JP2516885Y2 - 汚れ防止機構付き加熱炉 - Google Patents

汚れ防止機構付き加熱炉

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JP2516885Y2
JP2516885Y2 JP1990405452U JP40545290U JP2516885Y2 JP 2516885 Y2 JP2516885 Y2 JP 2516885Y2 JP 1990405452 U JP1990405452 U JP 1990405452U JP 40545290 U JP40545290 U JP 40545290U JP 2516885 Y2 JP2516885 Y2 JP 2516885Y2
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JP
Japan
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furnace
furnace wall
heating furnace
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dirt
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林 寛 小
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Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
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Description

【考案の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本考案は、炉内で発生するガスを
積極的に汚れ防止機構に付着させる汚れ防止機構付き加
熱炉に関する。 【0002】 【従来の技術】従来、たとえば水晶振動子の製造工程で
は水晶片を保持部材で保持して所定の周波数に調整した
後、封止する前に組み立てた製品、すなわち水晶振動子
を加熱炉に入れて数百度の雰囲気で数時間、加熱して、
たとえば接着剤等に含まれるガス成分を放出させるとと
もに各部材の加工時に残留した熱歪等を取り除く、いわ
ゆるアニール処理を行うようにしている。このようなア
ニール処理を行う加熱炉としては、製品をベルトコンベ
アに載置して連続的に炉内に送り込むコンベア炉、一定
量の製品を一定の温度に加熱するように恒温度制御を行
う恒温バッチ炉、炉内の雰囲気を真空にしてガスの放出
効率を高めた真空加熱炉等がある。図2は従来の加熱炉
の一例を示す概略構成図で、電気ヒーター等の発熱体1
を囲んで炉壁2を設けている。炉壁2の底部には着脱自
在に金属網3を設けて被加熱体4、すなわち製品の炉内
への挿入、取り出しを可能とし、かつ外部の空気を循環
させるようにしている。そして炉壁2の頂部にはダクト
5を設けて炉内の空気の排出を可能としている。また炉
壁2の外周には保温材6を添着して、炉壁2からの熱の
放射を防ぐとともに作業者の安全を図るようにしてい
る。 【0003】しかしながら、このような加熱炉でアニー
ル処理を行っていると製品4から放出されたガスの成分
が凝固した際に炉壁2に付着し、炉内を繰り返し加熱、
冷却しているうちに堆積物7となって炉壁2に強固に堆
積する。このような堆積物7は特に炉内の側壁2、ダク
ト5の内壁等に顕著に付着する。しかしてこのような堆
積物7は、炉内を加熱した際に再びガスとなって炉内を
漂い、製品4の表面に付着して品質を損ないエージング
特性を劣化させる問題があった。このために、加熱炉内
を清浄に保つことが望まれているが、実際には堆積物7
は炉壁2に強固に付着し、かつ炉内も入り組んでいるた
めにこれを取り除くことは容易ではない。また炉内を充
分に高温度に加熱してベーキングを行い堆積物7を飛散
させるようにしてもよいが、このようなベーキングを頻
繁に行うことは加熱体1および炉壁2の寿命を著しく短
くする問題があった。 【0004】 【考案が解決しようとする課題】本考案は、上記の事情
に鑑みて成されたもので、炉内の堆積物を特定の部位に
集中して堆積させて容易に取り除くことができるように
し、清浄な雰囲気で製品のアニールを行うことができる
汚れの防止機構付き加熱炉を提供することを目的とする
ものである。 【0005】 【課題を解決するための手段】本考案は、発熱体を囲む
炉壁内に被加熱体を配設し、この炉壁内に低温度の冷却
体を設けたことを特徴とするものである。 【0006】 【実施例】以下本考案の一実施例を図1に示す概略構成
図を参照して詳細に説明する。図中11はヒーター等の
発熱体で、この発熱体11を囲んで炉壁12を設けてい
る。そして炉壁12の底部には着脱自在に金属網13を
設けて、上記発熱体11に対面して配置する製品14の
炉内への挿入、取り出しを行うようにし、かつ外部の空
気を循環させるようにしている。そして炉壁の頂部には
ダクト15を設けて炉内の空気の排出を可能としてい
る。また、炉壁12の外周には保温材16を添着して、
炉壁12からの熱の放射を防ぎ作業者の安全を図るよう
にしている。 【0007】そして炉壁12の、たとえば内側上面に低
温度の冷却体17を設けている。この冷却体17は、た
とえば挿脱自在に汚れ収集板17aを配設し、この外側
に汚れ収集板17aに熱的に結合した冷却部17bを設
けている。この冷却部17bは熱伝導率が良好な金属の
表面にフィンを形成して表面積を大きくした放熱体でも
よいし、この放熱体に冷却ファンで送風するようにして
もよいし、あるいはここに冷媒を循環させて積極的に冷
却するようにしてもよい。このような構成であれば、炉
内を加熱した際に冷却部17bに熱的に結合した汚れ収
集板17aは比較的低温度に保つことができる。したが
ってアニール処理を行なう際に、製品から放出されたガ
スを低温度の汚れ収集板17aの表面に集中的に効率よ
く凝固させて堆積させることができる。したがって製品
から放出されて炉内を漂うガスの濃度を低下させること
ができ、炉内の温度を下げた際に、いったん放出された
ガスが再び製品の表面に付着して品質を低下させるよう
なこともない。しかも汚れ収集板17は炉壁に対して挿
脱自在に設けているので堆積物18の付着状況に応じて
適時に取り出して清掃することにより、容易に炉内を清
浄に保つことができる。なお本考案は上記実施例に限定
されるものではなく、たとえば上記実施例では汚れ収集
板17aを設けるようにしたが、炉内に低温度の冷却体
17を設ければよいので、汚れ収集板17aを設けるこ
となく炉壁の所定部位を直接冷却するようにし、かつこ
こに堆積した堆積物18を外部から容易に清掃できるよ
うな構成としてもよい。また冷却体17には堆積物18
が集中的に堆積するので、ここに汚れセンサ19を配設
して炉内の汚れの堆積状況を監視するようにしてもよ
い。 【0008】 【考案の効果】以上詳述したように、本考案によれば簡
単な構成で加熱炉の炉内の清浄を保つことができる汚れ
の防止機構付き加熱炉を提供することができる。 【0009】
【図面の簡単な説明】 【図1】本考案の一実施例を示す概略構成図である。 【図2】従来の加熱炉の一例を示す概略構成図である。 【符号の説明】 11 発熱体 12 炉壁 14 被加熱体(製品) 17 冷却体 18 堆積物

Claims (1)

  1. (57)【実用新案登録請求の範囲】 発熱体と、 この発熱体を囲んで設けられ外部の空気の循環可能な炉
    壁と、 この炉壁内に配設した被加熱体と、 上記炉壁の内側に設けた汚れ収集板と、 上記炉壁の外側に設けられ上記汚れ収集板に熱的に結合
    した冷却部と、 を具備することを特徴とする汚れ防止機構付き加熱炉。
JP1990405452U 1990-12-28 1990-12-28 汚れ防止機構付き加熱炉 Expired - Lifetime JP2516885Y2 (ja)

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JPH0495292U JPH0495292U (ja) 1992-08-18
JP2516885Y2 true JP2516885Y2 (ja) 1996-11-13

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0752071B2 (ja) * 1989-01-19 1995-06-05 新技術事業団 真空熱処理炉

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