JP2507461Y2 - 振動ジャイロ - Google Patents
振動ジャイロInfo
- Publication number
- JP2507461Y2 JP2507461Y2 JP1990080971U JP8097190U JP2507461Y2 JP 2507461 Y2 JP2507461 Y2 JP 2507461Y2 JP 1990080971 U JP1990080971 U JP 1990080971U JP 8097190 U JP8097190 U JP 8097190U JP 2507461 Y2 JP2507461 Y2 JP 2507461Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- detection
- electrode
- coriolis force
- driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990080971U JP2507461Y2 (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990080971U JP2507461Y2 (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 振動ジャイロ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0438513U JPH0438513U (OSRAM) | 1992-03-31 |
| JP2507461Y2 true JP2507461Y2 (ja) | 1996-08-14 |
Family
ID=31626491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990080971U Expired - Lifetime JP2507461Y2 (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 振動ジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2507461Y2 (OSRAM) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008096139A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Sony Corp | 角速度センサ及びその駆動方法 |
-
1990
- 1990-07-30 JP JP1990080971U patent/JP2507461Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0438513U (OSRAM) | 1992-03-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5585562A (en) | Vibration-sensing gyro | |
| JPH07306048A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH09257490A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP2507461Y2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH06294654A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH1194557A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP4877322B2 (ja) | 音叉型バイモルフ圧電振動子、それを用いた振動ジャイロモジュールおよび音叉型バイモルフ圧電振動子の製造方法 | |
| JP2996137B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP3767212B2 (ja) | 振動ジャイロの支持構造および支持方法 | |
| JP3355998B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH082568Y2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH09105639A (ja) | 振動ジャイロおよびその製造方法 | |
| JP4256322B2 (ja) | 振動ジャイロの振動子搭載構造 | |
| JPH1054842A (ja) | 圧電振動子およびこれを用いた外力検知センサ | |
| JP3301403B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH07301533A (ja) | 振動型レートジャイロセンサ | |
| JPH09250931A (ja) | 音片形振動ジャイロ | |
| JP2000193458A (ja) | 振動ジャイロおよびその製造方法 | |
| JP4172100B2 (ja) | 圧電振動角速度センサー及びその振動子の製造方法 | |
| JP2002228449A (ja) | 振動ジャイロの製造方法 | |
| JPH07159180A (ja) | 振動型角速度センサ | |
| JPH03150409A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH0914972A (ja) | 音片形振動ジャイロ | |
| JPH08178667A (ja) | 半導体角速度センサ | |
| JPH09133531A (ja) | 振動ジャイロ |