JP2025502947A5 - - Google Patents
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- polycrystalline silicon
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Applications Claiming Priority (3)
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|---|---|---|---|
| FR2200766A FR3132381B1 (fr) | 2022-01-28 | 2022-01-28 | Procédé de fabrication d’une plaquette de p-SiC non déformable |
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Publications (2)
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|---|---|
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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