JP3326645B2 - 検出ヘッド浮上量測定装置および測定方法 - Google Patents
検出ヘッド浮上量測定装置および測定方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、情報記録媒体に対する
検出ヘッドの浮上量を測定する装置および方法に関し、
特に磁気ディスク装置の製造工程においてガラスディス
クと磁気ヘッドとの間隔を光の干渉に基づいて測定する
装置および方法に関する。
検出ヘッドの浮上量を測定する装置および方法に関し、
特に磁気ディスク装置の製造工程においてガラスディス
クと磁気ヘッドとの間隔を光の干渉に基づいて測定する
装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ヘッドの浮上量、すなわち磁気ヘッ
ドとディスクとの間隔を測定する従来の装置では、ディ
スクに光を照射し、磁気ヘッド面（ディスクと対向する
面）とディスク下面（磁気ヘッドと対向する面）との干
渉を観測することによって磁気ヘッドの浮上量を測定し
ている。
ドとディスクとの間隔を測定する従来の装置では、ディ
スクに光を照射し、磁気ヘッド面（ディスクと対向する
面）とディスク下面（磁気ヘッドと対向する面）との干
渉を観測することによって磁気ヘッドの浮上量を測定し
ている。
【０００３】一般に、磁気ヘッド面とディスク下面との
間隔は微小であり、この微小な間隔を測定するためには
この２つの面の間でのみ干渉が観測されることが重要で
ある。すなわち、磁気ヘッド面またはディスク下面と他
の面（たとえばディスク上面）との干渉あるいは他の２
つの面の間の干渉が観測されると、これが干渉縞に対す
るノイズとなって測定精度が低下する。特に、ディスク
下面とディスク上面との間に干渉が起こることが多かっ
た。
間隔は微小であり、この微小な間隔を測定するためには
この２つの面の間でのみ干渉が観測されることが重要で
ある。すなわち、磁気ヘッド面またはディスク下面と他
の面（たとえばディスク上面）との干渉あるいは他の２
つの面の間の干渉が観測されると、これが干渉縞に対す
るノイズとなって測定精度が低下する。特に、ディスク
下面とディスク上面との間に干渉が起こることが多かっ
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
磁気ヘッド浮上量測定装置では、磁気ヘッド面とディス
ク下面との干渉に加えて、ディスク上面とディスク下面
との干渉が起こる。この結果、得られた干渉縞波形には
ノイズが混入し、測定精度が大きく損なわれるという不
都合があった。本発明は、前述の課題に鑑みてなされた
ものであり、ディスク上面とディスク下面との干渉を回
避して、検出ヘッドの浮上量を精度良く測定することが
できる装置および測定方法を提供することを目的とす
る。
磁気ヘッド浮上量測定装置では、磁気ヘッド面とディス
ク下面との干渉に加えて、ディスク上面とディスク下面
との干渉が起こる。この結果、得られた干渉縞波形には
ノイズが混入し、測定精度が大きく損なわれるという不
都合があった。本発明は、前述の課題に鑑みてなされた
ものであり、ディスク上面とディスク下面との干渉を回
避して、検出ヘッドの浮上量を精度良く測定することが
できる装置および測定方法を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明においては、光の干渉に基づいて情報記録媒
体と検出ヘッドとの間隔を測定する装置において、光源
と、該光源の出力光束コヒーレンスを低減するためのコ
ヒーレンス低減手段と、該コヒーレンス低減手段を介し
て空間的にインコヒーレントになった光束を集光させる
ための集光手段と、前記情報記録媒体の前記検出ヘッド
に対向する面および前記検出ヘッドの前記情報記録媒体
に対向する面からの反射光を受光するための受光手段
と、該受光手段が出力する干渉縞に基づいて前記情報記
録媒体と前記検出ヘッドとの間隔を求めるための処理手
段とを備え、前記情報記録媒体の対向面への入射光の最
大入射角をθとし、前記情報記録媒体の両面間隔をＬと
し、前記入射光の波長をλとし、前記情報記録媒体の前
記波長に対する屈折率をｎとしたとき、 sinθ＞｛λ／（ｎ・Ｌ）｝ 1/2 の条件を満足する ことを特徴とする測定装置を提供す
る。
に、本発明においては、光の干渉に基づいて情報記録媒
体と検出ヘッドとの間隔を測定する装置において、光源
と、該光源の出力光束コヒーレンスを低減するためのコ
ヒーレンス低減手段と、該コヒーレンス低減手段を介し
て空間的にインコヒーレントになった光束を集光させる
ための集光手段と、前記情報記録媒体の前記検出ヘッド
に対向する面および前記検出ヘッドの前記情報記録媒体
に対向する面からの反射光を受光するための受光手段
と、該受光手段が出力する干渉縞に基づいて前記情報記
録媒体と前記検出ヘッドとの間隔を求めるための処理手
段とを備え、前記情報記録媒体の対向面への入射光の最
大入射角をθとし、前記情報記録媒体の両面間隔をＬと
し、前記入射光の波長をλとし、前記情報記録媒体の前
記波長に対する屈折率をｎとしたとき、 sinθ＞｛λ／（ｎ・Ｌ）｝ 1/2 の条件を満足する ことを特徴とする測定装置を提供す
る。
【０００６】本発明の好ましい態様によれば、前記光源
はレーザ光源であり、前記コヒーレンス低減手段は前記
レーザ光源の出力光束を拡大するための光束拡大手段
と、所定速度で回転する拡散板とを備えている。
はレーザ光源であり、前記コヒーレンス低減手段は前記
レーザ光源の出力光束を拡大するための光束拡大手段
と、所定速度で回転する拡散板とを備えている。
【０００７】また、本発明によれば、光の干渉に基づい
て情報記録媒体と検出ヘッドとの間隔を測定する方法に
おいて、光源が出力した光束のコヒーレンスを低減して
空間的にインコヒーレントな光束に形成するための工程
と、前記インコヒーレントな光束を集光させるための工
程と、前記情報記録媒体の前記検出ヘッドに対向する面
および前記検出ヘッドの前記情報記録媒体に対向する面
からの反射光を受光するための工程と、前記受光反射光
において観測される干渉縞波形に基づいて前記情報記録
媒体と前記検出ヘッドとの間隔を求めるための工程とを
備え、前記情報記録媒体の対向面への入射光の最大入射
角をθとし、前記情報記録媒体の両面間隔をＬとし、前
記入射光の波長をλとし、前記情報記録媒体の前記波長
に対する屈折率をｎとしたとき、 ｓｉｎθ ＞ 〔λ／（ｎ・Ｌ）〕1/2 の条件を満足することを特徴とする測定方法を提供す
る。なお、本発明でいう入射光の波長λは、真空中にお
ける入射光の波長を指す。
て情報記録媒体と検出ヘッドとの間隔を測定する方法に
おいて、光源が出力した光束のコヒーレンスを低減して
空間的にインコヒーレントな光束に形成するための工程
と、前記インコヒーレントな光束を集光させるための工
程と、前記情報記録媒体の前記検出ヘッドに対向する面
および前記検出ヘッドの前記情報記録媒体に対向する面
からの反射光を受光するための工程と、前記受光反射光
において観測される干渉縞波形に基づいて前記情報記録
媒体と前記検出ヘッドとの間隔を求めるための工程とを
備え、前記情報記録媒体の対向面への入射光の最大入射
角をθとし、前記情報記録媒体の両面間隔をＬとし、前
記入射光の波長をλとし、前記情報記録媒体の前記波長
に対する屈折率をｎとしたとき、 ｓｉｎθ ＞ 〔λ／（ｎ・Ｌ）〕1/2 の条件を満足することを特徴とする測定方法を提供す
る。なお、本発明でいう入射光の波長λは、真空中にお
ける入射光の波長を指す。
【０００８】
【作用】ディスク下面とディスク上面との不要な干渉縞
を除去するには、光源の空間コヒーレンスを低減しなけ
ればならない。また、ディスク下面に集光する光束の最
大入射角を所定の値以上にする必要がある。すなわち、
集光ＮＡを所定値以上にする必要がある。以下、所望の
集光ＮＡについて説明する。
を除去するには、光源の空間コヒーレンスを低減しなけ
ればならない。また、ディスク下面に集光する光束の最
大入射角を所定の値以上にする必要がある。すなわち、
集光ＮＡを所定値以上にする必要がある。以下、所望の
集光ＮＡについて説明する。
【０００９】図３は、ディスク下面とディスク上面との
干渉を説明する図であって、光束の集光ＮＡおよびディ
スク両面間の光路差を示している。図３において、２つ
の光線１および２が示されている。光線１は図中実線で
示すようにディスク面に対して垂直に入射する光線であ
り、光線２は図中破線で示すようにディスク面に対して
斜めに入射する光線である。光線１に対するディスク上
面７ａの点Ｏでの反射光とディスク下面７ｂの点Ｏ′で
の反射光との光路差はΔＬ１である。また、光線２に対
するディスク上面７ａの点Ｏでの反射光とディスク下面
７ｂの点Ｏ′での反射光との光路差はΔＬ２である。
干渉を説明する図であって、光束の集光ＮＡおよびディ
スク両面間の光路差を示している。図３において、２つ
の光線１および２が示されている。光線１は図中実線で
示すようにディスク面に対して垂直に入射する光線であ
り、光線２は図中破線で示すようにディスク面に対して
斜めに入射する光線である。光線１に対するディスク上
面７ａの点Ｏでの反射光とディスク下面７ｂの点Ｏ′で
の反射光との光路差はΔＬ１である。また、光線２に対
するディスク上面７ａの点Ｏでの反射光とディスク下面
７ｂの点Ｏ′での反射光との光路差はΔＬ２である。
【００１０】ディスク下面７ｂとディスク上面７ａとの
干渉が観測されないようにするには、光線２に対する光
路差ΔＬ２と光線１に対する光路差ΔＬ１との差すなわ
ちΔＬ２−ΔＬ１を照射光の波長λより大きくする必要
がある。ΔＬ２−ΔＬ１を波長λより大きくすることに
より、光線１の入射角と光線２の入射角との間の任意の
入射角を有する光線がそれぞれ様々な干渉状態をとり、
各光線に対する干渉は互いに相殺され全体として干渉が
実質的に観測されなくなる。
干渉が観測されないようにするには、光線２に対する光
路差ΔＬ２と光線１に対する光路差ΔＬ１との差すなわ
ちΔＬ２−ΔＬ１を照射光の波長λより大きくする必要
がある。ΔＬ２−ΔＬ１を波長λより大きくすることに
より、光線１の入射角と光線２の入射角との間の任意の
入射角を有する光線がそれぞれ様々な干渉状態をとり、
各光線に対する干渉は互いに相殺され全体として干渉が
実質的に観測されなくなる。
【００１１】照明光の波長λに対するディスクの屈折率
をｎとし、ディスク両面間隔（厚さ）をＬとし、ディス
ク下面７ｂへの入射角をθとすると、ΔＬ２−ΔＬ１は
次の式（１）で表される。 ΔＬ２−ΔＬ１＝２・ｎ・Ｌ・（１−ｃｏｓθ） （１） したがって、ΔＬ２−ΔＬ１を波長λより大きくするこ
とは、次の条件式（２）を満足することである。 ２・ｎ・Ｌ・（１−ｃｏｓθ） ＞ λ （２）
をｎとし、ディスク両面間隔（厚さ）をＬとし、ディス
ク下面７ｂへの入射角をθとすると、ΔＬ２−ΔＬ１は
次の式（１）で表される。 ΔＬ２−ΔＬ１＝２・ｎ・Ｌ・（１−ｃｏｓθ） （１） したがって、ΔＬ２−ΔＬ１を波長λより大きくするこ
とは、次の条件式（２）を満足することである。 ２・ｎ・Ｌ・（１−ｃｏｓθ） ＞ λ （２）
【００１２】ｃｏｓθをテイラー展開して、上記条件式
（２）を次の条件式（３）のように表すこともできる。 ｓｉｎθ ＞ 〔λ／（ｎ・Ｌ）〕1/2 （３） 条件式（３）の条件を満足すれば、ディスク上面７ａで
の反射光とディスク下面７ｂでの反射光とは干渉縞を作
らないことになる。ちなみに、ディスク下面７ｂと磁気
ヘッド面（不図示）との干渉が観測されるための条件
は、ディスク下面７ｂと磁気ヘッド面との間隔をｄとす
ると、次の条件式（４）で表される。 ｓｉｎθ′ ＜ （λ／ｄ）1/2 （４）
（２）を次の条件式（３）のように表すこともできる。 ｓｉｎθ ＞ 〔λ／（ｎ・Ｌ）〕1/2 （３） 条件式（３）の条件を満足すれば、ディスク上面７ａで
の反射光とディスク下面７ｂでの反射光とは干渉縞を作
らないことになる。ちなみに、ディスク下面７ｂと磁気
ヘッド面（不図示）との干渉が観測されるための条件
は、ディスク下面７ｂと磁気ヘッド面との間隔をｄとす
ると、次の条件式（４）で表される。 ｓｉｎθ′ ＜ （λ／ｄ）1/2 （４）
【００１３】
【実施例】本発明の実施例を、添付図面に基づいて説明
する。図１は、本発明の実施例にかかる測定装置の構成
を概略的に示す図である。図１に示すように、本実施例
の装置は、レーザ光源１を備えている。レーザ光源１か
ら射出した光は、凹レンズ２を介して拡散され、回転拡
散板３に入射する。拡散板３は所定速度で回転し、それ
自体による透過率むらを低減する。回転拡散板３の所定
回転速度は、後述する検出器のシャッター速度に依存す
る。検出器のシャッター速度とは、検出器がたとえばＣ
ＣＤで構成されている場合には、ＣＣＤからの出力信号
の読み出し速度のことを指す。
する。図１は、本発明の実施例にかかる測定装置の構成
を概略的に示す図である。図１に示すように、本実施例
の装置は、レーザ光源１を備えている。レーザ光源１か
ら射出した光は、凹レンズ２を介して拡散され、回転拡
散板３に入射する。拡散板３は所定速度で回転し、それ
自体による透過率むらを低減する。回転拡散板３の所定
回転速度は、後述する検出器のシャッター速度に依存す
る。検出器のシャッター速度とは、検出器がたとえばＣ
ＣＤで構成されている場合には、ＣＣＤからの出力信号
の読み出し速度のことを指す。
【００１４】拡散板３を透過した光は、偏光ビームスプ
リッター４を通過した後、結像レンズ５およびλ／４板
６を介してディスク７の下面に集光されるようになって
いる。ディスク７の下面および磁気ヘッド面（不図示）
での反射光は、λ／４板６および結像レンズ５を介し偏
光ビームスプリッター４で反射される。偏光ビームスプ
リッター４で反射された光は、ズーム光学系８および結
像光学系９を介して検出器１０に入射する。ズーム光学
系８は、観測範囲を可変にするためのものである。な
お、反射光が光路の途中で結像する場合には、その中間
結像位置に視野絞りを配置して不要な光線を遮蔽するこ
とにより、ノイズを低減するのが好ましい。
リッター４を通過した後、結像レンズ５およびλ／４板
６を介してディスク７の下面に集光されるようになって
いる。ディスク７の下面および磁気ヘッド面（不図示）
での反射光は、λ／４板６および結像レンズ５を介し偏
光ビームスプリッター４で反射される。偏光ビームスプ
リッター４で反射された光は、ズーム光学系８および結
像光学系９を介して検出器１０に入射する。ズーム光学
系８は、観測範囲を可変にするためのものである。な
お、反射光が光路の途中で結像する場合には、その中間
結像位置に視野絞りを配置して不要な光線を遮蔽するこ
とにより、ノイズを低減するのが好ましい。
【００１５】図２は、回転拡散板上の光束の大きさとデ
ィスクに入射する光束の集光ＮＡとの関係を示す図であ
る。図１および図２を参照して、本実施例の測定装置の
動作について説明する。光源１から射出したレーザ光
は、凹レンズ２により拡散され、回転拡散板３に入射す
る。図２に示すように、回転拡散板３上では拡大された
光束は直径φを有する。
ィスクに入射する光束の集光ＮＡとの関係を示す図であ
る。図１および図２を参照して、本実施例の測定装置の
動作について説明する。光源１から射出したレーザ光
は、凹レンズ２により拡散され、回転拡散板３に入射す
る。図２に示すように、回転拡散板３上では拡大された
光束は直径φを有する。
【００１６】回転拡散板３を透過した光束は、偏光ビー
ムスプリッター４を通過し、結像レンズ５によって集光
される。結像レンズ５によって集光された光束は、λ／
４板６を介して円偏光に変換され、ディスク７の下面７
ｂに結合する。このように、結像レンズ５とディスク７
との間にλ／４板６を設けることにより、結像レンズ５
内の反射による不要光は偏光ビームスプリッター４を透
過して光源側に戻るようになっている。すなわち、不要
光が偏光ビームスプリッター４で反射され検出器１０に
入射してノイズを形成しないようになっている。
ムスプリッター４を通過し、結像レンズ５によって集光
される。結像レンズ５によって集光された光束は、λ／
４板６を介して円偏光に変換され、ディスク７の下面７
ｂに結合する。このように、結像レンズ５とディスク７
との間にλ／４板６を設けることにより、結像レンズ５
内の反射による不要光は偏光ビームスプリッター４を透
過して光源側に戻るようになっている。すなわち、不要
光が偏光ビームスプリッター４で反射され検出器１０に
入射してノイズを形成しないようになっている。
【００１７】ディスク７の下面７ｂおよび磁気ヘッド面
での反射光は、再び同じ光路を通りλ／４板６を介して
再び直線偏光に変換され、偏光ビームスプリッター４で
反射され、検出器１０側に導かれる。偏光ビームスプリ
ッター４で偏向された反射光は、ズーム光学系８および
結像光学系９を介して検出器１０で受光される。こうし
て、検出器１０で観測された干渉縞に基づいて、ディス
ク７の下面７ｂと磁気ヘッド面との間隔を求めることが
できる。
での反射光は、再び同じ光路を通りλ／４板６を介して
再び直線偏光に変換され、偏光ビームスプリッター４で
反射され、検出器１０側に導かれる。偏光ビームスプリ
ッター４で偏向された反射光は、ズーム光学系８および
結像光学系９を介して検出器１０で受光される。こうし
て、検出器１０で観測された干渉縞に基づいて、ディス
ク７の下面７ｂと磁気ヘッド面との間隔を求めることが
できる。
【００１８】なお、光束の直径をφとし、結像レンズ５
の焦点距離をｆとすると、次の式（５）の関係が成立す
る。 ｓｉｎθ＝（φ／２）／（ｎ・ｆ） （５） したがって、ディスク７の上面７とディスク７の下面７
ａとの間で不要な干渉が観測されないための条件式
（３）を、上記式（５）の関係を用いて、次の条件式
（６）のように表すことができる。 φ ＞ ２・ｆ〔（ｎ・λ）／Ｌ〕1/2 （６）
の焦点距離をｆとすると、次の式（５）の関係が成立す
る。 ｓｉｎθ＝（φ／２）／（ｎ・ｆ） （５） したがって、ディスク７の上面７とディスク７の下面７
ａとの間で不要な干渉が観測されないための条件式
（３）を、上記式（５）の関係を用いて、次の条件式
（６）のように表すことができる。 φ ＞ ２・ｆ〔（ｎ・λ）／Ｌ〕1/2 （６）
【００１９】したがって、たとえば、ｆ＝１００ｍｍ、
λ＝０．６３３μｍ、Ｌ＝５ｍｍ、ｎ＝１．５とする
と、光束の直径φは次の条件式（７）を満たす必要があ
る。 φ ＞ ２．７６ｍｍ （７） また、ディスク下面７ｂと磁気ヘッド面（不図示）との
干渉が観測されるための条件式（４）を、光束の直径
φ、結像レンズの焦点距離ｆおよび磁気ヘッドの浮上量
ｄを用いて、次の条件式（８）で表すこともできる。 φ ＜ ２・ｆ・（λ／ｄ）1/2 （８）
λ＝０．６３３μｍ、Ｌ＝５ｍｍ、ｎ＝１．５とする
と、光束の直径φは次の条件式（７）を満たす必要があ
る。 φ ＞ ２．７６ｍｍ （７） また、ディスク下面７ｂと磁気ヘッド面（不図示）との
干渉が観測されるための条件式（４）を、光束の直径
φ、結像レンズの焦点距離ｆおよび磁気ヘッドの浮上量
ｄを用いて、次の条件式（８）で表すこともできる。 φ ＜ ２・ｆ・（λ／ｄ）1/2 （８）
【００２０】なお、偏光ビームスプリッターの透過面
を、光路に対して傾けることにより偏光ビームスプリッ
ター内の反射によるノイズを低減することができる。ま
た、本発明の適用は、上述の実施例の光学系に限定され
るわけではない。特に、結像レンズの位置およびその結
像位置については本実施例に限定されない。すなわち、
本実施例において結像レンズをディスクと回転拡散板と
の間の光路中の任意の位置に配置することができる。ま
た、光束の集光位置は、ディスク下面でなくても本発明
の作用効果を奏することは明らかである。さらに、上述
の実施例では磁気ディスク装置を対象として本発明を説
明したが、他の情報記録媒体に対する検出ヘッドの浮上
量についても本発明を適用することができる。
を、光路に対して傾けることにより偏光ビームスプリッ
ター内の反射によるノイズを低減することができる。ま
た、本発明の適用は、上述の実施例の光学系に限定され
るわけではない。特に、結像レンズの位置およびその結
像位置については本実施例に限定されない。すなわち、
本実施例において結像レンズをディスクと回転拡散板と
の間の光路中の任意の位置に配置することができる。ま
た、光束の集光位置は、ディスク下面でなくても本発明
の作用効果を奏することは明らかである。さらに、上述
の実施例では磁気ディスク装置を対象として本発明を説
明したが、他の情報記録媒体に対する検出ヘッドの浮上
量についても本発明を適用することができる。
【００２１】また、拡散板を回転させない場合において
も、空間的にインコヒーレントな光源を近似的に得ると
とができ、ノイズ低減の効果を得ることができる。な
お、さらのノイズを低減させ、照明むらを少なくするに
は、拡散板を回転させることが望ましい。なお、上記実
施例に示すレーザ光源と拡散板との代わりに、たとえば
白熱光源のような空間的にインコヒーレントな光源と光
源からの光の波長幅を狭帯化させる干渉フィルターとを
適用してもよい。このときにも、ノイズの少ない状態の
もとで間隔測定を行うことができる。
も、空間的にインコヒーレントな光源を近似的に得ると
とができ、ノイズ低減の効果を得ることができる。な
お、さらのノイズを低減させ、照明むらを少なくするに
は、拡散板を回転させることが望ましい。なお、上記実
施例に示すレーザ光源と拡散板との代わりに、たとえば
白熱光源のような空間的にインコヒーレントな光源と光
源からの光の波長幅を狭帯化させる干渉フィルターとを
適用してもよい。このときにも、ノイズの少ない状態の
もとで間隔測定を行うことができる。
【００２２】
【効果】以上説明したように、本発明では、照明光のデ
ィスクへの最大入射角を所定値以上にすることによっ
て、ディスク上面とディスク下面との干渉が観測されな
い。したがって、検出ヘッドの浮上量を精度良く測定す
ることができる。
ィスクへの最大入射角を所定値以上にすることによっ
て、ディスク上面とディスク下面との干渉が観測されな
い。したがって、検出ヘッドの浮上量を精度良く測定す
ることができる。
【図１】本発明の実施例にかかる測定装置の構成を概略
的に示す図である。
的に示す図である。
【図２】回転拡散板上の光束の大きさとディスクに入射
する光束の集光ＮＡとの関係を示す図である。
する光束の集光ＮＡとの関係を示す図である。
【図３】ディスク下面とディスク上面との干渉を説明す
る図であって、光束の集光ＮＡおよびディスク両面間の
光路差を示している。
る図であって、光束の集光ＮＡおよびディスク両面間の
光路差を示している。
１ レーザ光源 ２ 凹レンズ ３ 回転拡散板 ４ 偏光ビームスプリッター ５ 結像レンズ ６ λ／４板 ７ ディスク ８ ズーム光学系 ９ 結像光学系 １０ 検出器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/14 G11B 5/455
Claims (3)
- 【請求項１】 光の干渉に基づいて情報記録媒体と検出
ヘッドとの間隔を測定する装置において、 光源と、該光源の出力光束コヒーレンスを低減するため
のコヒーレンス低減手段と、該コヒーレンス低減手段を
介して空間的にインコヒーレントになった光束を集光さ
せるための集光手段と、前記情報記録媒体の前記検出ヘ
ッドに対向する面および前記検出ヘッドの前記情報記録
媒体に対向する面からの反射光を受光するための受光手
段と、該受光手段が出力する干渉縞に基づいて前記情報
記録媒体と前記検出ヘッドとの間隔を求めるための処理
手段とを備え、前記情報記録媒体の対向面への入射光の最大入射角をθ
とし、前記情報記録媒体の両面間隔をＬとし、前記入射
光の波長をλとし、前記情報記録媒体の前記波長に対す
る屈折率をｎとしたとき、 sinθ＞｛λ／（ｎ・Ｌ）｝ 1/2 の条件を満足する ことを特徴とする測定装置。 - 【請求項２】 前記光源はレーザ光源であり、前記コヒ
ーレンス低減手段は前記レーザ光源の出力光束を拡大す
るための光束拡大手段と、所定速度で回転する拡散板と
を備えていることを特徴とする請求項１に記載の測定装
置。 - 【請求項３】 光の干渉に基づいて情報記録媒体と検出
ヘッドとの間隔を測定する方法において、 光源が出力した光束のコヒーレンスを低減して空間的に
インコヒーレントな光束に形成するための工程と、 前記インコヒーレントな光束を集光させるための工程
と、 前記情報記録媒体の前記検出ヘッドに対向する面および
前記検出ヘッドの前記情報記録媒体に対向する面からの
反射光を受光するための工程と、 前記受光反射光において観測される干渉縞波形に基づい
て前記情報記録媒体と前記検出ヘッドとの間隔を求める
ための工程とを備え、 前記情報記録媒体の対向面への入射光の最大入射角をθ
とし、前記情報記録媒体の両面間隔をＬとし、前記入射
光の波長をλとし、前記情報記録媒体の前記波長に対す
る屈折率をｎとしたとき、 sinθ＞｛λ／（ｎ・Ｌ）｝ 1/2 の条件を満足することを特徴とする測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32328993A JP3326645B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 検出ヘッド浮上量測定装置および測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32328993A JP3326645B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 検出ヘッド浮上量測定装置および測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07151521A JPH07151521A (ja) | 1995-06-16 |
| JP3326645B2 true JP3326645B2 (ja) | 2002-09-24 |
Family
ID=18153130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32328993A Expired - Lifetime JP3326645B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 検出ヘッド浮上量測定装置および測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3326645B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7403328B2 (ja) * | 2020-01-22 | 2023-12-22 | 株式会社トプコン | 測量装置 |
| JP2023182157A (ja) * | 2022-06-14 | 2023-12-26 | 株式会社日立ハイテク | 形状計測装置、及び形状計測方法 |
-
1993
- 1993-11-29 JP JP32328993A patent/JP3326645B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07151521A (ja) | 1995-06-16 |
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