JP2521325Y2 - 干渉計 - Google Patents
干渉計Info
- Publication number
- JP2521325Y2 JP2521325Y2 JP6512491U JP6512491U JP2521325Y2 JP 2521325 Y2 JP2521325 Y2 JP 2521325Y2 JP 6512491 U JP6512491 U JP 6512491U JP 6512491 U JP6512491 U JP 6512491U JP 2521325 Y2 JP2521325 Y2 JP 2521325Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- screen
- interferometer
- hologram
- subject
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、光源からのコヒーレ
ント光を被検体の被検面と基準面とで反射させ、これら
双方の反射して戻る光を干渉させて形成する干渉縞をス
クリーン上に投影する干渉計に関するものである。
ント光を被検体の被検面と基準面とで反射させ、これら
双方の反射して戻る光を干渉させて形成する干渉縞をス
クリーン上に投影する干渉計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】被検体の面形状を測定するため、例えば
図４に示すような干渉計が開発されている。この干渉計
は、光源となるレーザ１００から出射する拡散光をコリ
メータレンズ１０１によって平行光とし、これをミラー
１０２で反射させて基準板１０３に入射・透過させる。
そしてこの基準板１０３に入射するレーザ光のうち、図
５に示す基準板１０３の下面（基準面）１０３ａで反射
する光αと、基準板１０３を透過後被検体１０４の被検
面１０４ａで反射する光βとを干渉させ、これらの光
α，βの干渉縞をガラス板等で形成したスクリーン１０
５上に投影させてこの像をカメラ１０６で投影する構成
となっている。
図４に示すような干渉計が開発されている。この干渉計
は、光源となるレーザ１００から出射する拡散光をコリ
メータレンズ１０１によって平行光とし、これをミラー
１０２で反射させて基準板１０３に入射・透過させる。
そしてこの基準板１０３に入射するレーザ光のうち、図
５に示す基準板１０３の下面（基準面）１０３ａで反射
する光αと、基準板１０３を透過後被検体１０４の被検
面１０４ａで反射する光βとを干渉させ、これらの光
α，βの干渉縞をガラス板等で形成したスクリーン１０
５上に投影させてこの像をカメラ１０６で投影する構成
となっている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】ところが、そのスクリ
ーン上に投影される像をカメラで撮影する場合、特に小
さい角度で光がスクリーンに入射する場合には、スクリ
ーンの投影像が形成される直上にカメラを配置し、かつ
そのスクリーンとしてスリガラス等の拡散手段を用いた
としても、図６に示す如く、カメラを配置する点Ｃに向
かう拡散光の割合が極めて小さいので、撮影した像は極
めて暗いものになってしまう。そこで、例えばスリガラ
スの上にフレネルレンズを配設してカメラを配置する点
Ｃに向けてなるべく多くの光を集めようとする工夫もな
されているが、これでも集光効率が悪い。この考案は、
上記した従来の欠点に鑑み、たとえ斜め方向から小さな
角度でスクリーンに入射する場合であっても、干渉光を
効率よく集めて干渉縞の明瞭な観察や撮影を行うことが
できる干渉計を提供することを目的とするものである。
ーン上に投影される像をカメラで撮影する場合、特に小
さい角度で光がスクリーンに入射する場合には、スクリ
ーンの投影像が形成される直上にカメラを配置し、かつ
そのスクリーンとしてスリガラス等の拡散手段を用いた
としても、図６に示す如く、カメラを配置する点Ｃに向
かう拡散光の割合が極めて小さいので、撮影した像は極
めて暗いものになってしまう。そこで、例えばスリガラ
スの上にフレネルレンズを配設してカメラを配置する点
Ｃに向けてなるべく多くの光を集めようとする工夫もな
されているが、これでも集光効率が悪い。この考案は、
上記した従来の欠点に鑑み、たとえ斜め方向から小さな
角度でスクリーンに入射する場合であっても、干渉光を
効率よく集めて干渉縞の明瞭な観察や撮影を行うことが
できる干渉計を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】即ち、この考案は、光源
から射出されたコヒーレント光を被検体に入射させ、被
検体の被検面と被検体の背後に配置された基準板の基準
面とで反射させ、これらの反射光の干渉により生ずる干
渉縞をスクリーン上に形成する干渉計において、前記ス
クリーンが、このスクリーンに向けて入射し透過する光
束を、干渉縞を観察する近傍に向けて回析・集光させる
ホログラムで構成されたものである。
から射出されたコヒーレント光を被検体に入射させ、被
検体の被検面と被検体の背後に配置された基準板の基準
面とで反射させ、これらの反射光の干渉により生ずる干
渉縞をスクリーン上に形成する干渉計において、前記ス
クリーンが、このスクリーンに向けて入射し透過する光
束を、干渉縞を観察する近傍に向けて回析・集光させる
ホログラムで構成されたものである。
【０００５】
【作用】この考案の干渉計は、被検体の被検面を測定す
る際に干渉光が進行する光路と同一光路をたどるように
参照光をホログラムとなる感光体の一面に投光させると
共に、カメラや観察者の観測点となる位置に絞った物体
光を感光体の他面に拡散状態で投光させてホログラムを
形成したスクリーン、つまりホログラムスクリーンを使
用している。従って、干渉縞を形成する干渉光をホログ
ラムスクリーンに投光すると、このスクリーンに再生光
が投光されたことになり、これによりその再生光（干渉
光）をスクリーンを透過してホログラム形成時の物体光
の絞られた近傍に向けて光を回析し集光させることがで
きる。
る際に干渉光が進行する光路と同一光路をたどるように
参照光をホログラムとなる感光体の一面に投光させると
共に、カメラや観察者の観測点となる位置に絞った物体
光を感光体の他面に拡散状態で投光させてホログラムを
形成したスクリーン、つまりホログラムスクリーンを使
用している。従って、干渉縞を形成する干渉光をホログ
ラムスクリーンに投光すると、このスクリーンに再生光
が投光されたことになり、これによりその再生光（干渉
光）をスクリーンを透過してホログラム形成時の物体光
の絞られた近傍に向けて光を回析し集光させることがで
きる。
【０００６】
【実施例】以下この考案の一実施例について添付図面を
参照しながら説明する。図１はこの考案に係る干渉計を
示すものであり、この干渉計は、光源１と、コリメータ
レンズ２と、ミラー３と、基準板４と、ホログラムスク
リーン５とから構成されており、カメラ６によってその
スクリーン５上に形成される干渉縞を撮影するようにな
っているが、ホログラムスクリーン５以外は従来と同様
のものが用いられている。なお、図中符号７は面形状を
測定する被検体を示すものである。また、この考案の実
施例では斜入射型干渉計に適用したが、特にこれに限定
されるものではなく、フィゾー型干渉計等にも適用が可
能である。ホログラムスクリーン５は、被検体７の被検
面７ａや基準板４の基準面４ａで反射して干渉する干渉
光を再生光として利用し、この干渉光（再生光）がホロ
グラムスクリーン５に対し角度θ1 で入射してくると、
図２に示す如くカメラ６のある観測点Ｃに向けて＋１次
の回析光を出射させる集光機能と拡散機能とを備えてお
り、これによって明瞭な干渉縞をカメラ６で撮影するこ
とができるようになっている。なお、このホログラムス
クリーン５の作成方法については次に図３を参照しなが
ら説明する。
参照しながら説明する。図１はこの考案に係る干渉計を
示すものであり、この干渉計は、光源１と、コリメータ
レンズ２と、ミラー３と、基準板４と、ホログラムスク
リーン５とから構成されており、カメラ６によってその
スクリーン５上に形成される干渉縞を撮影するようにな
っているが、ホログラムスクリーン５以外は従来と同様
のものが用いられている。なお、図中符号７は面形状を
測定する被検体を示すものである。また、この考案の実
施例では斜入射型干渉計に適用したが、特にこれに限定
されるものではなく、フィゾー型干渉計等にも適用が可
能である。ホログラムスクリーン５は、被検体７の被検
面７ａや基準板４の基準面４ａで反射して干渉する干渉
光を再生光として利用し、この干渉光（再生光）がホロ
グラムスクリーン５に対し角度θ1 で入射してくると、
図２に示す如くカメラ６のある観測点Ｃに向けて＋１次
の回析光を出射させる集光機能と拡散機能とを備えてお
り、これによって明瞭な干渉縞をカメラ６で撮影するこ
とができるようになっている。なお、このホログラムス
クリーン５の作成方法については次に図３を参照しなが
ら説明する。
【０００７】図３に示すホログラムスクリーンの作成装
置は、光源１と、コリメータレンズ２と、ハーフミラー
８と、ミラー３，９と、集光レンズ１０や、スリット１
１等から成るスクリーン性能に合わせた光学系２０と、
ホログラムスクリーンとなる感光体５′とから構成され
ており、そのうち光源１，コリメートレンズ２，ミラー
３は先の図１と同一のものが使用されている。従って、
この装置によれば、光源１から出射されたコヒーレント
なレーザ光がハーフミラー８により分割され、ハーフミ
ラー８を透過するものはミラー３で反射したのち、被検
体７での反射光とほぼ同一の角度θ2 で感光体５′に参
照光γとして入射する。また、ハーフミラー８で直角に
反射された他の光は、ミラー９で反射したのち、スクリ
ーン性能に合わせた光学系２０により被検体観測時の測
定点Ｃに相当する位置に向けて集光される。そして、光
学系２０を通過したのち、感光体５′の感光材料が塗布
された一面５ａ′に物体光δとして入射する。 このよ
うにして、感光体５′の一面５ａ′において参照光γと
物体光δとの干渉縞を感光材料に記録すると、集光作用
と拡散作用とを備えたホログラムが形成できる。
置は、光源１と、コリメータレンズ２と、ハーフミラー
８と、ミラー３，９と、集光レンズ１０や、スリット１
１等から成るスクリーン性能に合わせた光学系２０と、
ホログラムスクリーンとなる感光体５′とから構成され
ており、そのうち光源１，コリメートレンズ２，ミラー
３は先の図１と同一のものが使用されている。従って、
この装置によれば、光源１から出射されたコヒーレント
なレーザ光がハーフミラー８により分割され、ハーフミ
ラー８を透過するものはミラー３で反射したのち、被検
体７での反射光とほぼ同一の角度θ2 で感光体５′に参
照光γとして入射する。また、ハーフミラー８で直角に
反射された他の光は、ミラー９で反射したのち、スクリ
ーン性能に合わせた光学系２０により被検体観測時の測
定点Ｃに相当する位置に向けて集光される。そして、光
学系２０を通過したのち、感光体５′の感光材料が塗布
された一面５ａ′に物体光δとして入射する。 このよ
うにして、感光体５′の一面５ａ′において参照光γと
物体光δとの干渉縞を感光材料に記録すると、集光作用
と拡散作用とを備えたホログラムが形成できる。
【０００８】従ってこの実施例の干渉計によれば、光源
１から出射されたホログラム作成時と同一波長のレーザ
光が、図１に示す如くコリメートレンズ２で平行光とな
り、ミラー３で反射されたのち基準板４に斜入射する。
レーザ光の一部は基準面４ａで反射する。また基準板４
を透過して被検面７ａに向かうレーザ光のうちの一部が
その被検面７ａで反射して先の基準面４ａでの反射光と
干渉し合いながらホログラムスクリーン５に角度θ
1 （数１）で入射する。このようにして入射する干渉光
は、そのホログラムスクリーン５に対して再生光として
も作用するので、そのホログラムスクリーン５に入射
後、回析して１次光がカメラ６に向けて集光される。
１から出射されたホログラム作成時と同一波長のレーザ
光が、図１に示す如くコリメートレンズ２で平行光とな
り、ミラー３で反射されたのち基準板４に斜入射する。
レーザ光の一部は基準面４ａで反射する。また基準板４
を透過して被検面７ａに向かうレーザ光のうちの一部が
その被検面７ａで反射して先の基準面４ａでの反射光と
干渉し合いながらホログラムスクリーン５に角度θ
1 （数１）で入射する。このようにして入射する干渉光
は、そのホログラムスクリーン５に対して再生光として
も作用するので、そのホログラムスクリーン５に入射
後、回析して１次光がカメラ６に向けて集光される。
【０００９】
【数１】
【００１０】
【考案の効果】以上説明してきたように、この考案に係
る干渉計によれば、集光作用と拡散作用として機能する
ホログラムをスクリーンとして使用し、被検体の観測時
に被検面及び基準面から反射して戻り互いに干渉して干
渉縞を形成する干渉光をホログラム記録時の参照光と同
一方向から入射させることによって再生光として作用さ
せ、これによってホログラムスクリーンに入射した干渉
光をカメラや観察者の視点に向けて回析・集光させるこ
とができるので、明瞭な干渉縞の撮影や観察が可能とな
る効果がある。
る干渉計によれば、集光作用と拡散作用として機能する
ホログラムをスクリーンとして使用し、被検体の観測時
に被検面及び基準面から反射して戻り互いに干渉して干
渉縞を形成する干渉光をホログラム記録時の参照光と同
一方向から入射させることによって再生光として作用さ
せ、これによってホログラムスクリーンに入射した干渉
光をカメラや観察者の視点に向けて回析・集光させるこ
とができるので、明瞭な干渉縞の撮影や観察が可能とな
る効果がある。
【図１】この考案に係る干渉計を示す構成図である。
【図２】この考案に係るホログラムスクリーンの作用を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図３】この考案に係るホログラムスクリーンの記録の
際に用いる作成装置を示す構成図である。
際に用いる作成装置を示す構成図である。
【図４】従来の反射型斜入射干渉計を示す構成図であ
る。
る。
【図５】反射型斜入射干渉計の原理を示す説明図であ
る。
る。
【図６】従来の干渉計の問題点を示す説明図である。
１ 光源 ４ 基準体 ４ａ 基準面 ５ ホログラムスクリーン ７ 被検体 ７ａ 被検面
Claims (1)
- 【請求項１】 光源から射出されたコヒーレント光を被
検体に入射させ、被検体の被検面と被検体の背後に配置
された基準板の基準面とで反射させ、これらの反射光の
干渉により生ずる干渉縞をスクリーン上に形成する干渉
計において、 前記スクリーンが、このスクリーンに向けて入射し透過
する光束を、干渉縞を観察する近傍に向けて回析・集光
させるホログラムで構成されたことを特徴とする干渉
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6512491U JP2521325Y2 (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | 干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6512491U JP2521325Y2 (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | 干渉計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0511007U JPH0511007U (ja) | 1993-02-12 |
| JP2521325Y2 true JP2521325Y2 (ja) | 1996-12-25 |
Family
ID=13277815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6512491U Expired - Lifetime JP2521325Y2 (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | 干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2521325Y2 (ja) |
-
1991
- 1991-07-23 JP JP6512491U patent/JP2521325Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0511007U (ja) | 1993-02-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323532 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323533 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
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| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323532 |
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| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323533 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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