JP2509802Y2 - 真空ピンセットの吸着具 - Google Patents

真空ピンセットの吸着具

Info

Publication number
JP2509802Y2
JP2509802Y2 JP1990049096U JP4909690U JP2509802Y2 JP 2509802 Y2 JP2509802 Y2 JP 2509802Y2 JP 1990049096 U JP1990049096 U JP 1990049096U JP 4909690 U JP4909690 U JP 4909690U JP 2509802 Y2 JP2509802 Y2 JP 2509802Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction
holding member
disk
vacuum tweezers
shape
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1990049096U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH049271U (ja
Inventor
高橋  清
Original Assignee
高橋 清
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 高橋 清 filed Critical 高橋 清
Priority to JP1990049096U priority Critical patent/JP2509802Y2/ja
Publication of JPH049271U publication Critical patent/JPH049271U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2509802Y2 publication Critical patent/JP2509802Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 [考案の目的] (産業上の利用分野) 本考案は、真空ピンセットの吸着具に係り、特にコン
パクトディスク等のドーナツ状の薄板(ディスク)を真
空圧を利用して吸着保持して搬送するのに適した真空ピ
ンセットの吸着具に関する。
(従来の技術) この種のディスク50は、第12図のようにプレーヤーに
装着するためのセット孔51が中央に穿設されたドーナツ
状で、一方面盤の内周側に非記録面52が外周側に記録面
53が各々設けられている。このディスク50は、例えば第
1図のように基台61上にガイドポスト62が立設された搬
送具60に水平状態に積重されたり、第11図のように内側
面に所定間隔で収納溝71が刻設された搬送容器70に垂直
状態で収納される。
このディスク50を、搬送具60に積重させたり、搬送容
器70に収納させる場合や、サンプリングして記録状態を
チェックするために取り出す場合には、当該ディスク50
の記録面53を損傷や汚染させないように真空ピンセット
による吸着保持が行われる。
この真空ピンセット80の構造は、軸心に沿って流路が
形成された筒状本体81に、押ボタン82の操作で当該流路
を開閉させる開閉弁機構部が内蔵され、この筒状本体81
の一端には接着管83に取着されたチューブ84を介して真
空ポンプ85が接続されると共に、他端には接続管86に取
着された吸気ノズル87を介して吸着具88が接続される。
この真空ピンセット80の作動は、例えば押ボタン82を
押していない時には開閉弁機構部によって流路が連通さ
れ、この状態で吸着具88をディスク50の非記録面52にあ
てがって真空ポンプ85を作動させると、吸着具88によっ
てディスク50を吸着保持することができる。また、押ボ
タン82を押すことによって開閉弁機構部が流路を遮断す
るために、吸着保持していたディスク50を吸着具88から
離脱させることができる。
そして従来の吸着具88は、吸気ノズル87から複数(実
施例では3本)の分岐ノズル89a,89b,89cを設け、これ
ら分岐ノズル89a,89b,89cの先端に小径の吸着パット90
a,90b,90cが各々装着されている。
(考案が解決しようとする課題) 然しながら、上記した従来の吸着具88では吸着面積が
少ないので十分な吸着保持力が得られない欠点があっ
た。
また、吸着するディスク50が第1図のような搬送具60
に積重されている場合には、ガイドポスト62が邪魔にな
って各吸着パット90a,90b,90cを非記録面52上へ正確に
あてがう作業が困難であり、当該吸着パットを誤って記
録面53にあてがって埃等を付着させ品質を低下させる恐
れがあった。
更に、吸着するディスク50が第11図のような搬送容器
70に垂直状態で収納されている場合には、前記した吸着
保持力の不足によって持ち上げる際にディスク50が脱落
して損傷させる恐れがあった。
そこで本考案では、このような従来の課題を解決し得
る真空ピンセットの吸着具を提供することを目的とす
る。
[考案の構成] (課題を解決するための手段) 本考案の第一は、吸気ノズルを介して真空ピンセット
の先端に取着され、軸心にセット孔が形成されてその外
周にドーナツ状の非記録面を有するディスクに対し、真
空圧を利用して吸着保持する真空ピンセットの吸着具に
おいて、 ディスクを設けられたドーナツ状の非記録面に適合す
るよう平面形状が環状に形成され、その下面に沿って環
状溝が凹設された保持部材と、断面形状が下方へ開口す
る溝形で上半部は前記保持部材の環状溝内に収容されて
固着され、下半部が環状溝内から末広がり状に突設され
て内面が吸着面を形成する環状の吸着パットを有し、前
記保持部材には前記吸気ノズルが装着される連結管が設
けられると共に、当該保持部材と吸着パットには吸気ノ
ズルと吸着面とを連通する吸引口が穿設され、前記保持
部材にはディスクのセット孔内へ挿通される案内部材が
設けられていることを要旨とした真空ピンセットの吸着
具である。
本考案の第二は、吸気ノズルを介して真空ピンセット
の先端に取着され、軸心にセット孔が形成されてその外
周にドーナツ状の非記録面を有するディスクに対し、真
空圧を利用して吸着保持する真空ピンセットの吸着具に
おいて、 ディスクに設けられたドーナツ状の非記録面に適合す
るよう平面形状がU字状に形成され、その下面に沿って
U字状溝が凹設された保持部材と、断面形状が下方へ開
口する溝形で上半部は前記保持部材のU字状溝内に収容
されて固着され、下半部がU字状溝内から末広がり状に
突設されて内面が吸着面を形成するU字状の吸着パット
を有し、前記保持部材には前記吸気ノズルが装着される
連結管が設けられると共に、当該保持部材と吸着パット
には吸気ノズルと吸着面とを連通する吸引口が穿設さ
れ、前記保持部材にはディスクのセット孔内へ挿通され
る案内部材が設けられていることを要旨とした真空ピン
セットの吸着具である。
本考案の第三は、前記案内部材は、基端側が前記保持
部材に着脱可能に嵌合係止されていることを要旨とした
真空ピンセットの吸着具である。
(実施例) 以下に、本考案の図示の実施例に基づいて詳細に説明
する。
第1〜7図は、前記した従来例と同様の構成による真
空ピンセット1の吸気ノズル2に取着された本考案の第
一実施例による吸着具3を示す。なお、第3〜7図では
本考案の要部となる案内部材41の図示を省略している。
吸着具3は、金属製または硬質樹脂製の保持部材4
と、保持部材4の下面に装着されるシリコンゴム等の柔
軟なゴム材で形成された吸着パット5と、吸気ノズル2
に吸着具3を連結する連結管6と、軸心から突出する態
様で保持部材4に取着された案内部材41とで構成されて
いる。
保持部材4は、第4図および第5図のように環状の平
面部7の内周縁から内周壁8が外周縁からは外周壁9が
各々垂設されて環状溝10が下面側に凹設されている。
保持部材4の平面部7には、連結管6の下部側の外周
に刻設された雄ねじ部11が捩じ込まれる雌ねじ孔12が、
前記環状溝10内に開口する態様で形成されている。また
雌ねじ孔12に取り付けられる連結管6の上部側の内周に
は、吸気ノズル2の先端部に形成された雄ねじ部13が捩
じ込まれる雌ねじ部14が形成されている。
吸着パット5は、第6図および第7図のように上半部
は環状の平面部15の内周縁と外周縁から前記環状溝10の
幅で垂直内周壁16と垂直外周壁17とが各々垂設され、下
半部は垂直内周壁16の下端部から傾斜内周壁18が内向き
傾斜状に垂直外周壁17の下端部からは傾斜外周壁19が外
向き傾斜状に各々末広がりに延在されている。これによ
って、吸着パット5は断面が有底の逆漏斗状で、当該溝
形の断面形状が環状に連続して内面に吸着面20が形成さ
れると共に、前記平面部15には上面と吸着面20を連通す
る吸引口21が穿設されている。
吸着パット5は、垂直内周壁16と垂直外周壁17の高さ
が前記保持リング4の環状溝10の深さとほぼ等しくなる
ように形成されており、平面部15と上半部の各周壁16,1
7が環状溝10内に嵌め込まれて接着され、常時は下半部
の各周壁18,19が環状溝10内から突設されている。
吸着パット5の吸引口21は、一端が保持部材4の雌ね
じ孔12に他端に吸気ノズル2に各々螺着された連結管6
の孔部と一致した位置になっており、吸引口21と吸気ノ
ズル2とが連通されている。
案内部材41は、例えば4弗化エチレン等の軟質弗素樹
脂材による円筒状のボス部42と、このボス部42の一方端
部に突設された環状フランジ43とで一体形成されてい
る。このボス部42は、前記ディスク50のセット孔51内へ
挿通されるように当該セット孔51より僅かに小さい外径
に形成されている。
また環状フランジ43は、保持部材4の内周壁8の内周
面に圧入状態で嵌合される小径部と、当該保持部材4の
平面部7の内周縁に載置状態で係止される大径部で一体
形成されている。
従って、案内部材41が保持部材4に対して環状フラン
ジ43を介して着脱自在に嵌着されると共に、吸着パット
5に遊嵌状に挿通されたボス部42は当該吸着パット5の
先端部より更に突出する態様で装着される。
この第1実施例による吸着具3を真空ピンセット1に
装着し、第1図のようにセット孔51がガイドポスト62に
差し込まれて基台61上に水平状態で積重されたディスク
50を吸着保持する場合には、次のようにして行われる。
吸着具3を上方からガイドポスト62に差し込み、案内
部材41のボス部42をセット孔51に挿入させ、真空ピンセ
ット1を吸引流路を連通状態にしてディスク50の非記録
面52に吸着面20を押し当てると、柔軟で円環状をした吸
着パット5の各周壁18,19が内外へ各々押し広げられて
均一に密着し、外気と遮断された吸着パット5内の空気
が吸引口21から引き込まれるので真空状態となってディ
スク50が吸着保持される。この状態で真空ピンセット1
を真直に持ち上げてガイドポスト62から取り外し、ディ
スク50を所定の位置に搬送した後に真空ピンセット1の
吸引流路を遮断状態にさせて離脱させる。
また、第11図のように内側面に所定間隔で収納溝71が
刻設された搬送容器70に垂直状態で収納されたディスク
50を吸着保持する際にも好適であり、その場合には吸着
具3に装着されている案内部材41のボス部42を、ディス
ク50のセット孔51内へ挿通させた状態で吸着パット5を
非記録面52にあてがって吸着保持することができるの
で、非記録面52に対する吸着パット5の位置決めが正確
に行われ、記録面53に対する汚染や損傷がなく、面も吸
着したディスク50を上方へ持ち上げる際に、ボス部42に
よって支持されるので当該ディスク50の脱落が解消され
る。
なお、案内部材41は保持部材4に固着させても良い
が、この実施例のように着脱自在な構成にすると、当該
案内部材41を取り外してセット孔51の無いディスクの吸
着保持に兼用することができると共に、吸着パット5の
洗浄を容易に行うことができる。
以上のように、第一の実施例による吸着具3は円環状
で広い面積の吸着面20に形成されているので、ディスク
50が確実に吸着保持されて搬送中に落下させるような不
具合を生ずることが無く、また案内部材41のボス部42を
セット孔51に挿入させることによって位置決めがされる
ので、吸着面20が記録面53に接触することなく確実に非
記録面52にあてがうことができ、記録面53に埃等を付着
させたり損傷させることがない。
次に、本考案の第二の実施例による吸着具30を第8〜
10図で説明するが、第一の実施例と同様に着脱可能に装
着させる案内部材41の図示は省略する。
この吸着具30は、ガイドポスト62に容易に挿通できる
ように全体の平面形状がU字状(馬蹄形)で、下面には
U字状の吸着面31が形成されており、保持部材32も平面
形状がU字状に形成され、中央平面部には第9図および
第10図のように連結管6を介して吸気ノズル2が接続さ
れる。
保持部材32の下面側には、突端部32aが閉塞されたU
字状溝33が凹設され、当該U字状溝33内にはU字状に連
続する吸着パット34が取り付けられている。
吸着パット34は、前記した第一の実施例の場合と同様
に断面が有底の漏斗状の溝形に形成され、平面部35と垂
直内周壁36aおよび垂直外周壁36bとからなる上半部が前
記U字状溝33内に嵌め込まれて接着され、傾斜内周壁37
aと傾斜外周壁37bとからなる下半部が吸着面31の全周を
取り囲むように突設されていると共に、平面部35には吸
着面31を吸気ノズル2に連通する吸引口38が形成されて
いる。
この第二実施例による吸着具30は、U字状で一端が開
口しているので第8図のようにガイドポスト62に対して
横方向から差し込むことができ、その分だけ第一実施例
より操作性がよい。
尚、本考案は前記した実施例に限定されるものではな
く、要旨の範囲内で各種の変形を採り得るものである。
例えば、吸着具の平面形状を楕円環状にしたり、円筒状
のボス部に変えディスク50のセット孔51に挿通されて位
置決めおよび支持が可能な複数の起立突片を設けた構成
の案内部材にすることもできる。
[考案の効果] 本考案の吸着具によれば、吸着具の平面形状がディス
クの非記録面に適合するように環状またはU字状に形成
され、当該非記録面に対して広い吸着面積で均一に吸着
保持することができるので、強い吸着保持力を得ること
ができると共に、吸着搬送中にディスクが脱落して損傷
するような問題は生じない。
また、吸着するディスクが搬送具のガイドポストに差
し込まれて水平状態で積重されている場合でも、ガイド
ポストに挿通して吸着保持するので、吸着パットを非記
録面上へ容易且つ正確に位置決めすることができ、吸着
パットを誤って記録面に接触させて埃等を付着させるこ
とを防止できる。
更に、吸着するディスクが収納溝を設けた搬送容器に
垂直状態で収納されている場合でも、案内部材がディス
クのセット孔に挿通されるので、位置決めを容易且つ正
確にすると共に、吸着保持して持ち上げる際にディスク
を支持して脱落が防止される。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案による第一の実施例による吸着具を取り
付けた真空ピンセットの使用状態を示す斜視図、第2図
は同吸着具の縦断面図、第3図は同吸着具の底面図、第
4図は同吸着具を構成する保持部材の平面図、第5図は
第4図のV−V線断面図、第6図は同吸着具を構成する
吸着パットの平面図、第7図は第6図のVII−VII線断面
図、第8図は本考案による第二の実施例による吸着具を
取り付けた真空ピンセットの使用状態を示す斜視図、第
9図は同吸着具の底面図、第10図は第9図のX−X線断
面図、第11図は本考案による第一の実施例による吸着具
を取り付けた真空ピンセットの他の使用状態を示す斜視
図、第12図は従来例による吸着具を取り付けた真空ピン
セットの使用状態を示す平面図である。 [符号の説明] 1…真空ピンセット、2…吸気チューブ 3,30,40…吸着具、4,32…保持部材 5,34…吸着パット、6…連結管 7,15,35…平面部、8…内周壁 9…外周壁、10…環状溝 11…雄ねじ部、12…雌ねじ孔 13…雄ねじ部、14…雌ねじ部 16,36a…垂直内周壁、17,36b…垂直外周壁 18,37a…傾斜内周壁、19,37b…傾斜外周壁 20,31…吸着面、21,38…吸引口 22…空洞部、33…U字状溝 41…案内部材、42…ボス部 43…環状フランジ、50…ディスク 51…セット孔、52…非記録面 53…記録面、60…搬送具 61…基台、62…ガイドポスト 70…搬送容器、71…収納溝

Claims (3)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】吸気ノズルを介して真空ピンセットの先端
    に取着され、軸心にセット孔が形成されてその外周にド
    ーナツ状の非記録面を有するディスクに対し、真空圧を
    利用して吸着保持する真空ピンセットの吸着具におい
    て、 ディスクに設けられたドーナツ状の非記録面に適合する
    よう平面形状が環状に形成され、その下面に沿って環状
    溝が凹設された保持部材と、断面形状が下方へ開口する
    溝形で上半部は前記保持部材の環状溝内に収容されて固
    着され、下半部が環状溝内から末広がり状に突設されて
    内面が吸着面を形成する環状の吸着パットを有し、前記
    保持部材には前記吸気ノズルが装着される連結管が設け
    られると共に、当該保持部材と吸着パットには吸気ノズ
    ルと吸着面とを連通する吸引口が穿設され、前記保持部
    材にはディスクのセット孔内へ挿通される案内部材が設
    けられていることを特徴とする真空ピンセットの吸着
    具。
  2. 【請求項2】吸気ノズルを介して真空ピンセットの先端
    に取着され、軸心にセット孔が形成されてその外周にド
    ーナツ状の非記録面を有するディスクに対し、真空圧を
    利用して吸着保持する真空ピンセットの吸着具におい
    て、 ディスクに設けられたドーナツ状の非記録面に適合する
    よう平面形状がU字状に形成され、その下面に沿ってU
    字状溝が凹設された保持部材と、断面形状が下方へ開口
    する溝形で上半部は前記保持部材のU字状溝内に収容さ
    れて固着され、下半部がU字状溝内から末広がり状に突
    設されて内面が吸着面を形成するU字状の吸着パットを
    有し、前記保持部材には前記吸気ノズルが装着される連
    結管が設けられると共に、当該保持部材と吸着パットに
    は吸気ノズルと吸着面とを連通する吸引口が穿設され、
    前記保持部材にはディスクのセット孔内へ挿通される案
    内部材が設けられていることを特徴とする真空ピンセッ
    トの吸着具。
  3. 【請求項3】前記案内部材は、基端側が前記保持部材に
    着脱可能に嵌合係止されている請求項(1)または請求
    項(2)に記載した真空ピンセットの吸着具。
JP1990049096U 1990-05-14 1990-05-14 真空ピンセットの吸着具 Expired - Lifetime JP2509802Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1990049096U JP2509802Y2 (ja) 1990-05-14 1990-05-14 真空ピンセットの吸着具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1990049096U JP2509802Y2 (ja) 1990-05-14 1990-05-14 真空ピンセットの吸着具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH049271U JPH049271U (ja) 1992-01-27
JP2509802Y2 true JP2509802Y2 (ja) 1996-09-04

Family

ID=31566498

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1990049096U Expired - Lifetime JP2509802Y2 (ja) 1990-05-14 1990-05-14 真空ピンセットの吸着具

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2509802Y2 (ja)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5724735U (ja) * 1980-07-16 1982-02-08
JPS6387831U (ja) * 1986-11-26 1988-06-08
JPH01132365U (ja) * 1988-03-02 1989-09-08

Also Published As

Publication number Publication date
JPH049271U (ja) 1992-01-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2007066536A1 (ja) 載置トレイ及び薄板保持容器
JP2534196B2 (ja) ウエ−ハ貼付方法
JP2509802Y2 (ja) 真空ピンセットの吸着具
JPH08156944A (ja) 部品トレー
JPH1145930A (ja) 吸着ヘッド
JPH05315434A (ja) 半導体ウェーハ保持具
JP2002184835A (ja) 吸着パッド
TWI836093B (zh) 機器手臂
JPH0246331B2 (ja)
JP2565673Y2 (ja) ウエハの保持装置
JPH05326Y2 (ja)
JPH079797Y2 (ja) 布団等収納袋用脱気弁
JPH0938858A (ja) 薄片状部材研磨用真空チャック装置
JPH0331883Y2 (ja)
JP3016958U (ja) マイクロチップの移送装置
JP2562729Y2 (ja) 物品移送用吸着装置
KR960001241Y1 (ko) 광자기 디스크(mod)제조 공정에 있어서 디스크 흡착치구
JPH0744468Y2 (ja) ワークハンドリング用吸盤
JP2000153455A (ja) 真空吸着用ヘッド
JPH03217041A (ja) 基板搬送用アーム
JPS62153647U (ja)
JP2001189293A (ja) ウエ−ハ貼付方法及び装置
JPH0713987B2 (ja) 高感度ホール素子の製造方法における磁気集束チップの実装方法
JPH0710494Y2 (ja) 基板エッチング装置
JPH09193069A (ja) 吸着パッド

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070727

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080727

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090727

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 10

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 10

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727

Year of fee payment: 10

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 11

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120727

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees