JP2002243426A5

JP2002243426A5 -

Info

Publication number: JP2002243426A5
Application number: JP2001039446A
Authority: JP
Filing date: 2001-02-16
Publication date: 2005-03-17
Anticipated expiration: 2021-02-16

Description

【０００７】
【課題を解決するための手段】
このため、本発明が採用した技術解決手段は、参照基板等の参照物体画像と被検査基板等の欠陥をも含んだ被検査物体画像とを重ね合わせ、光学的に差分または排他的論理和をとることにより被検査基板等の形状欠陥等の形状の異状を検出することを特徴とする形状欠陥等の検査方法である。また、参照基板等の参照物体の光回折パターンと被検査物体の光回折パターンとを光学的に差分または排他的論理和を取ることにより、形状欠陥等を検出することを特徴とする形状欠陥等の検査方法である。また、参照基板等の参照物体の光回折パタ−ンを基準（参照）の光回折パタ−ンとして搭載した光学フィルタに、被検査物体形状の光回折パタ−ンを投影して光学的に差分または排他的論理和を取ることを特徴とする形状欠陥等の検査方法である。また、被検査物体形状を空間光変調器または液晶ディスプレイ等から投影してフ−リエ変換した画像のパタ−ンを、参照物体パタ−ンを搭載した光学フィルタ上で差分または排他的論理和を取ることにより形状欠陥等を検出することを特徴とする形状欠陥等の検出方法である。また、参照基板等の参照物体の光回折パタ−ン群を液晶ディスプレイまたは多重マッチトフィルタあるいは位相共役結晶に記録投射したものを光学フィルタとし、それに被検査物体形状を空間光変調器または液晶ディスプレイ等から投影して形状欠陥等を検出することを特徴とする形状欠陥等の検出方法である。また、被検査物体形状と参照物体形状の両者の光回折パタ−ン群同士を差分または排他的論理和をとってできた光を逆フ−リエ変換レンズで結像し、結像光強度を或るしきい値で切って欠陥部分の画像を鮮明化する形状欠陥等の検出方法である。また、光導電プラスチックホログラム（ＰＰＨと略記する）乾板に参照物体形状の光回折パタ−ンを投影して作成した光フィルタの後ろに、位相共役結晶を置き、物体光が位相共役光として照射光路を逆進する光学系を欠陥形状識別に用いることを特徴とする形状欠陥等の検出方法である。また、平行レ−ザ光束中に置かれた凸レンズＬ１と、その凸レンズの前焦点に置いた被検査物体形状写出手段と、前記凸レンズＬ１の後焦点面Ｐ１に置いた形状識別手段と、前記形状識別手段を前焦点とする凸レンズＬ２の後焦点面に配置した撮影手段と、前記写出手段の画像を読みだし、前記形状識別手段に重ね合わせ、光学的に差分または排他的論理和をとることにより被検査基板等の形状欠陥等の形状の異状を検出することを特徴とする形状欠陥等の検査装置である。また、前記形状識別手段は、参照形状の光回折パタ−ンを基準（参照）の光回折パタ−ンとして搭載した光学フィルタであることを特徴とする形状欠陥等の検査装置である。また、前記光学フィルタは光導電プラスチックホログラム（ＰＰＨと略記する）乾板に参照物体形状の光回折パタ−ンを投影して作成した光フィルタであることを特徴とする形状欠陥等の検出方法である。また、前記被検査物体形状写出手段は、ＣＣＤカメラで撮影した画像を写し出すための液晶ディスプレイであり、前記形状識別手段は液晶ディスプレイであり、さらに読み出し手段はレーザ光であることを特徴とする形状欠陥等の検出装置である。また、前記被検査物体形状写出手段は、空間光変調器（ＳＬＭ）であり、前記形状識別手段は液晶ディスプレイであり、さらに読み出し手段は平行レーザ光束から作りだした可干渉性光束であることを特徴とする形状欠陥等の検出装置である。また、平行レ−ザ光束中に置かれた凸レンズＬ１と、その凸レンズの前焦点に置いた空間光変調器（ＳＬＭ）と、前記凸レンズＬ１の後焦点面Ｐ１に置いた形状識別手段と、前記空間光変調器に画像を映し出す画像プロジェクタと、前記空間光変調器の画像を読みだす手段と、前記読みだした画像を前記凸レンズを通して前記形状識別手段に写しだし、形状識別手段でフィルタリングした像を撮影する撮影手段（カメラ）とを備えていることを特徴とする形状欠陥等の検出装置である。また、平行レ−ザ光束中に置かれた凸レンズＬ１と、その凸レンズの前焦点に置いた空間光変調器（ＳＬＭ）と、前記凸レンズＬ１の後焦点面Ｐ１に置いた多重マッチトフィルタ（ＰＰＨ）と、前記多重マッチトフィルタに参照物体形状画像を搭載する手段と、前記空間光変調器に画像を映し出す画像プロジェクタと、前記空間光変調器の画像を読みだす手段と、前記読みだした画像を前記凸レンズを通して前記多重マッチトフィルタでフィルタリングし、その結果を撮影する撮影手段（カメラ）と、参照画像と被識別画像の一致度を判定するための相関光検出光学系と、参照物体形状フィルタとなる多重マッチトフィルタ作成用の参照光照射光学系とを備えていることを特徴とする形状欠陥等の検出装置である。また、前記多重マッチトフィルタは、光導電プラスチックホログラム乾板に参照物体形状の光回折パタ−ンを投影して作成したことを特徴とする形状欠陥等の検出装置である。また、平行レ−ザ光束中に置かれた凸レンズＬ１と、その凸レンズの前焦点に置いた空間光変調器（ＳＬＭ）と、前記凸レンズＬ１の後焦点面Ｐ１に置いた多重マッチトフィルタ（ＰＰＨ）と、前記多重マッチトフィルタに参照物体形状画像を搭載する手段と、前記空間光変調器に参照物体形状および被検査物体形状の画像を映し出す画像プロジェクタと、前記空間光変調器の画像を読みだす手段と、前記読みだした画像を前記凸レンズを通して前記多重マッチトフィルタでフィルタリングし、その結果を撮影する撮影手段と、相関光検出光学系と、多重マッチトフィルタ作成用または逆位相物体光再生用の参照光照射光学系とを備えていることを特徴とする形状欠陥等の検出装置である。また、多重マッチトフィルタの迅速簡便作成のために参照光の照射光学系を含んでいることを特徴とする形状欠陥等の検出装置である。また、平行レ−ザ光束中に置かれた凸レンズＬ１と、その凸レンズの前焦点に置いた空間光変調器（ＳＬＭ）と、前記凸レンズＬ１の後焦点面Ｐ１に置いた液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）と、前記空間光変調器に参照物体形状画像を映し出す画像プロジェクタと、前記空間光変調器の画像を読みだす手段と、前記読みだした画像を前記凸レンズを通して前記液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）に投影する手段と、前記光学系と平行に配置され凸レンズの前焦点に置いた空間光変調器（ＳＬＭ）と、前記空間光変調器に被検査物体形状画像を映し出す画像プロジェクタと、前記空間光変調器の画像を読みだす手段と、前記読みだした画像を位相共役結晶で逆位相光として反射し前記液晶ディスプレイに写し出す位相共役結晶逆位相反射手段と、液晶ディスプレイからの画像情報を逆フーリエ変化して撮影するＣＣＤカメラとを備えていることを特徴とする形状欠陥等の検出装置である。また、光学的差分または排他的論理和を実現するために位相共役結晶を用いることを特徴とする形状欠陥等の検出装置である。

Claims

参照基板等の参照物体画像と被検査基板等の欠陥をも含んだ被検査物体画像とを重ね合わせ、光学的に差分または排他的論理和をとることにより被検査基板等の形状欠陥等の形状の異状を検出することを特徴とする形状欠陥等の検査方法。
参照基板等の参照物体の光回折パターンと被検査物体の光回折パターンとを光学的に差分または排他的論理和を取ることにより、形状欠陥等を検出することを特徴とする形状欠陥等の検査方法。
参照基板等の参照物体の光回折パタ−ンを基準（参照）の光回折パタ−ンとして搭載した光学フィルタに、被検査物体形状の光回折パタ−ンを投影して光学的に差分または排他的論理和を取ることを特徴とする形状欠陥等の検査方法。
被検査物体形状を空間光変調器または液晶ディスプレイ等から投影してフ−リエ変換した画像のパタ−ンを、参照物体パタ−ンを搭載した光学フィルタ上で差分または排他的論理和を取ることにより形状欠陥等を検出することを特徴とする形状欠陥等の検出方法。
参照基板等の参照物体の光回折パタ−ン群を液晶ディスプレイまたは多重マッチトフィルタあるいは位相共役結晶に記録投射したものを光学フィルタとし、それに被検査物体形状を空間光変調器または液晶ディスプレイ等から投影して形状欠陥等を検出することを特徴とする形状欠陥等の検出方法。
被検査物体形状と参照物体形状の両者の光回折パタ−ン群同士を差分または排他的論理和をとってできた光を逆フ−リエ変換レンズで結像し、結像光強度を或るしきい値で切って欠陥部分の画像を鮮明化する形状欠陥等の検出方法。
光導電プラスチックホログラム（ＰＰＨと略記する）乾板に参照物体形状の光回折パタ−ンを投影して作成した光フィルタの後ろに、位相共役結晶を置き、物体光が位相共役光として照射光路を逆進する光学系を欠陥形状識別に用いることを特徴とする形状欠陥等の検出方法。
平行レ−ザ光束中に置かれた凸レンズＬ１と、その凸レンズの前焦点に置いた被検査物体形状写出手段と、前記凸レンズＬ１の後焦点面Ｐ１に置いた形状識別手段と、前記形状識別手段を前焦点とする凸レンズＬ２の後焦点面に配置した撮影手段とを備え、前記写出手段の画像を読みだし、前記形状識別手段に重ね合わせ、光学的に差分または排他的論理和をとることにより被検査基板等の形状欠陥等の形状の異状を検出することを特徴とする形状欠陥等の検査装置。
前記形状識別手段は、参照形状の光回折パタ−ンを基準（参照）の光回折パタ−ンとして搭載した光学フィルタであることを特徴とする請求項８に記載の形状欠陥等の検査装置。
前記光学フィルタは光導電プラスチックホログラム（ＰＰＨと略記する）乾板に参照物体形状の光回折パタ−ンを投影して作成した光フィルタであることを特徴とする請求項９に記載の形状欠陥等の検出方法。
前記被検査物体形状写出手段は、ＣＣＤカメラで撮影した画像を写し出すための液晶ディスプレイであり、前記形状識別手段は液晶ディスプレイであり、さらに読み出し手段はレーザ光であることを特徴とする請求項８〜請求項１０のいずれかに記載の形状欠陥等の検出装置。
前記被検査物体形状写出手段は、空間光変調器（ＳＬＭ）であり、前記形状識別手段は液晶ディスプレイであり、さらに読み出し手段は平行レーザ光束から作りだした可干渉性光束であることを特徴とする請求項８〜請求項１０のいずれかに記載の形状欠陥等の検出装置。
平行レ−ザ光束中に置かれた凸レンズＬ１と、その凸レンズの前焦点に置いた空間光変調器（ＳＬＭ）と、前記凸レンズＬ１の後焦点面Ｐ１に置いた形状識別手段と、前記空間光変調器に画像を映し出す画像プロジェクタと、前記空間光変調器の画像を読みだす手段と、前記読みだした画像を前記凸レンズを通して前記形状識別手段に写しだし、形状識別手段でフィルタリングした像を撮影する撮影手段（カメラ）とを備えていることを特徴とする形状欠陥等の検出装置。
平行レ−ザ光束中に置かれた凸レンズＬ１と、その凸レンズの前焦点に置いた空間光変調器（ＳＬＭ）と、前記凸レンズＬ１の後焦点面Ｐ１に置いた多重マッチトフィルタ（ＰＰＨ）と、前記多重マッチトフィルタに参照物体形状画像を搭載する手段と、前記空間光変調器に画像を映し出す画像プロジェクタと、前記空間光変調器の画像を読みだす手段と、前記読みだした画像を前記凸レンズを通して前記多重マッチトフィルタでフィルタリングし、その結果を撮影する撮影手段（カメラ）と、参照画像と被識別画像の一致度を判定するための相関光検出光学系と、参照物体形状フィルタとなる多重マッチトフィルタ作成用の参照光照射光学系とを備えていることを特徴とする形状欠陥等の検出装置。
前記多重マッチトフィルタは、光導電プラスチックホログラム乾板に参照物体形状の光回折パタ−ンを投影して作成したことを特徴とする請求項１５に記載の形状欠陥等の検出装置。
平行レ−ザ光束中に置かれた凸レンズＬ１と、その凸レンズの前焦点に置いた空間光変調器（ＳＬＭ）と、前記凸レンズＬ１の後焦点面Ｐ１に置いた多重マッチトフィルタ（ＰＰＨ）と、前記多重マッチトフィルタに参照物体形状画像を搭載する手段と、前記空間光変調器に参照物体形状および被検査物体形状の画像を映し出す画像プロジェクタと、前記空間光変調器の画像を読みだす手段と、前記読みだした画像を前記凸レンズを通して前記多重マッチトフィルタでフィルタリングし、その結果を撮影する撮影手段と、相関光検出光学系と、多重マッチトフィルタ作成用または逆位相物体光再生用の参照光照射光学系とを備えていることを特徴とする形状欠陥等の検出装置。
多重マッチトフィルタの迅速簡便作成のために参照光の照射光学系を含んでいることを特徴とする請求項１４〜請求項１６のいずれかに記載の形状欠陥等の検出装置。
平行レ−ザ光束中に置かれた凸レンズＬ１と、その凸レンズの前焦点に置いた空間光変調器（ＳＬＭ）と、前記凸レンズＬ１の後焦点面Ｐ１に置いた液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）と、前記空間光変調器に参照物体形状画像を映し出す画像プロジェクタと、前記空間光変調器の画像を読みだす手段と、前記読みだした画像を前記凸レンズを通して前記液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）に投影する手段と、前記光学系と平行に配置され凸レンズの前焦点に置いた空間光変調器（ＳＬＭ）と、前記空間光変調器に被検査物体形状画像を映し出す画像プロジェクタと、前記空間光変調器の画像を読みだす手段と、前記読みだした画像を位相共役結晶で逆位相光として反射し前記液晶ディスプレイに写し出す位相共役結晶逆位相反射手段と、液晶ディスプレイからの画像情報を逆フーリエ変化して撮影するＣＣＤカメラとを備えていることを特徴とする形状欠陥等の検出装置。
光学的差分または排他的論理和を実現するために位相共役結晶を用いることを特徴とする請求項１４〜請求項１７のいずれかに記載の形状欠陥等の検出装置。