JP2024510987A - トリアジンシラン化合物、及び接着促進剤としてのその使用 - Google Patents
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Abstract
本発明は、特定のトリアジンシラン化合物、そのオリゴマー、前記化合物及び/又は前記オリゴマーを含む混合物、並びにそれぞれの保存及びワーキング溶液に関する。更に、本発明は、前記特定のトリアジンシラン化合物のための合成方法、及び前記ワーキング溶液の表面処理液としての使用に関する。
Description
本発明は、特定のトリアジンシラン化合物、そのオリゴマー、前記化合物及び/又は前記オリゴマーを含む混合物、並びにそれぞれの保存及びワーキング溶液に関する。更に、本発明は、前記特定のトリアジンシラン化合物のための合成方法、及び前記ワーキング溶液の表面処理液としての使用に関する。
更に、本発明は、金属、金属合金又は金属酸化物の表面と、有機材料の表面との間において接着強度を増大させるための方法であって、主な工程として、前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、特定のトリアジンシラン化合物、特定のトリアジンシランオリゴマー、又は前記化合物及び/若しくは前記オリゴマーを含む混合物と接触させる工程を含む、方法に関する。更に、本発明は、接着強度を増大させるための方法における、前記特定のトリアジンシラン化合物、前記特定のトリアジンシランオリゴマー、又は前記混合物の使用、並びに金属、金属合金又は金属酸化物の表面と、有機材料の表面との間における楔形空間の縮小に関する。楔形空間は、ハローの形成でも見られ、典型的には、構造化試料(structured sample)のデスミアプロセス後に、基材と積層板との間における界面に形成される。
ヘテロ芳香族シラン化合物は、電子部品の製造に、詳細には、例えば更なる加工工程のための調製物として、金属表面及び有機材料の表面を処理するための表面処理液に頻繁に利用される。
US2016/0368935A1は、アゾールシラン化合物、及びアゾールシラン化合物を使用した表面処理液、表面処理方法並びにその使用に関する。
JP2018016865Aは、シラン化合物を含有するトリアゾール表面処理剤を開示している。
論文「Corrosion protection of copper with 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane-based sol-gel coating through 3-amino-5-mercapto-1,2,4-triazole doping」、Journal of Research on Chemical Intermediates、第42巻、第2号、1315から1328頁、2015年は、銅表面上にゾル-ゲルコーティングを形成することによる、中性媒体における銅の腐食保護についての研究を開示している。これは、銅における、3-アミノ-5-メルカプト-1,2,4-トリアゾールをドープした、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシランベースのゾル-ゲル(3-glydidoxypropyltrimethoxysilane-based sol-gel)コーティングが、銅へのチオレート結合を形成すると開示している。
JPH06279461Aは、金属表面における錆止めを改善するための表面処理剤、特にプリント回路用の銅張積層板に使用される銅箔のための表面処理剤に言及している。作用剤は、1H-1,2,4-トリアゾール-3-チオールを、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシランと、80~200℃にて反応させることにより得られるアゾールシランである。
論文「Recovery of rhodium-containing catalysts by silica-based chelating ion exchangers containing N and S donor atoms」、Journal of Inorganica Chimica Acta 315(2001年)、183から190頁は、シリカに固定化する前の、二官能性スペーサー(3-グリシドキシプロピル)トリメトキシシランに付着した4-アミノ-3-メチル-1,2,4-トリアゾール-5-チオンを開示している。
WO2019/243180は、アゾールシラン化合物、その合成、また、それぞれの溶液及び表面処理における使用を開示している。
WO2020/178146は、金属、金属合金又は金属酸化物の表面と、有機材料の表面との間において接着強度を増大させるための方法における、アゾールシラン化合物の使用を開示している。
JP2016169300A(JP6436819B2)は、ケイ素を含まない2,4-ジアミン-置換トリアジンを開示している。
2,4,6-トリアミン-置換トリアジンは、Chem. Eur. J. 2009年、15、6279~6288頁及びJP2017002402A(JP6370836B2)で開示されている。エポキシ樹脂におけるその使用は、JP6392273で開示されている。
トリアジンシラン化合物の構造的多様性のため、そのような化合物の大多数は、要求に応じて製造される必要があり、典型的には標準的な商品として容易に利用できない。したがって、簡潔且つ効率的な合成方法が要望される。
典型的には、トリアジンシラン化合物は、ケイ素-酸素-ケイ素結合を形成することにより、水の存在下で容易に重合する。これは、多くのケースにおいて、化合物の合成直後に望ましくない。重合が最終用途に望ましいことはあるものの、一方では、モノマーの多すぎる、且つ/又は早すぎる重合が防止されるが、また一方では、化合物の更なる加工を可能にするように、新たに合成された化合物を溶媒中で可溶化する要望が通常存在する。更に、それらを別の製造所に経済的に輸送するためには、そのような溶媒中に、十分に高濃度のそれぞれのトリアジンシラン化合物を有することが望ましい。事実、典型的に利用される/望ましい溶媒中の、公知のトリアジンシラン化合物の可溶性は、不十分なことが多い。
更に、多くのケースでは、ヘテロ芳香族シラン化合物の合成は、ハロゲン化物、例えば塩化物、臭化物及びヨウ化物を含む遊離体を含む。そのようなハロゲン化物は、合成中に放出されることが多く、これにより生じた合成生成物が汚染される。これは、典型的には、更なる精製工程において、ハロゲン化物及びそのそれぞれの塩が除去される必要があることを意味する。しかし、そのような追加の工程は、水混入の危険性を著しく上昇させ、尚早な重合を引き起こす。更に、そのような精製工程は、最終ヘテロ芳香族シラン化合物の全体の収率に悪影響を与えることが多い。容認できる場合、そのような化合物は精製されず、結果としてハロゲン化物及びそれらの塩のそれぞれは、ヘテロ芳香族シラン化合物と共に残る。しかし、多くの用途で、ハロゲン化物を伴うヘテロ芳香族シラン化合物を用いて作業することは全く望ましくない。他のケースでは、ハロゲン化物は一般的に許容されるが、非限定的な量のハロゲン化物を伴うヘテロ芳香族シラン化合物を利用することは望ましくない。
接着強度は、接着層が金属基板に結合することによる物理的及び化学的強度に関連する。
接着強度に関連する別の態様は、楔形空間形成の回避である。これは、典型的な後続する工程、例えば積層及び硬化、レーザー処理、デスミア処理及び還元中に、基材と積層板との間の界面に楔状の構造が形成されることを意味する。これらのいわゆる楔形空間は、積層板の剥離を促進するので望まれない。楔形空間は、多くの場合、基材への化学伝播を示すドリル穴周囲のハローと既に分かっている。
「Corrosion protection of copper with 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane-based sol-gel coating through 3-amino-5-mercapto-1,2,4-triazole doping」、Journal of Research on Chemical Intermediates、第42巻、第2号、1315から1328頁、2015年
「Recovery of rhodium-containing catalysts by silica-based chelating ion exchangers containing N and S donor atoms」、Journal of Inorganica Chimica Acta 315(2001年)、183から190頁
Chem. Eur. J. 2009年、15、6279~6288頁
したがって、本発明の第1の目的は、上記で言及されている問題に基づき、好適な溶媒中での可溶性が上昇したトリアジンシラン化合物を提供することであった。本発明の第2の目的は、簡潔且つ効率的な合成方法を提供することであり、上記のいずれも追加の精製工程を回避できるように、ハロゲン化物及びそれらの塩のそれぞれを放出しない。
上記のように、接着強度、並びに楔形空間及びハロー形成に関する欠点を呈さない方法を提供することは、追加のタスクであった。
上記で言及されている第1の目的は、式(I)
(式中、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Eは、-S-及び-NH-(CH2)m-NH-からなる群から選択され、
Zは、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Eは、-S-及び-NH-(CH2)m-NH-からなる群から選択され、
Zは、
からなる群から選択され、
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物により解決される。
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物により解決される。
第2の目的は、式(II)
(式中、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Zは、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Zは、
からなる群から選択され、
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物のための合成方法により解決される。
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物のための合成方法により解決される。
合成方法であって、以下の工程
(i)式(III)
(i)式(III)
(式中、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
mは2から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数である)
の化合物を得る工程、
(ii)以下の群から選択されるシラン化合物
(ii-a)式(IV)のシラン化合物
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
mは2から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数である)
の化合物を得る工程、
(ii)以下の群から選択されるシラン化合物
(ii-a)式(IV)のシラン化合物
及び
(ii-b)式(V)のシラン化合物
OCN-(CH2)n-Si(OR)3
(V)
(式(IV)又は(V)において
Rは、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、C1からC5アルキルを表し、
nは1から12の範囲の整数である)
を得る工程、
(iii)溶媒中で、式(III)の前記中間体を前記シラン化合物と反応させ、その結果、上記で定義されている式(II)の化合物が生じる工程、並びに
(iv)任意選択で、工程(iii)で得られた式(II)の化合物を加水分解し、その結果、Rの少なくとも1つが、(CH2-CH2-O)m-Zであり、m=0及びZ=Hである工程
を含む、合成方法。
(ii-b)式(V)のシラン化合物
OCN-(CH2)n-Si(OR)3
(V)
(式(IV)又は(V)において
Rは、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、C1からC5アルキルを表し、
nは1から12の範囲の整数である)
を得る工程、
(iii)溶媒中で、式(III)の前記中間体を前記シラン化合物と反応させ、その結果、上記で定義されている式(II)の化合物が生じる工程、並びに
(iv)任意選択で、工程(iii)で得られた式(II)の化合物を加水分解し、その結果、Rの少なくとも1つが、(CH2-CH2-O)m-Zであり、m=0及びZ=Hである工程
を含む、合成方法。
独自の実験により、上記で言及されている合成方法は、特定の溶媒中で改善した可溶性及び安定性を有するトリアジンシラン化合物を生じることが示された。更に、上記の合成方法は、ハロゲン原子を含まない遊離体を利用する。したがって、それぞれの溶媒中における合成中に、ハロゲン化物イオンは放出されない。これは、ハロゲン化物イオンが更なる用途に必要とされる場合でさえも、特定の量のそれぞれのハロゲン化物が添加され得、その結果、その合計濃度が正確に分かるため、きわめて望ましい。
本発明は、詳細には、上記で定義されている特定のトリアジンシラン化合物に言及する。多くのケースでは、YがNH及びN(NH2)、好ましくはNHを表す本発明のトリアジンシラン化合物が好ましい。他のケースでは、YがSを表す本発明のトリアジンシラン化合物が好ましい。この両方で、窒素を含むYは、SであるYと比較して好ましい。
Xが、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3又はOCH3を表し、oが、2から12の範囲の整数であり、好ましくはNH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH又はSCH3であり、oは、2から12の範囲の整数であり、より好ましくはNH2である、本発明のトリアジンシラン化合物が好ましい。
式(VI)
(式中、
mは2から10の範囲の整数であり、
nは1から10の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
の化合物である、本発明のトリアジンシラン化合物がきわめて好ましい。
mは2から10の範囲の整数であり、
nは1から10の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
の化合物である、本発明のトリアジンシラン化合物がきわめて好ましい。
式(VIa)及び(VIb)
の化合物が特に好ましい。
代替として、式(VII)
(式中、
mは2から10の範囲の整数であり、
nは1から10の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
の化合物である、本発明のトリアジンシラン化合物がきわめて好ましい。
mは2から10の範囲の整数であり、
nは1から10の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
の化合物である、本発明のトリアジンシラン化合物がきわめて好ましい。
式(VIIa)
の化合物が特に好ましい。
本発明に関連して、ある変数と組み合わせた「独立して~である」という用語(又は同様の表現)は、第1の化合物におけるそのような変数に対する選択された特徴が、第2の化合物における同一の変数の選択された特徴から独立していることを表し、また、ある化合物が、同一の変数を少なくとも2回を含有する場合、互いに独立して選択され、ひいては異なっていることがある。この原理は、他の「独立して」という用語に同じく適用される。
本発明は、本発明のトリアジンシラン化合物のオリゴマーにも言及する。したがって、本発明は、水の存在下で、式(II)
(式中、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Zは、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Zは、
からなる群から選択され、
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
によるトリアジンシラン化合物(好ましくは、特に好ましい本文全体に記載されている式(II)の化合物)を、トリアジンシランオリゴマーが少なくとも1つのケイ素-酸素-ケイ素部分を含むように、互いに反応させることにより得られる、トリアジンシランオリゴマーにも言及する。この反応は、オリゴマー化とも呼ばれることがある。
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
によるトリアジンシラン化合物(好ましくは、特に好ましい本文全体に記載されている式(II)の化合物)を、トリアジンシランオリゴマーが少なくとも1つのケイ素-酸素-ケイ素部分を含むように、互いに反応させることにより得られる、トリアジンシランオリゴマーにも言及する。この反応は、オリゴマー化とも呼ばれることがある。
上記で言及されているオリゴマー化は、様々なケイ素原子において少なくともいくつかのOH基を形成するために、加水分解に少なくとも少量の水を必要とする。好ましくは、トリアジンシランオリゴマーは、前記トリアジンシラン化合物を互いと、それぞれの反応組成物の総質量に対して少なくとも2wt.-%の水の存在下で反応させることにより得られる。
本発明に関連して、「トリアジンシランオリゴマー」という用語は、少なくとも2種のモノマーの組合せ、すなわち、本発明の少なくとも2種のトリアジンシラン化合物の互いとの反応を含む。更に、この用語は、3、4、5、6、7、8、9、10、11及び12種までのモノマーを含む。オリゴマーが、トリアジンシランダイマー、トリアジンシラントリマー、トリアジンシランテトラマー、トリアジンシランペンタマー、トリアジンシランヘキサマー、トリアジンシランヘプタマー、及びトリアジンシランオクタマーからなる群から選択される、本発明のトリアジンシランオリゴマーが好ましい。オリゴマーが、トリアジンシランダイマー、トリアジンシラントリマー、及びトリアジンシランテトラマーからなる群から選択される、本発明のトリアジンシランオリゴマーがより好ましい。後者は、或いは、オリゴマーが、1、2又は3つのケイ素-酸素-ケイ素部分をそれぞれ含む、本発明のトリアジンシランオリゴマーが好ましいことを意味する。
本発明のトリアジンシラン化合物に基づいて、非常に多様な本発明のオリゴマーを形成できる。したがって、本発明のオリゴマーは、それらを互いに反応させることにより最良に、また適切に記載される。
本発明に関連して、特定の値と組み合わせた「少なくとも」という用語は、この値又はこの値超を表す(また、それと交換可能である)。例えば、上記で言及されている「少なくとも1つのケイ素-酸素-ケイ素部分」は、「1つ以上のケイ素-酸素-ケイ素部分」を表す(また、それと交換可能である)。最も好ましくは、「少なくとも1つ(種)の」は、「1つ(種)、2つ(種)、3つ(種)又は3つ(種)超」を表す(また、それと交換可能である)。
オリゴマーが、式(VIII)
[式中、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
pは、0、1、2、3又は4、好ましくは0、1又は2であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表し、
kは、1、2又は3であり、好ましくは1又は2であり、
Mは、独立して、式(II-I)
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
pは、0、1、2、3又は4、好ましくは0、1又は2であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表し、
kは、1、2又は3であり、好ましくは1又は2であり、
Mは、独立して、式(II-I)
(式(II-I)において
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3、好ましくはNH2からなる群から独立して選択され、
Zは、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3、好ましくはNH2からなる群から独立して選択され、
Zは、
からなる群から選択され、
mは2から12の範囲の、好ましくは2から8の範囲の、より好ましくは2から6の範囲の、より一層好ましくは3から4の範囲の整数であり、最も好ましくは、nは3であり
nは1から12の範囲の、好ましくは1から8の範囲の、より好ましくは2から6の範囲の、より一層好ましくは3から4の範囲の整数であり、最も好ましくは、nは3であり、
oは2から12の範囲の整数である)
の部分を表す]
の化合物である、本発明のオリゴマーが最も最も好ましい。
mは2から12の範囲の、好ましくは2から8の範囲の、より好ましくは2から6の範囲の、より一層好ましくは3から4の範囲の整数であり、最も好ましくは、nは3であり
nは1から12の範囲の、好ましくは1から8の範囲の、より好ましくは2から6の範囲の、より一層好ましくは3から4の範囲の整数であり、最も好ましくは、nは3であり、
oは2から12の範囲の整数である)
の部分を表す]
の化合物である、本発明のオリゴマーが最も最も好ましい。
式(VIa)の上記の部分では、破線は、全体的部分を、式(VIII)で描写されているケイ素原子に接続する共有結合を表す。
いくつかのケースにおいてのみ、kが1から7の範囲の、好ましくは1から5の範囲の整数である本発明のトリアジンシランオリゴマーが一層好ましい。しかし、最も好ましくは、kは、1、2又は3、好ましくは1又は2である。
好ましくは、本発明のオリゴマーは、ホモオリゴマーである。これは、好ましくは同一のモノマーが、それぞれと組み合わせられて、オリゴマーを形成することを意味する。
或いは、本発明のオリゴマーにおいて、少なくともケイ素-酸素-ケイ素骨格を形成しない部分(すなわちトリアジン部分、及びトリアジン部分をケイ素原子につなげているエーテル部分)のすべては、化学式において同一であることが好ましい。そのようなケースでは、Mは、好ましくは独立して定義されない。
本発明のトリアジンシラン化合物及び本発明のトリアジンシランオリゴマーは、混合物として存在し得る。或いは、1種超の化合物又は1種超のオリゴマーは、混合物として存在し得る。典型的には、有機溶媒は、可溶性を促進する。したがって、本発明は、
(a) - 本発明による1種以上のトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、及び/又は
- 本発明による1種以上のトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、
(b) - 1種以上の有機溶媒
を含む、好ましくはそれらからなる混合物にも言及する。
(a) - 本発明による1種以上のトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、及び/又は
- 本発明による1種以上のトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、
(b) - 1種以上の有機溶媒
を含む、好ましくはそれらからなる混合物にも言及する。
好ましくは本発明の混合物は、ハロゲン化物イオンを実質的に含まず、好ましくは含まない。
本発明に関連して、対象(例えば化合物、材料等)を「実質的に含まない」という用語は、前記対象が、本発明の意図した目的に影響を与えず、全く存在しない、又はきわめてわずかな、また妨げにならない量(規模)で(まで)しか存在しないことを表す。例えば、そのような対象は、例えば回避できない不純物として、意図せず添加又は利用されることがある。「実質的に含まない」は、好ましくは、混合物の総質量に対して(前記混合物について定義されている場合)、0(ゼロ)ppmから50ppm、好ましくは0ppmから25ppm、より好ましくは0ppmから10ppm、より一層好ましくは0ppmから5ppm、最も好ましくは0ppmから1ppmを表す。0ppmは、それぞれの対象が全く含まれないことを表し、これが最も好ましい。この原理は、本発明の他の態様、例えば本発明の保存溶液(以下の文を参照されたい)及び本発明のワーキング溶液(やはり以下の文を参照されたい)に同じく当てはまる。
前記混合物において、本発明のトリアジンシラン化合物及び本発明のオリゴマーを合わせたすべての合計量は、前記混合物の総質量に対して5wt.-%から30wt.-%の範囲であり、好ましくは、8wt.-%から28wt.-%の範囲であり、より好ましくは、12wt.-%から26wt.-%の範囲であり、より一層好ましくは、15wt.-%から24wt.-%の範囲であり、最も好ましくは、17wt.-%から22wt.-%の範囲である、本発明の混合物が好ましい。好ましくは、混合物は、本発明によらない、他の任意のトリアジンシラン化合物及びトリアジンシランオリゴマーをそれぞれ実質的に含まない、好ましくは含まない。
前記混合物が、水を実質的に含まない、好ましくは含まない、本発明の混合物がきわめて好ましい。したがって、本発明による1種以上のトリアジンシラン化合物が、-SiOH基を実質的に含まない、好ましくは含まない、本発明の混合物が好ましい。
1種以上の有機溶媒が、アセトン、1,3-ジオキソラン、アセトニトリル、1,4-ジオキサン、メタノール、エタノール、1-プロパノール、2-プロパノール、t-ブタノール、プロパ-2-エン-1-オール、乳酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、N,N-ジメチルホルムアミド、2-ブトキシエタノール、ジ(プロピレングリコール)メチルエーテル、テトラヒドロフルフリルアルコール、N-メチル-2-ピロリドン、2-(2-メトキシエトキシ)エタノール、ガンマ-ブチロラクトン、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、イプシロン-カプロラクトン、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、テトラヒドロチオフェン-1-オキシド、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン、スルホラン、グリセロール及びそれらの混合物からなる群から選択される溶媒を含む、本発明の混合物が好ましい。
1種以上の有機溶媒が、メタノール、エタノール、1-プロパノール、2-プロパノール、t-ブタノール、ジ(プロピレングリコール)メチルエーテル、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択される溶媒を含む、本発明の混合物がきわめて好ましい。
いくつかのケースでは、1種以上の有機溶媒が、グリコールエーテルからなる群から選択される、好ましくはジ(プロピレングリコール)メチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択される溶媒を含む、本発明の混合物がきわめて好ましい。
本発明に関連して、上記で定義されている本発明の混合物は、好ましくは、それぞれの合成手順、例えば本発明の合成方法(更なる詳細については、以下を参照されたい)の直接的な結果である。
更に、本発明によるすべてのトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、及び本発明によるすべてのトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)が、前記混合物に少なくとも1個のケイ素原子を含むすべての化合物の少なくとも51mol-%に相当し、好ましくは少なくとも60mol-%に相当し、より好ましくは少なくとも70mol-%に相当し、最も好ましくは少なくとも80mol-%に相当し、更に最も好ましくは少なくとも90mol-%に相当する、本発明による混合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)が好ましい。前述のものは、好ましくは、本発明の保存溶液(以下の文を参照されたい)及び本発明のワーキング溶液(以下の文を参照されたい)それぞれに、同じく当てはまる。
本発明は、
(a) - 本発明による1種以上のトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、及び
- 任意選択で、本発明による1種以上のトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、
(b) - 任意選択で水、
(c) - 1種以上の水混和性有機溶媒
を含む保存溶液であり、但し、水が存在する場合、pHが9以上である、保存溶液にも言及する。
(a) - 本発明による1種以上のトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、及び
- 任意選択で、本発明による1種以上のトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、
(b) - 任意選択で水、
(c) - 1種以上の水混和性有機溶媒
を含む保存溶液であり、但し、水が存在する場合、pHが9以上である、保存溶液にも言及する。
好ましくは本発明の保存溶液は、ハロゲン化物イオンを実質的に含まない、好ましくは含まない。いくつかのケースでのみ、ハロゲン化物イオンを意図的に添加することにより、好ましくは塩化物イオンを意図的に添加することにより、ハロゲン化物イオンが存在することが好ましい。
溶液において、本発明によるすべてのトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)及び本発明によるすべてのトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)を合わせた合計量が、保存溶液の総質量に対して、0.2wt.-%から30wt.-%の範囲であり、好ましくは、0.5wt.-%から28wt.-%の範囲であり、より好ましくは、0.7wt.-%から25wt.-%の範囲であり、より一層好ましくは、0.8wt.-%から22wt.-%の範囲であり、最も好ましくは、0.9wt.-%から20wt.-%の範囲である、本発明の保存溶液が好ましい。
上に記載されている保存溶液は、任意選択で水を含有する。保存溶液がアルカリ性であり(wherein in the storage solution is alkaline)、水が、保存溶液の総質量に対して、10wt.-%から80wt.-%の範囲の、好ましくは15wt.-%から78wt.-%の範囲の、より好ましくは20wt.-%から76wt.-%の範囲の、より一層好ましくは33wt.-%から74wt.-%の範囲の、最も好ましくは38.6wt.-%から70wt.-%の範囲の合計量で存在する、本発明の保存溶液が好ましい。
保存溶液は、1種以上の水混和性有機溶媒を含有する。そのような有機溶媒は、それぞれのトリアジンシラン化合物及びそのオリゴマーの必要性とされる可溶性を、特に、それらが相対的により高い濃度(例えば15wt.-%まで、及びおよそ15wt.-%、上記の文を参照されたい)で存在する場合に促進する。したがって、前記溶液において、1種以上の水混和性有機溶媒が、保存溶液の総質量に対して、5wt.-%から89.5wt.-%の範囲の、好ましくは10wt.-%から84.2wt.-%の範囲の、より好ましくは14wt.-%から79wt.-%の範囲の、より一層好ましくは18wt.-%から65.5wt.-%の範囲の、最も好ましくは24wt.-%から59wt.-%の範囲の合計量で存在する本発明の保存溶液が好ましい。
多くのケースでは、水の総質量が、すべての水混和性有機溶媒の総質量より少ない、本発明の保存溶液が好ましい。
上記で言及されているように、前記保存溶液は、水が存在する場合、アルカリ性である。本発明に関連して、これは、pHが9以上であることを意味する。溶液が、9.6以上のpHを有し、好ましくはpHが、10.5から14の範囲であり、より好ましくはpHが、11から14の範囲であり、最も好ましくはpHが、12から14の範囲である、本発明の保存溶液が好ましい。pHが、pH9を著しく下回る場合、トリアジンシラン化合物及びそのオリゴマーの可溶性は、望ましくない沈殿点までにさえ低下する。酸性pHは、本発明のトリアジンシラン(silane triazine)化合物及びその対応するオリゴマーの濃度が相対的に高い多くのケースにおいて、そのようなpHで沈殿が観察されたため、保存目的に好適ではない。WO2019/243180から、アゾールシランでは、pHが13を著しく上回る場合、アゾールシラン化合物の望ましくない相分離及び分解が頻繁に観察されることが公知である。対照的に、このトリアジンシラン溶液は、高いpH値で良好な相安定性を呈する。
更に、このトリアジンシラン溶液は、良好な安定性を呈し、すなわち、広範な温度ウィンドウで相分離及び分解を呈さない。詳細には、そのような溶液は、-5℃から50℃で安定である。
本発明に関連して、pHは、25℃の温度を基準としている。
本発明のアルカリ性保存溶液において、アルカリ性pHは、好ましくは少なくとも1種のアルカリ性水酸化物を利用することにより、最も好ましくは水酸化ナトリウムを利用することにより得られる。
アルカリ性pHは、保存溶液において、相対的に高い濃度の前記トリアジンシラン化合物及びそのオリゴマーをそれぞれ可能にするだけではない。これにより、モノマー状態の本発明のトリアジンシラン化合物が更に堅固に維持され、本発明のトリアジンシランオリゴマーの形成が著しく低下する。しかし、そのようなオリゴマーが本発明のアルカリ性保存溶液中で形成される場合、これは、典型的には迅速に加水分解されて、アルカリ性pHのため、モノマー形態を形成する。本発明の保存溶液では、これが望ましい。
前記溶液において、本発明によるすべてのトリアジンシラン化合物の総質量が、本発明によるすべてのトリアジンシランオリゴマーの総質量より高い、本発明の保存溶液が好ましい。
いくつかのケースでは、本発明によるすべてのトリアジンシラン化合物の総質量の少なくとも80wt.-%で、好ましくは少なくとも90wt.-%で、最も好ましくは少なくとも95wt.-%でZがHであり、pが0である、本発明の保存溶液が好ましい。これは、保存溶液において、トリアジンシラン化合物が、SiOH-基を含むその加水分解形態に最も存在することを意味する。
上記で言及されている保存溶液は、詳細には、本発明の1種以上のトリアジンシラン化合物を運搬及び/又は保存するのに好適である。しかし、例えば、電子部品の製造における表面処理液として、前記化合物を利用するために、それぞれのワーキング溶液が好ましい。したがって、本発明は、2から14の範囲のpHを有するワーキング溶液に更に関し、
溶液は、
(a) - 本発明による1種以上のトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、及び/又は
- 本発明による1種以上のトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、
(b) - 任意選択で水、
(c) - 1種以上の水混和性有機溶媒を含み、
前記ワーキング溶液において、本発明によるすべてのトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)及び本発明によるすべてのトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)を合わせた合計量は、ワーキング溶液の総質量に対して、10wt.-%以下である。
溶液は、
(a) - 本発明による1種以上のトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、及び/又は
- 本発明による1種以上のトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、
(b) - 任意選択で水、
(c) - 1種以上の水混和性有機溶媒を含み、
前記ワーキング溶液において、本発明によるすべてのトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)及び本発明によるすべてのトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)を合わせた合計量は、ワーキング溶液の総質量に対して、10wt.-%以下である。
本発明のワーキング溶液が特に好ましいが、但し、前記ワーキング溶液は、本発明による少なくとも1種のトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)を含む。これは、新たに調製したワーキング溶液で特に好ましい。
上記の用語「10wt.-%以下」は、0wt.-%を含まない。これは、前記合計量が常に>0wt.-%、好ましくは少なくとも0.1wt.-%であることを意味する。
前記ワーキング溶液において、本発明によるすべてのトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)及び本発明によるすべてのトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)を合わせた合計量が、ワーキング溶液の総質量に対して、0.1wt.-%から6wt.-%の範囲であり、好ましくは、0.2wt.-%から5wt.-%の範囲であり、より好ましくは、0.3wt.-%から4wt.-%の範囲であり、より一層好ましくは0.4wt.-%から3.7wt.-%の範囲であり、最も好ましくは、0.5wt.-%から3.5wt.-%の範囲である、本発明のワーキング溶液が好ましい。
独自の実験により、本発明による1種以上のトリアジンシラン化合物、及び本発明による1種以上のトリアジンシランオリゴマーの個々の存在は、経時的に変動することが示された。新たに調製したワーキング溶液では、典型的には、本発明のトリアジンシラン化合物の総質量は、本発明のトリアジンシランオリゴマーの総質量より高い。しかし、経時的にワーキング溶液を利用すると、場合により、前記トリアジンシランオリゴマーの総質量が、前記トリアジンシラン化合物の総質量より高くなる時点までさえ、前記トリアジンシランオリゴマーの総質量が大幅に増加する。更に、本発明のワーキング溶液の取扱いは、前記化合物及びオリゴマーの総質量それぞれにも影響を与える。例えば、ワーキング溶液利用中の著しいドラッグアウト(drag out)及び対応する新たなワーキング溶液の補給は、典型的には、トリアジンシラン化合物vs.トリアジンシランオリゴマーに関して定常状態を引き起こす。
最も好ましくは、本発明のワーキング溶液は、
- 本発明による1種以上のトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、及び
- 本発明による1種以上のトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)を含む。したがって、少なくとも1種の化合物及び少なくとも1種のオリゴマーを含むそれぞれのワーキング溶液が、最も好ましい。
- 本発明による1種以上のトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、及び
- 本発明による1種以上のトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)を含む。したがって、少なくとも1種の化合物及び少なくとも1種のオリゴマーを含むそれぞれのワーキング溶液が、最も好ましい。
本発明のワーキング溶液は、2から14の範囲のpHを有する。pHが、3から14の範囲の、より好ましくは4.0から13.5の範囲の本発明のワーキング溶液が好ましい。
前記溶液において、水が、ワーキング溶液の総質量に対して、5wt.-%から90wt.-%の範囲の合計量で、好ましくは10wt.-%から85wt.-%の範囲の合計量で、より好ましくは15wt.-%から80wt.-%の範囲の合計量で存在する、本発明のワーキング溶液が好ましい。
本発明のトリアジンシラン化合物及び本発明のトリアジンシランオリゴマーを、本発明のワーキング溶液に十分に可溶化するために、1種以上の水混和性有機溶媒が存在する。前記溶液において、1種以上の水混和性有機溶媒が、ワーキング溶液の総質量に対して、5wt.-%から90wt.-%の範囲の合計量で、好ましくは10wt.-%から85wt.-%の範囲の合計量で、より好ましくは15wt.-%から80wt.-%の範囲の合計量で存在する、本発明のワーキング溶液が好ましい。
上記で言及されているように、本発明に関連して、本発明のトリアジンシラン化合物並びに本発明のトリアジンシランオリゴマーは、最初に、ハロゲン化物を含まない。これは、一方では、ハロゲン原子を含有する遊離体が利用されないので、前記化合物及びオリゴマーがそれ自体、ハロゲン化物原子をそれぞれ含まないこと、また一方では、ハロゲン化物イオンが直近の合成環境に存在しないことを意味する。しかし、いくつかのケースでは、本発明のワーキング溶液は、正確に定義された量のハロゲン化物イオンを含むことが好ましい。したがって、いくつかのケースでは、
(d) - ハロゲン化物イオン、好ましくは塩化物イオンを更に含む本発明のワーキング溶液が好ましい。
(d) - ハロゲン化物イオン、好ましくは塩化物イオンを更に含む本発明のワーキング溶液が好ましい。
しかし、他のケースでは、本発明のワーキング溶液は、塩化物イオンを実質的に含まない、好ましくは含まないことが好ましく、より好ましくはハロゲン化物イオンを実質的に含まない、好ましくは含まない。
1種以上の水混和性有機溶媒は、本発明の保存溶液及び本発明のワーキング溶液の両方に存在する。1種以上の水混和性有機溶媒が、C1からC4アルコール、エーテル、グリコールエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、好ましくは
- C1からC3アルコール、
- 環状及び非環状エーテル、例えばジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、1,4-ジオキサン及びそれらの混合物、好ましくは1,4-ジオキサン、テトラヒドロフラン及びそれらの混合物、
- HO-(CH2-CH2-O)p-T
(式中、
pは、1、2、3又は4、好ましくは1又は2であり、
Tは、C1からC5アルキル、好ましくはC3からC5アルキルを表す)、
及びそれらの混合物からなる群から選択され、より好ましくは
メタノール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、より一層好ましくは
ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択される水混和性有機溶媒を含む、本発明による保存溶液(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、又は、本発明によるワーキング溶液(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)が好ましい。
- C1からC3アルコール、
- 環状及び非環状エーテル、例えばジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、1,4-ジオキサン及びそれらの混合物、好ましくは1,4-ジオキサン、テトラヒドロフラン及びそれらの混合物、
- HO-(CH2-CH2-O)p-T
(式中、
pは、1、2、3又は4、好ましくは1又は2であり、
Tは、C1からC5アルキル、好ましくはC3からC5アルキルを表す)、
及びそれらの混合物からなる群から選択され、より好ましくは
メタノール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、より一層好ましくは
ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択される水混和性有機溶媒を含む、本発明による保存溶液(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、又は、本発明によるワーキング溶液(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)が好ましい。
上記で定義されている水混和性有機溶媒は、本発明の合成方法に同じく当てはまる(以下の文を参照されたい)。
各ケースでは、グリコールエーテルは、アルコールより好ましい。グリコールエーテルにより、典型的には、前記アルコールと比較して改善した安定化が得られる。更に、アルコールは一般に、グリコールエーテルと比較して低引火点を呈し、このため、火災危険の観点からアルコールは潜在的に危険となる。相対的に高い引火点は、発火を防止するために通常望ましい。したがって、グリコールエーテルは、典型的には望ましい可溶性、安定性及び安全性を示す。この原理は、好ましくは、本発明の混合物、本発明の保存溶液及び本発明の合成方法に同じく当てはまる(以下の文を参照されたい)。
本発明によるすべてのトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)及び本発明によるすべてのトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)が、前記保存溶液及び前記ワーキング溶液それぞれにおける、すべてのトリアジンシラン化合物及びオリゴマーの総質量の少なくとも70wt.-%に相当し、好ましくは少なくとも80wt.-%に相当し、より好ましくは少なくとも90wt.-%に相当し、より一層好ましくは少なくとも93wt.-%に相当し、最も好ましくは少なくとも95wt.-%に相当し、更に最も好ましくは少なくとも98wt.-%に相当する、本発明による保存溶液(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、又は本発明によるワーキング溶液(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)が好ましい。本発明によるものを除き、他のトリアジンシラン化合物、又はオリゴマーは存在しないことが最も好ましい。これは、トリアジンシラン化合物及びトリアジンシランオリゴマーを合わせた絶対合計量(正に上記の文で定義されている)が、きわめて好ましくは該当するが、但し、他のトリアジンシラン化合物及びトリアジンシランオリゴマーが、本発明の保存溶液及び本発明のワーキング溶液にそれぞれ存在しないことを意味する。
本発明によるすべてのトリアジンシラン化合物(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)及び本発明によるすべてのトリアジンシランオリゴマー(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)が、前記保存溶液及び前記ワーキング溶液それぞれにおいて、少なくとも1個のケイ素原子を含むすべての化合物の少なくとも51mol-%に相当し、好ましくは少なくとも60mol-%に相当し、より好ましくは少なくとも70mol-%に相当し、最も好ましくは少なくとも80mol-%に相当し、更に最も好ましくは少なくとも90mol-%に相当する、本発明による保存溶液(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)、又は本発明によるワーキング溶液(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)が更に好ましい。
本発明は、式(II)のトリアジンシラン化合物のための合成方法にも関する。
式(II)
(式中、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Zは、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Zは、
からなる群から選択され、
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物のための合成方法であって、
(i)式(III)
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物のための合成方法であって、
(i)式(III)
(式中、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
mは2から12の範囲の整数である)
の化合物を得る工程、
(ii)以下の群から選択されるシラン化合物
(ii-a)式(IV)のシラン化合物
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
mは2から12の範囲の整数である)
の化合物を得る工程、
(ii)以下の群から選択されるシラン化合物
(ii-a)式(IV)のシラン化合物
、及び
(ii-b)式(V)のシラン化合物
OCN-(CH2)n-Si(OR)3
(V)
(式(IV)又は(V)において
Rは、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、C1からC5アルキルを表し、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数である)
を得る工程、
(iii)溶媒中で、式(III)の前記中間体を前記シラン化合物と反応させ、その結果、上記で定義されている式(II)の化合物が生じる工程、並びに
(iv)任意選択で、工程(iii)で得られた式(II)の化合物を加水分解し、その結果、Rの少なくとも1つが(CH2-CH2-O)m-Zであり、m=0及びZ=Hである工程
を含む、合成方法。
(ii-b)式(V)のシラン化合物
OCN-(CH2)n-Si(OR)3
(V)
(式(IV)又は(V)において
Rは、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、C1からC5アルキルを表し、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数である)
を得る工程、
(iii)溶媒中で、式(III)の前記中間体を前記シラン化合物と反応させ、その結果、上記で定義されている式(II)の化合物が生じる工程、並びに
(iv)任意選択で、工程(iii)で得られた式(II)の化合物を加水分解し、その結果、Rの少なくとも1つが(CH2-CH2-O)m-Zであり、m=0及びZ=Hである工程
を含む、合成方法。
本発明のトリアジンシラン化合物(好ましくは、好ましいと記載されている)に関して、例えばきわめて好ましい本発明のトリアジンシラン化合物に関して、上記で言及されているものは、好ましくは、本発明の合成方法に同じく当てはまる。
工程(i)で得られる式(III)の化合物の合成は、文献で公知である。
式(III)
の化合物の合成は、好ましくは、以下の工程
(A-i)式(IX)
(A-i)式(IX)
(式中、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
oは2から12の範囲の整数であり、
Halは、Cl、Br及びIから選択され、好ましくは、HalはClである)
のトリアジン化合物を得る工程、
(A-ii)ジアミンH2N(CH2)mNH2を得る工程、
(A-iii)溶媒中で前記トリアジン化合物を、前記ジアミンと反応させ、その結果、式(III)
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
oは2から12の範囲の整数であり、
Halは、Cl、Br及びIから選択され、好ましくは、HalはClである)
のトリアジン化合物を得る工程、
(A-ii)ジアミンH2N(CH2)mNH2を得る工程、
(A-iii)溶媒中で前記トリアジン化合物を、前記ジアミンと反応させ、その結果、式(III)
の中間体が生じる工程、
(A-iv)任意選択で、式(III)の中間体を単離/精製する工程
を含む。
(A-iv)任意選択で、式(III)の中間体を単離/精製する工程
を含む。
好ましい合成は、式(IIIa)
の化合物の合成であり、これは、以下の工程
(A-i)式(IXa)
(A-i)式(IXa)
のトリアジン化合物を得る工程、
(A-ii)ジアミンH2N(CH2)4NH2、すなわち1,4-ジアミノブタンを得る工程、
(A-iii)溶媒中で前記トリアジン化合物を、前記ジアミンと反応させ、その結果、式(IIIa)
(A-ii)ジアミンH2N(CH2)4NH2、すなわち1,4-ジアミノブタンを得る工程、
(A-iii)溶媒中で前記トリアジン化合物を、前記ジアミンと反応させ、その結果、式(IIIa)
の化合物が生じる工程、
(A-iv)任意選択で、式(IIIa)の中間体を単離/精製する工程
を含む。
(A-iv)任意選択で、式(IIIa)の中間体を単離/精製する工程
を含む。
工程(iv)は、任意選択であり、本発明の方法の工程(iii)で得られた化合物を加水分解するために、少なくとも多少の水の存在を含む。好ましくは、そのような水は、工程(iii)の後に、追加の工程、例えば工程(iv)で添加される。そのような化合物が望ましい場合(m=0及びZ=H)、工程(iv)は任意選択ではない。
工程(iii)において、溶媒が、有機溶媒を含み、より好ましくは、1種以上の有機溶媒であり、最も好ましくは、1種以上の水混和性有機溶媒である、本発明の合成方法がきわめて好ましい。
多くのケースでは、工程(iii)において、溶媒が、C1からC4アルコール、グリコールエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、
好ましくは
- C1からC3アルコール、
- HO-(CH2-CH2-O)p-T
(式中、
pは、1、2、3又は4であり、好ましくは1又は2であり、
Tは、C1からC5アルキル、好ましくはC3からC5アルキルを表す)、
及びそれらの混合物からなる群から選択され、より好ましくは
メタノール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、より一層好ましくは
ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択される、1種以上の溶媒である、本発明の合成方法が好ましい。
好ましくは
- C1からC3アルコール、
- HO-(CH2-CH2-O)p-T
(式中、
pは、1、2、3又は4であり、好ましくは1又は2であり、
Tは、C1からC5アルキル、好ましくはC3からC5アルキルを表す)、
及びそれらの混合物からなる群から選択され、より好ましくは
メタノール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、より一層好ましくは
ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択される、1種以上の溶媒である、本発明の合成方法が好ましい。
一般的に、グリコールエーテルは、上記で定義されているアルコールより好ましい(理由については、上記の文を参照されたい)。したがって、本発明の合成方法のそれぞれは好ましい。
工程(iii)において、溶媒が、水を実質的に含まず、好ましくは含まない、本発明の合成方法(詳細には以前に記載されている)が好ましい。
好ましくは、工程(iii)において、溶媒が、1種以上の有機溶媒であり、本発明の方法の工程(iii)の後で、本発明による混合物が得られる(混合物については、上記の文を参照されたい)。本発明の混合物に関して前述のものは、本発明の合成方法に同じく当てはまる。
式(III)の化合物の、式(IV)又は(V)の化合物に対する合計モル比が、1:0.7から1:1.3の範囲、好ましくは1:0.80から1:1.2の範囲、より好ましくは1:0.9から1:1.2の範囲、最も好ましくは1:0.95から1:1.05の範囲である、本発明の合成方法が好ましい。合計モル比が1:1.3より著しく高い場合、合成生成物は、十分に安定ではない。合計モル比が1:0.7より著しく低い場合、未反応の遊離体が合成生成物に多く存在しすぎ、望ましい化学種は、トリアジン及びシラン部分を含むトリアジンシラン化合物であるため、これは望ましくない。この原理は、好ましくは本発明の混合物、本発明の保存溶液及び本発明のワーキング溶液に同じく当てはまる。
工程(iii)において、温度が、50℃から90℃の範囲、好ましくは60℃から85℃の範囲である、本発明の合成方法が好ましい。
工程(i)において、式(III)のトリアジン化合物が懸濁液として得られる、本発明の合成方法が好ましい。これは、少なくとも1種の溶媒中で、式(III)のトリアジン化合物を懸濁し、その結果、前記トリアジン化合物及び前記少なくとも1種の溶媒が、前記懸濁液を形成することが好ましいと意味する。そのため、少なくとも1種の溶媒が、1種以上の有機溶媒であり、好ましくは1種以上の水混和性有機溶媒であることが好ましい。きわめて好ましくは、前記懸濁液を形成するために利用される少なくとも1種の溶媒は、工程(iii)に利用される溶媒と同一である。最も好ましくは、式(III)のトリアジン化合物は、C1からC4アルコール、グリコールエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、好ましくは
- C1からC3アルコール、
- 環状及び非環状エーテル、例えばジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、1,4-ジオキサン及びそれらの混合物、好ましくは1,4-ジオキサン、テトラヒドロフラン及びそれらの混合物、
- HO-(CH2-CH2-O)p-T
(式中、
pは、1、2、3又は4であり、好ましくは1又は2であり、
Tは、C1からC5アルキル、好ましくはC3からC5アルキルを表す)、
並びにそれらの混合物からなる群から選択され、より好ましくは
メタノール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、最も好ましくは
ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択される、1種以上の溶媒中で懸濁される。
- C1からC3アルコール、
- 環状及び非環状エーテル、例えばジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、1,4-ジオキサン及びそれらの混合物、好ましくは1,4-ジオキサン、テトラヒドロフラン及びそれらの混合物、
- HO-(CH2-CH2-O)p-T
(式中、
pは、1、2、3又は4であり、好ましくは1又は2であり、
Tは、C1からC5アルキル、好ましくはC3からC5アルキルを表す)、
並びにそれらの混合物からなる群から選択され、より好ましくは
メタノール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、最も好ましくは
ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択される、1種以上の溶媒中で懸濁される。
工程(iii)において、反応させる工程を、1時間から48時間、好ましくは3時間から30時間、より好ましくは5時間から24時間実行する、本発明の合成方法が好ましい。
本発明は、上記で言及されている本発明のワーキング溶液(本文全体に記載されている、好ましくは、好ましいと記載されている)の、好ましくは金属表面及び/又は有機材料の表面を処理するための表面処理液としての、特定の使用にも関する。好ましくは金属表面及び有機材料の両方が、電子部品の製造に含まれる。
本発明による方法のため、金属と有機材料との間における接着強度(例えば剥離強度)は、いかなるエッチングクリーニング工程も使用せずに増大し得る。しかし一部のケース、とりわけ金属表面の表面粗さが、回路の品質に影響を与えないケースは、更なるエッチングクリーニング工程が行われ得る。このケースでは、金属と有機材料との間における接着強度は、更に一層増大し得る。
工程(ii)における接触させる工程は、浸漬塗布として適用され得る。浸漬塗布は、溶液が、銅、銅合金又は酸化銅が浸漬される浴の形態で用意されることを意味する。
代替として、工程(ii)は、噴霧塗布として適用され得る。噴霧塗布は、溶液が、噴霧ディスペンサー中に移され、次いで銅、銅合金又は酸化銅に噴霧されることを意味する。
代替として、工程(ii)は、コーティング塗布、例えばバーコーティング、スピンコーティング及びカーテンコーティングとして適用され得る。
本発明による方法は、好ましくは、5℃から60℃、より好ましくは10℃から40℃、より一層好ましくは20℃から30℃の温度にて行われる。
本発明による方法であって、工程(ii)を実施する前に、以下の工程:(i-a)前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、エッチングクリーニング溶液、好ましくは1種以上の酸及び/又は1種以上の酸化剤を含有するエッチングクリーニング溶液、より好ましくは無機酸及び過酸化物の混合物(好ましくは硫酸及び過酸化水素の混合物)を含有するエッチングクリーニング溶液と接触させる工程を更に含む、方法が好ましい。
本発明によれば、これは、酸化剤が過酸化物である場合、より好ましくは過酸化物が過酸化水素である場合、好ましい。
本発明によれば、これは、エッチングクリーニング溶液が、酸及び/又は1種以上の酸化剤に加えて、腐食防止剤を含む場合、好ましい。
本発明による方法であって、工程(ii)を実施する前に以下の工程:(i-b)前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、(好ましくは第2の)エッチングクリーニング溶液と接触させる工程を更に含む、方法が好ましい。工程(i-a)の後で工程(i-b)を実行するケースでは、使用されるエッチングクリーニング溶液は、第2のエッチングクリーニング溶液である。以前のエッチングクリーニング工程なしで工程i-bを実行するケースでは、使用されるエッチングクリーニング溶液は、第1のエッチングクリーニング溶液である。
本発明によれば、第2のエッチングクリーニング溶液は、鉄(III)塩又は鉄(III)錯体を含み、より好ましくは、第2のエッチングクリーニング溶液は、硫酸鉄(III)(Fe2(SO4)3)、塩化鉄(III)(FeCl3)、臭化鉄(III)(FeBr3)、硝酸鉄(III)(Fe(NO3)3)、酢酸鉄(III)(Fe(OC(O)CH3)3)、(Fe(OH)3)、又はそれらの混合物を含み、より一層好ましくは第2のエッチングクリーニング溶液は、硫酸鉄(III)(Fe2(SO4)3)を含む。第二鉄イオンは、好ましくは、1から100g/l、好ましくは1から50g/l、より好ましくは1から30g/lの範囲の濃度で含有される。
代替として、本発明によれば、第2のエッチングクリーニング溶液は、無機酸を含み、より好ましくは第2のエッチングクリーニング溶液は、硫酸、塩酸又はそれらの混合物を含み、より一層好ましくは、第2のエッチングクリーニング溶液は、硫酸を含む。
本発明によれば、第2のエッチングクリーニング溶液は、好ましくは鉄(III)塩又は鉄(III)錯体に加えて、酸、好ましくは硫酸を含む。
本発明によれば、典型的な金属、金属合金又は金属酸化物の除去は、工程i-a中に2μm未満であり、好ましくは、除去は、0.1μmから1.5μmのものであり、より好ましくは、除去は、0.2μmから1.2μmのものであり、より一層好ましくは、除去は、0.4μmから1.1μmのものであり、最も好ましくは、除去は、0.5μmから1.0μmのものであり、生じた平均の表面粗さRaは、最高で100nmである。
本発明によれば、典型的な金属、金属合金又は金属酸化物の除去は、工程i-b中に、20nm未満であり、生じた平均表面粗さRaは、最大10nm、好ましくは、最大5nmである。
本発明による方法であって、工程(ii)を実施する前に以下の工程:(i-c)前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、溶液、好ましくは水酸化ナトリウム溶液と接触させる工程を更に含む、方法が好ましい。これは、溶液が金属錯化剤を含有する場合、好ましい。
本発明のいくつかの実施形態では、これは、工程i-cに使用される溶液が、亜塩素酸ナトリウムを更に含有する場合、好ましい。工程i-cに使用される溶液における、亜塩素酸ナトリウムの使用は、工程i-bにおいて、鉄(III)塩若しくは鉄(III)錯体が使用されない場合、又は本発明による方法中、工程i-bが行われない場合、とりわけ好ましい。
工程(i-a)、(i-b)及び(i-c)の順序は、変動し得る。本発明による方法は、以下の順序:(i-a)、(i-b)、(i-c)又は(i-a)、(i-c)、(i-b)又は(i-b)、(i-a)、(i-c)又は(i-b)、(i-c)、(i-a)又は(i-c)、(i-a)、(i-b)又は(i-c)、(i-b)、(i-a)で実行され得る。順序(i-a)、(i-b)、(i-c)が好ましい。本発明による方法において、工程(i-a)、(i-b)、(i-c)の1つも行われない、それらの1つ又は2つが行われることも可能である。
工程(iii)で適用される有機材料が有機ポリマーである、本発明による方法が好ましい。
工程(iii)で適用される有機材料が、有機材料を、金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも接触した箇所に積層することによるものである、本発明による方法が好ましい。
工程(iii)の後で、追加の工程:(iv)基材及び有機材料に、142℃から420℃の範囲の、好ましくは145℃から300℃の範囲の、より好ましくは150℃から220℃の範囲の温度で熱処理を施す工程を含む、本発明による方法が好ましい。
工程(ii)の後で、工程(i-a)の後で、工程(i-b)の後で及び/又は工程(i-c)の後で、金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部をすすぐ工程が行われ、金属、金属合金又は金属酸化物が、好ましくは水ですすがれる、本発明による方法が好ましい。これは、工程(ii)の後で、すすぐ工程中に使用される水が、4から10の範囲の、好ましくは5から9の範囲の、より好ましくは6から8の範囲の、最も好ましくは6.5から7.5の範囲のpH-値を有する場合、好ましい。
工程(ii)の後で、工程(i-a)の後で、工程(i-b)の後で及び/又は工程(i-c)の後で、金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を乾燥させる工程が行われる、本発明による方法が好ましい。
金属、金属合金又は金属酸化物が、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、スズ、鉄、銀、金、前述の金属の少なくとも1種を含む合金(又は前述の金属のみを含む合金)、又は前述の金属の少なくとも1種の金属酸化物である、本発明による方法が好ましい。金属が銅であり、金属合金が銅を含有し、金属酸化物が酸化銅である、又はそれを含有する、本発明による方法がとりわけ好ましい。
本発明による方法であって、以下の工程:
(i)基材を用意し、基材が少なくとも1つの面に金属、金属合金又は金属酸化物を含む工程、
(i-a)任意選択で前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、エッチングクリーニング溶液、好ましくは1種以上の酸及び/又は1種以上の酸化剤を含有するエッチングクリーニング溶液、より好ましくは無機酸及び過酸化物の混合物を含有するエッチングクリーニング溶液と接触させる工程、並びに任意選択で、続いて金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部をすすぐ工程、
(i-b)任意選択で前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、第2のエッチングクリーニング溶液と接触させ、第2のエッチングクリーニング溶液が、好ましくは硫酸鉄(III)及び/又は硫酸を含む工程、並びに任意選択で、続いて金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を(好ましくは水で)すすぐ工程、
(i-c)任意選択で前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、アルカリ性溶液と接触させる工程、及び任意選択で、続いて金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を(好ましくは水で)すすぐ工程、
(ii)前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、
A)式(I)
(i)基材を用意し、基材が少なくとも1つの面に金属、金属合金又は金属酸化物を含む工程、
(i-a)任意選択で前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、エッチングクリーニング溶液、好ましくは1種以上の酸及び/又は1種以上の酸化剤を含有するエッチングクリーニング溶液、より好ましくは無機酸及び過酸化物の混合物を含有するエッチングクリーニング溶液と接触させる工程、並びに任意選択で、続いて金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部をすすぐ工程、
(i-b)任意選択で前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、第2のエッチングクリーニング溶液と接触させ、第2のエッチングクリーニング溶液が、好ましくは硫酸鉄(III)及び/又は硫酸を含む工程、並びに任意選択で、続いて金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を(好ましくは水で)すすぐ工程、
(i-c)任意選択で前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、アルカリ性溶液と接触させる工程、及び任意選択で、続いて金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を(好ましくは水で)すすぐ工程、
(ii)前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、
A)式(I)
(式中、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Eは、-S-及び-NH-(CH2)m-NH-からなる群から選択され、
Zは、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Eは、-S-及び-NH-(CH2)m-NH-からなる群から選択され、
Zは、
からなる群から選択され、
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物、
並びに/又は
B)水の存在下で、式(I)のトリアジンシラン化合物を、トリアジンシランオリゴマーが少なくとも1つのケイ素-酸素-ケイ素部分を含むように、互いに反応させることによって得られるトリアジンシランオリゴマーであり、トリアジンシランオリゴマーを形成する反応に使用される式(I)の化合物において、
Xが、H、CH3、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、NH(NHU)、SH、SCH3、OCH3、NHU又はSUを表し、
Oが2から12の範囲の整数であり、
Y及びUが、上記で示されている意味を有する、
トリアジンシランオリゴマー
と接触させ、
任意選択で、続いて金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を(好ましくは水で)すすぐ工程、
(iii)有機材料を適用し、その結果、工程(ii)の間に、トリアジンシラン化合物及び/又はトリアジンシランオリゴマーと接触した金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、適用された有機材料と接触させる工程、並びに
(iv)任意選択で、基材及び有機材料に、142℃から420℃の範囲の、好ましくは145℃から300℃の範囲の、より好ましくは150℃から220℃の範囲の温度で熱処理を施す工程
をこの順で含む、方法が、とりわけ好ましく、
好ましくは、金属は銅であり、金属合金は銅を含有し、金属酸化物は酸化銅であり、又はそれを含有する。
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物、
並びに/又は
B)水の存在下で、式(I)のトリアジンシラン化合物を、トリアジンシランオリゴマーが少なくとも1つのケイ素-酸素-ケイ素部分を含むように、互いに反応させることによって得られるトリアジンシランオリゴマーであり、トリアジンシランオリゴマーを形成する反応に使用される式(I)の化合物において、
Xが、H、CH3、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、NH(NHU)、SH、SCH3、OCH3、NHU又はSUを表し、
Oが2から12の範囲の整数であり、
Y及びUが、上記で示されている意味を有する、
トリアジンシランオリゴマー
と接触させ、
任意選択で、続いて金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を(好ましくは水で)すすぐ工程、
(iii)有機材料を適用し、その結果、工程(ii)の間に、トリアジンシラン化合物及び/又はトリアジンシランオリゴマーと接触した金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、適用された有機材料と接触させる工程、並びに
(iv)任意選択で、基材及び有機材料に、142℃から420℃の範囲の、好ましくは145℃から300℃の範囲の、より好ましくは150℃から220℃の範囲の温度で熱処理を施す工程
をこの順で含む、方法が、とりわけ好ましく、
好ましくは、金属は銅であり、金属合金は銅を含有し、金属酸化物は酸化銅であり、又はそれを含有する。
基材が非導電性基材であり、且つ/又は有機材料が非導電性有機材料、好ましくは非導電性有機ポリマーである、本発明による方法が好ましい。
本発明は、以下の実施形態により記載されている。
A. 式(I)
(式中、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Eは、-S-及び-NH-(CH2)m-NH-からなる群から選択され、
Zは、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Eは、-S-及び-NH-(CH2)m-NH-からなる群から選択され、
Zは、
からなる群から選択され、
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物。
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物。
B. Eが、-NH-(CH2)m-NH-であり、
式(II)
式(II)
(式中、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Zは、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Zは、
からなる群から選択され、
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
の構造を呈する、実施形態Aのトリアジンシラン化合物。
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
の構造を呈する、実施形態Aのトリアジンシラン化合物。
C. X及びYが、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH及びSCH3からなる群から独立して選択され、oが2から12の範囲の整数であり、好ましくはX及びYがNH2である、実施形態AからBのいずれか1つの化合物。
D. 水の存在下で、実施形態AからCのいずれか1つのトリアジンシラン化合物を反応させることにより得られるトリアジンシランオリゴマー。
E. (a) - 実施形態AからCのいずれか1つによる1種以上のトリアジンシラン化合物、及び/又は
- 実施形態Dによる1種以上のトリアジンシランオリゴマー、
(b) - 1種以上の有機溶媒を含む混合物。
- 実施形態Dによる1種以上のトリアジンシランオリゴマー、
(b) - 1種以上の有機溶媒を含む混合物。
F. (a) - 実施形態AからCのいずれか1つによる1種以上のトリアジンシラン化合物、及び
- 任意選択で、実施形態Dによる1種以上のトリアジンシランオリゴマー、
(b) - 任意選択で水、
(c) - 1種以上の水混和性有機溶媒
を含み、但し、水が存在する場合、pHが9以上である、保存溶液。
- 任意選択で、実施形態Dによる1種以上のトリアジンシランオリゴマー、
(b) - 任意選択で水、
(c) - 1種以上の水混和性有機溶媒
を含み、但し、水が存在する場合、pHが9以上である、保存溶液。
G. 溶液において、実施形態AからCのいずれか1つによるすべてのトリアジンシラン化合物、及び実施形態D(embodiment 4)によるすべてのトリアジンシランオリゴマーを合わせた合計量が、保存溶液の総質量に対して、0.2wt.-%から40wt.-%の範囲であり、好ましくは、0.5wt.-%から35wt.-%の範囲であり、より好ましくは、0.7wt.-%から30wt.-%の範囲であり、より一層好ましくは、0.8wt.-%から30wt.-%の範囲であり、最も好ましくは、0.9wt.-%から25wt.-%の範囲である、実施形態Fによる保存溶液。
H. 2から14の範囲のpHを有するワーキング溶液であって、溶液が
(a) - 実施形態AからCのいずれか1つによる1種以上のトリアジンシラン化合物、及び/又は
- 任意選択で、実施形態Dによる1種以上のトリアジンシランオリゴマー、
(b) - 任意選択で水、
(c) - 1種以上の水混和性有機溶媒を含み、
前記ワーキング溶液において、実施形態AからCのいずれか1つによるすべてのトリアジンシラン化合物、及び実施形態Dによるすべてのトリアジンシランオリゴマーを合わせた合計量が、ワーキング溶液の総質量に対して、5wt.-%以下である、ワーキング溶液。
(a) - 実施形態AからCのいずれか1つによる1種以上のトリアジンシラン化合物、及び/又は
- 任意選択で、実施形態Dによる1種以上のトリアジンシランオリゴマー、
(b) - 任意選択で水、
(c) - 1種以上の水混和性有機溶媒を含み、
前記ワーキング溶液において、実施形態AからCのいずれか1つによるすべてのトリアジンシラン化合物、及び実施形態Dによるすべてのトリアジンシランオリゴマーを合わせた合計量が、ワーキング溶液の総質量に対して、5wt.-%以下である、ワーキング溶液。
I. 1種以上の水混和性有機溶媒が、C1からC4アルコール、エーテル、グリコールエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、好ましくは
- C1からC3アルコール、
- ジエチルエーテル、1,4-ジオキサン、テトラヒドロフラン及びそれらの混合物、
- HO-(CH2-CH2-O)p-T
(式中、
pは、1、2、3又は4、好ましくは1又は2であり、
Tは、C1からC5アルキル、好ましくはC3からC5アルキルを表す)、
及びそれらの混合物からなる群から選択され、より好ましくは
メタノール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、より一層好ましくは
ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択される、水混和性有機溶媒を含む、実施形態F若しくはGによる保存溶液、又は実施形態Hによるワーキング溶液。
- C1からC3アルコール、
- ジエチルエーテル、1,4-ジオキサン、テトラヒドロフラン及びそれらの混合物、
- HO-(CH2-CH2-O)p-T
(式中、
pは、1、2、3又は4、好ましくは1又は2であり、
Tは、C1からC5アルキル、好ましくはC3からC5アルキルを表す)、
及びそれらの混合物からなる群から選択され、より好ましくは
メタノール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、より一層好ましくは
ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択される、水混和性有機溶媒を含む、実施形態F若しくはGによる保存溶液、又は実施形態Hによるワーキング溶液。
J. 式(II)
(式中、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、oは、2から12の範囲の整数であり、
Zは、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、oは、2から12の範囲の整数であり、
Zは、
からなる群から選択され、
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物のための合成方法であって、
(i)式(III)
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物のための合成方法であって、
(i)式(III)
の化合物を得る工程、
(ii)以下の群から選択されるシラン化合物
(ii-a)式(IV)のシラン化合物
(ii)以下の群から選択されるシラン化合物
(ii-a)式(IV)のシラン化合物
、及び
(ii-b)式(V)のシラン化合物
OCN-(CH2)n-Si(OR)3
(V)
(式(IV)又は(V)において、
Rは、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、C1からC5アルキルを表し、
nは1から12の範囲の整数である)
を得る工程、
(iii)溶媒中で、式(III)の前記中間体を前記シラン化合物と反応させ、その結果、上記で定義されている式(II)の化合物が生じる工程、及び
(iv)任意選択で、工程(iii)で得られた式(II)の化合物を加水分解し、その結果、Rの少なくとも1つが、(CH2-CH2-O)m-Zであり、m=0及びZ=Hである工程を含む、合成方法。
(ii-b)式(V)のシラン化合物
OCN-(CH2)n-Si(OR)3
(V)
(式(IV)又は(V)において、
Rは、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、C1からC5アルキルを表し、
nは1から12の範囲の整数である)
を得る工程、
(iii)溶媒中で、式(III)の前記中間体を前記シラン化合物と反応させ、その結果、上記で定義されている式(II)の化合物が生じる工程、及び
(iv)任意選択で、工程(iii)で得られた式(II)の化合物を加水分解し、その結果、Rの少なくとも1つが、(CH2-CH2-O)m-Zであり、m=0及びZ=Hである工程を含む、合成方法。
K. 実施形態Hによるワーキング溶液の、表面処理液としての使用。
L. 金属、金属合金又は金属酸化物の表面と、有機材料の表面との間において接着強度を増大させるための方法であって、以下の工程:
(i)基材を用意し、基材が少なくとも1つの面に金属、金属合金又は金属酸化物を含む工程、
(ii)前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、
A)式(II) 式(I)
(i)基材を用意し、基材が少なくとも1つの面に金属、金属合金又は金属酸化物を含む工程、
(ii)前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、
A)式(II) 式(I)
(式中、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Eは、-S-及び-NH-(CH2)m-NH-からなる群から選択され、
Zは、
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Eは、-S-及び-NH-(CH2)m-NH-からなる群から選択され、
Zは、
からなる群から選択され、
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Zを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物、
及び/又は
B)水の存在下で、式(II)のトリアジンシラン化合物を、トリアジンシランオリゴマーが少なくとも1つのケイ素-酸素-ケイ素部分を含むように、互いに反応させることによって得られるトリアジンシランオリゴマー
と接触させる工程、並びに
(iii)有機材料を適用し、その結果、工程(ii)の間に、トリアジンシラン化合物及び/又はトリアジンシランオリゴマーと接触した金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、適用された有機材料と接触させる工程
をこの順で含む、方法。
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Zを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物、
及び/又は
B)水の存在下で、式(II)のトリアジンシラン化合物を、トリアジンシランオリゴマーが少なくとも1つのケイ素-酸素-ケイ素部分を含むように、互いに反応させることによって得られるトリアジンシランオリゴマー
と接触させる工程、並びに
(iii)有機材料を適用し、その結果、工程(ii)の間に、トリアジンシラン化合物及び/又はトリアジンシランオリゴマーと接触した金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、適用された有機材料と接触させる工程
をこの順で含む、方法。
M. 溶液が、1種以上の水混和性有機溶媒を更に含む、実施形態Lによる方法。
N. 1種以上の水混和性有機溶媒が、C1からC4アルコール、エーテル、グリコールエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、好ましくは
- C1からC3アルコール、
- HO-(CH2-CH2-O)p-T
(式中、
pは、1、2、3又は4、好ましくは1又は2であり、
Tは、C1からC5アルキル、好ましくはC3からC5アルキルを表す)、
並びにそれらの混合物からなる群から選択され、より好ましくは
メタノール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、より一層好ましくは
ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択される、水混和性有機溶媒を含む、実施形態Mによる方法。
- C1からC3アルコール、
- HO-(CH2-CH2-O)p-T
(式中、
pは、1、2、3又は4、好ましくは1又は2であり、
Tは、C1からC5アルキル、好ましくはC3からC5アルキルを表す)、
並びにそれらの混合物からなる群から選択され、より好ましくは
メタノール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、より一層好ましくは
ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択される、水混和性有機溶媒を含む、実施形態Mによる方法。
O. 式(II)のトリアジンシラン化合物及び/又はトリアジンシランオリゴマーの溶液が、工程(ii)で使用され、溶液が、溶液の総質量に対して、好ましくは5から90wt.-%の水を含む、実施形態M又はNによる方法。
P. トリアジンシラン化合物及びトリアジンシランオリゴマーを合わせた合計量が、溶液の総質量に対して、5wt.-%以下である、実施形態MからOのいずれか1つによる方法。
Q. 溶液が、2から14の範囲の、好ましくは3から14の範囲の、より好ましくは4.0から13.5の範囲のpHを有する、実施形態MからPのいずれか1つによる方法。
R. 工程(ii)を実施する前に、以下の工程:
(i-a)前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、エッチングクリーニング溶液、好ましくは1種以上の酸及び/又は1種以上の酸化剤を含有するエッチングクリーニング溶液、より好ましくは無機酸及び過酸化物の混合物を含有するエッチングクリーニング溶液と接触させる工程を更に含む、実施形態LからQのいずれかによる方法。
(i-a)前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、エッチングクリーニング溶液、好ましくは1種以上の酸及び/又は1種以上の酸化剤を含有するエッチングクリーニング溶液、より好ましくは無機酸及び過酸化物の混合物を含有するエッチングクリーニング溶液と接触させる工程を更に含む、実施形態LからQのいずれかによる方法。
S. 工程(ii)を実施する前に、以下の工程:
(i-b)前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、好ましくは鉄(III)塩又は鉄(III)錯体を含む(好ましくは第2の)エッチングクリーニング溶液と接触させる工程を更に含む、実施形態LからRのいずれかによる方法。
(i-b)前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、好ましくは鉄(III)塩又は鉄(III)錯体を含む(好ましくは第2の)エッチングクリーニング溶液と接触させる工程を更に含む、実施形態LからRのいずれかによる方法。
T. 工程(ii)を実施する前に、以下の工程:
(i-c)前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、溶液と接触させる工程を更に含む、実施形態LからSのいずれかによる方法。
(i-c)前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、溶液と接触させる工程を更に含む、実施形態LからSのいずれかによる方法。
U. 工程(iii)で適用される有機材料が、有機ポリマーである、実施形態LからTのいずれかによる方法。
V. 有機材料を金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも接触した箇所に積層することにより、有機材料が工程(iii)で適用される、実施形態LからUのいずれかによる方法。
W. 工程(iii)の後で、追加の工程:
(iv)基材及び有機材料に、142℃から420℃の範囲の、好ましくは145℃から300℃の範囲の、より好ましくは150℃から220℃の範囲の温度の熱処理を施す工程を含む、実施形態LからVのいずれかによる方法。
(iv)基材及び有機材料に、142℃から420℃の範囲の、好ましくは145℃から300℃の範囲の、より好ましくは150℃から220℃の範囲の温度の熱処理を施す工程を含む、実施形態LからVのいずれかによる方法。
X. 工程(ii)の後で、工程(i-a)の後で、工程(i-b)の後で及び/又は工程(i-c)の後で、金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部をすすぐ工程が行われ、金属、金属合金又は金属酸化物が、好ましくは水ですすがれる、実施形態LからWのいずれかによる方法。
Y. 工程(ii)の後で、工程(i-a)の後で、工程(i-b)の後で及び/又は工程(i-c)の後で、金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を乾燥させる工程が行われる、実施形態LからXのいずれかによる方法。
Z. 金属、金属合金又は金属酸化物が、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、スズ、鉄、銀、金、前述の金属の少なくとも1種を含む合金、又は前述の金属の少なくとも1種の金属酸化物である、実施形態LからYのいずれかによる方法。
AA. 工程(ii)における接触時間が、5秒から30分、好ましくは7秒から20分、より好ましくは10秒から10分、より一層好ましくは12秒から5分、最も好ましくは15秒から120秒である、実施形態LからZのいずれかによる方法。
本発明は、以下の非限定的な実施例により更に説明される。
A)式(VI):
のトリアジンシラン化合物の合成
1)式(VIa):
1)式(VIa):
のトリアジンシラン化合物の合成
10.0g(50.7mmol)のN2-(4-アミノブチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6-トリアミンを、92.8mlのジエチレングリコールモノブチルエーテル(DEGBE)に懸濁した。この懸濁液を、80℃に加熱した。この温度にて、11.98g(50.7mmol)の3-グリシドキシプロピルトリメトキシシランを添加した。反応混合物を80℃にて15hr保持した。
その後、DEGBE中のおよそ20wt.-%の濃度の反応生成物を得た。このようにして得られた生成物を、更なる精製なしで利用した。
ESI-MSにより、ケイ素原子に接続する3個のメトキシ基を含む化合物の形成が確認される。更に、それぞれのメトキシ基の代わりに、1、2又は3つのDEGBE部分を含む化合物も識別された。
2)式(VIb):
のトリアジンシラン化合物の合成
21.0g(106mmol)のN2-(4-アミノブチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6-トリアミンを225mlのジエチレングリコールモノブチルエーテル(DEGBE)に懸濁した。この懸濁液を、80℃に加熱した。この温度にて、32.6g(106mmol)の[8-(グリシジルオキシ)-N-オクチル]トリメトキシシランを添加した。反応混合物を80℃にて15hr保持した。
その後、DEGBE中のおよそ20wt.-%の濃度の反応生成物を得た。このようにして得られた生成物を、更なる精製なしで利用した。
ESI-MSにより、ケイ素原子に接続する3個のメトキシ基を含む化合物の形成が確認される。更に、それぞれのメトキシ基の代わりに、1、2又は3つのDEGBE部分を含む化合物も識別された。
B)式(VII):
のトリアジンシラン化合物の合成
2)式(VIIa):
のトリアジンシラン化合物の合成
3.0g(15.2mmol)のN2-(4-アミノブチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6-トリアミンを、90mlジオキサンに溶解した。次いで3.29g(15.2mmol)の(3-イソシアネートプロピル)トリメトキシシランを添加し、反応混合物を、50℃に加熱し、この温度にて20hr保持した。
次いで55.08gのDEGBEを添加し、ジオキサンを蒸留により除去して、生成物をDEGBE中の10wt.-%(10w%)溶液として得た。このようにして得られた生成物を、更なる精製なしで利用した。
ESI-MSにより、ケイ素原子に接続する3個のメトキシ基を含む化合物の形成が確認される。更に、それぞれのメトキシ基の代わりに、1、2又は3つのDEGBE部分を含む化合物も識別された。
21.0g(106mmol)のN2-(4-アミノブチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6-トリアミンを、225mlのジエチレングリコールモノブチルエーテル(DEGBE)に懸濁した。この懸濁液を、80℃に加熱した。この温度にて、32.6g(106mmol)の[8-(グリシジルオキシ)-N-オクチル]トリメトキシシランを添加した。反応混合物を80℃にて15hr保持した。
その後、DEGBE中のおよそ20wt.-%の濃度の反応生成物を得た。このようにして得られた生成物を、更なる精製なしで利用した。
ESI-MSにより、ケイ素原子に接続する3個のメトキシ基を含む化合物の形成が確認される。更に、それぞれのメトキシ基の代わりに、1、2又は3つのDEGBE部分を含む化合物も識別された。
C)試料調製
試料1から12(それぞれ、いくつかの同一の試験片を含む)を、以下のように調製した。比較例C1は、工程(ii)を伴わない、すなわちシランが適用されなかったことを除いて同一の方法に従って調製した。
試料1から12(それぞれ、いくつかの同一の試験片を含む)を、以下のように調製した。比較例C1は、工程(ii)を伴わない、すなわちシランが適用されなかったことを除いて同一の方法に従って調製した。
表1は、次いで以下に詳細に記載されている反応工程の概観を示す。表2は、追加の要約を示す。
工程(i):少なくとも1つの表面に、銅表面を有する基材を用意する工程:
銅表面を有する銅箔(150mm×75mm×35μm、社内でメッキした)を使用した。単純化した研究室条件下で、基材を伴わない銅箔を実施例に使用した。
銅表面を有する銅箔(150mm×75mm×35μm、社内でメッキした)を使用した。単純化した研究室条件下で、基材を伴わない銅箔を実施例に使用した。
楔形空間及びハローの調査では、メッキした銅パネルを使用した。
調製条件は、以下の通りである:
電解メッキ銅タイプ:
箔(接着試験)
パネル(楔形空間)
電解質:
Cupracid AC
メッキパラメーター:
103分
1.5A/dm2=35μm Cu厚さ
電解メッキ銅タイプ:
箔(接着試験)
パネル(楔形空間)
電解質:
Cupracid AC
メッキパラメーター:
103分
1.5A/dm2=35μm Cu厚さ
工程(i-a):銅表面をエッチングクリーニング溶液でクリーニングする工程:
銅箔の銅表面を、30℃にて、25ml/l Hyperflash 25、50ml/l H2SO4 50%及び65ml/l H2O2 35%により処理して、0.5又は1μmエッチング深さを達成した。エッチングクリーニング後、エッチングクリーニングした銅表面を水でおよそ30秒すすぎ、任意選択で乾燥させた。結果として、エッチングクリーニングし、すすいだ銅表面を得た。
銅箔の銅表面を、30℃にて、25ml/l Hyperflash 25、50ml/l H2SO4 50%及び65ml/l H2O2 35%により処理して、0.5又は1μmエッチング深さを達成した。エッチングクリーニング後、エッチングクリーニングした銅表面を水でおよそ30秒すすぎ、任意選択で乾燥させた。結果として、エッチングクリーニングし、すすいだ銅表面を得た。
工程(i-b):銅表面を酸性溶液で処理する工程:
試料1から12の銅箔すべての銅表面を、5vol%硫酸を使用することにより室温にて20~30秒クリーニングした。
試料1から12の銅箔すべての銅表面を、5vol%硫酸を使用することにより室温にて20~30秒クリーニングした。
工程(i-c):銅表面をアルカリ性水溶液で処理する工程:
試料1から12の基材すべての銅表面を、アルカリ性水溶液で処理した(50℃、300秒)。処理後、すべての銅箔の処理した銅表面を、冷水でおよそ30秒ですすいだ。
試料1から12の基材すべての銅表面を、アルカリ性水溶液で処理した(50℃、300秒)。処理後、すべての銅箔の処理した銅表面を、冷水でおよそ30秒ですすいだ。
工程(ii):銅表面をシラン化合物と接触させる工程:
試料1から12の基材すべての銅表面を、トリアジンシラン化合物及び溶媒を含有するコーティング溶液中に25℃にて60秒浸した。水が存在する場合、コーティング溶液のpHは7であった(硫酸で調整した)。詳細は、表2に示されている。
試料1から12の基材すべての銅表面を、トリアジンシラン化合物及び溶媒を含有するコーティング溶液中に25℃にて60秒浸した。水が存在する場合、コーティング溶液のpHは7であった(硫酸で調整した)。詳細は、表2に示されている。
その後、銅箔すべての生じた銅表面を、水でおよそ30秒すすぎ、乾燥させた。結果として、試料1から12の、シラン処理し(silanized)、乾燥させた銅箔すべての銅表面を得た。
工程(ii-a):アニーリングする工程:
試料1から12の、シラン処理した銅表面を含有する銅箔を、次いで130℃にて30分アニーリングして、残留する水分を表面から除去した。銅表面を含有するこれらの基材に、続いてビルドアップフィルムを積層する工程を施した(以下の文を参照されたい)。
試料1から12の、シラン処理した銅表面を含有する銅箔を、次いで130℃にて30分アニーリングして、残留する水分を表面から除去した。銅表面を含有するこれらの基材に、続いてビルドアップフィルムを積層する工程を施した(以下の文を参照されたい)。
工程(iii):有機材料を基材の銅表面に適用する工程:
積層する工程では、絶縁フィルム(表2を参照されたい)を、クリーンルームにおいて、20から25℃の範囲の室温及び50から60%の相対湿度で、真空積層装置を使用することによりすべての試料の銅箔に真空積層した。
積層する工程では、絶縁フィルム(表2を参照されたい)を、クリーンルームにおいて、20から25℃の範囲の室温及び50から60%の相対湿度で、真空積層装置を使用することによりすべての試料の銅箔に真空積層した。
真空積層の条件は、以下の通りであった:100℃、真空:3hPaで30秒、圧力:0.5MPaで30秒。
積層後、積層した銅表面を得た。
剥離強度試験による接着評価:
積層後に得られた各試料(1から12)で、剥離強度を判定した:
(1)初期、
(2)96時間のHAST後(HAST条件:130℃、85%rh、HASTチャンバ:EHS-221M)。
(3)12サイクル後、IRリフロー(熱信頼性、温度ピークが260℃のはんだ付けプロセスのシミュレーション)
積層後に得られた各試料(1から12)で、剥離強度を判定した:
(1)初期、
(2)96時間のHAST後(HAST条件:130℃、85%rh、HASTチャンバ:EHS-221M)。
(3)12サイクル後、IRリフロー(熱信頼性、温度ピークが260℃のはんだ付けプロセスのシミュレーション)
剥離強度を決定するために、リジッド基板(rigid board)が絶縁フィルムに面するように、それぞれの銅箔をリジッド基板(銅箔と同一の大きさ)に接着することにより、いくつかの帯状切片を各試験片から調製した。結果として、構造的に強化された絶縁フィルムを有する銅表面を得た。
得られた、構造的に強化された絶縁フィルムを有する銅表面を、次いでオーブン中で硬化させた:GL102材料を有する銅表面、200℃にて90分、及びGX-T31材料を有する銅表面、190℃にて90分。
その後、構造的に強化された絶縁フィルムを有する各銅表面を、前記帯状切片にスライスした(10×100mm、Bugardドリリング/ルーティング)。
帯状切片を、剥離力測定機(Roell Zwick社Z010)にかけて、銅表面を、構造的に強化された絶縁フィルムのそれぞれから離層するために必要な剥離強度を個々に評価した(角度:90°、速度:50mm/分)。典型的には、離層を回避するために必要な剥離強度が高いほど、接着が良好であった。
試料1から12の剥離強度は、以下の表3に示されている。
実験は、本発明の実施例が、ここでは剥離強度として表現される、良好な接着強度を呈することを示す。
ハロー及び楔形空間の評価
試料調製:
ハローを評価するために、それぞれの絶縁フィルムを銅パネルに接着することにより銅試料を調製した。結果として、構造的に強化された絶縁フィルムを有する銅表面を得た。
試料調製:
ハローを評価するために、それぞれの絶縁フィルムを銅パネルに接着することにより銅試料を調製した。結果として、構造的に強化された絶縁フィルムを有する銅表面を得た。
得られた、構造的に強化された絶縁フィルムを有する銅表面を、次いでオーブン中で2ステップにて半硬化させた:GL102材料を有する銅表面、130℃にて30分、続いて175℃にて30分;及びGX-T31材料を有する銅表面、100℃にて30分、続いて170℃にて30分。
積層及び半硬化工程を完了した後で、銅パネルをUV-レーザー処理して、ブラインドマイクロビア(BMV)をドリリングした。その後、基材にデスミア及び還元条件工程を施した。詳細には、これらは、Securiganth MV Sweller(Atotech社)を用いた、アルカリ性条件下でのスウェラー(sweller)処理;Securiganth MV Etch P(Atotech社)を用いた、アルカリ性条件下での過マンガン酸塩処理、及びSecuriganth MV Reduction Conditioner(Atotech社)を用いた、酸性条件下での還元コンディショナー(reduction conditioner)処理を含んでいた。各工程の後で、試料を水ですすいだ。
積層材料は、楔形空間及びハローでca. 10μm、また、接着を調査するケースでは35μmの厚さをそれぞれ呈する。
測定:
1)ハロー評価
基材は、光学顕微鏡により測定した(倍率200倍;表4を参照されたい)。ハロー測定を描写する写真は、図1で見出され得る。
1)ハロー評価
基材は、光学顕微鏡により測定した(倍率200倍;表4を参照されたい)。ハロー測定を描写する写真は、図1で見出され得る。
調査した試験ブラインドマイクロビア(BMV)は、レーザードリリング技術を利用することにより、表面処理し及び味の素ビルドアップフィルム(ABF; Ajinomoto Buildup Film)が積層された試験ビヒクル上に試験グリッドとして製造した。ハローのデータは、上記のデスミアプロセス全体(スウェラー、過マンガン酸塩、還元コンディショナー)を通して、調製した試験ビヒクルを送付した後で取得可能である。
ハロー測定は、カメラ(CCD)で補助した光学顕微鏡法により行われる。これにより、顕微鏡は、落射照明モードで動作させなければならない。すべての画像生成は、暗視野(DF)フィルターの設定を使用することにより実行されなければならない。約200倍の倍率が、典型的には使用される。
完全に処理した試験ビヒクルを、測定テーブルに確実に配置し、BMVキャプチャーパッドは、光学焦点としてセットしなければならない。CCD曝露時間は、ハローの境界の最大可能コントラストに調整しなければならない。これにより、キャプチャーパッドは、できるだけ明るく出現させるべきである。
ハローを境界のように出現させる、ビアホール(又は清浄なキャプチャーパッド)、内部(最内部)及び外部(最外部)の目視の直径を測定し、図2に従って記録した。次に実際のハロー値は、以下の関係式を使用することにより計算できる。
1.外部ハロー(μm)=(最外部直径(μm)-ビアホールの直径(μm))/2
2.内部ハロー(μm)=(ハローの内径(μm)-ビアホールの直径(μm))/2
1.外部ハロー(μm)=(最外部直径(μm)-ビアホールの直径(μm))/2
2.内部ハロー(μm)=(ハローの内径(μm)-ビアホールの直径(μm))/2
典型的には、このプロセスは、ランダム試験ビアで少なくとも3回繰り返して、統計的報告を最小限にすることができる。
実験は、本発明の実施例が、ここではハローの大きさとして表現される楔形空間の形成の回避に関して、良好な挙動を呈することを示す。
2)楔形空間の評価
更に、基材に集束イオンビーム(FIB)カット及び後続の走査電子顕微鏡法(SEM)測定を施した。この方法により、楔形空間としても公知のブラインドマイクロビア(BMV)の近辺における銅接着の分析が可能となる。
更に、基材に集束イオンビーム(FIB)カット及び後続の走査電子顕微鏡法(SEM)測定を施した。この方法により、楔形空間としても公知のブラインドマイクロビア(BMV)の近辺における銅接着の分析が可能となる。
Claims (14)
- 式(I)
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Eは、-S-及び-NH-(CH2)m-NH-からなる群から選択され、
Zは、
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物。 - Eが、-NH-(CH2)m-NH-であり、
式(II)
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Zは、
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
の構造を呈する、請求項1に記載のトリアジンシラン化合物。 - X及びYが、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、及びSCH3からなる群から独立して選択され、oが2から12の範囲の整数であり、好ましくはX及びYがNH2である、請求項1又は2に記載の化合物。
- (a) - 請求項1から3のいずれか一項に記載の1種以上のトリアジンシラン化合物、及び/又は
- 1種以上のトリアジンシランオリゴマー、
(b) - 1種以上の有機溶媒
を含む、混合物。 - (a) - 請求項1から3のいずれか一項に記載の1種以上のトリアジンシラン化合物、及び
- 任意選択で1種以上のトリアジンシランオリゴマー、
(b) - 任意選択で水
(c) - 1種以上の水混和性有機溶媒
を含む保存溶液であって、但し、水が存在する場合、pHが9以上である、保存溶液。 - 2から14の範囲のpHを有するワーキング溶液であって、溶液が、
(a) - 請求項1から3のいずれか一項に記載の1種以上のトリアジンシラン化合物、及び/又は
- 任意選択で、1種以上のトリアジンシランオリゴマー、
(b) - 任意選択で水、
(c) - 1種以上の水混和性有機溶媒
を含み、前記ワーキング溶液において、請求項1から3のいずれか一項に記載のすべてのトリアジンシラン化合物、及びすべてのトリアジンシランオリゴマーを合わせた合計量が、ワーキング溶液の総質量に対して5wt.-%以下である、ワーキング溶液。 - 1種以上の水混和性有機溶媒が、C1からC4アルコール、エーテル、グリコールエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、好ましくは
- C1からC3アルコール、
- ジエチルエーテル、1,4-ジオキサン、テトラヒドロフラン及びそれらの混合物、
- HO-(CH2-CH2-O)p-T
(式中、
pが、1、2、3又は4、好ましくは1又は2であり、
Tが、C1からC5アルキル、好ましくはC3からC5アルキルを表す)、
及びそれらの混合物からなる群から選択され、より好ましくは
メタノール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、より一層好ましくは
ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択される、水混和性有機溶媒を含む、請求項5に記載の保存溶液又は請求項6に記載のワーキング溶液。 - 式(II)
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Zは、
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物のための合成方法であって、
(i)式(III)
(ii)以下の群から選択されるシラン化合物
(ii-a)式(IV)のシラン化合物
(ii-b)式(V)のシラン化合物
OCN-(CH2)n-Si(OR)3
(V)
(式(IV)又は(V)において
Rは、(CH2-CH2-O)p-Tを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、C1からC5アルキルを表し、
nは1から12の範囲の整数である)
を得る工程、
(iii)溶媒中で、式(III)の前記中間体を前記シラン化合物と反応させ、その結果、上記で定義されている式(II)の化合物が生じる工程、並びに
(iv)任意選択で、工程(iii)で得られた式(II)の化合物を加水分解し、その結果、Rの少なくとも1つが、(CH2-CH2-O)m-Zであり、m=0及びZ=Hである、工程
を含む、合成方法。 - 請求項6に記載のワーキング溶液の、表面処理液としての使用。
- 金属、金属合金又は金属酸化物の表面と、有機材料の表面との間において接着強度を増大させるための方法であって、以下の工程
(i)基材を用意する工程であり、基材が少なくとも1つの面に金属、金属合金又は金属酸化物を含む、工程、
(ii)前記金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、
A)式(II) 式(I)
X及びYは、NH2、NH(NH2)、NH(CH2)oNH2、SH、SCH3及びOCH3からなる群から独立して選択され、
Eは、-S-及び-NH-(CH2)m-NH-からなる群から選択され、
Zは、
mは2から12の範囲の整数であり、
nは1から12の範囲の整数であり、
oは2から12の範囲の整数であり、
Rは、独立して、(CH2-CH2-O)p-Zを表し、
独立して、
pは、0、1、2、3又は4であり、
Tは、H又はC1からC5アルキルを表す)
のトリアジンシラン化合物、
及び/又は
B)水の存在下で、式(II)のトリアジンシラン化合物を、トリアジンシランオリゴマーが少なくとも1つのケイ素-酸素-ケイ素部分を含むように、互いに反応させることによって得られるトリアジンシランオリゴマー
と接触させる工程、並びに
(iii)有機材料を適用し、その結果、工程(ii)の間に、トリアジンシラン化合物及び/又はトリアジンシランオリゴマーと接触した金属、金属合金又は金属酸化物の少なくとも一部を、適用された有機材料と接触させる工程
をこの順で含む、方法。 - 溶液が、1種以上の水混和性有機溶媒を更に含む、請求項10に記載の方法。
- 1種以上の水混和性有機溶媒が、C1からC4アルコール、エーテル、グリコールエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、好ましくは
- C1からC3アルコール、
- HO-(CH2-CH2-O)p-T
(式中、
pは、1、2、3又は4、好ましくは1又は2であり、
Tは、C1からC5アルキル、好ましくはC3からC5アルキルを表す)
及びそれらの混合物からなる群から選択され、より好ましくは
メタノール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択され、より一層好ましくは
ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル及びそれらの混合物からなる群から選択される水混和性有機溶媒を含む、請求項11に記載の方法。 - トリアジンシラン化合物及びトリアジンシランオリゴマーを合わせた合計量が、溶液の総質量に対して5wt.-%以下である、請求項11又は12に記載の方法。
- 溶液が、2から14の範囲の、好ましくは3から14の範囲の、より好ましくは4.0から13.5の範囲のpHを有する、請求項11から13のいずれか一項に記載の方法。
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