JP3094683B2 - 厚膜抵抗体形成用組成物 - Google Patents
厚膜抵抗体形成用組成物Info
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- JP3094683B2 JP3094683B2 JP04235241A JP23524192A JP3094683B2 JP 3094683 B2 JP3094683 B2 JP 3094683B2 JP 04235241 A JP04235241 A JP 04235241A JP 23524192 A JP23524192 A JP 23524192A JP 3094683 B2 JP3094683 B2 JP 3094683B2
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- Japan
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- powder
- resistor
- resistance
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- glass
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック基板上に、
面積抵抗値が１ｋΩ／□以下の厚膜抵抗体を形成するに
適した厚膜抵抗体形成用組成物に関する。
面積抵抗値が１ｋΩ／□以下の厚膜抵抗体を形成するに
適した厚膜抵抗体形成用組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】導電性粉末とガラス粉末を所要の抵抗値
となるように混合し、これを有機ビヒクルに分散したペ
ーストを、アルミナ等の基板上にスクリーン印刷法等に
より所要形状に塗布し、乾燥後、７００〜９００℃で焼
成して、基板上に電子回路としての抵抗体を形成するこ
とが行われている。このような技術を厚膜技術と呼び、
抵抗体用のペーストを厚膜抵抗体形成用組成物と称す
る。
となるように混合し、これを有機ビヒクルに分散したペ
ーストを、アルミナ等の基板上にスクリーン印刷法等に
より所要形状に塗布し、乾燥後、７００〜９００℃で焼
成して、基板上に電子回路としての抵抗体を形成するこ
とが行われている。このような技術を厚膜技術と呼び、
抵抗体用のペーストを厚膜抵抗体形成用組成物と称す
る。
【０００３】抵抗値の低い抵抗体用の導電粉末として
は、Ａｇ、Ｐｄがある。このＡｇ、Ｐｄは含有率に対す
る面積抵抗値の依存性が大きいため、含有率に対する依
存性の小さいＲｕＯ2を併用することによって抵抗値の
安定性を改善している。
は、Ａｇ、Ｐｄがある。このＡｇ、Ｐｄは含有率に対す
る面積抵抗値の依存性が大きいため、含有率に対する依
存性の小さいＲｕＯ2を併用することによって抵抗値の
安定性を改善している。
【０００４】この厚膜抵抗体を用いたチップ抵抗器など
の製造工程では、通常抵抗体の抵抗値をレーザートリミ
ング等によって調整した後に、ガラスコートのためのガ
ラスペーストで被覆し、６００℃程度の温度で焼成が行
われる。
の製造工程では、通常抵抗体の抵抗値をレーザートリミ
ング等によって調整した後に、ガラスコートのためのガ
ラスペーストで被覆し、６００℃程度の温度で焼成が行
われる。
【０００５】抵抗値を調整する工程において、トリミン
グする割合が大き過ぎると、形成された抵抗体の電圧特
性等が劣化するため、焼成された抵抗体の抵抗値のばら
つきが小さいことが望まれる。また、ガラスコート焼成
における抵抗値変化が大きいと、最終の抵抗値を目標の
範囲内に収めることが困難となる。
グする割合が大き過ぎると、形成された抵抗体の電圧特
性等が劣化するため、焼成された抵抗体の抵抗値のばら
つきが小さいことが望まれる。また、ガラスコート焼成
における抵抗値変化が大きいと、最終の抵抗値を目標の
範囲内に収めることが困難となる。
【０００６】抵抗値の低い抵抗体において、Ａｇ、Ｐｄ
の単体の粉末を混合して用いると、ガラスコート焼成後
における抵抗値の変化が大きく、この問題を解決するた
めに、Ａｇ／Ｐｄの共沈粉が用いられている。Ａｇ／Ｐ
ｄの共沈粉は、焼成時にＡｇが局所的に溶融あるいは、
蒸発したり、有機ビヒクル中への分散性が悪いため、焼
成された抵抗体の抵抗値や、抵抗温度係数の変化が大き
くなり、歩留り、抵抗体の信頼性を悪化させる大きな原
因となっている。
の単体の粉末を混合して用いると、ガラスコート焼成後
における抵抗値の変化が大きく、この問題を解決するた
めに、Ａｇ／Ｐｄの共沈粉が用いられている。Ａｇ／Ｐ
ｄの共沈粉は、焼成時にＡｇが局所的に溶融あるいは、
蒸発したり、有機ビヒクル中への分散性が悪いため、焼
成された抵抗体の抵抗値や、抵抗温度係数の変化が大き
くなり、歩留り、抵抗体の信頼性を悪化させる大きな原
因となっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、焼成された
抵抗体の抵抗値、抵抗温度係数のばらつきが小さく、し
かも再焼成における抵抗値変化が小さい、主として面積
抵抗値が１ｋΩ／□以下の抵抗体が得られる厚膜抵抗体
形成用組成物を提供せんとするものである。
抵抗体の抵抗値、抵抗温度係数のばらつきが小さく、し
かも再焼成における抵抗値変化が小さい、主として面積
抵抗値が１ｋΩ／□以下の抵抗体が得られる厚膜抵抗体
形成用組成物を提供せんとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、固形分として
ＲｕＯ2粉末、ガラス粉末、Ａｇ：Ｐｄの重量比が９
５：５〜３０：７０となるようにパラジウムで被覆され
た銀粉を含み、ガラス粉末に対するＲｕＯ2の重量比が
０.１５〜１.５であり、（ＲｕＯ2＋ガラス粉末）に対
するパラジウム被覆銀粉の重量比が０.０３〜２０であ
る厚膜抵抗体形成用組成物を課題を解決するための手段
とする。
ＲｕＯ2粉末、ガラス粉末、Ａｇ：Ｐｄの重量比が９
５：５〜３０：７０となるようにパラジウムで被覆され
た銀粉を含み、ガラス粉末に対するＲｕＯ2の重量比が
０.１５〜１.５であり、（ＲｕＯ2＋ガラス粉末）に対
するパラジウム被覆銀粉の重量比が０.０３〜２０であ
る厚膜抵抗体形成用組成物を課題を解決するための手段
とする。
【０００９】本発明に用いるパラジウム被覆銀粉は、粒
子形状がほぼ球形で、平均粒径が０.１〜２μｍの銀粒
子の表面が、Ａｇ：Ｐｄの重量比で９５：５〜３０：７
０となるようにパラジウムで被覆されている。その製法
は、銀粒子を５〜５５ｇ／ｌのスラリー濃度で懸濁させ
ると共に、該スラリー中に所望量のパラジウムを還元析
出させ得る量の還元剤を溶解させておき、該スラリーに
パラジウム濃度１０〜１００ｇ／ｌのジクロロジアンミ
ンパラジウム溶液を添加し、温度２０〜７０℃で銀粒子
表面にパラジウムを還元析出させることによって製造す
ることができる（例えば特開平１−１９８４０３号公報
参照）。
子形状がほぼ球形で、平均粒径が０.１〜２μｍの銀粒
子の表面が、Ａｇ：Ｐｄの重量比で９５：５〜３０：７
０となるようにパラジウムで被覆されている。その製法
は、銀粒子を５〜５５ｇ／ｌのスラリー濃度で懸濁させ
ると共に、該スラリー中に所望量のパラジウムを還元析
出させ得る量の還元剤を溶解させておき、該スラリーに
パラジウム濃度１０〜１００ｇ／ｌのジクロロジアンミ
ンパラジウム溶液を添加し、温度２０〜７０℃で銀粒子
表面にパラジウムを還元析出させることによって製造す
ることができる（例えば特開平１−１９８４０３号公報
参照）。
【００１０】ＲｕＯ2粉末は、通常の厚膜抵抗体に用い
られているものでよく、粒径は１μｍ以下、好ましくは
０.２μｍ以下が望ましい。ガラス粉末も通常の厚膜抵
抗体に用いられているホウケイ酸鉛系、アルミノホウケ
イ酸鉛系等でよく、粒径は１０μｍ以下、好ましくは５
μｍ以下がよい。
られているものでよく、粒径は１μｍ以下、好ましくは
０.２μｍ以下が望ましい。ガラス粉末も通常の厚膜抵
抗体に用いられているホウケイ酸鉛系、アルミノホウケ
イ酸鉛系等でよく、粒径は１０μｍ以下、好ましくは５
μｍ以下がよい。
【００１１】上記のパラジウム被覆銀粉、ＲｕＯ2粉
末、ガラス粉末以外に、Ｎｂ2Ｏ5、Ｓｂ2Ｏ3、Ｔｉ
Ｏ2、ＣｕＯ等を添加することができる。有機ビヒクル
は、従来と同様にエチルセルロース、メタクリレート等
をターピネオール、ブチルカルビトールなどに溶解した
ものでよい。
末、ガラス粉末以外に、Ｎｂ2Ｏ5、Ｓｂ2Ｏ3、Ｔｉ
Ｏ2、ＣｕＯ等を添加することができる。有機ビヒクル
は、従来と同様にエチルセルロース、メタクリレート等
をターピネオール、ブチルカルビトールなどに溶解した
ものでよい。
【００１２】
【作用】本発明において、パラジウム被覆銀粉のＡｇ：
Ｐｄの重量比を９５：５〜３０：７０とするのは、９
５：５よりＰｄが少ないと、抵抗温度係数が大きくな
り、３０：７０よりＰｄが多いとコストが高くなるため
である。粒径は５μｍ以下が望ましい。
Ｐｄの重量比を９５：５〜３０：７０とするのは、９
５：５よりＰｄが少ないと、抵抗温度係数が大きくな
り、３０：７０よりＰｄが多いとコストが高くなるため
である。粒径は５μｍ以下が望ましい。
【００１３】ガラス粉末に対するＲｕＯ2粉末の重量比
を０.１５〜１.５にするのは、０.１５よりもＲｕＯ2粉
末が少ないと、抵抗値の安定性がなく、１.５よりＲｕ
Ｏ2粉末が多いと、抵抗体の膜強度が弱くなり過ぎるた
めである。
を０.１５〜１.５にするのは、０.１５よりもＲｕＯ2粉
末が少ないと、抵抗値の安定性がなく、１.５よりＲｕ
Ｏ2粉末が多いと、抵抗体の膜強度が弱くなり過ぎるた
めである。
【００１４】（ＲｕＯ2粉末＋ガラス粉末）に対するパ
ラジウム被覆銀粉の重量比を０.０３〜２０にするの
は、パラジウム被覆銀粉が０.０３より少ないと抵抗値
が高くなり過ぎ、２０よりも多いと抵抗値が低くなり過
ぎるからである。
ラジウム被覆銀粉の重量比を０.０３〜２０にするの
は、パラジウム被覆銀粉が０.０３より少ないと抵抗値
が高くなり過ぎ、２０よりも多いと抵抗値が低くなり過
ぎるからである。
【００１５】
【実施例】平均粒径が、それぞれ０.３μｍ、０.１μｍ
以下、及び１.５μｍのパラジウム被覆銀粉、ＲｕＯ2粉
末、ＭｎＯ2、Ｎｂ2Ｏ5及びガラス粉末（重量％で、Ｐ
ｂＯ ５５％、ＳｉＯ2 ３０％、Ｂ2Ｏ3 １０％、Ａｌ2
Ｏ3 ５％）を用い、エチルセルロースのターピネオール
溶液をビヒクルとして添加し、３本ロールミルで混練し
て表１に示す組成の厚膜抵抗体形成用組成物を調製し
た。
以下、及び１.５μｍのパラジウム被覆銀粉、ＲｕＯ2粉
末、ＭｎＯ2、Ｎｂ2Ｏ5及びガラス粉末（重量％で、Ｐ
ｂＯ ５５％、ＳｉＯ2 ３０％、Ｂ2Ｏ3 １０％、Ａｌ2
Ｏ3 ５％）を用い、エチルセルロースのターピネオール
溶液をビヒクルとして添加し、３本ロールミルで混練し
て表１に示す組成の厚膜抵抗体形成用組成物を調製し
た。
【００１６】パラジウム被覆銀粉の代わりに、平均粒径
がそれぞれ１.０μｍ、０.３μｍのＡｇ粉、Ｐｄ粉を使
用したものと、平均粒径１.５μｍのＡｇ／Ｐｄ合金粉
を使用した表２に示す比較例について試験した。
がそれぞれ１.０μｍ、０.３μｍのＡｇ粉、Ｐｄ粉を使
用したものと、平均粒径１.５μｍのＡｇ／Ｐｄ合金粉
を使用した表２に示す比較例について試験した。
【００１７】純度９６重量％のアルミナ基板上に、電極
用Ａｇ／Ｐｄペーストを印刷し、８５０℃で焼成し、こ
の電極上に上記の厚膜抵抗体形成用組成物を印刷し、１
５０℃で乾燥後、ピーク温度８５０℃で９分、合計焼成
時間３０分間のベルト炉で焼成し、幅１.０ｍｍ、長さ
１.０ｍｍ、膜厚７〜１０μｍの抵抗体を形成した。
用Ａｇ／Ｐｄペーストを印刷し、８５０℃で焼成し、こ
の電極上に上記の厚膜抵抗体形成用組成物を印刷し、１
５０℃で乾燥後、ピーク温度８５０℃で９分、合計焼成
時間３０分間のベルト炉で焼成し、幅１.０ｍｍ、長さ
１.０ｍｍ、膜厚７〜１０μｍの抵抗体を形成した。
【００１８】焼成された抵抗体の面積抵抗値（Ω／□）
の変動は、５０個の抵抗体の変動係数で評価した。変動
係数（％）は、標準偏差を平均値で除した値で、相対的
なばらつきの目安として用いられており、値の小さいも
のほどばらつきが小さい。
の変動は、５０個の抵抗体の変動係数で評価した。変動
係数（％）は、標準偏差を平均値で除した値で、相対的
なばらつきの目安として用いられており、値の小さいも
のほどばらつきが小さい。
【００１９】抵抗温度係数は、温度−５５〜２５℃の抵
抗値の平均変化率と、温度２５〜１２５℃の抵抗値の平
均変化率（ppm/℃)で表され、前者をCOLD-TCR、後者をHO
T-TCRと称する。抵抗温度係数のばらつきは、１０個の
抵抗体のCOLD-TCR、HOT-TCRのそれぞれの最大値から最小
値を引いた値で表わし、値の小さいものほど、ばらつき
が小さい。
抗値の平均変化率と、温度２５〜１２５℃の抵抗値の平
均変化率（ppm/℃)で表され、前者をCOLD-TCR、後者をHO
T-TCRと称する。抵抗温度係数のばらつきは、１０個の
抵抗体のCOLD-TCR、HOT-TCRのそれぞれの最大値から最小
値を引いた値で表わし、値の小さいものほど、ばらつき
が小さい。
【００２０】ガラスコート焼成後における抵抗値変化
（％）は、まず抵抗体焼成後の抵抗値を測定し、抵抗体
を完全に被覆するように、黒色ガラスペーストを印刷、
乾燥し、ピーク温度６００℃で５分、合計焼成時間４０
分のベルト炉で焼成し、ガラスコート焼成後の抵抗体の
抵抗値を測定しガラスコート焼成前の抵抗値からの変化
率を求めた。以上の測定結果を表１、表２に併せて示
す。
（％）は、まず抵抗体焼成後の抵抗値を測定し、抵抗体
を完全に被覆するように、黒色ガラスペーストを印刷、
乾燥し、ピーク温度６００℃で５分、合計焼成時間４０
分のベルト炉で焼成し、ガラスコート焼成後の抵抗体の
抵抗値を測定しガラスコート焼成前の抵抗値からの変化
率を求めた。以上の測定結果を表１、表２に併せて示
す。
【００２１】
【表１】 実施例 １ ２ ３ ４ ５ ６ −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−ハ゜ラシ゛ウム 被覆銀粉 89.7 95.0 90.2 55.0 61.9 61.0 ＲｕＯ2粉末 3.5 2.2 5.7 15.4 13.0 13.3カ゛ラス 粉末 各重量％ 6.5 2.6 3.8 28.6 24.1 24.7 ＭｎＯ2 0.15 0.1 0.2 0.5 0.5 0.5 Ｎｂ2Ｏ5 0.15 0.1 0.1 0.5 0.5 0.5 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− Ａｇ:Ｐｄ重量比 70:30 40:60 70:30 70:30 40:60 30:70 ＲｕＯ2／カ゛ラス重量比 0.54 0.84 1.50 0.54 0.54 0.54ハ゛ラシ゛ウム 被覆銀粉／ （ＲｕＯ2＋カ゛ラス）重量比 8.97 20.00 9.49 1.25 1.67 1.61 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 抵抗体焼成後の面積 抵抗値（Ω／□） 0.08 0.09 0.08 1.13 1.07 0.99 抵抗体焼成後の面積 抵抗値の変動係数（％） 3.9 3.5 4.1 3.7 3.3 3.0 COLD-TCR（ppm/℃) +519 +240 +544 +289 +181 +211 COLD-TCRの最大値− 最小値（ppm/℃) 44 40 39 21 20 17 HOT-TCR(ppm/℃) +502 +217 +505 +287 +200 +219 HOT-TCRの最大値− 最小値(ppm/℃) 37 29 43 17 16 16カ゛ラスコート 焼成後の抵抗値 変化率（％） +7.3 +6.4 +8.2 +3.9 +4.0 +3.0 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 実施例 ７ ８ ９ １０ １１ −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−ハ゜ラシ゛ウム 被覆銀粉 38.6 19.1 17.0 12.1 2.7 ＲｕＯ2粉末 21.0 20.0 20.5 16.9 18.4カ゛ラス 粉末 各重量％ 39.0 60.0 61.5 70.2 78.5 ＭｎＯ2 0.7 0.5 0.6 0.2 0.3 Ｎｂ2Ｏ5 0.7 0.4 0.4 0.6 0.1 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− Ａｇ:Ｐｄ重量比 70:30 70:30 95:5 70:30 70:30 ＲｕＯ2／カ゛ラス重量比 0.54 0.33 0.33 0.24 0.23ハ゛ラシ゛ウム 被覆銀粉／ （ＲｕＯ2＋カ゛ラス）重量比 0.64 0.23 0.21 0.14 0.03 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 抵抗体焼成後の面積 抵抗値（Ω／□） 10.2 91.9 100 451 745 抵抗体焼成後の面積 抵抗値の変動係数（％） 2.9 3.3 1.9 3.5 3.8 COLD-TCR（ppm/℃) -30 -34 +13 -26 -9 COLD-TCRの最大値− 最小値（ppm/℃) 17 16 12 21 17 HOT-TCR(ppm/℃) +22 +35 +77 +41 +59 HOT-TCRの最大値− 最小値(ppm/℃) 14 12 9 15 13カ゛ラスコート 焼成後の抵抗値 変化率（％） +1.6 +1.7 +1.4 +0.2 -0.4 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
【００２２】
【表２】 比較例 １ ２ ３ ４ ５ ６ ７ −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− Ag粉末 66.4 42.7 27.3 Pd粉末 27.6 18.3 11.7 Ag-Pd共沈粉末 90.0 63.0 39.0 19.1 ＲｕＯ2粉末 2.7 13.3 21.0 3.4 12.6 21.0 20.0カ゛ラス 粉末 各重量％ 5.0 24.7 39.0 6.3 23.4 39.0 60.0 ＭｎＯ2 0.15 0.5 0.5 0.15 0.5 0.5 0.5 Ｎｂ2Ｏ5 0.15 0.5 0.5 0.15 0.5 0.5 0.4 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− Ａｇ:Ｐｄ重量比 70:30 70:30 70:30 70:30 70:30 70:30 70:30 ＲｕＯ2／カ゛ラス重量比 0.54 0.54 0.54 0.54 0.54 0.54 0.54 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 抵抗体焼成後の面積 抵抗値（Ω／□） 0.09 1.17 11.7 0.14 1.21 14.5 100.2 抵抗体焼成後の面積 抵抗値の変動係数（％） 3.3 4.0 3.0 6.8 5.6 5.7 4.9 COLD-TCR（ppm/℃) +479 +312 -14 +450 +276 -22 -39 COLD-TCRの最大値− 最小値（ppm/℃) 54 24 21 61 58 35 27 HOT-TCR(ppm/℃) +444 +313 +46 +423 +283 +39 +40 HOT-TCRの最大値− 最小値(ppm/℃) 34 14 18 50 42 31 24カ゛ラスコート 焼成後の抵抗値 変化率（％） +19.8 +7.2 +2.4 +6.2 +3.9 +2.0 +1.5 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
【００２３】比較例１〜３に示すように、Ａｇ粉、Ｐｄ
粉を混合して用いた場合は、抵抗体焼成後の面積抵抗
値、ＴＣＲのばらつきは小さいが、ガラスコート焼成後
の抵抗値変化が大きい。比較例４〜７に示すように、Ａ
ｇ／Ｐｄ合金粉を用いた場合は、ガラスコート焼成後の
抵抗値変化は小さいが、抵抗体焼成後の面積抵抗値、Ｔ
ＣＲのばらつきが大きくなる。
粉を混合して用いた場合は、抵抗体焼成後の面積抵抗
値、ＴＣＲのばらつきは小さいが、ガラスコート焼成後
の抵抗値変化が大きい。比較例４〜７に示すように、Ａ
ｇ／Ｐｄ合金粉を用いた場合は、ガラスコート焼成後の
抵抗値変化は小さいが、抵抗体焼成後の面積抵抗値、Ｔ
ＣＲのばらつきが大きくなる。
【００２４】これに対して、本発明実施例では、実施例
１〜１１に示すように、抵抗体焼成後の面積抵抗値、Ｔ
ＣＲのばらつきが小さく、しかもガラスコート焼成後の
抵抗値変化も小さい。
１〜１１に示すように、抵抗体焼成後の面積抵抗値、Ｔ
ＣＲのばらつきが小さく、しかもガラスコート焼成後の
抵抗値変化も小さい。
【００２５】
【発明の効果】本発明厚膜抵抗体形成用組成物によれ
ば、従来の技術では困難であった抵抗体焼成後の面積抵
抗値、ＴＣＲのばらつきが小さく、しかもガラスコート
焼成後の抵抗値変化も小さい抵抗体が形成できる。
ば、従来の技術では困難であった抵抗体焼成後の面積抵
抗値、ＴＣＲのばらつきが小さく、しかもガラスコート
焼成後の抵抗値変化も小さい抵抗体が形成できる。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−12501（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−9501（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−136601（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−18394（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−211202（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−168702（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01C 7/00
Claims (1)
- 【請求項１】 固形分としてＲｕＯ2粉末、ガラス粉
末、Ａｇ：Ｐｄの重量比が９５：５〜３０：７０となる
ようにパラジウムで被覆された銀粉を含み、ガラス粉末
に対するＲｕＯ2の重量比が０.１５〜１.５であり、
（ＲｕＯ2＋ガラス粉末）に対するパラジウム被覆銀粉
の重量比が０.０３〜２０である厚膜抵抗体形成用組成
物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04235241A JP3094683B2 (ja) | 1992-08-11 | 1992-08-11 | 厚膜抵抗体形成用組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04235241A JP3094683B2 (ja) | 1992-08-11 | 1992-08-11 | 厚膜抵抗体形成用組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0661004A JPH0661004A (ja) | 1994-03-04 |
| JP3094683B2 true JP3094683B2 (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=16983174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04235241A Expired - Fee Related JP3094683B2 (ja) | 1992-08-11 | 1992-08-11 | 厚膜抵抗体形成用組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3094683B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002067366A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-03-05 | Rohm Co Ltd | サーマルプリントヘッドの発熱抵抗体、サーマルプリントヘッドおよびサーマルプリントヘッドの発熱抵抗体の製造方法 |
-
1992
- 1992-08-11 JP JP04235241A patent/JP3094683B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0661004A (ja) | 1994-03-04 |
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