JPH01132365U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01132365U JPH01132365U JP2686188U JP2686188U JPH01132365U JP H01132365 U JPH01132365 U JP H01132365U JP 2686188 U JP2686188 U JP 2686188U JP 2686188 U JP2686188 U JP 2686188U JP H01132365 U JPH01132365 U JP H01132365U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- ring
- suction surface
- communication path
- suction plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図は本考案による一実施例の吸着板装置を
設けた真空ピンセツトの斜視図、第２図は上記吸
着板装置の斜視図、第３図は第２図の―線断
面図、第４図は他の実施例の吸着板装置の斜視図
、第５図は第４図の―線断面図、第６図は他
の実施例の吸着板装置の斜視図、第７図は第６図
の―線断面図、第８図は他の実施例の吸着板
装置の斜視図、第９図は第８図の―線断面図
、第１０図はリング溝に対するＯリングの装着状
態を示す要部拡大断面図、第１１図は従来の吸着
板装置の平面図、第１２図は第１１図の―
線断面図である。 〔符号の説明〕、１……真空ピンセツト本体、
２……チユーブ、３……弁本体、３ａ……押ボタ
ン、４……連通路、５，２０，２９，３８……吸
着板装置本体、６，２１，３１，３９……吸着面
、７，８，９，２３，３３，４１……Ｏリング、
１０，１１，１２，２２，３２，４０……リング
溝、１３，２４……連通穴、１４……埋め栓、１
５，２５……吸着小孔、１６，２７，３６，４４
……薄板、１７，２６，３４，４２……吸引口、
１８……コレツト、１９，２８……連通管、３７
，４５……段部。
設けた真空ピンセツトの斜視図、第２図は上記吸
着板装置の斜視図、第３図は第２図の―線断
面図、第４図は他の実施例の吸着板装置の斜視図
、第５図は第４図の―線断面図、第６図は他
の実施例の吸着板装置の斜視図、第７図は第６図
の―線断面図、第８図は他の実施例の吸着板
装置の斜視図、第９図は第８図の―線断面図
、第１０図はリング溝に対するＯリングの装着状
態を示す要部拡大断面図、第１１図は従来の吸着
板装置の平面図、第１２図は第１１図の―
線断面図である。 〔符号の説明〕、１……真空ピンセツト本体、
２……チユーブ、３……弁本体、３ａ……押ボタ
ン、４……連通路、５，２０，２９，３８……吸
着板装置本体、６，２１，３１，３９……吸着面
、７，８，９，２３，３３，４１……Ｏリング、
１０，１１，１２，２２，３２，４０……リング
溝、１３，２４……連通穴、１４……埋め栓、１
５，２５……吸着小孔、１６，２７，３６，４４
……薄板、１７，２６，３４，４２……吸引口、
１８……コレツト、１９，２８……連通管、３７
，４５……段部。
Claims (1)
- 真空ピンセツト本体に連通路を介して連結され
る吸着板本体の吸着面にリング溝を形成し、この
リング溝に上記吸着面より突出させてＯリングを
嵌め込み、このＯリングで囲まれる上記吸着面に
、上記連通路と連通する吸引口を開口させたこと
を特徴とする真空ピンセツトの吸着板装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2686188U JPH01132365U (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2686188U JPH01132365U (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01132365U true JPH01132365U (ja) | 1989-09-08 |
Family
ID=31248867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2686188U Pending JPH01132365U (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01132365U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH049271U (ja) * | 1990-05-14 | 1992-01-27 | ||
| JPH05206248A (ja) * | 1992-01-28 | 1993-08-13 | Nec Kyushu Ltd | ウェーハ保持具 |
| JP2014118250A (ja) * | 2012-12-14 | 2014-06-30 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 搬送アーム、搬送装置および搬送方法 |
| JP2016201511A (ja) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | 株式会社ディスコ | 搬出治具 |
-
1988
- 1988-03-02 JP JP2686188U patent/JPH01132365U/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH049271U (ja) * | 1990-05-14 | 1992-01-27 | ||
| JPH05206248A (ja) * | 1992-01-28 | 1993-08-13 | Nec Kyushu Ltd | ウェーハ保持具 |
| JP2014118250A (ja) * | 2012-12-14 | 2014-06-30 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 搬送アーム、搬送装置および搬送方法 |
| US9653337B2 (en) | 2012-12-14 | 2017-05-16 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Transport arm, transport apparatus and transport method |
| JP2016201511A (ja) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | 株式会社ディスコ | 搬出治具 |