JP2522812B2 - 防振装置 - Google Patents

防振装置

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JP2522812B2
JP2522812B2 JP63012082A JP1208288A JP2522812B2 JP 2522812 B2 JP2522812 B2 JP 2522812B2 JP 63012082 A JP63012082 A JP 63012082A JP 1208288 A JP1208288 A JP 1208288A JP 2522812 B2 JP2522812 B2 JP 2522812B2
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vibration
bimorph
resistor
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研二 内野
一正 大西
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ARUPUSU DENKI KK
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ARUPUSU DENKI KK
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    • G12INSTRUMENT DETAILS
    • G12BCONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G12B3/00Details of movements not otherwise provided for
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/005Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion using electro- or magnetostrictive actuation means

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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は顕微鏡などの防振装置に関する。
「従来の技術」 従来、この種の防振装置として、例えば第7図のよう
な構成のものが用いられていた。
第7図において、1は支持板であり、支持対象物3が
表面に載せられる。2は弾性部材であり、支持板1の裏
面に貼り付けられ、支持対象物3が載せられた支持板1
を床面4上に支える。
このような構成の防振装置において、床面4を振動が
伝って来た場合、振動は弾性部材2において減衰され、
支持対象物3への振動の伝播が防止される。
「発明が解決しようとする課題」 ところで、上述した従来の防振装置は弾性部材におけ
る振動の減衰が充分でなく、また、支持板1に伝った振
動が減衰するのに時間が掛かり、満足できる防振効果が
得られないという問題があった。
この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、床
面から受ける振動を速やかに減衰させる事ができる防振
効果の優れた防振装置を提供することを目的としてい
る。
「課題を解決するための手段」 この発明は、支持対象物が載せられる支持板と、前記
支持板に取り付けられて前記支持板を支えるための部材
とからなり、前記支持板面に抵抗体が電極に接続された
圧電効果素子を貼り付けた事を特徴としている。
「作用」 上記構成によれば、振動が床面を伝って来ると、振動
は弾性部材を介して支持板および支持板に貼り付けられ
た圧電効果素子に伝えられ、支持板および圧電効果素子
が振動する。この振動によって圧電効果素子の電極に電
荷が発生し、この電荷が抵抗体を介して放電する。この
時、圧電効果素子の振動エネルギーは電気エネルギーと
して抵抗体に消費され、圧電効果素子の振動が減衰され
る。これに伴い、圧電効果素子の貼り付けられた支持板
の振動が減衰される。
「実施例」 以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明
する。
第1図はこの発明の一実施例による防振装置の構成図
である。なお、この図において、前述した第7図と対応
する部分には同一の符号を付して、その説明を省略す
る。
5はバイモルフであり、支持板1の裏面の弾性部材2
の取付部に貼り付けられている。6は抵抗体であり、両
端がバイモルフ5の電極5a、5bに接続されている。
第2図はこの実施例で用いられているバイモルフ5お
よび抵抗体6の構成図である。このバイモルフ5は、第
2図に示すように外力fを加えると、外力fの向きに曲
げられるが、この結果、電極5a、5bに電荷が発生する。
そして、外力fが取り除かれると、バイモルフ5に、残
留振動が発生する。この結果、バイモルフ5の電極5a、
5b間には残留振動に応じた交番電圧が発生する。そし
て、電極5a、5bに発生した電荷は抵抗体6を介して放電
し、抵抗6においてジュール熱が発生する。この時、バ
イモルフ5の振動エネルギーは抵抗6においてジュール
熱となって消費され、バイモルフ5の振動は減衰して行
く。すなわち、バイモルフ5に抵抗体6を接続する事に
より、バイモルフ5に残留振動に対する制振効果がもた
らされる。
第1図の防振装置は、上述のバイモルフの特性を利用
したものであり、以下に説明する動作をする。床面4に
振動が発生すると、これが弾性部材2を介して支持板1
に貼り付けられたバイモルフ5に伝わり、バイモルフ5
が振動する。この振動によってバイモルフ5の電極5a、
5bに電荷が発生するが、この電荷が抵抗体6を介して放
電する。この時、バイモルフ5の振動エネルギーは電気
エネルギーとして抵抗体6に消費され、バイモルフ5の
振動が減衰される。これに伴って、バイモルフ5の貼り
付けられた支持板1の振動が減衰される。
さて、ここで第2図における抵抗体6の抵抗値と、バ
イモルフ5の残留振動の制振効果との関係について説明
する。第2図において、抵抗体6の抵抗値を変化させる
と、抵抗体6で発生するジュール熱が変化する。このジ
ュール熱が最大となるように、抵抗体6の抵抗値を設定
すると最大の制振効果が得られる。
第3図は、第2図のバイモルフ5および抵抗体6の等
価回路図である。この図において、Cはバイモルフ5の
静電容量、Lはバイモルフ5のインダクタンス、Rは抵
抗体6であり、V0(t)は残留振動によってバイモルフ
5に発生する交番電圧を表す。ここで、交番電圧V
0(t)の角周波数をωとすると、この回路のインピー
ダンスZは次式で表される。
次に、抵抗体5で消費されるジュール熱Wは次式で表
される。
上式において、分母が最小となった時にジュール熱Wは
最大となる。すなわち、抵抗体6の抵抗値Rが次式で表
される値の時に、式(2)の分母は最小となり、抵抗体
5で消費されるジュール熱Wは最大となる。
通常、残留振動の周波数は300Hz程度であり、バイモ
ルフ5の静電容量Cは約60nF、インダクタンス分Lは無
視できる程小さい。これらの条件を式(3)に代入する
と、R=8.8kΩとなる。すなわち、抵抗体6の抵抗値を
8.8kΩ程度に設定すれば、バイモルフ5の残留振動の制
振効果が最大になる事が推定される。
第4図は、第2図において抵抗体6の抵抗値を各種設
定し、バイモルフ5に外乱を与え、残留振動波形の観測
を行った結果を示すものである。第5図は、第4図の残
留振動波形から振幅減衰の時定数τを求め、抵抗Rとの
関係をグラフ化したものである。これらの図を見ると、
前述の推定通り、抵抗体6の抵抗値が6.6kΩ〜10kΩ付
近の時に減衰の時定数が最小になっており、バイモルフ
5の制振効果が最大になっている事がわかる。
以上、バイモルフ5に抵抗体6を接続する事によっ
て、バイモルフ5の制振効果が増し、また、抵抗体6の
抵抗値をバイモルフ5の内部インピーダンスに合わせれ
ば、バイモルフ5の制振効果が最大となる事がわかる。
従って、適当な抵抗値の抵抗体をバイモルフに接続し、
このバイモルフを防振装置の支持板に貼り付ければ、防
振装置の防振効果を高める事ができる。
まだ、第6図はこの発明の第2の実施例による防振装
置の構成図であるが、この図に示すように、バイモルフ
5を弾性部材2の取付部以外の場所に貼り付けても、前
述した第1の実施例と同様、支持板1に伝った振動を速
やかに制振する効果がある。
「発明の効果」 以上説明したように、この発明によれば、防振装置の
支持板面に電極に抵抗体が接続された圧電効果素子を貼
り付けたので、防振装置の防振効果が大きくなる効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例による防振装置の構成図、
第2図は同実施例において用いられているバイモルフお
よび抵抗体の構成図、第3図は第2図のバイモルフおよ
び抵抗体の等価回路図、第4図は第2図において抵抗体
の抵抗値を各種設定してバイモルフに外乱を与えた時の
バイモルフの残留振動波形、第5図は第4図の各残留振
動波形の減衰の時定数と抵抗体の抵抗値との関係を示す
図、第6図はこの発明の第2の実施例による防振装置の
構成図、第7図は従来の防振装置の構成図である。 1……支持板、2……弾性部材、3……支持対象物、4
……床面、5……バイモルフ、5a、5b……電極、6……
抵抗体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−51750(JP,A) 特開 昭61−83655(JP,A) 特開 昭62−88015(JP,A)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】支持対象物が載せられる支持板と、前記支
    持板に取り付けられて前記支持板を支えるための部材と
    からなり、前記支持板面に抵抗体が電極に接続された圧
    電効果素子を貼り付けた事を特徴とする防振装置。
JP63012082A 1988-01-22 1988-01-22 防振装置 Expired - Lifetime JP2522812B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63012082A JP2522812B2 (ja) 1988-01-22 1988-01-22 防振装置
US07/244,891 US4883248A (en) 1988-01-22 1988-09-15 Shock preventing apparatus

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JP63012082A JP2522812B2 (ja) 1988-01-22 1988-01-22 防振装置

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Publication Number Publication Date
JPH01190271A JPH01190271A (ja) 1989-07-31
JP2522812B2 true JP2522812B2 (ja) 1996-08-07

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ID=11795661

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US4883248A (en) 1989-11-28
JPH01190271A (ja) 1989-07-31

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