JP2520554B2 - パタ―ン照射システムにおいてグレ―・スプライスを行う方法およびシステム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子ビーム偏向・照射シ
ステムに関し、特に高精度の照射が可能な電子ビーム・
リソグラフィ、および半導体装置の製造工程におけるレ
ジスト・マスクのパターンニングに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】高い精度で電子ビームを偏向するための
従来技術として、高分解能ディスプレイなどの種々の装
置に用いられる多段偏向システムがよく知られている。
特に電子ビーム・リソグラフィは、半導体ウェハーおよ
びチップの製造において長年にわたって用いられてお
り、選択的エッチングや材料堆積のためのマスクを形成
する際、感応レジスト材料に対して照射を行う手段とし
て使用されている。このような電子・光学的偏向システ
ムは、その照射領域が小さく、かつ高精度でなければな
らない。また製造工程において実用的なスループットを
実現するためには、高速でなければならない。このよう
に電子・光学的偏向システムに対しては特に厳しい要求
が課せられている。ところで電子・光学的偏向システム
として、全描画領域を一度にカバーするような偏向シス
テムを用いたのでは、システムに要求される精度を維持
することはできない。そのため、描画領域を複数のサブ
フィールドに分割し、電子ビームの目標位置の変更、つ
まりサブフィールドからサブフィールドへの粗い位置変
更を行って、各サブフィールドに対して順次別々に描画
を行っていた。このような描画領域の分割は、必要に応
じて３分割あるいはそれ以上とすることにより、所望の
精度および所望の電子ビーム照射速度を達成することが
できる。

【０００３】図１に描画領域とサブフィールドとの関係
を示す。また、この図面を用いて関連する用語について
定義する。アウトライン１２は、像が形成される全領
域、すなわち描画領域１０を示す。描画領域１０はサブ
フィールドのマトリクスに分割する。図中、１４は基準
のサブフィールドである。また、サブフィールドの位置
を表す番号として、便宜上、ｘ方向には０〜ｎ、ｙ方向
には０〜ｍを付ける。描画領域１０を分割するマトリク
スの行および列の数は任意であり、従ってサブフィール
ドの数も任意である。ただし、描画領域１０を分割する
際、各サブフィールドのサイズは、使用する電子ビーム
偏向システムで利用できる偏向レベル（例えば、最も低
レベルのもの）における最大偏向距離より小さいもので
なければならない。偏向システムの上記偏向レベルにお
ける最大偏向距離は選択したサブフィールドのサイズよ
り大きいため、サブフィールドに対するマージン、すな
わち拡張部１６が生じる。定義より、隣接するサブフィ
ールドは連続しているので、サブフィールドの拡張部は
隣接するサブフィールドに重なることになる。隣接する
サブフィールドのサブフィールド拡張部が相互に重なっ
た部分は、オーバーラップ・ゾーン１８と呼ぶ。また、
サブフィールドの行または列の組に対する全オーバーラ
ップ・ゾーンの集合はそれぞれｙオーバーラップ・ゾー
ン、ｘオーバーラップ・ゾーンと呼ぶ。ｘオーバーラッ
プ・ゾーンおよびｙオーバーラップ・ゾーンは総称して
方向オーバーラップ・ゾーンという。

【０００４】各サブフィールドでパターンを形成するた
め、通常、電子ビームによる長方形の所望の照射パター
ンを形成し、図２，３に例示した長方形のように、照射
パターンのそれぞれは１つ以上のスポット長方形に対応
させる。図２，３はまた、この明細書で使用する用語の
定義にも用いる。図２において、アウトライン２１は電
子ビーム照射システムにより照射すべき領域の形状を一
例として示したものである。このような形状に対して、
既知の方法で種々の長方形、すなわち長方形Ｉ〜ＩＶを
所望の形にはめ込むことにより、縁取りを行う。上記長
方形は外部長方形と呼び、また上記処理はスリービング
（ｓｌｅｅｖｉｎｇ）と呼ぶ。長方形Ｖも外部長方形で
あるが、このような外部長方形に対しては、スリービン
グは行わない。なぜなら長方形Ｖのエッジのサイズがス
プリット・サイズより小さく、スプリット・サイズは通
常、電子ビーム照射装置により生成されるスポットの各
座標軸方向の最大横断サイズより、小さいからである。
上記形状に貼り込まれ、かつエッジ部に位置しない長方
形、例えば長方形ＶＩ、は内部長方形と呼ぶ。ところ
で、内部長方形に対する照射量（例えば、時間と照射強
度との積）の精度に関する要求は、外部長方形に対する
ものより弱い。従って、上述のように外部長方形と内部
長方形とを区別することが、照射を行う際に有用とな
る。

【０００５】このような照射量に対する要求精度の差が
存在するのは、レジストなどの感応膜が、過度照射の特
に強いとき、ブルーミング（ボケ）を起こし易いからで
ある。このような現象は写真フィルムや表示管の蛍光体
に関しても観察することができる（そして、このような
装置における２次電子放出現象によって一層悪化す
る）。マスクとしてのレジストのパターンニングを行う
場合、現像後、充分なコントラストを得るためには、レ
ジスト膜に対して飽和レベルまで照射を行う必要がある
（照射終了段階で例えばグレーレベルの領域が残らない
ようにするため）。しかし、照射量がレジスト材料の飽
和に必要なレベルを大きく上回った場合には、隣接する
領域も照射されたのと同じような状態となって、ブルー
ミングが生じ、同時に寸法精度が低下し、かつ照射領域
が外部長方形である場合には最終像のエッジが不鮮明と
なる。しかし、内部長方形については、どのようなもの
であれ、外部長方形の幅がブルーミングの幅より大きい
場合には、外部長方形によって単にマスクされるだけと
なる。一般に、内部長方形のブルーミングは合理的に制
限することができ、図２，３に示すスリービングのサイ
ズ（スリーブ・サイズ）をブルーミング現象を充分にマ
スクするように選べばよい。

【０００６】上述のように、各スポット長方形の座標軸
方向の最大サイズは、電子・光学装置のビーム整形能力
によって決まる。この最大サイズのことを最大スポット
・サイズという。また、いずれか一方の座標軸方向のサ
イズが最大スポットに等しいスポット長方形を最大スポ
ットと言う。例えば図３において、Ｆで示した長方形が
最大スポットであり、それらのサイズは少なくとも一方
の座標軸方向で完全に最大スポット・サイズとなってい
る。スポット長方形Ｍ１，Ｍ２を比較すると、それらの
高さは異なっているが、ｘ方向において共に最大スポッ
ト・サイズとなっている。

【０００７】所望のパターンにおいて、必要なら一方ま
たは両方の座標軸方向で最大スポット・サイズ以下であ
るスポット長方形を形成することもできる。一方または
両方の座標軸方向の最大サイズは、必要なら照射すべき
パターンに応じて縮小することができる。図３にＲ１，
Ｒ２で示すような、いずれのサイズも最大スポット・サ
イズより小さいスポット長方形は、残余スポットと呼
ぶ。

【０００８】図２に示すような、パターンを形成し、１
つ以上のスポット長方形を含む種々の長方形は、重なっ
ておらず、スリービングのとき、左から右へ、上から下
へと貼り込まれる。なお、図２，３のスケールは図１の
スケールより大きく拡大してあり、図２，３にローマ数
字で示す重なっていない各長方形は、図１の長方形のサ
ブフィールド領域とは別のものである。同様に、スポッ
ト長方形と、上記パターンを定義する長方形（例えば、
Ｉ〜ＶＩ）とは別のものである。

【０００９】また、スリーブ・サイズは通常、電子ビー
ム照射装置の最大フォーカス能に従って設定され、その
結果、電子ビーム装置によって生成され、スポットを形
成する長方形（以下、スポットあるいはスポット長方形
という）は、多くの場合２：１から５：１の縦横比を有
している。（最大スポット長方向のスポットの端部は通
常、他の長方形にほぼ接していおり、フォーカスの重要
性は低い。）例えば、図８における最も大きいスポット
長方形の縦横比は３：１となっている。このような比較
的大きい縦横比は、形成すべきパターン、および上述し
たスプリット・サイズにより決るものである。なお、ス
プリット・サイズはその定義より、最大スポットの長さ
に等しいかあるいはそれ以下である。スプリット・サイ
ズは、スリービングを行えないパターン部の大きさによ
って決り、そのパターン部の最大幅となる。従って、そ
のパターンは幅方向については全体が、最大スポット・
サイズより小さい幅の単一のスポットにより、照射され
る。可能な場合には、パターンのスリービングおよび貼
り込みは原則として、両座標軸方向の幅が最大スポット
・サイズに等しいスポット長方形により行う。しかし、
パターンが多数の微細形状を有する場合には外部スポッ
ト長方形を多数生成しなければならず、その場合、外部
スポット長方形の数を減らすために、スリーブ・サイズ
はしばしばスプリット・サイズより小さい値に選ぶ。

【００１０】通常の状態では、照射量はサブフィールド
内で良好に制御することができる。しかし、パターン全
体が単一のサブフィールド内、あるいはサブフィールド
に拡張部を加えた領域内に形成できない場合には、種々
の原因による位置合わせの問題により、各サブフィール
ドから照射されたパターンの各部の間にオクルージョン
（ｏｃｃｌｕｓｉｏｎ）の誤差が生じる。従って、従来
は一般に、描画すべきパターンを、各サブフィールドか
ら各サブフィールドの拡張部に移動させ、少ない照射量
で描画を行っていた。その結果、照射パターンにおい
て、各サブフィールドの長方形が重なった部分で生じる
非連続性を緩和でき、形成する各種のパターンの信頼性
を高めることができる。また、それにより製品の信頼性
も向上する。この重なった部分で照射量を低減させる処
理のことを、グレー・スプライシングとか、グレー・ス
プライス、グレーイング、あるいは単にグレーなどと云
う。ところで上記処理においては、正しい位置合わせを
前提にできないにもかかわらず、全照射量をほぼ飽和レ
ベルに保ちつつ、複数回の照射によるブルーミングを避
けるため、各サブフィールドからの照射の作用度を狭い
範囲内に保つ必要がある。従って、上記処理は極めて難
しいものとなっている。言い替えると、オクルージョン
誤差によって非グレー領域が他のサブフィールドのグレ
ー領域あるいは非グレー領域と重なった場合には、過剰
照射となってしまう。逆に、サブフィールドの領域が離
れている場合には、サブフィールド間のギャップ部の領
域は、単一のサブフィールドの長方形に対応するグレー
照射のみを受けるか、あるいは場合によっては全く照射
を受けないことになる。

【００１１】より具体的に述べると、複数のサブフィー
ルドに対する照射を制御する従来の装置では、各内部長
方形および各外部長方形を特定のサブフィールドに割り
付ける必要がある。もし、ある長方形に対して、拡張部
を加えた単一のサブフィールドからすべての描画を行え
ない場合には、上記長方形は複数のより小さい長方形に
分割する必要がある。このことを図４に詳しく示す。図
４は図２，３の一部を拡大したものであり、サブフィー
ルド間の境界を示す破線２０の近辺を示している。図
中、鎖線３０はサブフィールド拡張部の左端を示し、鎖
線３２はサブフィールド拡張部の右端を示す。長方形
Ｉ，ＩＩＩ，Ｖ，ＶＩの境界は実線によって示す。各長
方形はさらに、図３の場合と同様に、最大スポットおよ
び残余長方形に分割されている。

【００１２】図から分かるように、長方形Ｉの右側エッ
ジは、大部分の長方形が存在するサブフィールドの外側
にある。しかし、長方形Ｉの右側エッジは、左側サブフ
ィールドから全体を描画できる。一方、長方形Ｉは最大
スポットの境界２１，２３，２５のいずれかで切ること
ができ、従って長方形Ｉの右端は２つのサブフィールド
の一方あるいは両方から描画することができる。また、
長方形Ｉが左側にさらに長く延びている場合には、複数
のサブフィールド拡張部の境界を横断することになり、
その場合にはさらに切断を行う必要がある。

【００１３】長方形ＩＩＩはサブフィールドの境界２０
の右側にあり、全体がサブフィールドに入っている。し
かし、サブフィールド拡張部の境界３２の左側にあるた
め、長方形ＩＩＩも２つのサブフィールドの一方または
両方から描画することができる。長方形Ｖは長方形ＩＩ
Ｉと同じサブフィールド内に入っているが、サブフィー
ルド拡張部の境界を横断している。従って、長方形Ｖは
図４において右側のサブフィールドからのみ描画するこ
とができる。

【００１４】なお、サブフィールド間のオクルージョン
誤差を補償するためには、長方形は必ず分割する必要が
ある。従って、長方形Ｉは通常、複数の長方形に分割
し、各長方形を各サブフィールドから、フルレベルある
いはグレーレベルの照射量で描画することになる。さら
に、すでに簡単に触れたように、内部長方形に対しても
同様に分割を行うが、グレー・スプライシング処理は、
処理の無駄をはぶくため、外部長方形に対してのみ行
う。少なくとも１つの内部長方形を含むオーバーラップ
の場合には、ブルーミングが生じてもそれは外部長方形
によってスリービングされた外形部に留まるので、上記
内部長方形に対してはフルレベルで照射を行う。

【００１５】長方形の分割および特定のサブフィールド
への割り当て、およびグレーイングなどのための電子ビ
ーム照射の制御について理解を深めるため、既知のグレ
ー・スプライシングの方法について説明する。この種の
方法は以下のステップからなる。 １．１つのサブフィールドから描画できる長方形をすべ
て、大多数の長方形が存在するサブフィールド（例え
ば、サブフィールドおよびその拡張部）に割り当てる。
もし長方形が１つのサブフィールドから描画するのに大
きすぎる場合には、例えばサブフィールドの境界に沿っ
て分割し、それらが単一のサブフィールドから描画でき
るようにする。そして、分割後の各長方形をそれらが存
在するサブフィールドに割り当てる。 ２．各長方形をｘおよびｙの座標位置でソートし、行列
に配置する。 ３．行列の各長方形の中から、他の長方形に接している
（例えば、連続している）長方形をすべて捜し出す。次
に、捜し出した長方形のそれぞれに対して、−隣接する
長方形が同一のサブフィールドに割り当てられている場
合には、何も行わない。 −隣接する長方形が異なるサブフィールドに割り当てら
れており、かつ境界が完全に一致している場合には、左
側（または上）の長方形が最大スポットの集まりとなる
ように両長方形の境界を調整し、そしてオーバーラップ
領域でグレーイングを行う。これを図５（ａ）に示す。 −隣接する長方形と行列の長方形の中、一方のエッジが
他方のエッジより長い（例えば、長い方が短い方を含ん
でいる）場合には、ユーザが指定する距離だけ短い方の
エッジを長い方のエッジに重ならせ、照射量はフルレベ
ルとする。この場合、短い方のエッジで生じたブルーミ
ング部は、長いエッジを有する長方形に概ね含まれる。
これを図６（ａ）に示す。 −隣接する長方形と行列の長方形のいずれのエッジも、
他の長方形のエッジに完全には含まれていない場合に
は、何も行わない。これを図７（ａ）に示す。 −行列の長方形に隣接する各長方形に対して処理を繰り
返す。行列の１つの長方形に対する処理を終了する。 ４．行列の各長方形に対して処理を繰り返す。

【００１６】なお、上記処理においては、接しているエ
ッジを隣接するサブフィールドのエッジが完全に一致し
ている理想的な位置に意図的に配置した。従って、隣接
長方形間にギャップは存在せず、ある場合にはオーバー
ラップしていることにより、実際の照射で生じるサブフ
ィールド間のオクルージョン誤差が補償される。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】上述した方法は多くの
場合良好な結果をもたらすが、その方法自体に起因する
２つの問題がある。第１に、処理などを何も行わないと
き、またはオクルージョン誤差が大きい場合には、長方
形の分離が起こりえる。第２に、オーバーラップ照射を
フルレベルで行った場合、オーバーラップ部でブルーミ
ングが生じる。フルレベルのオーバーラップ照射は、図
６（ａ）に関連して以下に述べるように、ある場合には
許容できる場合もある。しかし、オクルージョン誤差に
よってオーバーラップが生じた場合には、ブルーミング
によってエッジの分解能が低下し、欠陥パターンを生じ
る結果となる。

【００１８】オクルージョン誤差に伴う種々の結果を図
５（ｂ），（ｃ）〜図７（ｂ），（ｃ）に示す。なお、
これらの図面に関する説明においては、どの長方形が行
列の長方形であり、どの長方形が隣接する長方形である
かは問題ではない。行列の長方形のサイズをＱ、隣接す
る長方形のサイズをＮとする。

【００１９】特に、オクルージョン誤差によってサブフ
ィールドのオーバーラップが生じた場合には、図５
（ａ）の状態では、図５（ｂ）のクロスハッチの領域で
過剰な照射が生じ、図示の位置でブルーミング４１が発
生することになる。同様に、図６（ａ）のユーザが選択
したオーバーラップの距離では、ほとんどあるいは全く
ブルーミング４３は生じないが、サブフィールドのオー
バーラップが増加すると、ブルーミング４１が発生す
る。（狭い長方形のオーバーラップ領域は両方のサブフ
ィールドからフルレベルで照射されることに注目。）逆
に、オクルージョン誤差によってサブフィールドが分離
されると、図５（ａ）の状態ではオクルージョン誤差が
図５（ｃ）に示すように非常に大きいものでないかぎ
り、許容可能なパターンが得られる。（エッジの接して
いる部分の長方形部はグレーレベルで照射されるため、
最終的な分離の程度は、図より大きくなる。）しかし、
図６（ａ）の場合には、ユーザが適当なオクルージョン
レベルでブルーミングを最小とするように距離ｄを選択
できるので、図６（ｃ）のように分離はより簡単に生じ
る。

【００２０】図７（ａ）の場合には、グレーレベルの照
射あるいは長方形サイズの変更は行わず、そしてサブフ
ィールドのオーバーラップにより長方形のオーバーラッ
プが生じるので、図に示すようにブルーミング４１が発
生する。もしオクルージョン誤差によってサブフィール
ドの分離が生じた場合には、長方形の分離が発生する。

【００２１】従って、従来のグレーイング方法では、オ
クルージョン誤差はｄより大きく最大スポット・サイズ
より小さいとした場合、オクルージョン誤差とグレーイ
ングの６つの可能な場合の中、１つの場合においてのみ
許容可能な結果が得られることになる。実際上、この方
法は、図６（ｂ）のブルーミングはパターンの内側のコ
ーナーにおいて生じるのでパターンにとってほとんど重
要でない（逆に、ｄを幾分大きくし、ある程度のブルー
ミングを許容して、分離の発生頻度を低下することがで
きる。）という理由、および実際の設計では、図７
（ａ）に示したような長方形の配置は比較的めずらしい
という理由においてのみ有効といえる。

【００２２】まとめると、パターンの分離が発生する頻
度を低下させるため、従来技術によってサブフィールド
間のオクルージョン誤差を補償した場合には、パターン
各部でブルーミングが発生するというリスクが常に伴う
ことになる。

【００２３】従って、本発明の目的は、照射が不連続と
なる可能性を最小限に抑えつつ、所望パターンの外部領
域に対するフルレベルの二重照射を無くしたグレー・ス
プライスを実現する方法および装置を提供することであ
る。

【００２４】本発明の他の目的は、スループットが高
く、グレー・スプライシングを高速に行えるグレー・ス
プライシング装置および処理を提供することである。

【００２５】本発明のさらに他の目的は、グレー・スプ
ライスのために用いる照射スポットの数を最小とするこ
とにより、電子ビーム照射システムの動作を最適化する
ことである。

【００２６】

【課題を解決するための手段】これらの目的および他の
目的を達成するため、本発明は、パターン照射システム
において、描画領域をサブフィールドに分割し、所望の
パターンを重なりの無い複数の長方形により表してグレ
ー・スプライスを行う方法およびシステムであって、上
記長方形のうち、サブフィールド・オーバーラップ・ゾ
ーンに全体または部分が含まれている上記長方形を確定
し、上記サブフィールド・オーバーラップ・ゾーンをセ
クションに分割し、上記サブフィールド・オーバーラッ
プ・ゾーン内に在る上記長方形の部分を形成するのに必
要な照射スポットの数を少なくとも確定するために上記
セクションを調査し、上記調査にもとづいて１つのセク
ションを選択し、上記セクション内の少なくとも１つの
上記照射スポットに対してグレーイングを行うという各
ステップを有する方法およびシステムを提供する。

【００２７】本発明はまた、電子ビーム照射装置の描画
領域のサブフィールド・オーバーラップ・ゾーンの各セ
クションごとに、上記サブフィールド・オーバーラップ
・ゾーンを横断する所望のパターンの部分を形成するの
に必要なスポットの数を少なくとも含むテーブル・リス
ト・エントリーを有するデータ構造を提供する。

【００２８】

【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。まず、本発明への導入として、図８に示すよ
うに、サブフィールド・オーバーラップ・ゾーンを横断
するパターンを照射する場合を例に説明を行う。図８に
は、重なりがなく、細長い４つの長方形Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ
を実線により示す。これらの長方形には、それらを横断
する破線により表した複数のスポット長方形が貼り込ま
れている。大部分のスポット長方形は最大スポット・サ
イズを有し、左から右へ、上から下へとパタン内に貼り
込まれている。従って、長方形Ａの最も右にあるスポッ
トと長方形Ｃの最も下のスポットは残余スポットを含
み、それらの長さは、それらを含む各長方形の長さ方向
において最大スポット・サイズ以下である。

【００２９】最初に、重要なことであるが、本発明に従
って制御される照射システムは、サブフィールド内にお
いて、連続する一連のスポットを充分な精度をもって照
射することができ、単一のサブフィールド内では意図し
ない分離は発生しないものとする。これを実現するメカ
ニズムは本発明とはほとんど無関係である。本発明はあ
くまでも、サブフィールド間の境界をパターンが横断す
る場合、意図しない分離が発生しないように保証するグ
レーイングに関するものである。

【００３０】同様に重要なことであるが、本発明の基礎
となる原理は、グレーイングを行うべきパターンの部分
として、グレー・スプライスに最も適しており、オクル
ージョン誤差が、最大スポット・サイズのかなりの部分
の場合と同程度に問題となるときでも、ブルーミングも
分離も生じないような部分をピックアップすることであ
る。同じく重要なこととして、単一のスポットは、グレ
ーイングを行える最小の領域であり、グレーイングの処
理は、グレーイングの対象として選択されたパターン部
分全体に対して同等に実施する。グレーイングの処理に
おいては、隣接する２つのサブフィールドからのグレー
イングの対象として選択されたパターン部分に対し、１
つまたは複数のスポットの描画を行う。従って、スポッ
トが連続して極めて高速に描画されても、各グレー・ス
ポットは、２つのサブフィールドのそれぞれから二重に
描画されることになり、その結果、照射システムの動作
が遅くなる。

【００３１】グレーイングを行える領域の最小単位は単
一のスポットであるから、グレーイングを行うべきパタ
ーン部は、スポットの境界で定義されたパターンの一部
（セクション）でなければならない。そこで、図８にパ
ターンの６つのセクションを示す。それらの境界は、長
方形Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄのいずれかに含まれるスポットの境
界に対応している。例えば、セクション１と２との間の
境界は、長方形Ａ内のスポット境界に対応しており、セ
クション２と３との間の境界は長方形Ｂ内のスポット境
界に対応している。また、サブフィールド・オーバーラ
ップ・ゾーン内の領域だけが、必要な数のサブフィール
ドから描画することができ、セクションの定義は、サブ
フィールド・オーバーラップ・ゾーン内でのみ行えばよ
い。サブフィールド・オーバーラップ・ゾーン内の上記
セクションでは一般に、オクルージョン誤差をグレーイ
ングにより補償できるが、しかし、いくつかの理由によ
り、サブフィールド・オーバーラップ・ゾーン内のすべ
てのセクションに対して理想的なグレーイングを行える
とは限らない。例えば、セクションを理想的にグレーイ
ングできないとする最も重要な理由は、サブフィールド
・オーバーラップ・ゾーンの境界内に完全に入らないス
ポットに対しては、両方のサブフィールドから完全には
描画を行えないということである。描画を行えないスポ
ット部は、オクルージョン誤差が無いとしても、フルレ
ベルの照射が行われないので、パターンの欠陥部となる
可能性がある。両方のサブフィールドから描画を行えな
い、スポットの短縮部分では、補償可能なオクルージョ
ン誤差のサイズが縮小する。他の例は、残余スポットを
含むセクションである（例えば、サブフィールド・オー
バーラップ・ゾーンの軸を横断する方向のサイズが、必
ず最大スポット・サイズより小さい）。この場合には、
残余スポットが最大スポット・サイズより短いため、補
償可能なオクルージョン誤差が小さくなる。

【００３２】従って、本発明の基本的なアプローチは次
のようなものである。すなわち、グレーイングを行うべ
き長方形の連鎖を定義し、サブフィールド・オーバーラ
ップ・ゾーンの幅を、本来グレーイングできるセクショ
ンに分割し、各セクション内のスポットを調べて、パタ
ーン、ならびに各セクションに全体または部分が含まれ
るスポットの特性を評価し、どのセクションがグレーイ
ングに最も適しているかを決める。グレーイングに最も
適したセクションが決ると、そのセクションに全体また
は部分が含まれるすべてのスポットに対してグレーイン
グを行う。例えば、セクション３を選んだとすると、ス
ポット５２，５４の両スポットに対して、それらはセク
ション３の境界を越えているが、グレーイングを行う。
なお、サブフィールド・オーバーラップ・ゾーン内のど
のセクションもグレーイングにとって理想的でない場合
もあり得るが、その場合には最も中心部にあるセクショ
ンを選択する。

【００３３】セクションのパターンおよびスポットの評
価は、本発明にもとづくグレー・テーブル・リストを用
いることにより容易に行うことができる。そのテーブル
の概要を図９に示す。図８のスポットの境界に従って各
セクションを定義するとき、グレー・テーブル・リスト
６０に、上記セクションに対応するテーブル・リスト・
エントリー、例えばテーブル・リスト・エントリー６１
を作成する。これらのエントリーに含まれる情報は、生
成すべきパターンを定義する長方形に関する情報から容
易に得ることができ、得られた情報のごく一部により、
各セクションに全体または一部が含まれるスポットを充
分に評価できる。

【００３４】具体的には、テーブル・リスト・エントリ
ー６１〜６６はそれぞれ、セクション番号６７ａの識別
情報、２つのカテゴリー６７ｂ，６７ｂ’のそれぞれに
含まれるスポットの数の計数値、ゾーン６７ｃ内の、パ
ターン部に含まれる長方形のリスト、ならびにセクショ
ンに対して理想的にグレーイングを行えるか否かを示す
ビットを含んでいる。グレー・テーブル・リスト６０の
テーブル・リスト・エントリー６１〜６６内の上記エン
トリーについて、図８の各セクションおよび図９の対応
するエントリーをもとに説明する。以下の説明では、エ
ントリー＃ｓ，＃ｍが特に重要である。エントリー＃ｓ
は、特定のセクション内に与えられた長方形の部分を形
成するのに充分な単一スポットの数である。エントリー
＃ｍは、特定の長方形を複数のスポット（可能な場合に
は、長方形は最大スポットによって貼り込みを始めるの
で、例えば、１つ以上の最大スポット）によって描画し
なければならない場合、セクション内の上記特定の長方
形の部分を形成するために必要なスポットの数を表す。

【００３５】これらのセクションはサブフィールド・オ
ーバーラップ・ゾーンと同じ方向に延びているが、それ
らの幅は狭くなっている（例えば、スプリット・サイズ
に等しいかまたはそれ以下）。そして、セクション１は
２つの長方形Ａ，Ｂを横断しており、そのことはテーブ
ル・リスト・エントリー６１の長方形リスト６７ｃより
識別できる。これらの長方形の幅は共に１スポット分で
あるため（例えば、スプリット・サイズ以下）、セクシ
ョン１内の各長方形の部分は１つのスポットによって形
成し、エントリー６７ｂの＃ｓは２に設定する。セクシ
ョン１内には、１つ以上の最大スポットを必要とする長
方形は存在しないので、エントリー６７ｂ’の＃ｍは０
に設定する。スポット５６，５８は共にサブフィールド
・オーバーラップ・ゾーンを横断して延びているので、
上記セクションに対して理想的なグレーイングは行え
ず、エントリー６７ｄには０または”ｎｏ”を設定す
る。テーブル・リスト・エントリー６２のセクション２
に対するエントリーについては、長方形Ａのスポット５
２が完全にサブフィールド・オーバーラップ・ゾーンに
入っており、理論的にはグレーイングが可能であるが、
テーブル・リスト・エントリー６１の場合と同じであ
る。本発明の目的のためには、セクション内の長方形の
一部を形成するいずれかのスポットが、スポット５８の
ように、サブフィールド・オーバーラップ・ゾーンを横
断している場合には、セクション２では理想的なグレー
イングを行えないと判断して充分である。

【００３６】一方、セクション３も長方形Ａ，Ｂのみを
含み、同じ数の単一スポットを含むが、＃ｓ＝２である
（セクション３はセクション１あるいは２より広い
が）。セクション３は、セクション内の長方形Ａ，Ｂの
部分が、サブフィールド・オーバーラップ・ゾーン内の
最大スポット５２，５４であるため、理想的にグレーイ
ングを行え、従って、１または”ｙｅｓ”をグレー・フ
ラグ（テーブル・リスト・エントリー６１のエントリー
６７ｄに対応）としてテーブル・リスト・エントリー６
３に入力する。

【００３７】セクション４は、テーブル・リスト・エン
トリー６４の長方形リスト（テーブル・リスト・エント
リー６１の符号６７ｃに対応）に示されているように３
つの長方形Ａ，Ｂ，Ｃを含むので、上記セクションとは
全く異なっている。単一スポットの数＃ｓは、長方形
Ａ，Ｂに必要な単一スポットの数を反映して２のままで
あるが、複数スポットの数＃ｍは、長方形Ｃに必要なス
ポット（最大スポットおよび残余スポット）の数として
３となる。テーブル・リスト・エントリー６４では、そ
のセクションでグレーイングが必要なスポット５９は最
大スポットより小さいので、グレー・フラグは０に設定
する。従って、このセクションでは理想的なグレーイン
グは行えない。なぜなら、最大スポットより小さいスポ
ットのグレーイングでは、補償できる最大オクルージョ
ン誤差が小さくなるからである。なお、このような状態
は比較的一般的である。そして同種のパターン部におい
て、多くのあるいはすべてのセクションで理想的なグレ
ーイングを行えよう。

【００３８】セクション５，６には長方形Ｄだけが含ま
れている。長方形Ｄはいずれかのセクションで単一スポ
ットだけにより構成でき、もちろん複数スポットは必要
としない。セクション５は理想的にグレーイングを行え
るので、テーブル・リスト・エントリー６５のグレー・
フラグは１に設定する。しかし、セクション６では、セ
クション６内に部分的に入っている最大スポットが、セ
クション１，２のスポット５６，５８と同様に、サブフ
ィールド・オーバーラップ・ゾーンの境界を横断してい
るので、理想的なグレーイングは行えない。なお、セク
ションのスポットがサブフィールド・オーバーラップ・
ゾーン部で終了していたとすると、最大スポット・サイ
ズより小さくなるので、その場合にも理想的なグレーイ
ングは行えない。ただしこの場合には、すべてのスポッ
トを左側のサブフィールドより描画でき、サブフィール
ド間のグレーイングは不要である。

【００３９】グレー・テーブル・リスト６０の各テーブ
ル・リスト・エントリーへのデータ入力を終了すると、
グレーイングに最も適したセクションを抽出するため
に、各テーブル・リスト・エントリー６１〜６６を順番
に調べることになるが、それは極めて簡単であり、かつ
素早く行える。具体的に説明すると、最初はまずテーブ
ル・リスト・エントリー６１が最良の候補と仮定し、そ
の後各テーブル・リスト・エントリーを順番に見てその
グレー・フラグが１かどうかを調べる。もし１なら、長
方形の数、＃ｍおよび＃ｓの値が、前回までの最適候補
の対応する数あるいは値より小さいかどうかを調べる。
そしてグレーイングにより適したセクションが見つかっ
た場合には、それをグレーイング処理の制御のために格
納する。これについは以下において図１５を参照してさ
らに詳しく説明する。本ケースの場合には、セクション
３，５に対して理想的グレーイングを行え、これらのセ
クションの中、長方形の数および＃ｍおよび＃ｓの値を
比較して、セクション５を選択することになる。なお、
セクション５の場合、１つの単一スポットのグレーイン
グを行えばよいので、最も良好な結果が得られる。ま
た、最大スポットより小さいスポットの場合、グレー・
フラグは０に設定されるので、セクション５のスポット
は最大スポットと認識する。またこの場合、長方形の貼
り込みは右から左へ、上から下へと行うということ、お
よび１つの単一スポットのみ必要であるということか
ら、最大スポットがサブフィールド・オーバーラップ・
ゾーンを横断する方向に延びていると認識する。

【００４０】もし、理想的なグレーイングを行えるセク
ションで、このような最適の選択を行えなかった場合に
は、長方形の数が最も小さいもの、セクションあるいは
部分内の長方形における＃ｍが最小のもの、＃ｍの値が
同じで＃ｓが最小のものの順に選択する。なお、この選
択の順番は、補償を行える、最大限のオクルージョン誤
差のサイズを保証するものであるのみならず、１つ以上
のサブフィールドから生成されるスポットの数が最小化
されるので、照射システムが最も効率良く動作すること
を保証するものでもある。

【００４１】また、以下でさらに詳しく説明するよう
に、グレー・テーブル・リストの構成は、望ましくはた
だ１つの初期セクションから始め、必要に応じてそのセ
クションを細分化していく。その際、リストの順序を容
易に維持できるようにするため、各テーブル・リスト・
エントリーに２つのポインタを設け、前後のセクション
のアドレスを示すようにすることが望ましい。それによ
り、双方向にリンクしたリストを構成できる。例えば、
ポインタ６１ａはテーブル・リスト・エントリー６２の
アドレスを示し、ポインタ６２ａはテーブル・リスト・
エントリー６３のアドレスを示し、．．．、ポインタ６
２ｂはテーブル・リスト・エントリー６１のアドレスを
示し、ポインタ６１ｂも同様である。これにより、セク
ションの分割が必要なとき、個々のテーブル・リスト・
エントリーを調べて、最大スポット間の特定の境界が存
在するセクションを見つけることが可能となる。

【００４２】以上の概略説明をもとに、本発明にもとづ
く処理について、図１０〜１２を参照して詳しく説明す
る。本発明による処理の開始に当り、描画領域全体にお
いて所望のパターンが、重なりのない複数の長方形とし
てすでに指定されており、各長方形の始点および終点も
指定されているものとする。これらの長方形の記述は、
予め決められた貼り込みの順序（例えば、左から右へ、
上から下へ）に従って順序づけられたリスト内に存在す
ることになる。本発明の処理は３つの基本的な部分に分
かれており、それぞれを図１０，１１，１２に示す。な
お、処理の第１および第２の部分はそれぞれ、できるだ
け多くの長方形を除去して、それらに対する処理を不要
にするため、長方形を評価するステップを含んでいる。
これにより、所望パターン内の長方形に関するステップ
の数を最小にして、処理を極めて高速に実行することが
可能となる。

【００４３】ステップ１１０において、最初の（次の）
長方形に関する記述を、所望のパターンを定義する長方
形のリストより得る。そしてまずステップ１１２におい
て、長方形の一部がサブフィールド・オーバーラップ・
ゾーンに接しているかあるいは同ゾーン内にあるかを評
価する。これは、両座標方向において、長方形の始点お
よび終点のアドレスを、単にサブフィールドの境界の位
置およびサブフィールドの広がりの幅と比較することに
より、あるいはさらに簡単に、オーバーラップ・ゾーン
の始点および終点と比較することにより行える。なお、
比較には、図１３に模式的に示すディジタル・アドレス
比較器を用いる。評価結果が否の場合には、長方形は完
全にサブフィールド内に存在し、長方形のどの部分に対
しても他のサブフィールドから描画できないことにな
る。従って、ステップ１２０において直ちにサブフィー
ルド番号を割り当て、ステップ１２２でその長方形を出
力リストに書き込む。処理は次にステップ１２４にルー
プし、リストより次の長方形を得るか、または処理の第
１の部分の終了を判断する。

【００４４】長方形の一部がサブフィールド・オーバー
ラップ・ゾーンに接しているか、または同ゾーン内に存
在する場合には、ステップ１１４においてさらに別のテ
ストを行う。すなわち、望ましくはアドレスを比較する
ことにより、長方形の全体をサブフィールドおよびその
拡張部より描画できるかどうかを調べる。もしそうな
ら、処理の第２の部分における処理のために、ステップ
１１８において、その長方形をソートリストに直ちに書
き込む。

【００４５】なお、ステップ１１２におけるテストの結
果によっては、長方形は異なるリストに書き込まれる。
この区別は次の理由による。すなわち、サブフィールド
の境界から非常に離れていて、他のサブフィールドの拡
張部に接触しない長方形は、それが存在するサブフィー
ルド以外からは一切描画できず、従って、グレーイング
を行える部分を含む連鎖の一部としての処理を必要とし
ない。このような区別により、ステップ１１２のテスト
を満足する長方形を出力リストに直接、書き込むことに
よって、連鎖が、サブフィールド・オーバーラップ・ゾ
ーンの境界を実際に横断する長方形のグループに限定さ
れるという実際的な効果が得られる。結果としての長方
形あるいは連鎖は複数のオーバーラップ・ゾーンを横断
する場合もあるが、サブフィールド・オーバーラップ・
ゾーンのどこかに接するかまたは重なる長方形を含まな
い連鎖に限定することにより、本発明の処理の第２の部
分で対象となる連鎖が簡単になり、実際に処理の効率お
よびスループットを大幅に高められることが分かった。

【００４６】ステップ１１４において、長方形が単一の
サブフィールドからは全体を描画できないと判断した場
合には、ステップ１１６において、長方形を、サブフィ
ールド・オーバーラップ・ゾーン内で、最大スポットの
基本的に任意の境界で分割する。その結果、長方形は２
つの部分に分かれ、各部分は単一のサブフィールドより
描画することができる。分割後の各部分は、ステップ１
１８で、上述の場合と同様に長方形としてソートリスト
に書き込む。なお、本発明の処理の第２の部分における
長方形連鎖の生成処理は、大部分、上記分割処理を逆に
したものであり、分割を行ったとき、他の部分に対する
ポインタを維持することにより、充分に高い効率を達成
できる。これらの長方形あるいは部分をソートリストへ
書き込んだ後、処理は以前と同様にステップ１２４にル
ープするか、またはすべての入力長方形に対する検討が
終了した場合には、処理のこの部分から抜け出る。

【００４７】入力リストの長方形がなくなると、ステッ
プ１２６で、長方形を連鎖にソートする。この処理に続
く処理については、図１１を参照して詳しく説明する。
まず、ステップ１３０で、ソートリストに長方形が存在
するかどうかを調べる。このテストにより、処理が完了
した場合には処理から抜け出ることになる。ソートリス
ト内に１つ以上の長方形が存在する場合には、ステップ
１３２でソートリストより次の長方形（ｐ＿ｎｅｘｔ）
の記述を取り込む。なお、ソートリスト中の順序は上述
のように、描画領域のサブフィールドにおいて左から右
へ、上から下へとなっている。次にステップ１３４にお
いて、ソートリスト中の長方形の始点および終点のアド
レス比較により、および／またはステップ１１６で分割
された長方形のポインタの評価により、ｐ＿ｎｅｘｔを
含む連鎖を見つける。この処理では、始点および終点の
アドレスという限られた範囲のアドレスのみを考慮する
ればよいため、処理は高速に行うことができる。上述の
ように、このような連鎖はその長さが限られたものとな
り、そしてサブフィールド・オーバーラップ・ゾーン内
の終端（もし存在するなら）と、サブフィールド・オー
バーラップ・ゾーンの境界を横断する長方形の、サブフ
ィールド・オーバーラップ・ゾーンの外の境界との間に
横たわる所望パターンのすべての連続する長方形を含む
ものとなる。従って、連鎖は、グレーイングの対象と成
り得る複数の長方形に限定される。

【００４８】上述のようなアドレスの比較により、ステ
ップ１３６において連鎖の全体を１つのサブフィールド
から描画できるかどうか調べる。描画できるなら、その
連鎖はテストの結果よりサブフィールド・オーバーラッ
プ・ゾーンを幅方向に全体を横断することはないので、
ステップ１４０で、上記サブフィールドを上記連鎖の各
長方形に割り当てる。次に、サブフィールドを割り当て
たので、ステップ１４２において各長方形を出力リスト
に記載し、そしてステップ１４４において各長方形をソ
ートリストより削除する。なお、この処理により、グレ
ーイングを行うか否かにかかわらず、複数の長方形を一
緒に処理することができ、そしてグループとしてソート
リストより削除することができる。その結果、処理の促
進が可能となる。各連鎖の評価を終了すると、処理はス
テップ１３０に戻る。そして、次の長方形を取り込み、
その長方形を含む連鎖を生成し、評価する。このような
処理をソートリスト中の長方形が無くなるまで繰り返
す。

【００４９】ステップ１３６の判定の結果、連鎖がサブ
フィールド・オーバーラップ・ゾーンを完全に横断する
場合、かつその場合のみ、グレーイングをステップ１３
８において実行する。これについて図１２を参照して詳
しく説明する。グレーイング処理は基本的に２つのネス
ト・ループ１５０および１６０から成る。ループ１５０
は、連鎖が１つ以上のサブフィールド・オーバーラップ
・ゾーンを横断する場合にのみ重要となる。特定のサブ
フィールド・オーバーラップ・ゾーンに関し、ステップ
１５２でグレーイング処理を開始するごとに、グレー・
テーブル・リストを１つのテーブル・リスト・エントリ
ー（例えば図９の６１）に初期化し、そのテーブル・リ
スト・エントリーをグレーイング可能であるとマークす
る。各連鎖に対し、それらが横断するサブフィールド・
オーバーラップ・ゾーンごとに検討し、点線１６０で示
す処理により順番にグレーイングを行う。

【００５０】全体または部分が対象とするサブフィール
ド・オーバーラップ・ゾーン内にある長方形に対するグ
レーイング処理は基本的に、サブフィールド・オーバー
ラップ・ゾーンを、個々の長方形の最大スポットにもと
づいてセクションに分割するステップと、初期テーブル
・リスト・エントリーを分割し、更新することにより、
グレー・テーブル・リスト６０内に対応するテーブル・
リスト・エントリーを生成するステップとを含んでい
る。その後、得られたテーブル・リスト・エントリーの
それぞれにより示されるセクションを比較し、最も望ま
しいもの、あるいはデフォールトのものをグレーイング
の対象として選択する。

【００５１】具体的に説明すると、ステップ１６２でグ
レーイング処理に入り、ステップ１６４で与えられたゾ
ーンに関する処理の終了を判定した後、ステップ１６６
で第１の長方形内の各最大スポットの境界を調べ、理想
的にグレーイングを行える最大スポットからグレーイン
グを行えない最大スポットへの変化、すなわち長方形
の、グレーイングを行える部分からグレーイングを行え
ない部分への変化を示す判断基準の変化を表す境界がど
れかを確定する。判断基準のこのような変化があった場
合には、その点で長方形を分割すべきであるとする。こ
のような変化を示す最大スポットの各境界のアドレスを
次に、ステップ１６８において、グレー・テーブル・リ
ストのすでに存在するテーブル・リスト・エントリーに
対して処理し、新しいテーブル・リスト・エントリーを
生成する。その際、前後のテーブル・リスト・エントリ
ーに対するポインタは維持する。分割後の各部分に対し
ては評価を行い、ステップ１７０で、対応するデータ
（＃ｓ，＃ｍ，長方形リスト、ならびにグレー・フラ
グ）をグレー・テーブル・リストの対応するテーブル・
リスト・エントリーに入力する。長方形の分割された各
部分に関してテーブル・リスト・エントリーをすべて更
新した場合には、処理はステップ１６４にループ・バッ
クし、他の長方形に対する処理を繰り返す。その処理
は、連鎖内にあり、ゾーン内に全体または部分が入って
いるすべての長方形を検討し、グレー・テーブル・リス
ト内に適切なテーブル・リスト・エントリーを生成する
まで繰り返す。

【００５２】ゾーン内に処理すべき長方形が無くなる
と、図１２のステップ１７２において、図９に関して述
べたようにしてグレー・テーブル・リストを評価する。
ステップ１７２で、サブフィールド・オーバーラップ・
ゾーンの最も望ましいセクションを選択すると、次にそ
のセクション内の長方形の部分はすべてグレーイングを
行う。このグレーイングを行うために必要なことは基本
的に、上記の部分に対応するスポットを、連続する両方
のサブフィールドに描画することと、各長方形の上記部
分に対して、グレー・スプライスのために低い強度で描
画を行うことを表すフラグを設定することだけである。
最後に、各部分のグレー・スプライス部に対する相対的
な位置にもとづいて、単一サブフィールドを残りの長方
形の部分に割り当てる。

【００５３】ステップ１５６において他のゾーンを調
べ、連鎖が横断する他のサブフィールド・オーバーラッ
プ・ゾーンに対して上述した処理を繰り返す。なおここ
で、１つのサブフィールド・オーバーラップ・ゾーンの
みの場合には、グレーイングを行うべき上記長方形の部
分のアドレスに関してグレーイングは完了することにな
る。対象となっている連鎖に対してそれ以上サブフィー
ルド・オーバーラップ・ゾーンが見つからない場合に
は、処理は図１１のステップ１４２に戻る。

【００５４】従来のグレーイング技術は一般に汎用のデ
ィジタル・コンピュータによって実施されていた。従っ
て、本発明についても同様の方法で実施することによ
り、現存の電子ビーム照射システムに組み込むいことが
可能となり、有利となる。そこで、このような条件のも
とで、熟練したプログラマーが本発明を実施することを
可能とする疑似プログラム・コードを以下に示す。 ＊入力リスト中の各長方形に対し； ＠もし、長方形全体が１つのサブフィールドに含まれ、
ｘあるいはｙサブフィールド・オーバーラップ・ゾーン
に接していないなら、その長方形に専用のｘおよびｙサ
ブフィールド番号を割り当て、出力リストに書き込む。 ＠もし、長方形がすべて１つのサブフィールドから描画
できるが、一部あるいは全体がｘまたはｙサブフィール
ド・オーバーラップ・ゾーン内にあるかこれらのゾーン
に接しているなら、長方形が主にどこに属しているかに
もとづいて一時的なｘおよびｙサブフィールド番号を割
り当てる。また、長方形に対して、長方形が１つのｘ／
ｙサブフィールド・オーバーラップ・ゾーンに進入して
いるかどうか、長方形がｘ／ｙサブフィールド・オーバ
ーラップ・ゾーンから出ているかどうか、長方形が１つ
のｘ／ｙサブフィールド・オーバーラップ・ゾーンと共
通しているかどうか（全体が上記ゾーンに含まれている
かどうか）、あるいは１つのｘ／ｙサブフィールド・オ
ーバーラップ・ゾーンと共通していないかどうか（どの
部分も上記ゾーンに接しておらず、また上記ゾーンに含
まれていないかどうか）について、ｘおよびｙ方向でラ
ベル付けを行う。ソートのためにこの長方形を書き込
む。 ＠長方形全体を１つのサブフィールドから描画できない
なら、その長方形を描画すべき隣接するサブフィールド
の基準の境界に最も近い最大スポットの境界において、
長方形を分割する。長方形の各部分にｘおよびｙサブフ
ィールド番号を割り当て、上記ステップのラベル付けと
同じようにして、ｘおよびｙ方向で長方形にラベル付け
を行う。 注：スリービングのための外部長方形の生成の定義よ
り、長方形の一方向のみが切断のために充分な長さとな
っている。ソートのために長方形の各部分を書き込む。 ＊入力リスト内の各長方形に対する処理を終了する。 ＊ソートのために記載された長方形を、次の順序でソー
トする。 すなわち、ｙサブフィールド番号が増加するように、ｘ
サブフィールド番号が増加するように、下位ｘ座標が増
加するように、下位ｙ座標が増加するようにソートす
る。 ＊ソート終了後、全長方形を未割り当てリストに配置す
る（不変ｘおよびｙサブフィールドはまだ割り当てられ
ていない）。 ＊ＤＯ 未割り当てリストが空になるまで； ＠未割り当てリストより次の長方形（Ｐ−ｎｅｘｔ−ｒ
ｅｃｔ）を取り出す。 ＠未割り当てリストをサーチして、Ｐ−ｎｅｘｔ−ｒｅ
ｃｔを一部として含む長方形の連鎖（連鎖とは、連鎖内
のどれかの長方形に接続する一連の長方形と定義する）
を見つける。 ＠もし、この連鎖の全体を１つのサブフィールドから描
画できるなら、サブフィールド番号を連鎖内の各長方形
に割り当てる。 ＠もし、連鎖にｙサブフィールドが割り当てられている
なら、ｇｒｅｙ（ｙ）をコールする。 ＥＬＳＥ； ＠もし、連鎖にｘサブフィールドが割り当てられている
なら、ｇｒｅｙ（ｘ）をコールする。 ＥＬＳＥ； ＠連鎖内の各長方形を出力リストに記載する。 ＠連鎖内のすべての長方形を未割り当てリストより削除
する。 ＊未割り当てリストが空になるまでのＤＯループを終了 ＊Ｇｒｅｙ：Ｐｒｏｃ（ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ） ／＊ｄ
ｉｒｅｃｔｉｏｎ＝ｘまたはｙ＊／ ＠Ｐ−ｎｅｘｔを連鎖内の最初の長方形に設定； ＠ＤＯ 連鎖内の各長方形に対して；もし、Ｐ−ｎｅｘ
ｔにすでにｄｉｒｅｃｔｉｏｎサブフィールドが割り当
てられているか、またはＰ−ｎｅｘｔがｄｉｒｅｃｔｉ
ｏｎにおいて共通していることを示すラベルが付けられ
ているなら； ＥＬＳＥ もし、Ｐ−ｎｅｘｔがｄｉｒｅｃｔｉｏｎにおいて共通
していないとラベル付けられているなら、 ＤＯ；ｄｉｒｅｃｔｉｏｎサブフィールドをＰ−ｎｅｘ
ｔ−ｔｈｉｓ ｖａｌｕｅ（＝（長方形のｄｉｒｅｃｔ
ｉｏｎ中心点）／サブフィールド・サイズ）に割り当て
る。 ＥＮＤ；ＥＬＳＥ ＤＯ； ／＊Ｐ−ｎｅｘｔは進入または退去＊／ もし、Ｐ−ｎｅｘｔがｄｉｒｅｃｔｉｏｎにおいて進入
を表すラベルが付けられているなら、 ＤＯ；Ｐ−ｎｅｘｔが進入しているｄｉｒｅｃｔｉｏｎ
サブフィールド・オーバーラップ・ゾーンを見つけ、Ｐ
−ｎｅｘｔから進入ラベルを除去する。 ＥＮＤ；ＥＬＳＥ ＤＯ； ／＊Ｐ−ｎｅｘｔはｄｉｒｅｃｔｉｏｎにおい
て退去を表すラベルが付けられている＊／ Ｐ−ｎｅｘｔが退去しているｄｉｒｅｃｔｉｏｎサブフ
ィールド・オーバーラップ・ゾーンを見つけ、Ｐ−ｎｅ
ｘｔから退去ラベルを除去する。 ＥＮＤ、 Ｐ−ｎｅｘｔを一部に含む長方形の部分連鎖を見つける
（部分連鎖は、部分連鎖内のいずれかの長方形に接続し
ている一連の（または１つの）長方形であり、部分又は
全体がｄｉｒｅｃｔｉｏｎサブフィールド・オーバーラ
ップ・ゾーン内に在るかまたは同ゾーンに接しているも
のと定義する。）。もし、部分連鎖がｄｉｒｅｃｔｉｏ
ｎサブフィールド・オーバーラップ・ゾーンに進入して
おらず、同ゾーンから出ていないなら、ｄｉｒｅｃｔｉ
ｏｎサブフィールド番号を、部分連鎖がサブフィールド
・オーバーラップ・ゾーンに進入しているか、または同
ゾーンから出ているかにもとづいて、部分連鎖長方形に
割り当てる。 ＥＬＳＥ ｇｒｅｙ−ｓｕｂ−ｃｈａｉｎをコールする； ＥＮＤ； ／＊Ｐ−ｎｅｘｔの終了は進入または退去で
ある＊／ もし、Ｐ−ｎｅｘｔが進入または退去とラベル付けられ
ているなら； ／＊Ｐ−ｎｅｘｔのために繰り返されるループ＊／ ＥＬＳＥ Ｐ−ｎｅｘｔ＝連鎖内の次の長方形； 連鎖内の各長方形に対するＤＯループを終了； ＊ＥＮＤ ｇｒｅｙ（ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ） ＊Ｇｒｅｙ−Ｓｕｂ−Ｃｈａｉｎ： Ｐｒｏｃ； ／＊このサブルーチンは部分連鎖リスト内の長方形に対
してグレーイングを行う。グレーイングを行うことによ
って長方形およびスポットの数が増加するので、可能な
場合にはその数の増加を最小にするように試みる。グレ
ー・テーブル・リスト（以下に定義）を用いることによ
り、グレーイングのための異なる位置を調べ、最適なも
のを選択できる。＊／ ＤＣＬ １ Ｇｒｅｙ ｔａｂｌｅ ／＊グレー・テー
ブル・リストの要素＊／ ３ ｎｅｘｔ ＰＴＲ ／＊次のエントリーのためのポ
インタ＊／ ３ ｐｒｅｖ ＰＴＲ ／＊前のエントリーのためのポ
インタ＊／ ３ ｓｅｃｔｉｏｎ ／＊ｌｏｗとｈｉｇｈが定義する
サブフィールド・オーバーラップ・ゾーンの部分に対応
する＊／ ５ ｌｏｗ（固定） ５ ｈｉｇｈ（固定） ３ ＃ ｓｈａｐｅｓ ５ ＃ｓ−ｓｐｏｔｓ（固定） ５ ＃ｍ−ｓｐｏｔｓ（固定） ／＊このセクション内
に一部が含まれる長方形の数を含む。＃ｓ−ｓｐｏｔｓ
＝１つのスポットのグレーイングのみが必要な長方形の
数。＃ｍ−ｓｐｏｔｓ＝このセクション内の、２つ以上
のスポットを含む長方形からグレーイングを行うべきス
ポットの数。（つまり、１つのスポットを含む長方形は
ｘグレーイングに対して水平な長方形であり、ｙグレー
イングに対しては垂直な長方形である。）／＊ ３ Ｌｉｓｔ−ｏｆ−ｒｅｃｔｓ ＰＴＲ ／＊このセ
クション内に部分または全体が含まれている長方形のリ
ストに対するポインタ＊／ ３ Ｇｒｅｙａｂｌｅ（固定）； ／＊１−このセクションは次のような長方形のみを有し
ている。

【００５５】−もし、ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ距離が最大ス
ポットより小さいなら、長方形全体はサブフィールド・
オーバーラップ・ゾーン内に入っている。

【００５６】−もし、ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ距離が最大ス
ポットより大きいかまたは等しいなら、長方形の最大ス
ポット・サイズのスポットがセクションを通過してお
り、上記サブフィールドスポットは全体がサブフィール
ド・オーバーラップ・ゾーン内に含まれている。

【００５７】０−もし、このセクションが上記判断基準
を満たさない長方形を含んでいるなら＊／ ＊１つのエントリーが全サブフィールド・オーバーラッ
プ・ゾーンとなるようにグレー・テーブル・リストを初
期化する。このエントリーのＧｒｅｙａｂｌｅコンポー
ネントを１に設定する。 ＊ＤＯ 部分連鎖内の各長方形に対して ＠この長方形に関し、スポットの配列を確定する（図
２，図３はその一例である）。 ＠ｄｉｒｅｃｔｉｏｎサブフィールド・オーバーラップ
・ゾーン内で、この長方形のどの部分がグレーイング可
能かあるいは不可能かを確定する。この長方形の最大ス
ポットが完全にｄｉｒｅｃｔｉｏｎサブフィールド・オ
ーバーラップ・ゾーン内に入っている場合、それらはす
べてグレーイング可能である。残余スポット・サイズの
スポット、あるいは最大スポット・サイズのスポットが
部分的にｄｉｒｅｃｔｉｏｎサブフィールド・オーバー
ラップ・ゾーン内に内って入る場合、それらのグレーイ
ングは不可能である。もし、長方形の短辺が完全にサブ
フィールド・オーバーラップ・ゾーン内に入っているな
ら、あるいは長方形が１つのスポットで描画できるな
ら、その長方形の一部はグレーイング可能である。

【００５８】注：グレーイング不可能の部分に対しては
グレーイングを行うこともできるが、グレーイング可能
の部分については、より最適なグレー長方形数がある。 ＠この長方形のすべてのグレーイング可能部分およびグ
レーイング不可能部分をグレー・テーブル・リストに格
納する。グレーイング可能部分およびグレーイング不可
能部分を、グレー・テーブル・リスト内にすでに存在す
るエントリーに対して処理を行う。これらの新しい部分
を、重複に関して、すでに存在するエントリーと比較す
る。入力した部分は、グレー・テーブル・リスト内にす
でに格納されている１つまたは複数のエントリーと、あ
る程度重複している可能性がある。このように重複して
いる各エントリーに対して、入力した部分を処理する。
各エントリーに対して下記比較の１つが真となる：グレ
ー・テーブル・リストと入力した部分との比較にもとづ
いて、以下を行う（各ケースは図１６の表Ｉに示す）： ケース１：入力した部分に従って＃ｓ−ｓｐｏｔｓある
いは＃ｍ−ｓｐｏｔｓをグレー・テーブル・リストに加
える。このグレー・テーブル・リストに関し、入力長方
形をＬｉｓｔ−ｏｆ−ｒｅｃｔｓに加える。もし、入力
した部分がグレーイング可能なら； ＥＬＳＥ グレー・テーブル・リストのＧｒｅｙａｂｌｅを０に設
定する。 ケース２および３：入力した部分が終点（ケース２）か
始点（ケース３）かにもとづいて、すでに存在するエン
トリーの代りに２つのエントリーをグレー・テーブル・
リストに生成する。すでに存在するグレー・テーブルの
情報（＃ ｓｈａｐｅｓ、Ｌｉｓｔ−ｏｆ−ｒｅｃｔ
ｓ、Ｇｒｅｙａｂｌｅ）を新たに生成したエントリーに
コピーする。ケース１の場合、入力した部分の情報を、
その入力部分のグレー・テーブル・リストに加える。 ケース４：現存するエントリーの代りに新たに３つのエ
ントリーをグレー・テーブル・リストに生成する。入力
した部分の終点にもとづいて、すでに存在するグレー・
テーブルの情報（＃ ｓｈａｐｅｓ、Ｌｉｓｔ−ｏｆ−
ｒｅｃｔｓ、Ｇｒｅｙａｂｌｅ）を新たに生成したすべ
てのエントリーにコピーする。入力した部分の情報を、
その入力部分のグレー・テーブル・リストに加える。 ＠部分連鎖内の各長方形に対するＤＯループを終了 ／＊この時点で、このｄｉｒｅｃｔｉｏｎオーバーラッ
プ・ゾーンに関して、連鎖のすべてのグレーイング情報
がグレー・テーブル・リストに格納されたことになる。
リスト中の最良のエントリーを見つけ、そのＬｉｓｔ−
ｏｆ−ｒｅｃｔｓ内のすべての長方形に対してグレーイ
ングを行うことがゴールである。可能な場合には、最も
小さい＃ｍ−ｓｐｏｔｓおよび＃ｓ−ｓｐｏｔｓを有
し、Ｇｒｅｙａｂｌｅ＝１となっているエントリーを選
択することにより、描画すべき長方形およびスポットの
総数を最小化することができる（その結果、システムの
スループットが向上する）。各グレー・テーブル・リス
トのＧｒｅｙａｂｌｅの部分を調べることにより、この
セクション内のどの長方形が、グレーイングにとって望
ましくない分割を有しているかが分かる。＊／ ＠Ｐ−ｅｎｔｒｙ＝グレー・テーブル・リスト内の最初
のエントリー； ＠Ｐ−ｂｅｓｔ−ｅｎｔｒｙ＝Ｐ−ｅｎｔｒｙ； ＠ＤＯ グレー・テーブル・リスト内の各エントリーに
対して；もし、Ｐ−ｅｎｔｒｙが、より良い＃ ｓｈａ
ｐｅｓ判断基準（＃ｓ−ｓｐｏｔｓ、＃ｍ−ｓｐｏｔ
ｓ）および望ましいＧｒｅｙａｂｌｅ（＝１）を有して
いるなら、 ＴＨＥＮ Ｐ−ｂｅｓｔ−ｅｎｔｒｙ＝Ｐ−ｅｎｔｒｙ； ＥＬＳＥ； Ｐ−ｅｎｔｒｙ＝グレー・テーブル・リスト内の次エン
トリー； ＠グレー・テーブル・リスト内の各エントリーに対する
ＤＯループを終了； ／＊ループ終了時点において、Ｐ−ｂｅｓｔ−ｅｎｔｒ
ｙが、グレー・テーブル・リスト内で、グレーイングを
行うエントリーとなっている。Ｐ−ｂｅｓｔ−ｅｎｔｒ
ｙのＬｉｓｔ−ｏｆ−ｒｅｃｔｓの各長方形に対して、
点（Ｐ−ｂｅｓｔ−ｅｎｔｒｙ．ｌｏｗ＋Ｐ−ｂｅｓｔ
−ｅｎｔｒｙ．ｈｉｇｈ）／２においてグレーイングを
行うことになる。Ｐ−ｂｅｓｔ−ｅｎｔｒｙのＬｉｓｔ
−ｏｆ−ｒｅｃｔｓ内の各長方形および新たに生成した
すべてのグレー長方形に対して、グレー・オーバーラッ
プが生成され、そしてｄｉｒｅｃｔｉｏｎサブフィール
ドが割り当てられることになる。＊／ ／＊もし、ループの最後でＰ−ｂｅｓｔ−ｅｎｔｒｙの
Ｇｒｅｙａｂｌｅが０なら、サブフィールド・オーバー
ラップ・ゾーンの名目上のサブフィールド境界を含むグ
レー・テーブル・エントリーを、グレーイングのための
エントリーとして選択する。そのエントリーの各長方形
に対して、名目上のサブフィールドｄｉｒｅｃｔｉｏｎ
値に渡ってグレーイングを行うことになる。＊／ ／＊グレー・テーブル・リスト内のの他のすべてのエン
トリーに対して（Ｐ−ｂｅｓｔ−ｅｎｔｒｙを除き）、
各Ｌｉｓｔ−ｏｆ−ｒｅｃｔｓリスト内のすべての長方
形（まだｄｉｒｅｃｔｉｏｎサブフィールドが割り当て
られていない）に対してｄｉｒｅｃｔｉｏｎサブフィー
ルド番号を、グレー・テーブル・リスト内で上記エント
リーＰ−ｂｅｓｔ−ｅｎｔｒｙの前に来るか後に来るか
にもとづいて、割り当てる。＊／ 本発明は極めて効率が高く、汎用コンピュータ上で非常
に高速に実行できる。この処理の効率が高い主な理由
は、上述のように、入力リスト中の特定の長方形の広が
りを判断して必要最小限の処理を実行することと、ソー
ト処理の際に長方形の単純化した連鎖を共通に処理する
ことにある。これらの処理は、比較的簡単なディジタル
的な比較のみによって行え、高速に実行できる。

【００５９】しかし、従来より良く知られているよう
に、専用の特殊目的のデータ処理回路を用いることによ
り、一段と高い性能を達成できる。このような回路につ
いて、図１３〜図１５を参照して以下に説明する。な
お、上述した処理は、メモリ・アクセスを別にして、デ
ータを識別し、操作するための極少ない種類の処理のみ
によって行えるものである。具体的には、上記処理は、
スポット、サブフィールド、長方形セクション、ならび
にオーバーラップ・ゾーンの境界の相対的位置を確定す
るためのアドレス比較と、長方形セクションがグレーイ
ングにとって相対的に望ましいものかどうかを示すデー
タを含むグレー・テーブル・リストから、テーブル・リ
スト・エントリーを選択するためのディジタル・データ
比較と、分割長方形の所望の位置への配置だけを必要と
する。

【００６０】本発明を実行するために適したアドレス比
較装置２００を図１３に示す。この装置は、図１０のス
テップ１１２および１１４、ならびに図１１のステップ
１３６のテスト処理を実行し、また図１１のステップ１
３４における、連続する長方形の連鎖の調査を実行す
る。ステップ１１２，１１４，１３６のテストは、長方
形が描画領域の特定の部分に入っているかどうかを調べ
るだけで行える。この機能を実現するため、メモリか
ら、望ましくは電子ビーム照射装置特有の位置を表す値
のテーブル・リスト・エントリーから描画領域の境界を
取り込み、範囲開始アドレス・レジスタ２０２と範囲終
了アドレス・レジスタ２０４とに入力する。次に、これ
らの値をそれぞれ基準入力として、ディジタル比較器２
１０，２１２に与える。これらのディジタル比較器は、
望ましくはコントロール入力２０６，２０８によって指
定される条件のもとで（例えば、入力データが基準入力
より、小さい、小さいかまたは等しい、等しい、大きい
かまたは等しい、あるいは大きい）、”真”を出力する
よう制御できるものとする。これらの制御入力は、必要
とするアドレス比較に応じて設定する。例えば、ステッ
プ１１４のテストを実行する場合には、サブフィールド
にその拡張部を加えた領域の左および上の境界をレジス
タ２０２に入力し、サブフィールドにその拡張部を加え
た領域の右および下の境界をレジスタ２０４に入力す
る。比較器２１０は”大きいかまたは等しい”の比較に
より”真”を出力するように制御する。次に、長方形の
境界を順番に入力２２０に入力する。その比較結果は共
にゲート２１４に入力する。ゲート２１４の出力は処理
の他の部分をトリガするための信号とする。なお、比較
装置を二重化することにより、長方形の始点および終点
を同時に比較し、さらに同様に二重化したゲートにより
複合イネーブル信号を発生することができ、有利とな
る。図１３の比較装置を４つ設けた場合には、両方の座
標軸方向で同時にテストを実行できる。

【００６１】また、ステップ１１２，１１４，１３６の
テストで正の結果が得られた場合、各テストの後、メモ
リにデータを書き込むことになる。ゲート２１６，２１
８はそのために設けてあり、ゲート２１４の出力が真の
とき、複数ビットのデータを出力する。上述のように長
方形の始点および終点の比較を同時に行う場合には、ゲ
ート２１６，２１８は、図１３の比較装置の他の部分と
同様に二重化しない。

【００６２】ステップ１３４における長方形の連鎖化も
同様に、異なる長方形の始点および終点を単に比較する
ことにより行える。そのためには、等しいかどうかを検
出すればよく、点線２２４で囲まれたもの、あるいはゲ
ートのアレーによるものなどの、１つのディジタル比較
器だけでよい。しかし、ハードウェアのコストダウンを
計ろうとするのであれば、図１３の比較装置を用い、そ
のレジスタ２０２，２０４に同一のアドレスを入力し、
比較器２１０，２１２に対し、等しいことを検出するよ
うに制御を行うことによっても必要な比較を行うことが
できる。

【００６３】領域の分割は図１４に模式的に示す装置に
よって行うことができる。この装置は望ましくは図１３
に示したような比較装置に応答して動作し、領域を切断
すべき位置を決定する。切断すべき長方形あるいはセク
ションの始点および終点は、レジスタ３０２，３０４に
それぞれ書き込み、一方、比較装置は切断のための条件
が満たされたとき真を出力するように設定する。次に、
切断位置となり得るアドレスを、例えばカウンタ（図示
せず）をインクリメントしながら、順番に図１３の入力
２２０に入力する。切断のための条件が満たされた場合
には、比較装置はゲート２１４からイネーブル信号を出
力し、またゲート２１６から条件を満たしたアドレスを
出力する。これらのイネーブル信号およびアドレスは入
力３０６，３０８に入力する。レジスタ３１０，３１２
はそれぞれ長方形あるいはセクションの元の始点および
終点を受け取る。そして、入力３０８によってイネーブ
ルされた場合、レジスタ３１０は入力３０６に入力され
たアドレスを新しい終点として受け取り、レジスタ３１
２は同アドレスを新しい始点として受け取る。次に、こ
れらの新しい境界は個別に評価し、図１３により説明し
たアドレス比較によってグレー・テーブル・リストのた
めのデータを生成する。

【００６４】グレー・テーブル・リストの評価に適した
ディジタル比較装置を図１５に示す。ディジタル比較器
４０２，４０４，４０６は構造的には図１３のものと同
様であるが、これらの比較器の場合にはアドレス比較の
場合ほど多数のビットを比較する必要がない。そして、
これらの比較器の中の１つは、”より小さい”を検出し
たとき”真”を出力するだけでよく、一方、他の比較器
は、”より小さいからまたは等しい”を検出したとき”
真”を出力する。そして、比較器２１０，２１２などの
出力を直接モニタする。各＃ｓ，＃ｍ，＃ ｒｅｃｔａ
ｎｇｌｅｓのそれぞれの以前の最良値は、図１３の比較
器２１０，２１２に対応する両ディジタル比較器に入力
する。論理回路４０８は、入力値がすべて以前の最良値
より大きくなく、少なくとも１つの入力値が以前の最良
値より小さく、かつグレー・フラグ値により、セクショ
ンがグレーイング可能となっている場合にのみ、”真”
を出力するようになっている。これらの条件が満たされ
た場合には、比較対象のセクションに対応する値を、ゲ
ート４１０の制御のもとで、最良セクション・レジスタ
４１２に書き込む。このように、図１５の装置により、
グレー・テーブル・リストの単一の経路内で、グレーイ
ングのための最良の候補セクションを決めることができ
る。

【００６５】以上説明したように、グレー・スプライス
を行うための本発明の方法および装置では、所望パター
ン上でグレーイングを行うのに最も適した部分を確定す
ることにより、従来技術の場合に比べ、サブフィールド
間のオクルージョン誤差に対する許容度が大幅に向上す
る。本発明による処理では、各長方形に対して行うべき
処理を最小限必要なものだけにし、連鎖内のグレーイン
グのための長方形をソートするので、高い効率が得られ
る。また、本発明では、複数のサブフィールドのそれぞ
れから描画すべきグレーイング・スポットの数を最小化
するので、電子ビーム照射装置を最高の効率で動作させ
ることができる。

【００６６】本発明についてここでは１つの望ましい実
施例をもとにハードウェアおよびソフトウェアを説明し
たが、本発明はもちろん、発明の精神にもとづき、かつ
特許請求の範囲内で種々に変更を加えて実施できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】描画領域とサブフィールドとの関係を示す図で
ある。

【図２】任意の形状に複数の長方形を貼り込む場合の一
例を示す図である。

【図３】図２の外部長方形に対する複数のスポット長方
形の貼り込みを示す図である。

【図４】図２，３の一部を拡大して示す図であり、隣接
する２つのサブフィールドのオーバーラップ・ゾーンに
関連して、１つまたは２つのサブフィールドから描画す
るために長方形を分割する際の判断基準を示す図であ
る。

【図５】従来のグレー・スプライス法にもとづく処理の
一例を示す図である。

【図６】従来のグレー・スプライス法にもとづく処理の
一例を示す図である。

【図７】従来のグレー・スプライス法にもとづく処理の
一例を示す図である。

【図８】本発明にもとづく処理の一例を示す図である。

【図９】本発明によるグレー・テーブル・リストを模式
的に示す図である。

【図１０】本発明による処理を示すフローチャートであ
る。

【図１１】本発明による処理を示すフローチャートであ
る。

【図１２】本発明による処理を示すフローチャートであ
る。

【図１３】本発明による処理を具体的に実行するのに適
したディジタル回路の概略ブロック図である。

【図１４】本発明による処理を具体的に実行するのに適
したディジタル回路の概略ブロック図である。

【図１５】本発明による処理を具体的に実行するのに適
したディジタル回路の概略ブロック図である。

【図１６】本発明にもとづきグレー・テーブル・エント
リーを細分化する処理における、４つの特定の場合を示
す図表である。

【符号の説明】

１０ 描画領域 １４ サブフィールド １８ オーバーラップ・ゾーン ５２，５４ スポット ６０ グレー・テーブル・リスト ６１〜６６ テーブル・リスト・エントリー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−100426（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−155725（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−11229（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−248129（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−265236（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−252016（ＪＰ，Ａ)

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】パターン照射システムにおいて、描画領域
   をサブフィールドに分割し、所望のパターンを重なりの
   無い複数の長方形により表してグレー・スプライスを行
   う方法であって、 前記長方形のうち、サブフィールド・オーバーラップ・
   ゾーンに全体または部分が含まれている前記長方形を確
   定するステップと、 前記サブフィールド・オーバーラップ・ゾーンをセクシ
   ョンに分割するステップと、 前記サブフィールド・オーバーラップ・ゾーン内に在る
   前記長方形の部分を形成するのに必要な照射スポットの
   数を少なくとも確定するために前記セクションを調査す
   るステップと、 前記調査ステップにもとづいて１つのセクションを選択
   するステップと、 前記セクション内の少なくとも１つの前記照射スポット
   に対してグレーイングを行うステップとを含むことを特
   徴とする方法。
2. 【請求項２】前記サブフィールド・オーバーラップ・ゾ
   ーンに含まれず、また前記ゾーンに接してもいないすべ
   ての長方形を削除するステップをさらに含むことを特徴
   とする請求項１記載の方法。
3. 【請求項３】予め決められた長方形を含む、すべての連
   続する長方形の連鎖を確定するステップをさらに含むこ
   とを特徴とする請求項２記載の方法。
4. 【請求項４】前記分割、調査、ならびに選択のステップ
   は、複数のサブフィールド・オーバーラップ・ゾーンの
   それぞれについて、複数回実施することを特徴とする請
   求項１記載の方法。
5. 【請求項５】電子ビーム照射装置の描画領域のサブフィ
   ールド・オーバーラップ・ゾーンの各セクションごと
   に、前記サブフィールド・オーバーラップ・ゾーンを横
   断する所望のパターンの部分を形成するのに必要なスポ
   ットの数を少なくとも含むテーブル・リスト・エントリ
   ーを有するデータ構造。
6. 【請求項６】前記テーブル・リスト・エントリーは、前
   記サブフィールドオーバーラップ・ゾーンの連続する他
   のセクションに対応する、以前のテーブル・リスト・エ
   ントリーに対するポインタを含んでいることを特徴とす
   る請求項５記載のデータ構造。
7. 【請求項７】前記テーブル・リスト・エントリーはさら
   に、前記セクション内に全体または部分が存在する前記
   長方形のリストを含んでいることを特徴とする請求項５
   記載のデータ構造。
8. 【請求項８】前記テーブル・リスト・エントリーはさら
   に、前記セクション内のいずれかのスポットが、少なく
   とも１つの予め決められた規則に適合しないかどうかを
   表すフラグを含むことを特徴とする請求項５記載のデー
   タ構造。
9. 【請求項９】前記フラグは、前記セクション内のすべて
   のスポットが前記規則に従い、予め決められたサイズで
   あることを示すことを特徴とする請求項８記載のデータ
   構造。
10. 【請求項１０】前記フラグは、前記セクション内のすべ
    てのスポットが前記規則に従い、全体が前記サブフィー
    ルド・オーバーラップ・ゾーン内に入っていることを示
    すことを特徴とする請求項８記載のデータ構造。
11. 【請求項１１】前記フラグは、前記セクション内のすべ
    てのスポットが前記規則に従い、全体が前記サブフィー
    ルド・オーバーラップ・ゾーン内に入っていることを示
    すことを特徴とする請求項９記載のデータ構造。
12. 【請求項１２】パターン照射システムにおいて、描画領
    域をサブフィールドに分割し、所望のパターンを重なり
    の無い複数の長方形により表してグレー・スプライスを
    行うシステムであって、 前記長方形のうち、サブフィールド・オーバーラップ・
    ゾーンに全体または部分が含まれている前記長方形を確
    定する確定手段と、 前記サブフィールド・オーバーラップ・ゾーンをセクシ
    ョンに分割する分割手段と、 前記サブフィールド・オーバーラップ・ゾーン内に在る
    前記長方形の部分を形成するのに必要な照射スポットの
    数を少なくとも確定するために前記セクションを調べる
    調査手段と、 前記調査手段による調査にもとづいて１つのセクション
    を選択する選択手段と、 前記セクション内の少なくとも１つの前記照射スポット
    に対してグレーイングを行うグレーイング手段とを備え
    たことを特徴とするシステム。