JP2509109B2 - 被製版ロ―ルの膜塗布装置 - Google Patents

被製版ロ―ルの膜塗布装置

Info

Publication number
JP2509109B2
JP2509109B2 JP17752191A JP17752191A JP2509109B2 JP 2509109 B2 JP2509109 B2 JP 2509109B2 JP 17752191 A JP17752191 A JP 17752191A JP 17752191 A JP17752191 A JP 17752191A JP 2509109 B2 JP2509109 B2 JP 2509109B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating
liquid
roll
plate
tank
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP17752191A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH05261A (ja
Inventor
龍男 重田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SHINKU LABORATORY KK
Original Assignee
SHINKU LABORATORY KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SHINKU LABORATORY KK filed Critical SHINKU LABORATORY KK
Priority to JP17752191A priority Critical patent/JP2509109B2/ja
Publication of JPH05261A publication Critical patent/JPH05261A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2509109B2 publication Critical patent/JP2509109B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被製版ロールに対し感
光膜塗布または感光膜保護膜塗布を均一に行うことがで
きる被製版ロールの膜塗布装置に関する。
【0002】
【従来の技術】本願発明は、特願平1ー246049号
及び特願平1ー246050号の改良に関する。被製版
ロールの感光膜用保護膜塗布は、感光膜がアルゴンイオ
ンレーザ露光焼付けができる超高感度の感光剤が用いら
れることにより、塗布された感光膜が短時間に酸化し易
く酸化すると感光性を失う性質を有しており、かつ空気
に晒された条件下で露光されると酸素が感光反応を阻害
し、その感光剤が有している本来の感光性能の十分の一
位の性能に顕著に低下させてしまうので、これを防止す
るために行っている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】特願平1ー24604
9号及び特願平1ー246050号の発明装置は、長時
間使用するとコーティング液中の揮発性成分が揮発して
濃度が高まりコーティング不良になることが判明した。
また、コーティング液の補給に際しコーティング液中に
気泡が入り込むとコーティング不良になることが判明し
た。さらに、タンク内のコーティング液の液面レベルが
高いとコーティング膜が厚くなり、液面レベルが低いと
コーティング膜が薄くなり、ひいては製版の出来、不出
来に大きな影響が生じることが判明した。さらにまた、
膜塗布終了後、直ちにロールの回転を停止すると、ロー
ル下面側の塗布膜が異常に厚くなり塗布不良となること
が判明した。
【0004】本発明は、上述した点に鑑み案出したもの
で、被塗布液の揮発性成分の揮発を回避できるととも
に、被塗布液中の入り込む気泡を除去でき、被製版ロー
ルに対し感光膜塗布または感光膜用保護膜塗布を良好に
行える被製版ロールの膜塗布装置を提供することを目的
としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するための手段として、被製版ロールRを水平に両
端チャックして所要回転数で回転駆動し得るロールチャ
ック回転手段Aと、前記被製版ロールRに対し感光膜ま
たは感光膜用保護膜塗布を行う膜塗布手段Bとを備えて
なり、該膜塗布手段Bは、前記被製版ロールRの下方に
設置されロール面長方向に往復動し得るXテーブル6に
備えられたYテーブル7に、ミニタンク8内の被塗布液
に浸漬した塗布ロール9を平面より見て軸方向が前記被
製版ロールRと交差するようにかつ被塗布液の連れ回り
が該塗布ロールRの運行方向前側に生じるように前記被
製版ロールRに接触回転させて塗布膜を形成し得るよう
になっている被製版ロールの膜塗布装置において、前記
ミニタンク8は、タンク上部を閉じる自動開閉式または
手動開閉式の蓋10を備えているとともに、タンク内が
堰板8aによって被塗布液を溜める溜め槽部8bとオー
バーフロー液を溜めるオーバーフロー槽部8cとに区画
されてなり、前記Xテーブル6または前記Yテーブル7
には被塗布液を回収して溜める回収容器11が設けら
れ、該回収容器11内の被塗布液を第一のポンプ12が
塗布開始の所要時間前に前記オーバーフロー槽部8cへ
若干量のオーバーフローが生じ得る所要量の被塗布液を
前記溜め槽部8bへ供給して停止するようになっている
とともに、塗布作業終了後は前記第一のポンプ12また
は別個に設けられる第二のポンプ13が前記ミニタンク
8内の被塗布液を前記回収容器11内に回収し得るよう
になっており、前記ロールチャック回転手段Aは、塗布
膜が乾固する所要時間経過すると、回転駆動を停止する
ようになっていることを特徴とする被製版ロールの膜塗
布装置を提供するものである。
【0006】
【作用】装置の起動スイッチをオンすると、第一のポン
プ12が一定時間作動し回収容器11内の被塗布液を所
要量だけ溜め槽部8bへ供給し、タンク内の被塗布液
は、若干量が堰板8aをオーバーフローしてオーバーフ
ロー槽部8cへ流れ、溜め槽部8b内の被塗布液は、液
面レベルが堰板8aの上端と一致するように管理され
る。溜め槽部8b内の被塗布液は、供給時に小泡が混入
することになるが、その後の時間経過により、液面に浮
上して消泡するので、泡の混入がないものとなる。そこ
で、消泡するまでの時間内にロールチャック回転手段A
により被製版ロールRを水平に両端チャックする。所要
時間経過して上記の消泡が完了すると、ロールチャック
回転手段Aが被製版ロールRを所要回転数で回転駆動す
るとともに膜塗布手段Bの塗布ロール9を所要回転数で
回転駆動する。この時点で、蓋10は人手により開いて
おくか、自動的に開いている状態となる。次いで、Yテ
ーブル7が上昇駆動して塗布ロール9を被製版ロールR
の一端に接触回転し、すると、Xテーブル6が被製版ロ
ールRの他端側へ往動する。従って、塗布ロール9がミ
ニタンク8内の被塗布液を被製版ロールRに擦り込んで
いくように均一な薄膜状に塗布する。この場合、溜め槽
部8b内の被塗布液の泡の混入に起因する塗布不良が生
じない。塗布を終了すると、Yテーブル7が下降しXテ
ーブル6が復動するとともに、第一のポンプ12または
第二のポンプ13がミニタンク8内の被塗布液を回収容
器11内に回収する。そして、塗布膜が乾固する所要時
間経過すると、ロールチャック回転手段Aが回転駆動を
停止する。このため、塗布膜が均一に維持される。その
後、被製版ロールRをチャック解除できる。
【0007】
【実施例】本発明の被製版ロールの膜塗布装置の実施例
を図面を参照して説明する。先ず、構成について説明す
る。図1ないし図3に示すように、被製版ロールの膜塗
布装置は、床板と左右の側板と正面板よりなるフレーム
Fに、被製版ロールRを水平に両端チャックして所要回
転数で回転駆動し得るロールチャック回転手段Aと、該
ロールチャック回転手段Aの下側に前記被製版ロールR
に対し感光膜塗布または感光膜用保護膜塗布を行う膜塗
布手段Bと、該膜塗布手段Bの下側にドレンパンCを備
えてなる。
【0008】ロールチャック回転手段Aは、第一のモー
タ1により回転駆動されるスピンドルチャック2と、第
二のモータ3により水平移動するチャック保持テーブル
4に回転可能に設けられたテイルチャック5とで被製版
ロールRを水平に両端チャックして周速が例えば0.3
mm/secとなるように被製版ロールRを所要回転数
で回転駆動し得る。
【0009】膜塗布手段Bは、前記被製版ロールRの下
方に設置されロール面長方向に往復動し得るXテーブル
6に備えたYテーブル7を設けられている。
【0010】Xテーブル6は、アングル形であり垂直部
背面に設けた図示しないリニアスライドが水平ガイド1
4に係合案内されているとともに同垂直部背面に設けた
図示しないナットランナーがねじ軸15に螺合され、第
三のモータ16でねじ軸15を回転駆動することにより
往復動される。第三のモータ16は、ミニタンク8の一
側に設けた近接センサー17が被製版ロールRの一端
(スピンドルチャック側端)とのギャップgを検出して
から、Xテーブル6が図面右方向へ往動するように駆動
する。そして、第三のモータ16は、近接センサー17
が被製版ロールRの他端(テイルチャック側端)を検出
してから、Xテーブル6が引続き所要寸法往動したとき
に駆動停止し、所定時間経過後にXテーブル6が所要ス
トローク復動するように反転駆動する。
【0011】Yテーブル7は、Xテーブル6より立設さ
れたロッド18,18と嵌合され上下方向に案内されて
いるとともに、Xテーブル6に軸支したねじ軸19がY
テーブル7に固設したナット20と螺合され、ねじ軸1
9がXテーブル6に設けた第四のモータ21により回転
駆動されることによりYテーブル7が昇降される。Yテ
ーブル7は、前記近接センサー17が被製版ロールRと
のギャップgを検出すると上昇を停止する。
【0012】膜塗布手段Bは、蓋10を備えたオバーフ
ロー構造のミニタンク8と、塗布ロール9と、回収容器
11と、第一のポンプ12と、第二のポンプ13と、フ
ィルター23と、電磁三方弁24と、電磁二方弁25と
を備えてなる。
【0013】ミニタンク8は、Xテーブル6より立設さ
れたロッド18,18と嵌合され上下方向に案内されて
いるとともに、Yテーブル7との間に設けたばね22,
22により懸架されている。ミニタンク8は、タンク内
が堰板8aによって被塗布液を溜める溜め槽部8bとオ
ーバーフロー液を溜めるオーバーフロー槽部8cとに区
画されてなる。
【0014】塗布ロール9は、例えばポリビニルアルコ
ール等の樹脂を発泡させてなり、ミニタンク8の溜め槽
部8b内の被塗布液に浸漬するように設け垂れている。
塗布ロール9は、ミニタンク8の外壁に設けた第五のモ
ータ23により回転駆動されるようになっており、平面
より見て軸方向が被製版ロールRと交差するようにかつ
被塗布液の連れ回りが塗布ロールRの運行方向前側に生
じるように被製版ロールRに接触回転させて塗布膜を形
成し得る。塗布ロール9は、直径130mm、幅35m
mで60r.p.mで回転駆動され、一回転当たり約7
mm仕上がり幅となるようにXテーブル6の運行速度が
決められる。
【0015】回収容器11は、透明な瓶が使用され、X
テーブル6の下側に抱かれている。回収容器11には被
塗布液として感光液または感光膜保護液が補給される。
感光膜保護液は、ポリビニルアルコール等の透明な酸素
遮蔽効果を備えた高分子剤であり、感光膜を塗布乾固し
た後にオーバーラップすることにより、感光膜の感度を
約一桁高く維持できる。回収容器11は、密栓蓋11a
を有し、該密栓蓋11aを貫通するように第一のポンプ
12から延びる配管28と第二のポンプ13から延びる
配管29が容器内に垂下しているとともに、該密栓蓋1
1aに容器内開放密閉用の電磁開放弁30が備えられて
いる。該電磁開放弁30は、第一のポンプ12及び第二
のポンプ13の稼働時のみ「開」となり、被塗布液の供
給・回収を補償する。電磁三方弁24は、回収容器11
内の被塗布液をミニタンク8へ供給するときは第一のポ
ンプ12とミニタンク8が連通するように開弁状態とな
り、またミニタンク8内の被塗布液を回収容器11へ回
収するときは第二のポンプ13とミニタンク8が連通す
るように開弁状態となる。電磁二方弁25は、溜め槽部
8bへの液供給路とオーバーフロー槽8cからの液回収
路とを接続する管路に設けられ、ミニタンク8内の被塗
布液を回収容器11へ回収するときに第二のポンプ13
とミニタンク8が連通するように開弁状態となる。第一
のポンプ12と、第二のポンプ13はXテーブル6の上
に設置されている。第一のポンプ12は、供給ポンプで
あり塗布開始の所要時間前の一定時間だけ駆動され、回
収容器11内の被塗布液の所要量をフィルター31、電
磁三方弁24、ホレキシブルホース26を介して溜め槽
部8bに供給するようになっている。溜め槽部8bに供
給される被塗布液の若干量がオーバーフロー槽8cへオ
ーバーフローするようになっている。第二のポンプ13
は、回収ポンプでありXテーブル6の往動終了後に一定
時間駆動され、溜め槽部8b内の被塗布液を電磁三方弁
24を介して回収容器11へ回収するとともに、オーバ
ーフロー槽部8c内の被塗布液を電磁三方弁25及び電
磁三方弁24を介して回収容器11へ回収するようにな
っている。回収容器11内の被塗布液をフィルター3
1、電磁三方弁24、ホレキシブルホース26を介して
ミニタンク8の溜め槽部8bに供給するようになってい
る。ミニタンク8は、タンク上面開口を密閉可能な蓋1
0を備えており、本発明装置の起動スイッチをオンにす
ると、Yテーブル7の上昇に先立ってアクチュエータ2
7が該蓋10を開く。
【0016】続いて、上述のように構成した実施例の被
製版ロールの膜塗布装置の作用を説明する。本実施例装
置の起動スイッチをオンすると、電磁三方弁24が第一
のポンプ12とミニタンク8が連通するように開弁状態
となりまた電磁開放弁30が「開」となり、第二のポン
プ13が駆動し第一のポンプ12が一定時間作動し回収
容器11内の揮発性成分が揮発していない適正濃度の被
塗布液を所要量だけ溜め槽部8bへ供給し、タンク内の
被塗布液は、若干量が堰板8aをオーバーフローしてオ
ーバーフロー槽部8cへ流れ、溜め槽部8b内の被塗布
液は、液面レベルが堰板8aの上端と一致するように管
理される。その後、電磁三方弁24及び電磁開放弁30
が「閉」となる。溜め槽部8b内の被塗布液は、供給時
に小泡が混入することになるが、その後の時間経過によ
り、液面に浮上して消泡するので、泡の混入がないもの
となる。そして、アクチュエータ27が蓋10を開く。
【0017】そこで、溜め槽部8b内の被塗布液の気泡
が消泡するまでの時間内にロールチャック回転手段Aに
より被製版ロールRを水平に両端チャックする。被製版
ロールRを水平にスピンドルチャック2とテイルチャッ
ク5の間に位置させ、図示しないチャック開始ボタンを
押すと、第二のモータ3が駆動して被製版ロールRをス
ピンドルチャック2とテイルチャック5とで両端チャッ
クする。
【0018】溜め槽部8b内の被塗布液の消泡が完了す
る所要時間経過したら、図示しない塗布開始ボタンを押
す。すると、第一のモータ1が駆動してスピンドルチャ
ック2が被製版ロールRを所要回転数で回転するととも
に、第五のモータ23が駆動して塗布ロール9を所要回
転数で回転する。次いで、第五のモータ23が駆動して
塗布ロール9が回転するとともに、第四のモータ21が
駆動してYテーブル7が上昇し、塗布ロール9が被製版
ロールRの一端に適切に接触回転した時点で近接センサ
ー17が被製版ロールRとのギャップgを検出する信号
により第四のモータ21が駆動停止し、第三のモータ1
6が駆動してねじ軸15を回転しXテーブル6を被製版
ロールRの他端側へ往動する。従って、塗布ロール9が
ミニタンク8内の被塗布液を被製版ロールRに擦り込ん
でいくように均一な薄膜状にスパイラル状に僅少寸法ず
つ位置ずれして塗布していく。この場合、塗布ロール9
は、平面方向に見て軸方向が被製版ロールRと交差する
ようにかつ感光液の連れ回りが該塗布ロール9の運行方
向前側に生じるように被製版ロールRに接触回転して感
光膜をスパイラル状に塗布しかつ隣り合うスパイラルの
軌跡が七割ないし九割オーバーラップして擦り込み状態
の塗布を充分に行ない、塗布が行われないピンホールの
発生を完全に回避し均一で薄い膜厚の感光膜をロール全
長にエンドレスに塗布し得る。そしてこの場合、溜め槽
部8b内の被塗布液の泡の混入に起因する塗布不良が生
じない。塗布ロール9が被製版ロールRの他端へ移動す
ると塗布を終了する。
【0019】続いて、第四のモータ21が反転駆動して
Yテーブル7が下降し、そして、アクチュエータ27が
蓋10を閉じる。すると、第三のモータ16が反転駆動
してXテーブル6が復動するとともに、電磁三方弁24
が第二のポンプ13とミニタンク8が連通するように開
弁状態となりまた電磁二方弁25と電磁開放弁30がそ
れぞれ「開」となり、第二のポンプ13が駆動しミニタ
ンク8の溜め槽部8b内の被塗布液及びオーバーフロー
槽8c内の被塗布液を回収容器11内に回収する。従っ
て、被塗布液は揮発性成分が揮発しないのでいつまでも
適正濃度に保たれる。その後、電磁三方弁24と電磁二
方弁25と電磁開放弁30がそれぞれ「閉」となる。塗
布ロール9が被製版ロールRのスピンドルチャック側の
一端に対応する位置に至ると第三のモータ16が反転駆
動を停止する。さらに、塗布膜が乾固する所要時間経過
すると、ロールチャック回転手段Aが回転駆動を停止す
る。このため、塗布膜の厚さの偏りが生じないように全
周均一に維持される。その後、被製版ロールRをチャッ
ク解除できる。
【0020】なお、本発明は、上記実施例の構成に限定
されるものでなく、以下のような変形例を含むものであ
る。ミニタンク8のタンク上部を閉じる蓋10を手動開
閉式とし人手により開閉すること。手動開閉式の蓋10
としては取外し式の構成を含む。回収容器11や第一及
び第二のポンプ12、13をXテーブル6に設置するこ
と。第一のポンプ12に供給及び回収に兼用できる機種
のポンプを採用し、電磁三方弁13に変えて電磁二方弁
を採用すること。
【0021】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の被製
版ロールの膜塗布装置によれば、蓋を備えたオーバーフ
ロー構造のミニタンクと密閉形の回収容器を設けて、塗
布開始の所要時間前の一定時間ポンプを稼働して回収容
器内の被塗布液をミニタンク内へ供給して液面管理でき
るとともに気泡を浮上消泡させることができ、気泡を含
まない被塗布液を塗布ロールにより被製版ロールへ塗布
するものであり、塗布終了後はミニタンク内の被塗布液
を回収容器に回収し、蓋を閉じてミニタンク内の乾燥を
防止する構成なので、被塗布液の揮発性成分の揮発を回
避できるとともに、被塗布液中の入り込む気泡を除去で
き、従って、回収容器に被塗布液を満たせば、一日中、
被製版ロールの塗布処理を反復して行っても被塗布液の
成分濃度が適切に維持され、被製版ロールに対しピンホ
ール状の未塗布部が生じないように膜厚が円周均一とな
るように、かつ被製版ロールのチャックを解除する際に
は塗布膜が乾固している状態に良好な感光膜塗布または
感光膜用保護膜塗布を行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に係る被製版ロールの膜塗布装
置の処理開始前の状態を示す概略全体正面図。
【図2】同実施例に係る被製版ロールの膜塗布装置の処
理中の状態を示す概略全体正面図。
【図3】同実施例に係る被製版ロールの膜塗布装置の処
理中の状態を示す要部拡大正面図。
【符号の説明】
R 被製版ロール A ロールチャック回転手段 B 膜塗布手段 6 Xテーブル 7 Yテーブル 8 ミニタンク 8a 堰板 8b 溜め槽部 8c オーバーフロー槽部 9 塗布ロール 10 蓋 11 回収容器 12 第一のポンプ 13 第二のポンプ

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被製版ロールを水平に両端チャックして
    所要回転数で回転駆動し得るロールチャック回転手段
    と、前記被製版ロールに対し感光膜または感光膜用保護
    膜塗布を行う膜塗布手段とを備えてなり、該膜塗布手段
    は、前記被製版ロールの下方に設置されロール面長方向
    に往復動し得るXテーブルに備えられたYテーブルに、
    ミニタンク内の被塗布液に浸漬した塗布ロールを平面よ
    り見て軸方向が前記被製版ロールと交差するようにかつ
    被塗布液の連れ回りが該塗布ロールの運行方向前側に生
    じるように前記被製版ロールに接触回転させて塗布膜を
    形成し得るようになっている被製版ロールの膜塗布装置
    において、前記ミニタンクは、タンク上部を閉じる自動
    開閉式または手動開閉式の蓋を備えているとともに、タ
    ンク内が堰板によって被塗布液を溜める溜め槽部とオー
    バーフロー液を溜めるオーバーフロー槽部とに区画され
    てなり、前記Yテーブルまたは前記Xテーブルには被塗
    布液を回収して溜める回収容器が設けられ、該回収容器
    内の被塗布液を第一のポンプが塗布開始の所要時間前に
    前記オーバーフロー槽部へ若干量のオーバーフローが生
    じ得る所要量の被塗布液を前記溜め槽部へ供給して停止
    するようになっているとともに、塗布作業終了後は前記
    第一のポンプまたは別個に設けられる第二のポンプが前
    記ミニタンク内の被塗布液を前記回収容器内に回収し得
    るようになっており、前記ロールチャック回転手段は、
    塗布膜が乾固する所要時間経過すると、回転駆動を停止
    するようになっていることを特徴とする被製版ロールの
    膜塗布装置。
JP17752191A 1991-06-22 1991-06-22 被製版ロ―ルの膜塗布装置 Expired - Lifetime JP2509109B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17752191A JP2509109B2 (ja) 1991-06-22 1991-06-22 被製版ロ―ルの膜塗布装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17752191A JP2509109B2 (ja) 1991-06-22 1991-06-22 被製版ロ―ルの膜塗布装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05261A JPH05261A (ja) 1993-01-08
JP2509109B2 true JP2509109B2 (ja) 1996-06-19

Family

ID=16032372

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17752191A Expired - Lifetime JP2509109B2 (ja) 1991-06-22 1991-06-22 被製版ロ―ルの膜塗布装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2509109B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5105159B2 (ja) * 2007-08-17 2012-12-19 サマンサジャパン株式会社 塗布装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05261A (ja) 1993-01-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2148654C (en) Method and device for lacquering or coating of a substrate
JP5315320B2 (ja) 基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理装置
US3682079A (en) Automatic lithographic plate developing machine
JP2509109B2 (ja) 被製版ロ―ルの膜塗布装置
JP3321725B2 (ja) 洗浄装置
JPH07109511B2 (ja) 被製版ロールの感光膜塗布装置
JP3936904B2 (ja) ノズル清掃装置およびこのノズル清掃装置を備えた基板処理装置
JP3292765B2 (ja) 顕微鏡標本の染色方法とその装置
JPH0443982B2 (ja)
JP4189955B2 (ja) ロールへの感光剤等の被膜の塗布形成装置
JPH05283391A (ja) 基板洗浄具の洗浄装置
JP2012174974A (ja) 現像方法及び現像装置
JP3722452B2 (ja) 硬基板塗布装置およびその制御方法
JP2004025082A (ja) 円筒体を拭浄して被膜を塗布形成する装置
JP2000280454A (ja) スクリーン印刷装置
JPH07169668A (ja) 基板処理装置
JP2527883B2 (ja) 製版装置
JP2888698B2 (ja) 硬基板塗布装置
JPH05232086A (ja) 電気泳動用支持体の湿潤装置
JP4037184B2 (ja) ロール又はドラムへの塗布液の塗布方法
JP3525487B2 (ja) 回転塗布装置
JPH0360422B2 (ja)
JPH07130616A (ja) 基板処理装置及び基板処理方法
JPH06340061A (ja) 洗浄乾燥装置
JPS63317259A (ja) フラックス塗布機構