重量比を60:40とする以外は実
施例１と同様に熱処理して、導電性複合粉末を得た。
施例１と同様に熱処理して、導電性複合粉末を得た。
この導電性複合粉末100重量部に対して更にガラス粉
末を20重量部を添加し、有機ビヒクルとともに混練して
抵抗ペーストを作製した。アルミナ基板上に焼成して得
られた抵抗体は、表１に示すようにシート抵抗値101Ω
／□、CV3.3％、電流雑音−27.0dBと、優れた特性を有
するものであった。
末を20重量部を添加し、有機ビヒクルとともに混練して
抵抗ペーストを作製した。アルミナ基板上に焼成して得
られた抵抗体は、表１に示すようにシート抵抗値101Ω
／□、CV3.3％、電流雑音−27.0dBと、優れた特性を有
するものであった。
比較例１〜３ 実施例１で用いたものと同一のTa粉末とガラス粉末
を、表１に示す比率で混合し、熱処理を行なわずにビヒ
クルと混練して抵抗ペーストを得た。実施例１と同様に
抵抗体を製造し、特性を表１に併せて示した。
を、表１に示す比率で混合し、熱処理を行なわずにビヒ
クルと混練して抵抗ペーストを得た。実施例１と同様に
抵抗体を製造し、特性を表１に併せて示した。
表１から、本発明で得られた抵抗体は、同程度の抵抗
値を有する、予め熱処理、複合化しない粉末を用いた比
較例と比べて、抵抗値バラツキ及び雑音特性等が大きく
改善されていることがわかる。
値を有する、予め熱処理、複合化しない粉末を用いた比
較例と比べて、抵抗値バラツキ及び雑音特性等が大きく
改善されていることがわかる。
第１図及び第２図は、本発明の効果をわかりやすくす
るため、表１に示された実施例１〜７及び比較例１〜３
の抵抗体の、シート抵抗値に対するCV及び電流雑音をそ
ぞれプロットしたグラフである。第１図中線Ａは実施
例、線Ｂは比較例であり、又第２図中線Ｃは実施例、線
Ｄは比較例である。これらのグラフからも、本発明の抵
抗体が極めて優れた特性を有していることが明らかであ
る。
るため、表１に示された実施例１〜７及び比較例１〜３
の抵抗体の、シート抵抗値に対するCV及び電流雑音をそ
ぞれプロットしたグラフである。第１図中線Ａは実施
例、線Ｂは比較例であり、又第２図中線Ｃは実施例、線
Ｄは比較例である。これらのグラフからも、本発明の抵
抗体が極めて優れた特性を有していることが明らかであ
る。
次に、実施例３、５及び６について、150pFのコンデ
ンサを使用し5kVの電圧で１回放電させESD試験を行った
ところ、抵抗値の変化率はそれぞれ−8.7％、−2.6％、
−9.4％であった。これらの実施例と近い抵抗値を有す
る比較例３について、同様なESD試験を行ったところ、
抵抗変化率は−21.0％と極めて大きかった。
ンサを使用し5kVの電圧で１回放電させESD試験を行った
ところ、抵抗値の変化率はそれぞれ−8.7％、−2.6％、
−9.4％であった。これらの実施例と近い抵抗値を有す
る比較例３について、同様なESD試験を行ったところ、
抵抗変化率は−21.0％と極めて大きかった。
発明の効果 本発明はタンタル粉末とガラス粉末とを予め熱処理
し、複合化して用いることにより、広い抵抗値範囲でプ
ロセス敏感性の小さい、安定で優れた抵抗特性を有する
抵抗体を、容易に、再現性良く製造することができるも
のである。
し、複合化して用いることにより、広い抵抗値範囲でプ
ロセス敏感性の小さい、安定で優れた抵抗特性を有する
抵抗体を、容易に、再現性良く製造することができるも
のである。
第１図は、本発明の実施例及び比較例の抵抗体の、シー
ト抵抗値に対するCVの関係を示したグラフであり、第２
図は、同様にシート抵抗値と電流雑音の関係を示したグ
ラフである。
ト抵抗値に対するCVの関係を示したグラフであり、第２
図は、同様にシート抵抗値と電流雑音の関係を示したグ
ラフである。
Claims (8)
- 【請求項１】タンタル金属粉末とガラス粉末を重量比で
80/20〜10/90の割合で混合した混合物を、不活性雰囲気
中、ガラスの軟化点以上の温度で熱処理後粉砕し平均粒
径１〜５μｍとしてなる導電性複合粉末。 - 【請求項２】タンタル金属粉末と、ガラス粉末を重量比
で80/20〜10/90の割合で混合した混合物に、タンタル金
属粉末の50重量％以下の添加剤粉末を添加した混合物
を、不活性雰囲気中、ガラスの軟化点以上の温度で熱処
理後粉砕し平均粒径１〜５μｍとしてなる導電性複合粉
末。 - 【請求項３】添加剤が硼素、チタン、タングステン、酸
化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化ニッケル、酸化コバル
ト、酸化タンタル、酸化バナジウム、酸化チタン、酸化
バリウム、酸化タングステン、窒化タンタル、窒化チタ
ン、珪化モリブデン及び珪酸マグネシウムからなる群よ
り選ばれた１種又は２種以上である請求項２記載の導電
性複合粉末。 - 【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載された導
電性複合粉末を、有機ビヒクルに分散させてなる抵抗組
成物。 - 【請求項５】更にガラス粉末及び／又は添加剤粉末を配
合した、請求項４記載の抵抗組成物。 - 【請求項６】添加剤が硼素、チタン、タングステン、酸
化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化ニッケル、酸化コバル
ト、酸化タンタル、酸化バナジウム、酸化チタン、酸化
バリウム、酸化タングステン、窒化タンタル、窒化チタ
ン、珪化モリブデン及び珪酸マグネシウムからなる群よ
り選ばれた１種又は２種以上である請求項５記載の抵抗
組成物。 - 【請求項７】タンタル金属粉末とガラス粉末とを重量比
で80/20〜10/90の割合で混合し、不活性雰囲気中、ガラ
スの軟化点以上の温度で熱処理を行った後、平均粒径１
〜５μｍの粒度に粉砕することを特徴とする導電性複合
粉末の製造方法。 - 【請求項８】重量比で80/20〜10/90の割合で混合したタ
ンタル金属粉末と、ガラス粉末に、添加剤粉末とを混合
した混合物を、不活性雰囲気中、ガラスの軟化点以上の
温度で熱処理を行った後、平均粒径１〜５μｍの粒度に
粉砕することを特徴とする導電性複合粉末の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1029613A JP2531980B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 導電性複合粉末及びその粉末を用いた抵抗組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1029613A JP2531980B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 導電性複合粉末及びその粉末を用いた抵抗組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02210801A JPH02210801A (ja) | 1990-08-22 |
| JP2531980B2 true JP2531980B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=12280923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1029613A Expired - Fee Related JP2531980B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 導電性複合粉末及びその粉末を用いた抵抗組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531980B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4209764A (en) * | 1978-11-20 | 1980-06-24 | Trw, Inc. | Resistor material, resistor made therefrom and method of making the same |
| JPS63215551A (ja) * | 1987-02-28 | 1988-09-08 | 太陽誘電株式会社 | 電気抵抗体及びその製造方法 |
-
1989
- 1989-02-10 JP JP1029613A patent/JP2531980B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02210801A (ja) | 1990-08-22 |
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