JPH06103173B2 - 斜入射干渉計装置 - Google Patents
斜入射干渉計装置Info
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- JPH06103173B2 JPH06103173B2 JP62135868A JP13586887A JPH06103173B2 JP H06103173 B2 JPH06103173 B2 JP H06103173B2 JP 62135868 A JP62135868 A JP 62135868A JP 13586887 A JP13586887 A JP 13586887A JP H06103173 B2 JPH06103173 B2 JP H06103173B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、光の干渉作用によって形成される干渉縞を
利用して被検体の平面度を検査することのできる斜入射
干渉計装置の改良に関するものである。
利用して被検体の平面度を検査することのできる斜入射
干渉計装置の改良に関するものである。
（従来の技術） 近年、被検体表面の凹凸差が大きくてもその表面を精度
良く測定することができる干渉計装置として、斜入射干
渉計装置が開発されている。第３図（ａ）及び（ｂ）は
本件特許出願人が昭和61年１月31日付で特許出願し提案
した斜入射干渉計装置を示すものである。
良く測定することができる干渉計装置として、斜入射干
渉計装置が開発されている。第３図（ａ）及び（ｂ）は
本件特許出願人が昭和61年１月31日付で特許出願し提案
した斜入射干渉計装置を示すものである。
この斜入射干渉計装置において、He−Neレーザ発振器１
から射出された波長632.8nmのレーザ光は、プリズム発
射鏡９で光路を折り曲げられて発散レンズ２に入射す
る。このレーザ光は発散レンズ２で光束を拡げられ、ミ
ラー11で折り曲げられてコリメーターレンズ３に入射す
る。コリメーターレンズ３により平行光束とされたレー
ザ光は、第１回折格子４により＋１次方向に回折する平
行光の＋１次光αと、回折されずに直進透過する平行光
の０次光βとに分割される。この＋１次光αは、載置台
５上に載置される被検体Ｔの被検面に入射し、反射され
て第２回折格子６に入射する。第２回折格子６は、第５
図に示す如く前記０次光βを、回折せずに直進透過する
０次光Ａと−１次光方向に回折される−１次光β′とに
分割するとともに、被検体Ｔの被検面で反射された光α
を透過させて透過光α′とする。この透過光α′と−１
次光β′は相互に干渉してホログラムスクリーン７上に
被検面の凹凸の程度を示す干渉縞を作る。この干渉縞
は、ホログラムスクリーン７により視点Ｅで正面視でき
るようになっている。
から射出された波長632.8nmのレーザ光は、プリズム発
射鏡９で光路を折り曲げられて発散レンズ２に入射す
る。このレーザ光は発散レンズ２で光束を拡げられ、ミ
ラー11で折り曲げられてコリメーターレンズ３に入射す
る。コリメーターレンズ３により平行光束とされたレー
ザ光は、第１回折格子４により＋１次方向に回折する平
行光の＋１次光αと、回折されずに直進透過する平行光
の０次光βとに分割される。この＋１次光αは、載置台
５上に載置される被検体Ｔの被検面に入射し、反射され
て第２回折格子６に入射する。第２回折格子６は、第５
図に示す如く前記０次光βを、回折せずに直進透過する
０次光Ａと−１次光方向に回折される−１次光β′とに
分割するとともに、被検体Ｔの被検面で反射された光α
を透過させて透過光α′とする。この透過光α′と−１
次光β′は相互に干渉してホログラムスクリーン７上に
被検面の凹凸の程度を示す干渉縞を作る。この干渉縞
は、ホログラムスクリーン７により視点Ｅで正面視でき
るようになっている。
なお、調整用ホログラム８は、被検面で反射して第２回
折格子６で回折する回折光βをスクリーン12に集光させ
るものである。観察者は、前記干渉縞は観察できるよう
にするために、載置台５を調節して被検面の高さや傾き
調整を行ない、スクリーン12上の基準面の集光点と被検
面の集光点を一致させることができるようになってい
る。
折格子６で回折する回折光βをスクリーン12に集光させ
るものである。観察者は、前記干渉縞は観察できるよう
にするために、載置台５を調節して被検面の高さや傾き
調整を行ない、スクリーン12上の基準面の集光点と被検
面の集光点を一致させることができるようになってい
る。
（発明が解決しようとする問題点） ところで、前記干渉計装置にあっては、第１回折格子４
で回折された平行光の＋１次回折光αが被検体Ｔの被検
面以上に拡がって入射すると、被検面の形状に関係なく
その周縁部T1で回折現象が生ずる。この回折現象が起こ
ると、被検面の周縁部から反射された光の波面は完全な
平面波形状でなくなり周辺部に丸みを帯びた波面形状と
なる。一例として、被検体Ｔが円形形状で傾きを有して
いる場合、被検面で反射して第２回折格子６で回折せず
に透過する透過光α′と第２回折格子６で回折した−１
次光β′とによる干渉縞は、第６図（ａ）に示すような
互いに平行な干渉縞とならず被検面の周縁部T1における
回折光の影響により、第６図（ｂ）に示すように周縁部
に丸みを帯びた干渉縞となる。このため、被検面の周縁
部T1にあたかも面ダレが存在しているように誤認される
恐れがあった。
で回折された平行光の＋１次回折光αが被検体Ｔの被検
面以上に拡がって入射すると、被検面の形状に関係なく
その周縁部T1で回折現象が生ずる。この回折現象が起こ
ると、被検面の周縁部から反射された光の波面は完全な
平面波形状でなくなり周辺部に丸みを帯びた波面形状と
なる。一例として、被検体Ｔが円形形状で傾きを有して
いる場合、被検面で反射して第２回折格子６で回折せず
に透過する透過光α′と第２回折格子６で回折した−１
次光β′とによる干渉縞は、第６図（ａ）に示すような
互いに平行な干渉縞とならず被検面の周縁部T1における
回折光の影響により、第６図（ｂ）に示すように周縁部
に丸みを帯びた干渉縞となる。このため、被検面の周縁
部T1にあたかも面ダレが存在しているように誤認される
恐れがあった。
そこで、この発明は上記事情に鑑みて、被検面の周縁部
で回折現象が生じていても干渉縞に回折効果が付加され
ないで正しく被検面を検査することができる斜入射干渉
計装置を提供することを目的とするものである。
で回折現象が生じていても干渉縞に回折効果が付加され
ないで正しく被検面を検査することができる斜入射干渉
計装置を提供することを目的とするものである。
（問題点を解決するための手段） 本発明の斜入射干渉計装置は、可干渉性の光を射出する
射出手段と、この射出手段から射出された光線を発散さ
せる光学手段と、この光学手段透過後の光束を平行光束
に形成する平行光束形成手段と、この平行光束形成手段
透過後の光束を特定方向に回折する回折光線αと直進透
過する透過光線βとに分割する第１回折格子と、検査す
る被検体を載置して変位・移動させる載置手段と、前記
第１回折格子によって回折され、且つ前記被検体の被検
面で反射された光線αを透過光線α′となし、前記透過
光線βを特定方向に回折させて回折光線β′となして前
記両光線α′とβ′とを干渉させる第２回折格子と、前
記第２回折格子からの光線を屈折透過し且つ前記被検体
を等倍率で結像する結像レンズ系と、前記結像レンズ系
を透過した干渉縞が投影され且つ前記結像レンズ系によ
る被検体の像が結像されるホログラムスクリーンとを備
えたものでである。
射出手段と、この射出手段から射出された光線を発散さ
せる光学手段と、この光学手段透過後の光束を平行光束
に形成する平行光束形成手段と、この平行光束形成手段
透過後の光束を特定方向に回折する回折光線αと直進透
過する透過光線βとに分割する第１回折格子と、検査す
る被検体を載置して変位・移動させる載置手段と、前記
第１回折格子によって回折され、且つ前記被検体の被検
面で反射された光線αを透過光線α′となし、前記透過
光線βを特定方向に回折させて回折光線β′となして前
記両光線α′とβ′とを干渉させる第２回折格子と、前
記第２回折格子からの光線を屈折透過し且つ前記被検体
を等倍率で結像する結像レンズ系と、前記結像レンズ系
を透過した干渉縞が投影され且つ前記結像レンズ系によ
る被検体の像が結像されるホログラムスクリーンとを備
えたものでである。
（作用） この発明の斜入射干渉計装置では、被検体の被検面が、
第２回折格子とホログラムスクリーンとの間の光路中に
設けられた結像レンズ系によって、ホログラムスクリー
ンに等倍で結像される。従い、被検面の周縁部で生ずる
回折光はホログラムスクリーン上の対応する結像点に集
光され、ホログラムスクリーン上の干渉縞には回折光の
影響が生じなくなる。
第２回折格子とホログラムスクリーンとの間の光路中に
設けられた結像レンズ系によって、ホログラムスクリー
ンに等倍で結像される。従い、被検面の周縁部で生ずる
回折光はホログラムスクリーン上の対応する結像点に集
光され、ホログラムスクリーン上の干渉縞には回折光の
影響が生じなくなる。
（実施例） 以下、この発明の一実施例について添付図面を参照しな
がら説明する。第１図（ａ）及び（ｂ）は、この発明に
係る斜入射干渉計装置の平面図及び側面図を示す。第１
図（ａ）及び（ｂ）において１はレーザ光などの可干渉
性光を射出するレーザ発振器、２は発散レンズ、３はコ
リメーターレンズ、４は第１回折格子、５は載置台、６
は第２回折格子、20、22は結像レンズ、７はホログラム
スクリーン（ホログラムレンズとも言う）、９は反射プ
リズム、10はピンホール、11は反射ミラー、30は撮像レ
ンズ、40はテレビカメラを示す。
がら説明する。第１図（ａ）及び（ｂ）は、この発明に
係る斜入射干渉計装置の平面図及び側面図を示す。第１
図（ａ）及び（ｂ）において１はレーザ光などの可干渉
性光を射出するレーザ発振器、２は発散レンズ、３はコ
リメーターレンズ、４は第１回折格子、５は載置台、６
は第２回折格子、20、22は結像レンズ、７はホログラム
スクリーン（ホログラムレンズとも言う）、９は反射プ
リズム、10はピンホール、11は反射ミラー、30は撮像レ
ンズ、40はテレビカメラを示す。
レーザ発振器１は、波長632.8nmの赤色の可干渉光線で
ある出力15mwのヘリウムネオン（He−Ne）レーザ光を射
出する。このレーザ光は直線偏光となっている。発散レ
ンズ２は、レーザ発振器１から射出されたレーザ光を発
散させるレンズであり、複数枚のレンズで構成される場
合もある。
ある出力15mwのヘリウムネオン（He−Ne）レーザ光を射
出する。このレーザ光は直線偏光となっている。発散レ
ンズ２は、レーザ発振器１から射出されたレーザ光を発
散させるレンズであり、複数枚のレンズで構成される場
合もある。
コリメーターレンズ３は、有害光を除去するピンホール
10を通過し反射ミラー11で反射した発散レーザ光を平行
光束とするものであり、複数枚のレンズから構成されて
いる。
10を通過し反射ミラー11で反射した発散レーザ光を平行
光束とするものであり、複数枚のレンズから構成されて
いる。
第１回折格子４は、コリメーターレンズ３により平行光
束となったレーザ光を＋１次光方向に回折する第１次光
αと、回折せずに直進透過する０次光βとに分割するも
のである。この第１回折格子４は、平面を機械的に刻設
して多数の微細な溝を形成したものから構成されている
が、例えば乳剤あるいは感光性樹脂に干渉縞を記録して
格子を形成したホログラフィック格子を用いてもよい。
束となったレーザ光を＋１次光方向に回折する第１次光
αと、回折せずに直進透過する０次光βとに分割するも
のである。この第１回折格子４は、平面を機械的に刻設
して多数の微細な溝を形成したものから構成されている
が、例えば乳剤あるいは感光性樹脂に干渉縞を記録して
格子を形成したホログラフィック格子を用いてもよい。
載置台５は、被検体を載置する台である。この載置台５
は、第４図に示すように、ジャッキ機構5aと、ジャッキ
機構5a上に取付けられジャッキ機構により垂直方向（Ｚ
方向）に移動する基台5bと、３個のねじ5cによって基台
5bに支持され、それらのねじ5cを操作してＺ方向に垂直
な平面（XY面）の傾きを調整する円形テーブル5dとから
構成されている。この円形テーブル5d上に被検体Ｔを載
置してその被検体Ｔの被検面の平面度を検査するように
なっている。
は、第４図に示すように、ジャッキ機構5aと、ジャッキ
機構5a上に取付けられジャッキ機構により垂直方向（Ｚ
方向）に移動する基台5bと、３個のねじ5cによって基台
5bに支持され、それらのねじ5cを操作してＺ方向に垂直
な平面（XY面）の傾きを調整する円形テーブル5dとから
構成されている。この円形テーブル5d上に被検体Ｔを載
置してその被検体Ｔの被検面の平面度を検査するように
なっている。
第２回折格子６は、第１回折格子４と同様に形成されて
いる。この第２回折格子６は、第５図に示すように、第
１回折格子４によって＋１次方向に回折して被検体Ｔの
被検面に入射した後反射された＋１次光αを回折せずに
直進透過した−１次光α′と、第１回折格子４で回折せ
ずに直進透過した０次光βを−１次方向に回折した−１
次光β′とを重ね合せて干渉させるものである。
いる。この第２回折格子６は、第５図に示すように、第
１回折格子４によって＋１次方向に回折して被検体Ｔの
被検面に入射した後反射された＋１次光αを回折せずに
直進透過した−１次光α′と、第１回折格子４で回折せ
ずに直進透過した０次光βを−１次方向に回折した−１
次光β′とを重ね合せて干渉させるものである。
結像レンズ20は、正の焦点距離ｆを有するレンズであ
る。この結像レンズ20は、被検体５の被検面の中心点０
から距離ｆの位置に設けられており、第２回折格子６か
ら射出される前記干渉状態にある平行光束をｐ点に集光
させるものである。
る。この結像レンズ20は、被検体５の被検面の中心点０
から距離ｆの位置に設けられており、第２回折格子６か
ら射出される前記干渉状態にある平行光束をｐ点に集光
させるものである。
結像レンズ22は、結像レンズ20と同様に正の焦点距離ｆ
を有するレンズである。この結像レンズ22は、焦光点ｐ
から距離ｆの位置に設けられており、結像レンズ20によ
り集光された光束を再び平行光束に戻すものである。従
い、この結像レンズ20と22は、集光点ｐを中心として対
象的に配置されており、両レンズは同一のレンズで構成
することが可能である。
を有するレンズである。この結像レンズ22は、焦光点ｐ
から距離ｆの位置に設けられており、結像レンズ20によ
り集光された光束を再び平行光束に戻すものである。従
い、この結像レンズ20と22は、集光点ｐを中心として対
象的に配置されており、両レンズは同一のレンズで構成
することが可能である。
ホログラムスクリーン７は、レンズ作用とスクリーン作
用とを兼ねそなえた透過型のホログラムスクリーン７で
ある。このホログラムスクリーンは、結像レンズ22から
距離ｆの位置０′に被検体Ｔの被検面に対応して斜めに
設けられており、結像レンズ20と22とから成るレンズ系
によって被検面と等倍（−１倍）の結像関係となってい
る。一方、ホログラムスクリーン７上には、被検面の凹
凸に起因する干渉縞が投影される。ここで、一例として
円形形状の被検体がそのXY平面に傾斜している場合の干
渉縞の形状について説明する。
用とを兼ねそなえた透過型のホログラムスクリーン７で
ある。このホログラムスクリーンは、結像レンズ22から
距離ｆの位置０′に被検体Ｔの被検面に対応して斜めに
設けられており、結像レンズ20と22とから成るレンズ系
によって被検面と等倍（−１倍）の結像関係となってい
る。一方、ホログラムスクリーン７上には、被検面の凹
凸に起因する干渉縞が投影される。ここで、一例として
円形形状の被検体がそのXY平面に傾斜している場合の干
渉縞の形状について説明する。
第２回折格子６を経た光束は、平行光束であるので、結
像レンズ20の方向から見るとその波面は平面波のように
見える。ところが実際には、光束が被検面の広さよりも
拡がって被検面に入射すると、被検面の周縁（エッジ）
部T1で回折が起こる。この回折作用で光が正規の光路外
に回り込むため、被検面から反射された波面は、その波
面の端部が丸みを帯びた擬平面波となる。この擬平面波
と前記平面波の一次光β′とが干渉すると、その干渉縞
の形状は、中央部が平行で周縁部に丸みを帯びた形にな
る。しかしながら、結像レンズ20及び22とから成るレン
ズ系が等倍率の結像作用をするため、被検面の周縁部T1
からの回折光Ｄはホログラムスクリーン７の対応する点
T1′に集光されるので、前記干渉縞の周縁部の丸みは無
くなり、互いに平行な干渉縞となる。従い、被検面の周
縁部T1で回折が起こっても、その影響を受けずに被検面
の平面度を正確に検査することができるものである。
像レンズ20の方向から見るとその波面は平面波のように
見える。ところが実際には、光束が被検面の広さよりも
拡がって被検面に入射すると、被検面の周縁（エッジ）
部T1で回折が起こる。この回折作用で光が正規の光路外
に回り込むため、被検面から反射された波面は、その波
面の端部が丸みを帯びた擬平面波となる。この擬平面波
と前記平面波の一次光β′とが干渉すると、その干渉縞
の形状は、中央部が平行で周縁部に丸みを帯びた形にな
る。しかしながら、結像レンズ20及び22とから成るレン
ズ系が等倍率の結像作用をするため、被検面の周縁部T1
からの回折光Ｄはホログラムスクリーン７の対応する点
T1′に集光されるので、前記干渉縞の周縁部の丸みは無
くなり、互いに平行な干渉縞となる。従い、被検面の周
縁部T1で回折が起こっても、その影響を受けずに被検面
の平面度を正確に検査することができるものである。
撮影レンズ30は、ホログラムスクリーン７上の干渉縞を
テレビカメラ40に内蔵されている撮像管の撮像面に結像
させるものである。前記干渉縞は、この撮影レンズ30の
位置に観察者の眼を置くことによっても観察することが
できる。
テレビカメラ40に内蔵されている撮像管の撮像面に結像
させるものである。前記干渉縞は、この撮影レンズ30の
位置に観察者の眼を置くことによっても観察することが
できる。
次に、この発明に係る斜入射干渉計装置の他の実施例に
ついて説明する。
ついて説明する。
第２図は、この発明に係る他の実施例の斜入射干渉計装
置の第１回折格子４からテレビカメラ40に至る要部側面
図を示し、レーザー発振器１からコリメーターレンズ３
に至る構成は第１図（ａ）及び（ｂ）と同一である。第
２図において、第１図（ａ）及び（ｂ）と同符号、同番
号は同一機能を有する。24は偏光ビームスプリッタ、26
は1/4波長板、28は裏面鏡を示す。第２図において、レ
ーザ発振器１からコリメーターレンズ３に至る図示して
いない構成及び第１回折格子４から第２回折格子６に至
る構成は前記と重複するため説明を省略する。
置の第１回折格子４からテレビカメラ40に至る要部側面
図を示し、レーザー発振器１からコリメーターレンズ３
に至る構成は第１図（ａ）及び（ｂ）と同一である。第
２図において、第１図（ａ）及び（ｂ）と同符号、同番
号は同一機能を有する。24は偏光ビームスプリッタ、26
は1/4波長板、28は裏面鏡を示す。第２図において、レ
ーザ発振器１からコリメーターレンズ３に至る図示して
いない構成及び第１回折格子４から第２回折格子６に至
る構成は前記と重複するため説明を省略する。
偏光ビームスプリッタ24は、第２回折格子６から射出さ
れた−１次光α′に対し45゜傾斜して設けられ、第２回
折格子６からの直線偏光光束を透過させる。
れた−１次光α′に対し45゜傾斜して設けられ、第２回
折格子６からの直線偏光光束を透過させる。
結像レンズ20は、焦点距離ｆを有し、被検体の被検面の
中心ｏから距離ｆの位置に設けられ、偏光ビームスプリ
ッタ24からの平行光束を距離ｆ離れた点ｐに集光する。
中心ｏから距離ｆの位置に設けられ、偏光ビームスプリ
ッタ24からの平行光束を距離ｆ離れた点ｐに集光する。
1/4波長板26は、結像レンズ20の集光光束中に設けら
れ、結像レンズ20からの光束を円偏光させる。
れ、結像レンズ20からの光束を円偏光させる。
裏面鏡28は、反射面28bを有し、その反射面28bが集光点
ｐに一致するように設けられている。この裏面鏡28は、
1/4波長板26により円偏光された光束を反射面28bで反射
して元の光路へ戻すものである。裏面鏡28で反射された
光束は、1/4波長板26で前記光束と直交する直線偏光に
偏光され、結像レンズ20から再び平行光束となる。結像
レンズ20から射出された平行光束は、偏光ビームスプリ
ッタ24で反射され光路を折り曲げられてホログラムスク
リーン７に達する。ホログラムスクリーン７の中心ｏ′
は、結像レンズ20から距離ｆの位置にあり、被検面に対
応して光束に対して角度θ傾斜して設けられている。す
なわち、被検面とホログラムスクリーン７は、等倍（−
１倍）の結像関係になっている。このホログラムスクリ
ーン７上には、被検面の像と被検面の凹凸に基づく干渉
縞が形成されている。ホログラムスクリーン７は、光束
を折り曲げるので、撮影レンズ30によりテレビカメラ40
の撮像面に結像させる。この実施例では偏光ビームスプ
リッタ24、裏面反射鏡28を用いたので結像レンズ20を１
つ設ければよく、安価となり、全長を短くすることがで
きる。
ｐに一致するように設けられている。この裏面鏡28は、
1/4波長板26により円偏光された光束を反射面28bで反射
して元の光路へ戻すものである。裏面鏡28で反射された
光束は、1/4波長板26で前記光束と直交する直線偏光に
偏光され、結像レンズ20から再び平行光束となる。結像
レンズ20から射出された平行光束は、偏光ビームスプリ
ッタ24で反射され光路を折り曲げられてホログラムスク
リーン７に達する。ホログラムスクリーン７の中心ｏ′
は、結像レンズ20から距離ｆの位置にあり、被検面に対
応して光束に対して角度θ傾斜して設けられている。す
なわち、被検面とホログラムスクリーン７は、等倍（−
１倍）の結像関係になっている。このホログラムスクリ
ーン７上には、被検面の像と被検面の凹凸に基づく干渉
縞が形成されている。ホログラムスクリーン７は、光束
を折り曲げるので、撮影レンズ30によりテレビカメラ40
の撮像面に結像させる。この実施例では偏光ビームスプ
リッタ24、裏面反射鏡28を用いたので結像レンズ20を１
つ設ければよく、安価となり、全長を短くすることがで
きる。
（効果） 以上説明したように、この発明に係る斜入射干渉計装置
は、第２回折格子とホログラムスクリーンとの間の光路
中に結像レンズを設けて等倍の結像関係を持たせたか
ら、ホログラムスクリーン上にできる干渉縞は、回折の
影響を受けずに被検面の凹凸状態を正確に測定すること
ができる。
は、第２回折格子とホログラムスクリーンとの間の光路
中に結像レンズを設けて等倍の結像関係を持たせたか
ら、ホログラムスクリーン上にできる干渉縞は、回折の
影響を受けずに被検面の凹凸状態を正確に測定すること
ができる。
第１図（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ本発明に係る斜入
射干渉計装置の一実施例を示す平面図と側面図である。
第２図は、本発明に係る斜入射干渉計装置の他の実施例
の要部側面図である。第３図（ａ）及び（ｂ）は、それ
ぞれ従来の斜入射干渉計装置の平面図と側面図である。
第４図は、本発明に係る斜入射干渉計装置の載置台を示
す図である。第５図は本発明に係る斜入射干渉計装置の
第２回折格子の作用を説明する図である。第６図（ａ）
及び（ｂ）は、それぞれ本発明に係る斜入射干渉計装置
に基づく干渉縞と従来の斜入射干渉計装置に基づく干渉
縞を示す図である。 １……レーザ発振器、３……コリメーターレンズ、 ４……第１回折格子、５……載置台、 ６……第２回折格子、 ７……ホログラムスクリーン、 20,22……結像レンズ。
射干渉計装置の一実施例を示す平面図と側面図である。
第２図は、本発明に係る斜入射干渉計装置の他の実施例
の要部側面図である。第３図（ａ）及び（ｂ）は、それ
ぞれ従来の斜入射干渉計装置の平面図と側面図である。
第４図は、本発明に係る斜入射干渉計装置の載置台を示
す図である。第５図は本発明に係る斜入射干渉計装置の
第２回折格子の作用を説明する図である。第６図（ａ）
及び（ｂ）は、それぞれ本発明に係る斜入射干渉計装置
に基づく干渉縞と従来の斜入射干渉計装置に基づく干渉
縞を示す図である。 １……レーザ発振器、３……コリメーターレンズ、 ４……第１回折格子、５……載置台、 ６……第２回折格子、 ７……ホログラムスクリーン、 20,22……結像レンズ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−177421（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】可干渉性の光を射出する射出手段と、この
射出手段から射出された光線を発散させる光学手段と、
この光学手段透過後の光束を平行光束に形成する平行光
束形成手段と、この平行光束形成手段透過後の光束を特
定方向に回折する回折光線αと直進透過する透過光線β
とに分割する第１回折格子と、検査する被検体を載置し
て変位・移動させる載置手段と、前記第１回折格子によ
って回折され、且つ前記被検体の被検面で反射された光
線αを透過光線α′となし、前記透過光線βを特定方向
に回折させて回折光線β′となして前記両光線α′と
β′とを干渉させる第２回折格子と、前記第２回折格子
からの光線を屈折透過し且つ前記被検体を等倍率で結像
する結像レンズ系と、前記結像レンズ系を透過した干渉
縞が投影され且つ前記結像レンズ系による被検体の像が
結像されるホログラムスクリーンとを備えたことを特徴
とする斜入射干渉計装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62135868A JPH06103173B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 斜入射干渉計装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62135868A JPH06103173B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 斜入射干渉計装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63298107A JPS63298107A (ja) | 1988-12-05 |
| JPH06103173B2 true JPH06103173B2 (ja) | 1994-12-14 |
Family
ID=15161646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62135868A Expired - Fee Related JPH06103173B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 斜入射干渉計装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06103173B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5268742A (en) * | 1992-06-15 | 1993-12-07 | Hughes Aircraft Company | Full aperture interferometry for grazing incidence optics |
| DE102005056914A1 (de) | 2005-11-29 | 2007-05-31 | Carl Zeiss Smt Ag | Projektionsbelichtungsystem |
| JP5725681B1 (ja) * | 2014-01-22 | 2015-05-27 | レーザーテック株式会社 | 干渉計及び位相シフト量測定装置 |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP62135868A patent/JPH06103173B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63298107A (ja) | 1988-12-05 |
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