JP2513848B2 - ウエハ―取扱用保持具 - Google Patents
ウエハ―取扱用保持具Info
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- JP2513848B2 JP2513848B2 JP1186629A JP18662989A JP2513848B2 JP 2513848 B2 JP2513848 B2 JP 2513848B2 JP 1186629 A JP1186629 A JP 1186629A JP 18662989 A JP18662989 A JP 18662989A JP 2513848 B2 JP2513848 B2 JP 2513848B2
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- Polymers With Sulfur, Phosphorus Or Metals In The Main Chain (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体工業に用いられるウエハーの各種加工
処理、洗浄、運搬、貯蔵等の取り扱いに使用されるバス
ケット、容器、その他の保持具に関するものである。
処理、洗浄、運搬、貯蔵等の取り扱いに使用されるバス
ケット、容器、その他の保持具に関するものである。
半導体工業において用いられるシリコンウエハーの如
き半導体ウエハーは一般に大変もろく、破損しやすい上
にその調製加工、その他の取り扱い上、極めて苛酷な条
件での処理を必要とするものである。例えば、その調製
工程に於いて、高温の極めて腐蝕性の強い処理液（洗浄
液）、例えば、強酸、強アルカリ、弗酸、弗化アンモ
ン、その他溶剤等で接触処理され、又高温乾燥、遠心脱
液等の処理が行われる。従って、これらの処理のために
は一般の板状物の取り扱いとは異なり、効率上、多数の
ウエハーを整合して保持する様なバスケット状、その他
の形状を有する特定の保持具にセットして上記の如き取
り扱いを行う必要があり、かかる保持具は上記の如く高
温で特に腐蝕性液体に対して化学的に強い抵抗性を有
し、又熱的、機械的抵抗性をも有する材質であることを
必要とし、且つウエハーが本来脆弱で破損しやすく、か
き傷や摩耗を生じやすいものであるため、その保持具は
多数のウエハーが接触することなく保持され、又保持具
中に正確にセットされ、振動による衝撃が生じないよう
に収納保持されている必要があり、又振動を避けるた
め、その一部を締め付けるような手段も損傷の原因とな
り、好ましくない。このためにはウエハーを保持収容す
るバスケット、容器等の保持具は正確な形状、寸法を有
するものでなければならないことになる。
き半導体ウエハーは一般に大変もろく、破損しやすい上
にその調製加工、その他の取り扱い上、極めて苛酷な条
件での処理を必要とするものである。例えば、その調製
工程に於いて、高温の極めて腐蝕性の強い処理液（洗浄
液）、例えば、強酸、強アルカリ、弗酸、弗化アンモ
ン、その他溶剤等で接触処理され、又高温乾燥、遠心脱
液等の処理が行われる。従って、これらの処理のために
は一般の板状物の取り扱いとは異なり、効率上、多数の
ウエハーを整合して保持する様なバスケット状、その他
の形状を有する特定の保持具にセットして上記の如き取
り扱いを行う必要があり、かかる保持具は上記の如く高
温で特に腐蝕性液体に対して化学的に強い抵抗性を有
し、又熱的、機械的抵抗性をも有する材質であることを
必要とし、且つウエハーが本来脆弱で破損しやすく、か
き傷や摩耗を生じやすいものであるため、その保持具は
多数のウエハーが接触することなく保持され、又保持具
中に正確にセットされ、振動による衝撃が生じないよう
に収納保持されている必要があり、又振動を避けるた
め、その一部を締め付けるような手段も損傷の原因とな
り、好ましくない。このためにはウエハーを保持収容す
るバスケット、容器等の保持具は正確な形状、寸法を有
するものでなければならないことになる。
ところで従来、この目的のために使用されているバス
ケット等の保持具は、処理液等に対する化学的な安定性
から、弗素系の樹脂、例えばポリテトラフロロエチレン
又はその系統の共重合体樹脂の如き素材が使用されてい
るが、本来樹脂自体が高価である他、成形加工性、成形
効率が悪く、又成形収縮、加熱による形状の変化を生じ
やすく、精確な形状のバスケット等の保持具を射出成形
によって得ることは困難であり、寸法精度の不備からウ
エハーを円滑にセットして、しかも振動によるがたつき
を生じない様にすることはむずかしく、一部の収納個所
は円滑に入らないことがあったり、又一部の収納個所は
ゆる過ぎて振動を避けがたい等の不備を生じる。このた
め、成形後切削加工により寸法精度を上げ、形状精度を
習性することが必要となり、製作上極めて不経済となる
のみならず、高温処理時に成形時の歪等による変形を生
じ、取り出し困難等の問題を生じ好ましくない。又、材
質としてポリエーテルエーテルケトン（PEEK）の如き更
に高価な材料を使用する試みもなされているが、経済性
以外の面でも、これも上記と同様の問題があり、十分満
足し得るものとは言えない。
ケット等の保持具は、処理液等に対する化学的な安定性
から、弗素系の樹脂、例えばポリテトラフロロエチレン
又はその系統の共重合体樹脂の如き素材が使用されてい
るが、本来樹脂自体が高価である他、成形加工性、成形
効率が悪く、又成形収縮、加熱による形状の変化を生じ
やすく、精確な形状のバスケット等の保持具を射出成形
によって得ることは困難であり、寸法精度の不備からウ
エハーを円滑にセットして、しかも振動によるがたつき
を生じない様にすることはむずかしく、一部の収納個所
は円滑に入らないことがあったり、又一部の収納個所は
ゆる過ぎて振動を避けがたい等の不備を生じる。このた
め、成形後切削加工により寸法精度を上げ、形状精度を
習性することが必要となり、製作上極めて不経済となる
のみならず、高温処理時に成形時の歪等による変形を生
じ、取り出し困難等の問題を生じ好ましくない。又、材
質としてポリエーテルエーテルケトン（PEEK）の如き更
に高価な材料を使用する試みもなされているが、経済性
以外の面でも、これも上記と同様の問題があり、十分満
足し得るものとは言えない。
本発明者らは、かかる従来のウエハー取扱用保持具の
欠点を有さず、その要求性能、即ち苛酷な化学処理液、
例えば弗酸、硫酸等の強酸、強アルカリ、特殊な溶剤等
に対して化学的に安定であり、高度の寸法精度及び寸法
安定性を有するバスケット等の保持具を射出成形によっ
てそのまま効率よく得られる材料につき検討を重ねた結
果、ポリフェニレサルファイド樹脂（PPS）に代表され
るポリアリーレンサルファイド樹脂（PAS）が上記要求
を悉く満足することを見出し、本発明に到達した。
欠点を有さず、その要求性能、即ち苛酷な化学処理液、
例えば弗酸、硫酸等の強酸、強アルカリ、特殊な溶剤等
に対して化学的に安定であり、高度の寸法精度及び寸法
安定性を有するバスケット等の保持具を射出成形によっ
てそのまま効率よく得られる材料につき検討を重ねた結
果、ポリフェニレサルファイド樹脂（PPS）に代表され
るポリアリーレンサルファイド樹脂（PAS）が上記要求
を悉く満足することを見出し、本発明に到達した。
即ち本発明は、ポリアリーレンサルファイド樹脂（PA
S）よりなるウエハー取扱用保持具を提供するものであ
る。
S）よりなるウエハー取扱用保持具を提供するものであ
る。
本発明に使用するPASとは主たる繰り返し単位Ar−
Ｓ（ただし、Arはアリーレン基）で構成されたもので
ある。
Ｓ（ただし、Arはアリーレン基）で構成されたもので
ある。
アリーレン基としては、例えば （ただしＸはアルキル基、好ましくはＣ1〜Ｃ6のアルキ
ル基、又はフェニル基、ｎは１〜４の整数。）の如きフ
ェニレン基よりなるポリフェニレンサルファイド樹脂
（PPSと略称）が好ましいが、 なども使用できる。
ル基、又はフェニル基、ｎは１〜４の整数。）の如きフ
ェニレン基よりなるポリフェニレンサルファイド樹脂
（PPSと略称）が好ましいが、 なども使用できる。
この場合、前記のアリーレン基から構成されるアリー
レンサルファイド基の中で、同一の繰り返し単位を用い
たポリマー、即ちホモポリマーを用いることが好ましい
が、成形加工性という点から、異種の繰り返し単位を補
助的に少量含んだコポリマーが好ましい場合もある。
レンサルファイド基の中で、同一の繰り返し単位を用い
たポリマー、即ちホモポリマーを用いることが好ましい
が、成形加工性という点から、異種の繰り返し単位を補
助的に少量含んだコポリマーが好ましい場合もある。
ホモポリマーとしては、アリーレン基としてｐ−フェ
ニレン基を用いた、ｐ−フェニレンサルファイド基を繰
り返し単位とする実質上線状のPPSが特に好ましく用い
られる。
ニレン基を用いた、ｐ−フェニレンサルファイド基を繰
り返し単位とする実質上線状のPPSが特に好ましく用い
られる。
又コポリマーとしては、前記のアリーレン基からアリ
ーレンサルファイド基の中で、相異なる２種以上の組み
合わせが使用できるが、中でもｐ−フェニレンサルファ
イド基とｍ−フェニレンサルファイド基を含む組み合わ
せが特に好ましく用いられる。この中でｐ−フェニレン
サルファイド基を50モル％以上、好ましくは70モル％以
上含むものが処理液に対する化学的安定性（耐蝕性）、
耐熱性、成形性、機械的特性等の物性上の点から適当で
ある。
ーレンサルファイド基の中で、相異なる２種以上の組み
合わせが使用できるが、中でもｐ−フェニレンサルファ
イド基とｍ−フェニレンサルファイド基を含む組み合わ
せが特に好ましく用いられる。この中でｐ−フェニレン
サルファイド基を50モル％以上、好ましくは70モル％以
上含むものが処理液に対する化学的安定性（耐蝕性）、
耐熱性、成形性、機械的特性等の物性上の点から適当で
ある。
本発明に使用するPAS、特にPPSは、酸化架橋又は熱架
橋によるキュアリングで得られるポリマーも使用できる
が、好ましいのは２官能性モノマーから縮重合によって
得られ、熱処理されていてもそれによる架橋度が低く、
実質的には線状の分子構造を有するポリマーである。
橋によるキュアリングで得られるポリマーも使用できる
が、好ましいのは２官能性モノマーから縮重合によって
得られ、熱処理されていてもそれによる架橋度が低く、
実質的には線状の分子構造を有するポリマーである。
中でも温度310℃、剪断速度5/秒の条件下で測定した
溶融粘度が１×10〜５×105ポイズ、好ましくは50〜５
×104ポイズ、特に好ましくは100〜５×104ポイズの範
囲にある線状ポリマーが適当である。10ポイズ未満で
は、流動性が良過ぎて溶融加工が困難であり、仮に成形
物が得られたとしても、機械的強度などが低くて好まし
くない。又、５×105ポイズを越えるものは流動性が悪
く溶融加工が困難である。
溶融粘度が１×10〜５×105ポイズ、好ましくは50〜５
×104ポイズ、特に好ましくは100〜５×104ポイズの範
囲にある線状ポリマーが適当である。10ポイズ未満で
は、流動性が良過ぎて溶融加工が困難であり、仮に成形
物が得られたとしても、機械的強度などが低くて好まし
くない。又、５×105ポイズを越えるものは流動性が悪
く溶融加工が困難である。
一般にPAS、特にPPSはガラス、その他無機質の繊維
状、粉粒状或いは板状の充填剤を配合し、エンジニアリ
ングプラスチックとして広く用いられ、かかる充填剤の
配合は、機械的強度、形状の安定性には有用な効果を有
することが知られており、本願の材料としてもその目的
を阻害しない限り特にこれらの充填剤の配合を排除する
ものではないが、かかる充填剤は、一般に強酸、強アル
カリ、特に弗酸、弗化アンモン等の如き腐蝕性の極めて
強い薬液に接触される本発明のウエハー取扱用保持具に
於いては、これらの充填剤が浸蝕されるため不適当な場
合が多く、この見地からも無充填のPAS、特にPPSを材料
として使用することが好ましい場合が多い。そして無充
填のPASとしては、その機械的強度、伸度、じん性等の
点で実質上線状の分子構造を有するPAS、特に線状のPPS
を用いる方が有利である。
状、粉粒状或いは板状の充填剤を配合し、エンジニアリ
ングプラスチックとして広く用いられ、かかる充填剤の
配合は、機械的強度、形状の安定性には有用な効果を有
することが知られており、本願の材料としてもその目的
を阻害しない限り特にこれらの充填剤の配合を排除する
ものではないが、かかる充填剤は、一般に強酸、強アル
カリ、特に弗酸、弗化アンモン等の如き腐蝕性の極めて
強い薬液に接触される本発明のウエハー取扱用保持具に
於いては、これらの充填剤が浸蝕されるため不適当な場
合が多く、この見地からも無充填のPAS、特にPPSを材料
として使用することが好ましい場合が多い。そして無充
填のPASとしては、その機械的強度、伸度、じん性等の
点で実質上線状の分子構造を有するPAS、特に線状のPPS
を用いる方が有利である。
尚、本発明におけるウエハー取扱用保持具の素材とし
ては、上記の如くPASを主体とし、その目的を阻害しな
い範囲で少量の他の樹脂を補助的に配合したものであっ
てもよい。
ては、上記の如くPASを主体とし、その目的を阻害しな
い範囲で少量の他の樹脂を補助的に配合したものであっ
てもよい。
本発明のウエハー取扱用保持具の形状は特に限定され
るものではないが、複数（できるだけ多数）のウエハー
の接触することなく隔置させて、整合保持することので
きるバスケット形又は容器であることが好ましく、特に
液体処理、洗浄等の処理を目的とする場合には、ウエハ
ーを円滑に挿入したり取り出したりすることが可能なこ
と以外に上部のみならず底部又は側面が開放したバスケ
ットタイプのものが好ましく、又ウエハーが振動するこ
とのないようリブ等を設けて正確にフィットする様な構
造形態のものが好ましい。
るものではないが、複数（できるだけ多数）のウエハー
の接触することなく隔置させて、整合保持することので
きるバスケット形又は容器であることが好ましく、特に
液体処理、洗浄等の処理を目的とする場合には、ウエハ
ーを円滑に挿入したり取り出したりすることが可能なこ
と以外に上部のみならず底部又は側面が開放したバスケ
ットタイプのものが好ましく、又ウエハーが振動するこ
とのないようリブ等を設けて正確にフィットする様な構
造形態のものが好ましい。
その一例を図−１、図−２に示したが、本発明のウエ
ハー取扱用保持具の形状はこれに限定されるものではな
い。ここで、図−１（１）は本発明の一実施例によるウ
エハー取扱用保持具の斜視図、同（２）は平面図、同
（３）は同（２）のＩ−Ｉ′線断面略示図であり、図−
２は本発明の別の実施例によるウエハー取扱用保持具の
斜視図である。
ハー取扱用保持具の形状はこれに限定されるものではな
い。ここで、図−１（１）は本発明の一実施例によるウ
エハー取扱用保持具の斜視図、同（２）は平面図、同
（３）は同（２）のＩ−Ｉ′線断面略示図であり、図−
２は本発明の別の実施例によるウエハー取扱用保持具の
斜視図である。
次に本発明のウエハー取扱用保持具の製作方法は上記
の材料を用いて一般の射出成形法によって効率よく容易
に成形することができ、その条件も一般のPAS、PPSの射
出成形の場合に準じて設定すればよい。即ち、例えば樹
脂温度は290〜350℃、金型温度は90〜160℃とすること
が適当である。
の材料を用いて一般の射出成形法によって効率よく容易
に成形することができ、その条件も一般のPAS、PPSの射
出成形の場合に準じて設定すればよい。即ち、例えば樹
脂温度は290〜350℃、金型温度は90〜160℃とすること
が適当である。
ウエハー取扱用保持具の材料として本発明の特徴であ
るPAS、特にPPSを用いることにより、従来の素材に比べ
て薄肉軽量化が可能であり、寸法精度も良好であるた
め、一般には特に成形後の切削加工を施す必要はない
が、特殊な高精度の寸法を要する場合には切削加工を行
ってもよいことは当然である。
るPAS、特にPPSを用いることにより、従来の素材に比べ
て薄肉軽量化が可能であり、寸法精度も良好であるた
め、一般には特に成形後の切削加工を施す必要はない
が、特殊な高精度の寸法を要する場合には切削加工を行
ってもよいことは当然である。
以下に実施例をあげるが、本発明はこれに限定される
ものではない。
ものではない。
実施例１、比較例１、２ ウェハー取扱用保持具材料としての適性を比較するた
め、無充填線状ポリフェニレンサルファイド（PPS）
（ポリプラスチックス株式会社“フォートロン”）（実
施例−１）及び従来使用されているポリテトラフロロエ
チレン共重合体（PFA）（比較例−１）、ポリエーテル
エーテルケトン（PEEK）（比較例−２）を用い、一定の
試験用金型による試験片を作成し、最適成形条件、成形
サイクル、成形収縮率、耐薬品性、その他の必要特性に
つき相対的な比較評価を行った。
め、無充填線状ポリフェニレンサルファイド（PPS）
（ポリプラスチックス株式会社“フォートロン”）（実
施例−１）及び従来使用されているポリテトラフロロエ
チレン共重合体（PFA）（比較例−１）、ポリエーテル
エーテルケトン（PEEK）（比較例−２）を用い、一定の
試験用金型による試験片を作成し、最適成形条件、成形
サイクル、成形収縮率、耐薬品性、その他の必要特性に
つき相対的な比較評価を行った。
結果を第１表に示す。
上記の相対比較よりPPSは従来使用のPFA、PEEKに比し
てウエハー取扱用保持具としての各種の要求性能が優れ
ていることがわかる。
てウエハー取扱用保持具としての各種の要求性能が優れ
ていることがわかる。
実施例−２、比較例−３、比較例−４ 前記実施例及び比較例に使用したと同じ材料を用いて
図−１に示す如きウエハー用バスケットをそれぞれの適
性条件にて射出成形にて成形し、所要の成形サイクルを
測定した。更に200℃にて２時間加熱処理し、寸法精度
を次の如くして測定した。
図−１に示す如きウエハー用バスケットをそれぞれの適
性条件にて射出成形にて成形し、所要の成形サイクルを
測定した。更に200℃にて２時間加熱処理し、寸法精度
を次の如くして測定した。
1.側板Ａ部のそり変形（肉眼観察） 2.リブ板Ｂ部の直線性（ 〃 ） 3.保持すべきウエハーをそれぞれのリブ間に挿入し、ウ
エハーの挿入、取り出しの円滑さ、及びがたつきの程度
を調べた。
エハーの挿入、取り出しの円滑さ、及びがたつきの程度
を調べた。
結果を第２表に示す。
〔発明の効果〕 以上の説明及び実施例で明らかな如く、本発明のPAS
を使用したウエハー取扱用保持具は、従来使用されてい
るPFA、PEEKを素材とするものに比して、射出成形にお
いて樹脂温度、金型温度とも異常な高温とする必要がな
く、しかも流動性が良く、特にゲートサイズを大きくし
なくとも成形可能であり、固化速度も速く、成形サイク
ルを短くして効率的に製造できる。更に薄肉軽量加も可
能であり、寸法精度も優れ、加熱処理による変形も少な
く、特に切削加工を行わなくとも射出成形のままで充分
な形状精度を得ることができる。又ウエハー処理に用い
られる各種の薬品に対しても化学的に安定であり、ウエ
ハー取扱用保持具として好適なものである。
を使用したウエハー取扱用保持具は、従来使用されてい
るPFA、PEEKを素材とするものに比して、射出成形にお
いて樹脂温度、金型温度とも異常な高温とする必要がな
く、しかも流動性が良く、特にゲートサイズを大きくし
なくとも成形可能であり、固化速度も速く、成形サイク
ルを短くして効率的に製造できる。更に薄肉軽量加も可
能であり、寸法精度も優れ、加熱処理による変形も少な
く、特に切削加工を行わなくとも射出成形のままで充分
な形状精度を得ることができる。又ウエハー処理に用い
られる各種の薬品に対しても化学的に安定であり、ウエ
ハー取扱用保持具として好適なものである。
図−１（１）は本発明の一実施例によるウエハー取扱用
保持具の斜視図、同（２）は平面図、同（３）は同
（２）のＩ−Ｉ′線断面略示図であり、図−２は本発明
の別の実施例によるウエハー取扱用保持具の斜視図であ
る。 Ａ……側板 Ｂ……側面リブ板 Ｃ……底部リブ板 １……保持具本体 ２……リブ ３……ウエハー ４……空隙部
保持具の斜視図、同（２）は平面図、同（３）は同
（２）のＩ−Ｉ′線断面略示図であり、図−２は本発明
の別の実施例によるウエハー取扱用保持具の斜視図であ
る。 Ａ……側板 Ｂ……側面リブ板 Ｃ……底部リブ板 １……保持具本体 ２……リブ ３……ウエハー ４……空隙部
Claims (4)
- 【請求項１】ポリアリーレンサルファイド樹脂よりなる
ことを特徴とするウエハー取扱用保持具。 - 【請求項２】ポリアリーレンサルファイド樹脂が実質上
未架橋の線状分子構造を有するものである請求項１記載
のウエハー取扱用保持具。 - 【請求項３】ポリアリーレンサルファイド樹脂がポリフ
ェニレンサルファイドである請求項１又は２記載のウエ
ハー取扱用保持具。 - 【請求項４】ポリアリーレンサルファイド樹脂を用い射
出成形により成形することを特徴とするウエハー取扱用
保持具の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1186629A JP2513848B2 (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | ウエハ―取扱用保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1186629A JP2513848B2 (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | ウエハ―取扱用保持具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0350847A JPH0350847A (ja) | 1991-03-05 |
| JP2513848B2 true JP2513848B2 (ja) | 1996-07-03 |
Family
ID=16191925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1186629A Expired - Lifetime JP2513848B2 (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | ウエハ―取扱用保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2513848B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2761451B2 (ja) * | 1993-07-22 | 1998-06-04 | 黒沢建設株式会社 | プレキャストコンクリート柱の接続方法 |
| KR20090027035A (ko) * | 2007-09-11 | 2009-03-16 | 세메스 주식회사 | 기판 수납 장치의 제조방법 |
| CN109174779B (zh) * | 2018-07-16 | 2020-06-09 | 横店集团东磁股份有限公司 | 一种perc工艺ald铝材花篮的清洗方法 |
-
1989
- 1989-07-19 JP JP1186629A patent/JP2513848B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0350847A (ja) | 1991-03-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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