JP2024080352A

JP2024080352A - 電子部品移載ロール及び電子部品移載方法

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Publication number: JP2024080352A
Application number: JP2022193477A
Authority: JP
Inventors: 泰障子; Yasushi Shoji; 裕之北澤; Hiroyuki Kitazawa
Original assignee: Shashin Kagaku Co Ltd
Current assignee: Shashin Kagaku Co Ltd
Priority date: 2022-12-02
Filing date: 2022-12-02
Publication date: 2024-06-13
Anticipated expiration: 2042-12-02
Also published as: JP7254394B1

Abstract

【課題】ロールに対してシートを強固に貼り付けることができ且つシートをロールから取り外し易い電子部品移載ロールを提供する。【解決手段】軸心Ｘ周りに回転可能な円筒形のロール３１と、当該ロール３１の表面に設けられる粘着性を有するシート３２とを備え、表面に電子部品を保持する第１保持部材から電子部品をシート３２によって受け取り、受け取った電子部品をシート３２から第２保持部材に渡す電子部品移載ロール３０であって、シート３２は、基材フィルム３２ａと、基材フィルム３２ａの、電子部品と相対する側の表面に設けられる第１粘着剤３２ｂと、基材フィルム３２ａの、ロール３１と相対する側の表面に設けられる第２粘着剤３２ｃとを有し、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃは、外部から与えられる刺激によって粘着力が低下する材料である。【選択図】図７

Description

本開示は、電子部品を移載する電子部品移載ロール及び電子部品移載方法に関する。

発光素子、受光素子等であるマイクロデバイスチップ等の電子部品を成長基板上に製造した場合、その電子部品を別の基板上に移載することが必要になる。例えば、ＬＥＤチップを用いた表示装置の製造工程では、例えば複数のＬＥＤチップを成長基板上で製造し、それら複数のＬＥＤチップを成長基板とは別の回路基板上の所定位置に移載することが行われる。このような電子部品の移載に関する先行技術として、特許文献１（特許第６９７８１２９号公報）に記載する方法がある。

特許文献１に記載の方法では、一つの部材に保持された電子部品を他の部材へと移載するために電子部品移載ロールを用いている。この電子部品移載ロールは、軸心周りに回転可能な円筒形のロールと、そのロールの表面に設けられる粘着性を有するシートとを備える。例えば、表面に電子部品を保持する第１保持部材から電子部品をロールのシートによって受け取り、受け取った電子部品をロールのシートから第２保持部材に渡すことを行っている。ここで、第１保持部材はその表面に第１の粘着剤を有し、第２保持部材はその表面に第２の粘着剤を有し、ロールのシートはその表面に第３の粘着剤を有する。そして、第１保持部材の第１の粘着剤と電子部品との間の粘着力はロールのシートと電子部品との間の第３の粘着力より弱く、ロールのシートの第３の粘着剤と電子部品との間の粘着力は第２保持部材の第２の粘着剤と電子部品との間の粘着力よりも弱くする必要がある。各粘着剤の粘着力がこのように調節されることで、電子部品が、第１保持部材からロールのシートへと渡され、更に、ロールのシートから第２保持部材へと渡される。

各粘着剤の粘着力を調節する方法として、特許文献１には、ロールに設けられるシートに、紫外線の照射によって移載粘着力が紫外線の照射前と比べて低下する紫外線変性材を用いる方法が記載されている。そして、ロールは、シートに紫外線が照射される前の状態（即ち、シートの粘着力が強い状態）で第１保持部材から電子部品を受け取り、その後、ロールは、シートに紫外線が照射された後の状態（即ち、シートの粘着力が弱い状態）で第２保持部材に電子部品を渡す。

尚、ロールの表面に粘着性を有するシートが設けられた電子部品移載ロールを用いて電子部品を移載するためには、シートがロールの表面で撓んでいないこと等、シートがロールの表面に対して正しく且つ強固に装着されていることが必要である。例えば、シートをロールに装着する場合、シートの曲げ応力に対抗できる粘着力でシートをロールに粘着させる必要がある。特に、電子部品の微小化に応じてロールの直径が小さくなるにつれてシートの曲げ応力が大きくなるため、より大きな粘着力でシートをロールに粘着させる必要がある。但し、シートをロールから取り外すことを考えた場合、ロールに相対する側のシートの表面の粘着力は弱い方が好ましい。特許文献１では、ロールの表面に設けられるシートの粘着力のうち、電子部品に相対する側の表面の粘着力についての議論は上述のように行われているが、ロールに相対する側の表面の粘着力については議論されていない。

電子部品を移載するためのシートの取り外し易さを考慮した先行技術として、特許文献２（特表２０１５－５２３７３１号公報）がある。特許文献２に記載の発明では、ＵＶ光（紫外光）に対して透過性がある基板上に、キャリアフィルムと、そのキャリアフィルムの一方の面に配置された第１接着層と、キャリアフィルムの他方の面に配置された第２接着層とを備えるＵＶ反応性接着フィルムを設けている。これら第１接着層及び第２接着層は、ＵＶエネルギーの照射を受けて反応し、接着性が弱まる特性を有している。

特許文献２に記載されている電子部品移載方法では、基板に貼り付けられたＵＶ反応性接着フィルムの上に半導体ウェハが接着される。そして、基板を通してＵＶ反応性接着フィルムにＵＶ光が照射される。そのＵＶ光は、基板を通ってＵＶ反応性接着フィルムに伝わり、半導体ウェハに接触する側のＵＶ反応性接着フィルムの接着層が基板に接触する側のＵＶ反応性接着フィルムの接着層よりも迅速に反応する。その結果、半導体ウェハを容易に取り外すことができる。その後、基板にＵＶ光を再度照射することにより、基板に接触する側のＵＶ反応性接着フィルムの接着層の接着力を更に低下させる。その結果、ＵＶ反応性接着フィルムを基板から取り外すことができる。

特許第６９７８１２９号公報特表２０１５－５２３７３１号公報

特許文献２に記載の方法では、ＵＶ反応性接着フィルムの第１接着層及び第２接着層の接着力を低下させるために、２回のＵＶ照射を行わなければならない。また、基板の裏面からＵＶ照射を行うため、裏面からＵＶ照射を行うことができない装置では利用できない。更に、特許文献２に記載の発明では、ＵＶ反応性接着フィルムが平坦な状態で利用されることが前提となっている。つまり、特許文献２では、ＵＶ反応性接着フィルムを特許文献１に記載されるような電子部品移載ロールに適用することが想定されていない。そのため、シートの曲げ応力に対抗できる粘着力でシートをロールに強固に粘着させる必要が有り、且つ、シートをロールから容易に取り外す必要があるという課題は特許文献２では認識されていない。

本開示は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ロールに対してシートを強固に貼り付けることができ且つシートをロールから取り外し易い電子部品移載ロール及び電子部品移載方法を提供することである。

本開示の一実施形態に係る電子部品移載ロールの構成は、軸心周りに回転可能な円筒形のロールと、当該ロールの表面に設けられる粘着性を有するシートとを備え、表面に電子部品を保持する第１保持部材から前記電子部品を前記シートによって受け取り、受け取った前記電子部品を前記シートから第２保持部材に渡す電子部品移載ロールであって、
前記シートは、基材フィルムと、前記基材フィルムの、前記電子部品と相対する側の表面に設けられる第１粘着剤と、前記基材フィルムの、前記ロールと相対する側の表面に設けられる第２粘着剤とを有し、
前記第１粘着剤及び前記第２粘着剤は、外部から与えられる刺激によって粘着力が低下する材料である。

上記構成によれば、第１粘着剤及び第２粘着剤は、外部から刺激が与えられなければ粘着力は高い状態を維持する。つまり、シートがロールに対して正しく且つ強固に粘着された状態で、シートの表面で電子部品を保持することができる。
また、ロールに装着されたシートに電子部品が粘着された状態で、その電子部品が粘着されている側のシートの表面から例えば光や熱などの刺激を与えることができる。その場合、刺激は、表面に露出している第１粘着剤に直接作用し、且つ、第１粘着剤及び基材フィルムを介して第２粘着剤に対して作用する。そして、その刺激により、第１粘着剤及び第２粘着剤の粘着力を低下させることができる。これにより、例えば、１回の刺激を与えることで、シートから電子部品を容易に取り外しでき、且つ、シートをロールから容易に取り外しできる状態になる。
従って、ロールに対してシートを強固に貼り付けることができ且つシートをロールから取り外し易い電子部品移載ロールを提供できる。

本開示に係る電子部品移載ロールの別の構成は、前記第２粘着剤は、前記ロールと相対する側の前記基材フィルムの全面に設けられる。

上記構成によれば、第２粘着剤とロールとの間の接触面積が大きくなるため、第２粘着剤の粘着力自体が小さくても、シートがロールに対して強固に装着される。

本開示に係る電子部品移載ロールの別の構成は、前記ロールは通気性を有し、前記ロールの外表面から内部へ空気を吸引する吸引ポンプを備える。

上記構成によれば、吸引ポンプを動作させることで、シートをロールの表面に対して強固に装着することができる。また、吸引ポンプの動作を停止させることで、ロールの表面からシートを容易に取り外すことができる。

本開示の一実施形態に係る電子部品移載方法の構成は、軸心周りに回転可能な円筒形のロールと、当該ロールの表面に設けられる粘着性を有するシートとを備え、表面に電子部品を保持する第１保持部材から前記電子部品を前記シートによって受け取り、受け取った前記電子部品を前記シートから第２保持部材に渡す電子部品移載ロールを用いる電子部品移載方法であって、
前記シートは、基材フィルムと、前記基材フィルムの、前記電子部品と相対する側の表面に設けられる第１粘着剤と、前記基材フィルムの、前記ロールと相対する側の表面に設けられる第２粘着剤とを有し、前記第１粘着剤及び前記第２粘着剤は、外部から与えられる刺激によって粘着力が低下する材料であり、
前記第１保持部材が保持する前記電子部品を前記ロールの表面に設けられる前記シートで受け取る受取工程と、
前記受取工程の後に、前記ロールの表面に設けられる前記シートに対して前記第１粘着剤及び前記第２粘着剤の粘着力を低下させるための刺激を与える刺激付与工程と、
前記ロールの表面に設けられる前記シートが保持する前記電子部品を前記第２保持部材に引き渡す引渡工程とを有する。

上記構成によれば、第１粘着剤及び第２粘着剤は、外部から刺激が与えられなければ粘着力は高い状態を維持する。つまり、受取工程において、第１保持部材が保持する電子部品をロールの表面に設けられるシートで受け取った場合、シートがロールに対して正しく且つ強固に粘着された状態で、シートの表面で電子部品を保持することができる。
また、刺激付与工程において、ロールに装着されたシートに電子部品が粘着された状態で、その電子部品が粘着されている側のシートの表面から、ロールの表面に設けられるシートに対して第１粘着剤及び第２粘着剤の粘着力を低下させるための刺激を与えることができる。これにより、例えば、１回の刺激を与えることで、シートから電子部品を容易に取り外しでき、且つ、シートをロールから容易に取り外しできる状態になる。そして、引渡工程において、ロールの表面に設けられるシートが保持する電子部品を第２保持部材に引き渡すことができる。
従って、ロールに対してシートを強固に貼り付けることができ且つシートをロールから取り外し易い電子部品移載方法を提供できる。

本開示に係る電子部品移載方法の別の構成は、前記引渡工程の後、前記ロールの表面に設けられる前記シートに対して前記第２粘着剤の粘着力を低下させるための刺激を与えずに、前記シートを前記ロールから引き剥がす引剥工程を有する点にある。

上記構成によれば、引剥工程において、引渡工程の後、ロールの表面に設けられるシートに対して第２粘着剤の粘着力を低下させるための刺激を与えずに、シートをロールから引き剥がす。つまり、ロールからシートを引き剥がす工程を簡単に実行できる。

電子部品の移載方法を説明する図である。電子部品の移載方法を説明する図である。電子部品移載ロールのシートの構造を説明する図である。電子部品移載ロールの構造を説明する断面図である。別の電子部品移載ロールの構造を説明する断面図である。電子部品移載ロールのシートの構造を示す図である。別の電子部品移載ロールの構造を説明する断面図である。電子部品移載方法の工程を説明する図である。別の電子部品移載ロールを説明する断面図である。別の電子部品移載ロールを説明する断面図である。

以下に、図面を参照して本開示の電子部品移載ロール３０及び電子部品移載方法について説明する。
図１は、電子部品１の移載方法を説明する図である。具体的には、表面に電子部品１を保持する第１保持部材１２から電子部品１を電子部品移載ロール３０のシート３２によって受け取る工程を説明する図である。電子部品１は例えばＭｉｎｉ－ＬＥＤやμ－ＬＥＤなどの発光素子等である。成長基板（図示せず）の上に製造されたＭｉｎｉ－ＬＥＤやμ－ＬＥＤなどの電子部品１はレーザーリフトオフ等の方法により第１保持部材１２に移載される。第１保持部材１２の表面には、複数の電子部品１が二次元に配列された状態で保持されている。そして、電子部品移載ロール３０を用いた電子部品移載方法によって、第１保持部材１２の表面に保持されている複数の電子部品１が、第２保持部材２２の表面に移載される。

尚、電子部品１は、上述した発光素子に限らず、受光素子、圧電素子、加速度センサー、ＮＥＭＳやＭＥＭＳ等を用いたマイクロデバイスチップ、電荷蓄積方式又はＭＲＡＭ、ＦｅＲａＭ、ＰＣＭ等の他の方式による記憶素子、スイッチング素子、マイコン等の演算処理デバイスチップなどのデバイスチップを用いることができるが、それらに限定されるものではない。例えば、電子部品１の厚さは３μｍ～２００μｍなどである。

第１保持部材１２はシート状の部材であり、第１搬送テーブル１０の上に設けられる第１支持部材１１によって下方から支持される。第１保持部材１２は、第１支持部材１１に対して着脱自在である。第１保持部材１２は、例えば、柔軟性のある材料や硬質の材料などであり、その表面は電子部品１を保持できる程度の粘着性を有している。例えば、第１保持部材１２は、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド等の樹脂により構成されるベースと、粘着性を有する樹脂膜とを備える。

電子部品移載ロール３０は、軸心Ｘ周りに回転可能な円筒形のロール３１と、当該ロール３１の表面に設けられる粘着性を有するシート３２とを備える。ロール３１の直径は電子部品１の大きさなどに応じて適宜変更される。例えば、ロール３１の直径は５０ｍｍ～２００ｍｍなどである。

第１搬送テーブル１０を図１の矢印に示す方向に移動させるのと同時に、電子部品移載ロール３０を図１の矢印に示す方向に回転させる。あるいは、電子部品移載ロール３０を図１の左方向に移動させるのと同時に電子部品移載ロール３０を図１の矢印に示す方向に回転させてもよい。電子部品移載ロール３０のシート３２の粘着力は、第１保持部材１２の粘着力よりも強いため、第１保持部材１２によって保持されていた電子部品１が電子部品移載ロール３０のシート３２に受け取られる。

図２は、電子部品１の移載方法を説明する図である。具体的には、図１に示したように電子部品移載ロール３０のシート３２で受け取った電子部品１を、第２保持部材２２に渡す工程を説明する図である。

第２保持部材２２はシート状の部材であり、第２搬送テーブル２０の上に設けられる第２支持部材２１によって下方から支持される。第２保持部材２２は、第２支持部材２１に対して着脱自在である。第２保持部材２２は、例えば、柔軟性のある材料や硬質の材料などであり、その表面は電子部品１を保持できる程度の粘着性を有している。例えば、第２保持部材２２は、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド等の樹脂により構成されるベースと、粘着性を有する樹脂膜とを備える。

第２搬送テーブル２０を図２の矢印に示す方向に移動させるのと同時に、電子部品移載ロール３０を図２の矢印に示す方向に回転させる。あるいは、電子部品移載ロール３０を図２の左方向に移動させるのと同時に電子部品移載ロール３０を図２の矢印に示す方向に回転させてもよい。第２保持部材２２の粘着力は、電子部品移載ロール３０のシート３２の粘着力よりも強いため、電子部品移載ロール３０のシート３２によって保持されていた電子部品１が第２保持部材２２に受け取られる。

以上のようにして、電子部品移載ロール３０を用いて、第１保持部材１２の表面に保持されている複数の電子部品１が、第２保持部材２２の表面に移載される。

図３は、電子部品移載ロール３０のシート３２の構造を説明する図である。シート３２は、基材フィルム３２ａと、その基材フィルム３２ａの一方の表面に設けられる第１粘着剤３２ｂとを有する。この第１粘着剤３２ｂにより、電子部品１に対するシート３２の粘着性が実現される。また、第１粘着剤３２ｂの表面にはセパレータ３３が設けられる。このセパレータ３３には粘着性はないため、第１粘着剤３２ｂの表面にセパレータ３３を貼り付けておくことで、第１粘着剤３２ｂが保護される。また、第１粘着剤３２ｂが露出しないので、シート３２の持ち運び等が容易になる。尚、シート３２を図１及び図２に示したように使用する場合には、セパレータ３３を剥がして、第１粘着剤３２ｂを露出させればよい。

以下の図４及び図５には、ロール３１の表面にシート３２を固定する手法の例を記載する。

図４は、電子部品移載ロール３０の構造を説明する断面図である。シート３２を構成する基材フィルム３２ａは粘着性を有していないため、シート３２は両面に粘着剤を有する両面粘着シート３４を用いてロール３１の表面に貼り付けられる。この場合、ロール３１の表面でシート３２に撓みなどが生じないように、シート３２をロール３１の表面に対して強固に貼り付ける必要がある。但し、シート３２を取り替える場合のことを考慮すると、ロール３１の表面に対するシート３２の粘着力は小さい方が好ましい。つまり、電子部品１の移載に用いる場合を考慮するとロール３１の表面に対するシート３２の粘着力は強い方が好ましいが、その場合、シート３２を簡単に取り替えることができず、余分な時間や手間が必要になる。

図５は、別の電子部品移載ロール３０の構造を説明する断面図である。この例では、図４に示した両面粘着シート３４を用いていない。その代わり、ロール３１は通気性を有する。そして、電子部品移載ロール３０は、ロール３１の外表面から内部へ空気を吸引するとしての排気ポンプ３５を備える。図示する例では、ロール３１に複数の貫通孔３１ａが設けられることでロール３１通気性が実現される。また、ロール３１の内部の空間３１ｂには排気ポンプ３５が接続される。それにより、ロール３１の内部の空間３１ｂの空気が排気ポンプ３５によって排出されるのに伴って、ロール３１の外表面から内部の空間３１ｂに空気が吸引される。その結果、ロール３１によってシート３２が吸引され、その吸引力によりロール３１の表面でシート３２が固定される。尚、ロール３１の直径が小さい場合、即ち、シート３２をその小さな直径のロール３１の表面に沿わせて曲げる必要がある場合、排気ポンプ３５の吸引力を大きくしなければ、或いは、シート３２を薄くしなければ、シート３２の曲げ応力によってロール３１からシート３２が外れてしまう。また、ロール３１とシート３２との間に隙間があると、ロール３１によるシート３２の吸引力が弱まるという問題がある。

図６は、電子部品移載ロール３０のシート３２の構造を示す図である。シート３２は、基材フィルム３２ａと、基材フィルム３２ａの一方の表面に設けられる第１粘着剤３２ｂと、基材フィルム３２ａの他方の表面に設けられる第２粘着剤３２ｃとを有する。

第１粘着剤３２ｂは、基材フィルム３２ａの、電子部品１と相対する側の表面に設けられる。この第１粘着剤３２ｂにより、電子部品１に対するシート３２の粘着性が実現される。第２粘着剤３２ｃは、基材フィルム３２ａの、ロール３１と相対する側の表面に設けられる。第２粘着剤３２ｃは、ロール３１と相対する側の基材フィルム３２ａの全面に設けられる。この第２粘着剤３２ｃにより、ロール３１に対するシート３２の粘着性が実現される。加えて、第２粘着剤３２ｃがロール３１と相対する側の基材フィルム３２ａの全面に設けられるため、第２粘着剤３２ｃとロール３１との間の接触面積が大きくなる。その結果、第２粘着剤３２ｃの粘着性が弱くても、シート３２がロール３１から剥がれ難くなる。

また、第１粘着剤３２ｂの表面にはセパレータ３３が設けられ、第２粘着剤３２ｃの表面にはセパレータ３６が設けられる。これらのセパレータ３３、３６には粘着性はないため、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃのそれぞれの表面にセパレータ３３、３６を貼り付けておくことで、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃが保護される。また、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃが露出しないので、シート３２の持ち運び等が容易になる。シート３２を用いる場合には、セパレータ３６を剥がして、第２粘着剤３２ｃを露出させ、ロール３１の表面にシート３２を貼り付けるとともに、セパレータ３３を剥がして第１粘着剤３２ｂを露出させればよい。

次にシート３２の具体例を説明する。
第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃの粘着力を低下させる刺激が所定の波長の光である場合、シート３２を構成する基材フィルム３２ａはその波長の光を透過させることができる材料を用いて構成される。例えば、基材フィルム３２ａの厚さは５０μｍ～２００μｍなどである。そして、刺激が紫外光である場合、基材フィルム３２ａは紫外光透過性樹脂を用いて構成される。その場合、基材フィルム３２ａが紫外光の透過率が例えば７０％以上あれば好ましい。具体例を挙げると、基材フィルム３２ａとして、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）、ＰＰ（ポリプロピレン）などの紫外光透過性樹脂を用いることができる。例えば、基材フィルム３２ａとしてＰＶＣを用いた場合、曲げ応力は例えば５６０ｋｇ／ｃｍ^２～９１０ｋｇ／ｃｍ^２（測定方法：ＡＳＴＡＭ７９０）などである。

第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃは、例えば、紫外光により粘着力が低下する、エポキシ系、アクリル系、シリコーン系、ウレタン系の紫外光変性粘着剤を用いて実現できる。

電子部品１と相対する側の第１粘着剤３２ｂは、例えば厚さが５μｍ～２５μｍなどである。また、第１粘着剤３２ｂの粘着力（ピーリング）は、紫外光の照射前（即ち、変性前）で例えば２Ｎ／２５ｍｍ～１０Ｎ／２５ｍｍなどであり、紫外光の照射後（即ち、変性後）で例えば０．５Ｎ／２５ｍｍ以下などである。また、第１粘着剤３２ｂのタック力（垂直剥離）は、紫外光の照射前（即ち、変性前）で例えば５Ｎ／ｃｍ^２～４０Ｎ／ｃｍ^２であり、紫外光の照射後（即ち、変性後）で例えば０．５Ｎ／ｃｍ^２以下などである。

ロール３１と相対する側の第２粘着剤３２ｃは、例えば厚さが５μｍ～５０μｍなどである。また、第２粘着剤３２ｃの粘着力（ピーリング）は、紫外光の照射前（即ち、変性前）で例えば２Ｎ／２５ｍｍ～１０Ｎ／２５ｍｍなどであり、紫外光の照射後（即ち、変性後）で例えば０．５Ｎ／２５ｍｍ以下などである。また、第２粘着剤３２ｃのタック力（垂直剥離）は、紫外光の照射前（即ち、変性前）で例えば５Ｎ／ｃｍ^２～４０Ｎ／ｃｍ^２であり、紫外光の照射後（即ち、変性後）で例えば０．５Ｎ／ｃｍ^２以下などである。

第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃは、同じ材料を用いて構成してもよいし、或いは、互いに異なる材料を用いて構成してもよい。また、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃは、同じ厚さであってもよいし、或いは、互いに異なる厚さであってもよい。第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃを互いに同じ材料で且つ同じ厚さとする場合、１種類の粘着剤を用いて第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃを実現できる点で好ましい。また、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃを入れ違うこともなくなる。尚、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃを互いに異なる材料とする場合、両者の粘着力及びタック力を各別に自在に調節できる点で好ましい。

図７は、電子部品移載ロール３０の構造を説明する断面図である。シート３２を構成する基材フィルム３２ａは粘着性を有していないが、第２粘着剤３２ｃによって基材フィルム３２ａがロール３１の表面に貼り付けられる。

第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃは、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃは、外部から与えられる刺激によって粘着力が低下する材料である。刺激の例としては、例えば光、熱などがある。

図７に示す電子部品移載ロール３０を用いて電子部品１を移載する場合、先ず、第１保持部材１２が保持する電子部品１をロール３１の表面に設けられるシート３２で受け取る受取工程を行う。この受取工程は図１を用いて説明したのと同様である。

次に、受取工程の後に、ロール３１の表面に設けられるシート３２に対して第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃの粘着力を低下させるための刺激を与える刺激付与工程を行う。図８は、電子部品１の移載方法を説明する図であり、刺激付与工程を説明する図である。

図示するように、光照射装置２を用いて紫外光が電子部品移載ロール３０の表面に照射される。これにより、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃの粘着力が低下する。

次に、ロール３１の表面に設けられるシート３２が保持する電子部品１を第２保持部材２２に引き渡す引渡工程を実行する。この引渡工程は図２を用いて説明したのと同様である。

このように、本開示の電子部品移載方法は、軸心Ｘ周りに回転可能な円筒形のロール３１と、当該ロール３１の表面に設けられる粘着性を有するシート３２とを備え、表面に電子部品１を保持する第１保持部材１２から電子部品１をシート３２によって受け取り、受け取った電子部品１をシート３２から第２保持部材２２に渡す電子部品移載ロール３０を用いる方法であって、シート３２は、基材フィルム３２ａと、基材フィルム３２ａの、電子部品１と相対する側の表面に設けられる第１粘着剤３２ｂと、基材フィルム３２ａの、ロール３１と相対する側の表面に設けられる第２粘着剤３２ｃとを有し、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃは、外部から与えられる刺激によって粘着力が低下する材料であり、第１保持部材１２が保持する電子部品１をロール３１の表面に設けられるシート３２で受け取る受取工程と、受取工程の後に、ロール３１の表面に設けられるシート３２に対して第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃの粘着力を低下させるための刺激を与える刺激付与工程と、ロール３１の表面に設けられるシート３２が保持する電子部品１を第２保持部材２２に引き渡す引渡工程とを有する。

加えて、本開示の電子部品移載方法は、引渡工程の後、ロール３１の表面に設けられるシート３２に対して第２粘着剤３２ｃの粘着力を低下させるための刺激を与えずに、シート３２をロール３１から引き剥がす引剥工程を実行する。

以上のように、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃは、外部から刺激が与えられなければ粘着力は高い状態を維持する。つまり、シート３２がロール３１に対して正しく且つシート３２の曲げ応力に対抗して強固に粘着された状態で、シート３２の表面で電子部品１を保持することができる。また、ロール３１に装着されたシート３２に電子部品１が粘着された状態で、その電子部品１が粘着されている側のシート３２の表面から例えば光や熱などの刺激を与えることができる。その場合、刺激は、表面に露出している第１粘着剤３２ｂに直接作用し、且つ、第１粘着剤３２ｂ及び基材フィルム３２ａを介して第２粘着剤３２ｃに対して作用する。そして、その刺激により、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃの粘着力を低下させることができる。このように、１回の刺激を与えることで、シート３２から電子部品１を容易に取り外しでき、且つ、シート３２をロール３１から容易に取り外しできる状態になる。つまり、第１粘着剤３２ｂの粘着力を低下させるための紫外光照射等の刺激付与と、第２粘着剤３２ｃの粘着力を低下させるための紫外光照射等の刺激付与とを各別に行う必要が無いため、装置構成を簡単にでき且つ電子部品移載ロール３０を用いて電子部品１を第１保持部材１２から第２保持部材２２へと移載するのに必要な時間を短くできる。

＜別実施形態＞
上記実施形態では、電子部品移載ロール３０について具体例を挙げて説明したが、その構成は適宜変更可能である。

例えば、上記実施形態において、第２粘着剤３２ｃは、ロール３１と相対する側の基材フィルム３２ａの全面に設けられていなくてもよい。図９は、別の電子部品移載ロール３０を説明する断面図である。この例では、第２粘着剤３２ｃは、ロール３１と相対する側の基材フィルム３２ａの一部に設けられる。例えば、第２粘着剤３２ｃは、シート３２をロール３１に対して巻き始める部分（即ち、ロール３１の周方向の一端の部分）と、シート３２をロール３１に対して巻き終わりの部分（即ち、ロール３１の周方向の他端の部分）に設けられているが、巻き始め部分と巻き終わり部分との間には第２粘着剤３２ｃは設けられていない。そのため、第２粘着剤３２ｃが設けられていない部分では、基材フィルム３２ａがロール３１に対して接触する形態でシート３２がロール３１に装着されている。尚、ロール３１に対するシート３２の巻き始め部分及び巻き終わり部分のそれぞれにおいて、第２粘着剤３２ｃは軸心Ｘに平行な方向の一端から他端に亘る全域に連続して設けられていてもよいし、或いは、第２粘着剤３２ｃは軸心Ｘに平行な方向に並ぶ複数箇所で断続的に設けられていてもよい。

図１０は、別の電子部品移載ロール３０を説明する断面図である。この例では、第２粘着剤３２ｃは、ロール３１と相対する側の基材フィルム３２ａの一部に設けられる。例えば、第２粘着剤３２ｃは、シート３２をロール３１に対して巻き始める部分と、シート３２をロール３１に対して巻き終わりの部分に設けられているが、それらの間には第２粘着剤３２ｃは設けられていない。更に、図１０の例では、ロール３１は通気性を有する。そして、電子部品移載ロール３０は、ロール３１の外表面から内部へ空気を吸引する吸引ポンプとしての排気ポンプ３５を備える。また、ロール３１の内部の空間３１ｂには排気ポンプ３５が接続される。それにより、ロール３１の内部の空間３１ｂの空気が吸引ポンプによって排出されるのに伴って、ロール３１の外表面から内部の空間３１ｂに空気が吸引される。その結果、ロール３１によってシート３２が吸引され、その吸引力によりロール３１の表面でシート３２が固定される。

上述した図５及び図１０には、ロール３１に複数の貫通孔３１ａが設けられることでロール３１の通気性が実現される例を説明したが、ロール３１に貫通孔３１ａを設けるのではなく、ロール３１を多孔質材料を用いて構成することでロール３１の通気性を実現してもよい。

上記実施形態では、光を刺激として第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃに与えることで、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃの粘着力を低下させる例を説明したが、別の刺激を第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃに与えることで、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃの粘着力を低下させてもよい。例えば、第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃを熱により粘着力が低下する材料を用いて、熱を刺激として第１粘着剤３２ｂ及び第２粘着剤３２ｃに与えることでそれらの粘着力を低下させてもよい。

上記実施形態では、幾つかの数値例を記載したが、それらの値は例示目的で記載したものであり適宜変更可能である。

上記実施形態（別実施形態を含む、以下同じ）で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することが可能であり、また、本明細書において開示された実施形態は例示であって、本開示の実施形態はこれに限定されず、本開示の目的を逸脱しない範囲内で適宜改変することが可能である。

本開示は、ロールに対してシートを強固に貼り付けることができ且つシートをロールから取り外し易い電子部品移載ロール及び電子部品移載方法に利用できる。

１：電子部品
１２：第１保持部材
２２：第２保持部材
３０：電子部品移載ロール
３１：ロール
３２：シート
３２ａ：基材フィルム
３２ｂ：第１粘着剤
３２ｃ：第２粘着剤
３５：排気ポンプ（吸引ポンプ）
Ｘ：軸心

本開示の一実施形態に係る電子部品移載ロールの構成は、軸心周りに回転可能な円筒形のロールと、当該ロールの表面に設けられる粘着性を有するシートとを備え、表面に電子部品を保持する第１保持部材から前記電子部品を前記シートによって受け取り、受け取った前記電子部品を前記シートから第２保持部材に渡す電子部品移載ロールであって、
前記シートは、基材フィルムと、前記基材フィルムの、前記電子部品と相対する側の表面に設けられる第１粘着剤と、前記基材フィルムの、前記ロールと相対する側の表面に設けられる第２粘着剤とを有し、
前記第１粘着剤及び前記第２粘着剤は、前記ロールに前記シートが装着された状態で前記電子部品が粘着される側の前記シートの表面から与えられる刺激によって同時に粘着力が低下する材料である。
本開示の一実施形態に係る電子部品移載ロールの構成は、軸心周りに回転可能な円筒形のロールと、当該ロールの表面に設けられる粘着性を有するシートとを備え、表面に電子部品を保持する第１保持部材から前記電子部品を前記シートによって受け取り、受け取った前記電子部品を前記シートから第２保持部材に渡す電子部品移載ロールであって、
前記シートは、基材フィルムと、前記基材フィルムの、前記電子部品と相対する側の表面に設けられる第１粘着剤と、前記基材フィルムの、前記ロールと相対する側の表面に設けられる第２粘着剤とを有し、
前記第１粘着剤及び前記第２粘着剤は、外部から与えられる刺激によって粘着力が低下する材料であり、
前記ロールは通気性を有し、
前記ロールの外表面から内部へ空気を吸引する吸引ポンプを備える。

本開示の一実施形態に係る電子部品移載方法の構成は、軸心周りに回転可能な円筒形のロールと、当該ロールの表面に設けられる粘着性を有するシートとを備え、表面に電子部品を保持する第１保持部材から前記電子部品を前記シートによって受け取り、受け取った前記電子部品を前記シートから第２保持部材に渡す電子部品移載ロールを用いる電子部品移載方法であって、
前記シートは、基材フィルムと、前記基材フィルムの、前記電子部品と相対する側の表面に設けられる第１粘着剤と、前記基材フィルムの、前記ロールと相対する側の表面に設けられる第２粘着剤とを有し、前記第１粘着剤及び前記第２粘着剤は、外部から与えられる刺激によって粘着力が低下する材料であり、
前記第１保持部材が保持する前記電子部品を前記ロールの表面に設けられる前記シートで受け取る受取工程と、
前記受取工程の後に、前記ロールの表面に設けられる前記シートに対して前記第１粘着剤及び前記第２粘着剤の粘着力を低下させるための刺激を与える刺激付与工程と、
前記ロールの表面に設けられる前記シートが保持する前記電子部品を前記第２保持部材に引き渡す引渡工程と、
前記引渡工程の後、前記ロールの表面に設けられる前記シートに対して前記第２粘着剤の粘着力を低下させるための刺激を与えずに、前記シートを前記ロールから引き剥がす引剥工程とを有する。

また、本構成によれば、引剥工程において、引渡工程の後、ロールの表面に設けられるシートに対して第２粘着剤の粘着力を低下させるための刺激を与えずに、シートをロールから引き剥がす。つまり、ロールからシートを引き剥がす工程を簡単に実行できる。

Claims

軸心周りに回転可能な円筒形のロールと、当該ロールの表面に設けられる粘着性を有するシートとを備え、表面に電子部品を保持する第１保持部材から前記電子部品を前記シートによって受け取り、受け取った前記電子部品を前記シートから第２保持部材に渡す電子部品移載ロールであって、
前記シートは、基材フィルムと、前記基材フィルムの、前記電子部品と相対する側の表面に設けられる第１粘着剤と、前記基材フィルムの、前記ロールと相対する側の表面に設けられる第２粘着剤とを有し、
前記第１粘着剤及び前記第２粘着剤は、外部から与えられる刺激によって粘着力が低下する材料である電子部品移載ロール。
前記第２粘着剤は、前記ロールと相対する側の前記基材フィルムの全面に設けられる請求項１に記載の電子部品移載ロール。
前記ロールは通気性を有し、
前記ロールの外表面から内部へ空気を吸引する吸引ポンプを備える請求項１又は２に記載の電子部品移載ロール。
軸心周りに回転可能な円筒形のロールと、当該ロールの表面に設けられる粘着性を有するシートとを備え、表面に電子部品を保持する第１保持部材から前記電子部品を前記シートによって受け取り、受け取った前記電子部品を前記シートから第２保持部材に渡す電子部品移載ロールを用いる電子部品移載方法であって、
前記シートは、基材フィルムと、前記基材フィルムの、前記電子部品と相対する側の表面に設けられる第１粘着剤と、前記基材フィルムの、前記ロールと相対する側の表面に設けられる第２粘着剤とを有し、前記第１粘着剤及び前記第２粘着剤は、外部から与えられる刺激によって粘着力が低下する材料であり、
前記第１保持部材が保持する前記電子部品を前記ロールの表面に設けられる前記シートで受け取る受取工程と、
前記受取工程の後に、前記ロールの表面に設けられる前記シートに対して前記第１粘着剤及び前記第２粘着剤の粘着力を低下させるための刺激を与える刺激付与工程と、
前記ロールの表面に設けられる前記シートが保持する前記電子部品を前記第２保持部材に引き渡す引渡工程とを有する電子部品移載方法。
前記引渡工程の後、前記ロールの表面に設けられる前記シートに対して前記第２粘着剤の粘着力を低下させるための刺激を与えずに、前記シートを前記ロールから引き剥がす引剥工程を有する請求項４に記載の電子部品移載方法。