JP2524326B2 - 光ディスク原盤の製造方法 - Google Patents
光ディスク原盤の製造方法Info
- Publication number
- JP2524326B2 JP2524326B2 JP4353357A JP35335792A JP2524326B2 JP 2524326 B2 JP2524326 B2 JP 2524326B2 JP 4353357 A JP4353357 A JP 4353357A JP 35335792 A JP35335792 A JP 35335792A JP 2524326 B2 JP2524326 B2 JP 2524326B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical disc
- recording
- track pitch
- master
- development
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、再生専用型光ディスク
や追記，書き換え型光ディスクのプリフォーマットされ
た光ディスクを作成するための原盤の製造方法に関し、
特に高密度の光ディスク原盤の製造方法に関するもので
ある。
や追記，書き換え型光ディスクのプリフォーマットされ
た光ディスクを作成するための原盤の製造方法に関し、
特に高密度の光ディスク原盤の製造方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、コンパクトディスク，レーザディ
スク等の再生専用型光ディスクあるいは追記，書き換え
型光ディスクにおけるプリグルーブを有する光ディスク
は、フォトレジストを塗布した原盤にレーザ光を照射し
露光した後、現像処理によってピット又はグルーブを形
成している。更に前記原盤より複製用のスタンパを作成
し、成型することによって光ディスクを作成することが
できる。従って光ディスク原盤のピット又はグルーブの
形状が光ディスクの特性を決定するものとなり、より正
確な露光及び現像条件が要求される。
スク等の再生専用型光ディスクあるいは追記，書き換え
型光ディスクにおけるプリグルーブを有する光ディスク
は、フォトレジストを塗布した原盤にレーザ光を照射し
露光した後、現像処理によってピット又はグルーブを形
成している。更に前記原盤より複製用のスタンパを作成
し、成型することによって光ディスクを作成することが
できる。従って光ディスク原盤のピット又はグルーブの
形状が光ディスクの特性を決定するものとなり、より正
確な露光及び現像条件が要求される。
【０００３】このため従来より、露光量の変化，現像液
濃度のばらつき等によって生じる形状変化量をより少な
くするため、自動現像による処理が行われている。これ
は、記録後の原盤にＨｅ−Ｎｅレーザ光の様にフォトレ
ジスト層を感光しない波長を有するビームを照射し、現
像中に生じる回折光強度を検知し、所定の値で現像処理
を停止することにより、厳密なピット，グルーブ形状の
制御を行う方法である。一般に１次，２次の回折光を使
用し、現像条件を設定している。
濃度のばらつき等によって生じる形状変化量をより少な
くするため、自動現像による処理が行われている。これ
は、記録後の原盤にＨｅ−Ｎｅレーザ光の様にフォトレ
ジスト層を感光しない波長を有するビームを照射し、現
像中に生じる回折光強度を検知し、所定の値で現像処理
を停止することにより、厳密なピット，グルーブ形状の
制御を行う方法である。一般に１次，２次の回折光を使
用し、現像条件を設定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】近年、再生用半導体レ
ーザの短波長化が図られ、可視領域のレーザ光が実現
し、従来以上の低線速，狭トラックピッチによる高密度
光ディスク再生に応用されている。ところで上記高密度
光ディスク原盤において、特に、狭いトラックピッチに
よる記録原盤では前述の自動現像を実施した場合、ｍ次
光の回折角φｍは、 φｍ＝ａｒｃｓｉｎ（ｍ・λ／Ｐ） 但しＰ：トラックピッチ，λ：照射ビーム波長，ｍ：回
折光の次数 で表されるので回折角（φｍ）が大きくなり、正確な回
折光ビームの検出が困難となってしまう。
ーザの短波長化が図られ、可視領域のレーザ光が実現
し、従来以上の低線速，狭トラックピッチによる高密度
光ディスク再生に応用されている。ところで上記高密度
光ディスク原盤において、特に、狭いトラックピッチに
よる記録原盤では前述の自動現像を実施した場合、ｍ次
光の回折角φｍは、 φｍ＝ａｒｃｓｉｎ（ｍ・λ／Ｐ） 但しＰ：トラックピッチ，λ：照射ビーム波長，ｍ：回
折光の次数 で表されるので回折角（φｍ）が大きくなり、正確な回
折光ビームの検出が困難となってしまう。
【０００５】また、照射用ビーム波長（λ）とトラック
ピッチ（Ｐ）の値がほぼ等しくなった場合には回折光が
生じなくなり、現像条件の設定，制御が不可能となる欠
点を有している。さらに、照射レーザ波長を短くした場
合には、原盤に塗布されたフォトレジストを感光する結
果となる。
ピッチ（Ｐ）の値がほぼ等しくなった場合には回折光が
生じなくなり、現像条件の設定，制御が不可能となる欠
点を有している。さらに、照射レーザ波長を短くした場
合には、原盤に塗布されたフォトレジストを感光する結
果となる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明では、
上記記述の欠点を解決するため、情報及びグルーブの記
録領域以外の内周又は外周部に、記録領域でのトラック
ピッチに対し、少なくとも２倍以上の整数倍比でのピッ
チによって記録を行った現像用モニタ領域を配置し、本
領域で自動現像の処理を実施するものである。
上記記述の欠点を解決するため、情報及びグルーブの記
録領域以外の内周又は外周部に、記録領域でのトラック
ピッチに対し、少なくとも２倍以上の整数倍比でのピッ
チによって記録を行った現像用モニタ領域を配置し、本
領域で自動現像の処理を実施するものである。
【０００７】
【作用】従って本発明により、従来と同等の回折光ビー
ムの回折角が得られること、更に、モニタ領域では速度
制御を変更することなく原盤回転時の原点パルスのカウ
ントによるシャッタのＯＮ，ＯＦＦ動作によって容易に
トラックピッチの拡大記録が可能となる。
ムの回折角が得られること、更に、モニタ領域では速度
制御を変更することなく原盤回転時の原点パルスのカウ
ントによるシャッタのＯＮ，ＯＦＦ動作によって容易に
トラックピッチの拡大記録が可能となる。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明の一実施例を示す概略図であ
る。図において、ガラス原盤１内に情報信号に準じたピ
ット、又はグルーブ等を記録領域２に記録した後、記録
領域２におけるトラックピッチの２倍のピッチで現像モ
ニタ領域３が記録領域２の外周に半径２〜３ｍｍの幅で
記録されており、現像モニタ領域３に自動現像用のＨｅ
−Ｎｅレーザが照射され、現像時間が制御される。
る。図において、ガラス原盤１内に情報信号に準じたピ
ット、又はグルーブ等を記録領域２に記録した後、記録
領域２におけるトラックピッチの２倍のピッチで現像モ
ニタ領域３が記録領域２の外周に半径２〜３ｍｍの幅で
記録されており、現像モニタ領域３に自動現像用のＨｅ
−Ｎｅレーザが照射され、現像時間が制御される。
【０００９】図２は、図１のガラス原盤１のＡ−Ａ′断
面図であり、本実施例ではピット記録の場合を模示して
いて、記録領域２の２倍のトラックピッチで現像モニタ
領域３が記録されている。図３は本実施例における回転
パルスとシャッタの開閉動作及び記録ビームの変調状態
を示すもので、２倍のトラックピッチで記録する場合の
タイムテャートである。
面図であり、本実施例ではピット記録の場合を模示して
いて、記録領域２の２倍のトラックピッチで現像モニタ
領域３が記録されている。図３は本実施例における回転
パルスとシャッタの開閉動作及び記録ビームの変調状態
を示すもので、２倍のトラックピッチで記録する場合の
タイムテャートである。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、１μｍ以下の狭小トラ
ックピッチの高密度記録の場合でも、現像モニタ領域が
２倍以上のピッチとなるため、モニタビームの回折角が
拡がることがなく正確な自動現像により、ピット，グル
ーブの厳密な形状がコントロールできる。また、２倍の
トラックピッチの記録を回転パルスを利用するので速度
制御を変更をせずに容易にモニタ領域が作成できる。
ックピッチの高密度記録の場合でも、現像モニタ領域が
２倍以上のピッチとなるため、モニタビームの回折角が
拡がることがなく正確な自動現像により、ピット，グル
ーブの厳密な形状がコントロールできる。また、２倍の
トラックピッチの記録を回転パルスを利用するので速度
制御を変更をせずに容易にモニタ領域が作成できる。
【図１】本発明の一実施例を示す概略図。
【図２】図１の断面図。
【図３】本発明の一実施例を示すタイムチャート。
１ ガラス原盤 ２ 記録領域 ３ 現像モニタ領域
Claims (1)
- 【請求項１】 フォトレジスト等の感光剤を塗布したガ
ラス原盤にレーザ光を照射し、情報信号に準じたピッ
ト，又はグルーブ等を記録すると共に、上記情報信号及
びグルーブの記録領域の以外に、情報あるいはグルーブ
の記録トラックピッチの少なくとも２倍以上の整数倍で
のトラックピッチで記録した現像用モニタ領域を有する
ことを特徴とした光ディスク原盤の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4353357A JP2524326B2 (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 光ディスク原盤の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4353357A JP2524326B2 (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 光ディスク原盤の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06236581A JPH06236581A (ja) | 1994-08-23 |
| JP2524326B2 true JP2524326B2 (ja) | 1996-08-14 |
Family
ID=18430292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4353357A Expired - Lifetime JP2524326B2 (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 光ディスク原盤の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2524326B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7283457B2 (en) | 2001-10-24 | 2007-10-16 | Tdk Corporation | Optical recording medium and method of evaluating optical recording medium |
-
1992
- 1992-12-11 JP JP4353357A patent/JP2524326B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7283457B2 (en) | 2001-10-24 | 2007-10-16 | Tdk Corporation | Optical recording medium and method of evaluating optical recording medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06236581A (ja) | 1994-08-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960305 |