JP2511566B2 - 搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、例えばディスク枚葉処理装置に好適な搬
送装置に関する。

（従来の構成） デジタル化された音声情報や画像情報を大量に記録す
るのにコンパクトディスク（以下、CDと略称する）やレ
ーザーディスク（商品名）あるいはビデオディスクが広
く使用されるようになってきた。

CD等は、ポリカーボネート等の透明な合成樹脂性基板
の表面にスパッタリングにより光反射率の高いアルミニ
ューム（Al）薄膜層が形成されて構成され、「１」か
「０」のデジタル情報に合わせて開けられたピット（pi
t）と称する小さな孔の有無を、レーザ光の反射波ある
いは透過波の有無によりその記録情報を読み出し得るも
のである。

スパッタリングによる薄膜形成は比較的短時間で行わ
れることから、多数のディスクに連続的に成膜するため
に、第４図に示す構成が採用されている。

第４図は連続スパッタリング装置の主要な機構のみを
取出して示した構成図で、まずベルトコンベア１で次々
と搬送されくるCD等の基板２は、軸3aを中心にX1方向に
回転しかつ上下（Y1）方向に移動可能な搬送機構３の吸
着パット21に吸着され、スパッタ室４に搬送される。

スパッタ室４内での基板２は、前記搬送機構３と同様
に、軸41aを中心にX2方向に回転しかつ上下（Y2）方向
に移動可能な搬送装置41のテーブル41bに載置されて搬
送され、順次スパッタ源42により成膜が行われる。

スパッタ成膜後の基板２は再び搬送装置41に載置さ
れ、搬送機構３を経て外部に取出される。

ところで、スパッタ室４内で基板２を搬送する搬送装
置41は、軸41aを中心に回転する駆動源を有し、旋回あ
るいは回転往復運動によって搬送するように構成されて
いるので、第５図に示すように少なくとも半径Ｒを超え
る広い面積の空間を必要とした。

搬送装置41の小形化は、直ちにスパッタ室４のコンパ
クト化につながる。また、基板２の成膜過程では、スパ
ッタ室４内の吸排気操作が行われるが、その機能向上の
ためコンダクタンスができるだけ大きいことが望まれ、
また設置場所の省スペースにもつながるので、搬送装置
41の小形化は従来からの課題であった。

（発明が解決しようとする課題） 従来の搬送装置は、基板等の搬送物を複数の円盤状の
テーブルに載せ、旋回搬送させるので、その搬送には大
きな面積を必要とし、例えばスパッタリング装置内に装
着すると装置全体の形状が大となり、小形化への障害と
なっていた。

この発明は、簡単な構成により、小形化を実現した搬
送装置を提供することを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明に係る搬送装置は、固定された円板体と、こ
の円板体の外周に機械的に連結されて回転する一対の回
転体と、この一対の回転体に夫々固定され互いに高さを
異にして取付けられた受皿と、前記一対の回転体の各回
転軸を前記円板体を挟んで対向する位置で前記回転体を
回転自在に軸止して連結する支持アームと、この支持ア
ームを駆動させることによって前記一対の回転体が前記
円板体を中心に回転駆動して前記受皿をその移動する間
に重なるようにかつ反対方向に相対移動させることによ
り往復動せしめる駆動源とを具備することを特徴とす
る。

（作 用） この発明による搬送装置は、第１の回転体と第２の回
転体とが支持アームによって回転自在に連結され、かつ
これ等が円板体を中心にして回転するので、第２の回転
体に固定して取付けられた受皿は、円板体をほぼ直線的
に横切って直線的な往復移動を行うので、その移動に伴
う軌跡は短くなり、搬送に伴う占有面積を小さくするこ
とができる。

（実施例） 以下、この発明による搬送装置の一実施例を第１図な
いし第３図を参照して詳細に説明する。

即ち、この実施例による搬送装置５は、まず、円板状
のカムであって固定された円板体51を有し、この円板体
51の外周面はこれに接触しつつ回転する一対の第１の回
転体52,52′が対向して配置構成されている。

次に、その第１の回転体52,52′の回転駆動力を受け
るように、この第１の回転軸52,52′の外周面に接触し
つつ回転する一対の第２の回転体53,53′が構成され、
この一対の第２の回転体53,53′の各回転軸53a,53a′に
は、夫々互いに高さを異にした受皿54,54′が固定して
取付けられている。

更に、前記第１及び第２の各回転体52,52′、53,53′
は、夫々の各回転体52a,52a′、53a,53a′が支持アーム
55によって夫々回転自在に連結されている。

この支持アーム55の中央部は、モータからなる駆動源
56に固定され、矢印Ｘ方向への回転駆動力を受けるとす
れば、この支持アーム55に軸支された第１の回転体52,5
2′は円板体51の外周面に、また第２の回転体53,53′は
第１の回転体52,52′の外周面に夫々接触しつつ矢印Ｘ
方向に回転する。

この結果、第２の回転体53,53′の軸53a,53a′に夫々
固定された各受皿54,54′は、第２図に示す状態から円
板体51を挟んで互いに反対方向（受皿54はＸ方向、受皿
54′はＸ′方向）に移動し、第３図に示すように、前記
受皿54,54′は前記円板体51を挟んで互いに反対方向に
相対移動して基板２を搬送する。

各受皿54,54′は一対の第２の回転体53,53′は互いに
取付け高さを異にして取付けられているから、次に駆動
源56の回転方向を矢印Ｘとは反対方向に回転させること
によって、互いに衝突することなく相対的に対向移動で
きる。

このように、駆動源56によって、第１図及び第２図に
示す矢印Ｘ方向及びその逆方向に各回転体52〜53′を反
復往復運動させることによって、受皿54は、円板体51を
中心に交互に直線的に対向移動するので、搬送に伴う往
復移動軌跡は短くなり、装置の小形化が可能となる。

この結果、搬送物の搬送移動に予め大きな面積を必要
とせず、小さな面積で行うことができ、例えばこれをス
パッタ室４内での基板搬送に適用した場合、内容積をよ
り小さくできるから、吸排気時間を短かくすることがで
きる。

なお、上記実施例では、各回転体52,52′、53,53′は
円板カムであるとして説明したが、要するに、円板体51
を中心に各回転体52,52′、53,53′が駆動源56の回転駆
動力を受けて回転移動できれば良いので、円板体51はじ
め各回転体52〜53′を例えば歯車で構成しても全く同様
な機能及び効果を得ることができる。

また、駆動源56も回転往復運動を行う機能を有すれば
よいので、回転モータに限らず、例えば直線往復運動を
回転往復運動に変換させて往復動を行う、いわゆるピニ
オン及びラックの組合わせ機構で構成しても良い。

以上のように、この発明による搬送装置によれば、簡
単な構成によって、一対の受皿54,54′は互いに衝突す
ることなく交差するように直線的に移動させ得るので、
全体の構成の移動面での小形化が実現するものであり、
スパッタリング装置に限らず、他の搬送機構例えば半導
体ウェハーの処理装置等にも適用して顕著な効果が得ら
れる。

［発明の効果］ この発明による搬送装置は、基板等を載せた一対の受
皿は互いに交差して直線上を移動するように構成される
ので、全体は小形化され、搬送装置に広く適用できるも
のであり、実用上の効果大である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの搬送装置の一実施例を示す側面図、第２図
は第１図に示す装置の平面図、第３図は第１図に示す装
置の搬送状態を示すもので第１図のＡ−Ａにおける断面
図、第４図は従来の搬送装置を適用した連続スパッタリ
ング装置を示す構成図、第５図は第４図に示す搬送装置
の平面図である。 １……ベルトコンベア、２……基板 21……吸着パット、３……搬送機構 ４……スパッタ室、41,5……搬送装置 41a……軸、42……スパッタ源 51……円板体、52,52′……第１の回転体 53,53′……第２の回転体、54,54′……受皿 55……支持アーム、56……駆動源

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】固定された円板体と、この円板体の外周に
   機械的に連結されて回転する一対の回転体と、この一対
   の回転体に夫々固定され互いに高さを異にして取付けら
   れた受皿と、前記一対の回転体の各回転軸を前記円板体
   を挟んで対向する位置で前記回転体を回転自在に軸止し
   て連結する支持アームと、この支持アームを駆動させる
   ことによって前記一対の回転体が前記円板体を中心に回
   転駆動して前記受皿をその移動する間に重なるようにか
   つ反対方向に相対移動させることにより往復動せしめる
   駆動源とを具備することを特徴とする搬送装置。