JP2513352B2 - 油回転ポンプ - Google Patents
油回転ポンプInfo
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- JP2513352B2 JP2513352B2 JP25058290A JP25058290A JP2513352B2 JP 2513352 B2 JP2513352 B2 JP 2513352B2 JP 25058290 A JP25058290 A JP 25058290A JP 25058290 A JP25058290 A JP 25058290A JP 2513352 B2 JP2513352 B2 JP 2513352B2
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- Japan
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- rotary pump
- oil rotary
- exhaust
- pressure
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は油回転ポンプに関し、特に半導体製造用真空
装置の排気用に使用される油回転ポンプに関する。
装置の排気用に使用される油回転ポンプに関する。
第３図は従来の油回転ポンプを使用した真空排気装置
を示す系統図である。従来の油回転ポンプを使用した半
導体製造用真空排気装置は、第３図に示すように、真空
装置８内の大気およびプロセスガスを吸気ダクト５を介
して油回転ポンプ１内に吸入し、排気ダクト６及び排ガ
ス処理装置７を経て排気系統外に排出される構造になっ
ていた。例えば、半導体基板上のアルミニウム配線の選
択エッチングするプラズマエッチング装置等における真
空排気装置では、排気ダクト６や排ガス処理装置７内に
反応生成物が大量に付着することがある。この現象がや
がては排気系を閉塞状態にし、油回転ポンプ排気側２の
内部圧力が異常上昇を起し、油回転ポンプ１の破損をき
たすことがある。そこで、その対策として、排気ダクト
６に圧力センサー４を設け、排気系の圧力が一定以上に
上昇したら油回転ポンプ１を停止すると同時に停止信号
を表示するといった手段が採られていた。
を示す系統図である。従来の油回転ポンプを使用した半
導体製造用真空排気装置は、第３図に示すように、真空
装置８内の大気およびプロセスガスを吸気ダクト５を介
して油回転ポンプ１内に吸入し、排気ダクト６及び排ガ
ス処理装置７を経て排気系統外に排出される構造になっ
ていた。例えば、半導体基板上のアルミニウム配線の選
択エッチングするプラズマエッチング装置等における真
空排気装置では、排気ダクト６や排ガス処理装置７内に
反応生成物が大量に付着することがある。この現象がや
がては排気系を閉塞状態にし、油回転ポンプ排気側２の
内部圧力が異常上昇を起し、油回転ポンプ１の破損をき
たすことがある。そこで、その対策として、排気ダクト
６に圧力センサー４を設け、排気系の圧力が一定以上に
上昇したら油回転ポンプ１を停止すると同時に停止信号
を表示するといった手段が採られていた。
しかしながら、上述した排気ダクトの圧力上昇検知の
みでは、油回転ポンプ１の排気ダクト６の接続部分付近
が閉塞状態になった場合に、異常圧力をまったく検出す
ることが出来ず油回転ポンプ１を破損させてしまうとい
う問題点があった。
みでは、油回転ポンプ１の排気ダクト６の接続部分付近
が閉塞状態になった場合に、異常圧力をまったく検出す
ることが出来ず油回転ポンプ１を破損させてしまうとい
う問題点があった。
本発明の目的は、かかる問題を解消すべく背圧を検知
する手段をもつ油回転ポンプを提供することにある。
する手段をもつ油回転ポンプを提供することにある。
本発明の油回転ポンプは、ケーシングの排気側に背圧
を検知する圧力センサーが取付けられることを特徴とし
ている。
を検知する圧力センサーが取付けられることを特徴とし
ている。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の油回転ポンプを用いた真
空排気装置を示す系統図である。この油回転ポンプ１
は、同図に示すように、排気側２のケーシングに圧力検
出ポート９と、この圧力検出ポート９に圧力センサー４
を取付けたことである。この真空排気装置の動作は、従
来と同様に、真空装置８の大気およびプロセスガスを吸
気ダクト５を介して油回転ポンプ１内に吸入し排気ダク
ト６排気処置装置７を経て排気系統外に排出される。そ
して、本実施例では油回転ポンプの排気側２に圧力検出
ポート９をもうけ圧力検出ポート９内に圧力センサー４
を備えているので、排気ダクト６排ガス処理装置７を含
む排気系のいかなる部分が閉塞しても油回転ポンプ１の
異常圧力を検出、停止することができる。
空排気装置を示す系統図である。この油回転ポンプ１
は、同図に示すように、排気側２のケーシングに圧力検
出ポート９と、この圧力検出ポート９に圧力センサー４
を取付けたことである。この真空排気装置の動作は、従
来と同様に、真空装置８の大気およびプロセスガスを吸
気ダクト５を介して油回転ポンプ１内に吸入し排気ダク
ト６排気処置装置７を経て排気系統外に排出される。そ
して、本実施例では油回転ポンプの排気側２に圧力検出
ポート９をもうけ圧力検出ポート９内に圧力センサー４
を備えているので、排気ダクト６排ガス処理装置７を含
む排気系のいかなる部分が閉塞しても油回転ポンプ１の
異常圧力を検出、停止することができる。
第２図は本発明の他の実施例の油回転ポンプを使用し
た真空排気装置を示す系統図である。この油回転ポンプ
は、同図に示すように、圧力検出ポート９に窒素ガスを
導入する窒素導入管10を設けたことである。それ以外は
前述の実施例と同じである。この本実施例によれば圧力
検出ポート９が、常に窒素ガスを吹き付けられ、ポート
９内の堆積物が除去されるので、圧力検出ポート９が閉
塞する可能性が皆無に近く、排気側の閉塞状態をより高
精度に検出すことが出来るという利点がある。
た真空排気装置を示す系統図である。この油回転ポンプ
は、同図に示すように、圧力検出ポート９に窒素ガスを
導入する窒素導入管10を設けたことである。それ以外は
前述の実施例と同じである。この本実施例によれば圧力
検出ポート９が、常に窒素ガスを吹き付けられ、ポート
９内の堆積物が除去されるので、圧力検出ポート９が閉
塞する可能性が皆無に近く、排気側の閉塞状態をより高
精度に検出すことが出来るという利点がある。
以上説明したように本発明は、油回転ポンプの排気側
のケーシングに異常圧力検出センサーを取り付けること
により、真空排気装置の排気系のどの部分が閉塞状態に
なっても、より早く、確実に背圧上昇を検知し、破損防
止が出来る油回転ポンプが得られるという効果がある。
のケーシングに異常圧力検出センサーを取り付けること
により、真空排気装置の排気系のどの部分が閉塞状態に
なっても、より早く、確実に背圧上昇を検知し、破損防
止が出来る油回転ポンプが得られるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例の油回転ポンプを用いた真空
排気装置を示す系統図、第２図は本発明の他の実施例の
油回転ポンプを用いた真空排気装置を示す系統図、第３
図は従来の油回転ポンプを用いた真空排気装置を示す系
統図である。 １……油回転ポンプ、２……排気側、３……吸気側、４
……圧力センサー、５……吸気ダクト、６……排気ダク
ト、７……排ガス処理装置、８……真空装置、９……圧
力検出ポート、10……窒素導入管。
排気装置を示す系統図、第２図は本発明の他の実施例の
油回転ポンプを用いた真空排気装置を示す系統図、第３
図は従来の油回転ポンプを用いた真空排気装置を示す系
統図である。 １……油回転ポンプ、２……排気側、３……吸気側、４
……圧力センサー、５……吸気ダクト、６……排気ダク
ト、７……排ガス処理装置、８……真空装置、９……圧
力検出ポート、10……窒素導入管。
Claims (1)
- 【請求項１】ケーシングの排気側に背圧を検知する圧力
センサーが取付けられることを特徴とする油回転ポン
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25058290A JP2513352B2 (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 油回転ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25058290A JP2513352B2 (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 油回転ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04128588A JPH04128588A (ja) | 1992-04-30 |
| JP2513352B2 true JP2513352B2 (ja) | 1996-07-03 |
Family
ID=17210035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25058290A Expired - Fee Related JP2513352B2 (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 油回転ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2513352B2 (ja) |
-
1990
- 1990-09-20 JP JP25058290A patent/JP2513352B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04128588A (ja) | 1992-04-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |