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JP7849131B2 (ja) * 2023-09-28 2026-04-21 芝浦メカトロニクス株式会社 ウェーハ収納容器処理装置

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006005072A (ja) * 2004-06-16 2006-01-05 Ebara Corp 基板搬送保管容器及びその使用方法
JP4012190B2 (ja) * 2004-10-26 2007-11-21 Ｔｄｋ株式会社 密閉容器の蓋開閉システム及び開閉方法
JP2005109523A (ja) 2004-12-27 2005-04-21 Takeshiba Electric Co Ltd 半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置
WO2010137556A1 (ja) 2009-05-27 2010-12-02 ローツェ株式会社 雰囲気置換装置
US8591664B2 (en) * 2009-06-17 2013-11-26 Dynamic Micro System Integrated cleaner and dryer system
JP6106501B2 (ja) * 2013-04-12 2017-04-05 東京エレクトロン株式会社 収納容器内の雰囲気管理方法
JP6403431B2 (ja) * 2013-06-28 2018-10-10 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理装置、流量監視方法及び半導体装置の製造方法並びに流量監視プログラム
WO2017212841A1 (ja) * 2016-06-08 2017-12-14 村田機械株式会社 容器保管装置及び容器保管方法
KR102469954B1 (ko) * 2017-07-14 2022-11-23 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 기판 수납 용기
JP7125000B2 (ja) * 2018-03-13 2022-08-24 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
US10403514B1 (en) * 2018-04-12 2019-09-03 Asm Ip Holding B.V. Substrate transporting system, storage medium and substrate transporting method
JP7100243B2 (ja) * 2018-04-19 2022-07-13 シンフォニアテクノロジー株式会社 排気ノズルユニット、ロードポート、及びｅｆｅｍ
CN110534455A (zh) * 2018-05-24 2019-12-03 昕芙旎雅有限公司 基板收纳容器管理系统、装载端口、基板收纳容器管理方法
US11662373B2 (en) * 2018-05-24 2023-05-30 Sinfonia Technology Co., Ltd. Substrate storage container management system, load port, and substrate storage container management method
JP7351681B2 (ja) * 2019-09-05 2023-09-27 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
KR102262852B1 (ko) * 2020-02-19 2021-06-09 (주)에스티아이 풉 세정 장치의 버퍼부 및 이를 이용한 풉의 불량 유무 판단 방법
JP7371663B2 (ja) * 2021-04-27 2023-10-31 株式会社ダイフク 検査システム
JP7849131B2 (ja) * 2023-09-28 2026-04-21 芝浦メカトロニクス株式会社 ウェーハ収納容器処理装置
JP2025060236A (ja) * 2023-09-29 2025-04-10 芝浦メカトロニクス株式会社 ウェーハ収納容器洗浄装置
JP7879088B2 (ja) * 2023-09-29 2026-06-23 芝浦メカトロニクス株式会社 ウェーハ収納容器洗浄装置

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