JP2024073103A - ガラスクロス、ガラスクロスの製造方法、プリプレグ、プリント配線板 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、低誘電樹脂との安定した均一な樹脂含浸性を有するガラスクロス、及びその製造方法と、該ガラスクロスを用いたプリプレグ及びプリント配線板とを提供することを目的とする。【解決手段】複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として製織してなる、ガラスクロスの製造方法であって、ヒートクリーニング工程と、洗浄工程と、シランカップリング剤処理する工程を順次含み、前記洗浄工程が、ガラスクロスに水中で超音波を照射して洗浄する方法である、ガラスクロスの製造方法が提供される。【選択図】なし

Description

本発明は、ガラスクロス、ガラスクロスの製造方法、プリプレグ、プリント配線板などに関する。

近年の情報通信社会の発達とともに、データ通信及び／又は信号処理が大容量で高速に行われるようになり、電子機器に用いられるプリント配線板の低誘電化（低誘電率化及び低誘電正接化）が著しく進行している。そのため、プリント配線板を構成するガラスクロスとして、低誘電ガラスクロスが提案されている。

例えば、従来から一般に使用されているＥガラスクロスに対して、ガラス組成中にＢ_２Ｏ_３を多く配合した低誘電ガラスクロスが知られている（特許文献１参照）。特許文献１に記載のガラスクロスは、強熱減量値が０．２５質量％～１．０質量％の範囲になるように多量のシランカップリング剤で表面処理することにより、Ｂ_２Ｏ_３含量が多いことに起因する吸湿性を抑制でき、実用的な絶縁信頼性が得られることが開示されている。

また、プリント配線板を構成する樹脂においても、ポリフェニレンエーテル等の低誘電樹脂が多く提案されている。低誘電樹脂は、嵩高い官能基を有する傾向、粘度が高くなる傾向を有し、従来から一般に用いられているエポキシ樹脂等と比較して、ガラスクロスへの含浸性に劣ることがある。ガラスクロスへの含浸性に劣ると、基板中のガラス繊維糸束に樹脂未含浸部分（ボイド）ができ易く、ＣＡＦ（Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ａｎｏｄｉｃ Ｆｉｌａｍｅｎｔｓ）が問題になり易い。そのため、ガラスクロス側の樹脂含浸性をより一層高めることにより、耐ＣＡＦ性を向上させる必要がある。

ガラスクロスの樹脂含浸性を高めるには、ガラス繊維表面をシランカップリング剤等で処理して樹脂との親和性を向上させる化学的な方法、ガラス繊維糸束を開繊させて樹脂を浸み込み易くする方法などが知られている。

シランカップリング剤等を用いて含浸性を向上させる化学的な方法としては、特殊なシランカップリング剤を用いる方法（例えば、特許文献２参照）、シランカップリング剤を均一に処理する方法（例えば、特許文献３、４参照）等が知られている。ガラス繊維を開繊させて樹脂を浸み込み易くする開繊方法としては、柱状流、若しくはスプレー流を使用する方法、バイブロウォッシャーによる方法、又は液体を媒体とした高周波振動による方法等の方法が知られている（例えば、特許文献５等）。

一方でヒートクリーニングによる燃焼残さが少ないガラスクロスは、例えば特許文献６～８に開示されている。特許文献６に記載のガラスクロスは、アセトンによる抽出処理で捕集される抽出物量を５０ｐｐｍ以下とすることで、樹脂との接着性が増し、耐熱性が向上することが開示されている。特許文献６に具体的に開示されているサイジング剤（集束剤）付着量は、１２ｐｐｍ（実施例７）～３８ｐｐｍ（実施例１０）であった。

特許文献７に記載のガラスクロスは、ガラス成分由来の重量減少が特定範囲であり、且つ、白色度が９５以上であることにより、絶縁性に優れるガラスクロスが得られることが開示されている。

特許文献８に記載のガラスクロスは、水溶性高分子をサイジング剤（集束剤）に用い、その後水洗と開繊を同時に行い、サイジング剤付着量を０．１％以下にすることで、シランカップリング剤による表面処理が均一になる効果と開繊が進む効果が重なり、含浸性が向上することが開示されている。特許文献８に具体的に開示されている集束剤付着量は、０．０６％（６００ｐｐｍ、実施例２）～０．０８％（８００ｐｐｍ、実施利１）であった。

国際公開第２０１６／１７５２４８号 特開平０９－００３７７０号公報 特開２００５－２８１８８９号公報 特開平１０－２４５７６６号公報 特開２００１－３４８７５７号公報 特開２０２０－１００９１３号公報 特開２０２２－０２１６６６号公報 特開平１０－２４５７６６号公報

前述のとおり、低誘電ガラスクロスには、ポリフェニレンエーテル樹脂等の低誘電樹脂に対し、高い含浸性が求められている。しかしながら、特許文献２～５等に記載の従来の方法では、何れも含浸性に改善の余地があった。この理由は、限定されるものではないが、以下に示すとおり：
（ｉ）Ｂ含量が多い低誘電ガラスクロスは、ヒートクリーニング時に、サイジング剤由来の粘稠性の燃焼残さ（副産物）が多く生成する；
（ｉｉ）この粘稠性の燃焼残さが、接着剤として作用し、ガラス糸束中の隣り合うフィラメント同士を接着してしまう；
（ｉｉｉ）隣り合うフィラメント同士が接着した状態で、その上からシランカップリング処理を行うことで、複数フィラメントを覆うようにシランカップリング剤による被膜が形成されてしまう；または
（ｉｖ）その結果、マトリクス樹脂の含浸阻害が生じている；
ものと考えられる。

上記のように含浸性改善を目的としたものではないが、ヒートクリーニングによる燃焼残さが少ないガラスクロスは、特許文献６～８に開示されている。

しかしながら、本発明者らが調査したところ、特許文献６～８に記載の燃焼残さ付着量では、フィラメント間の接着が残存しており、そのために、シランカップリング剤処理による複数フィラメントを覆う被膜が形成され、十分な含浸性が得られないことが判明した。燃焼残さが粘稠性を有するために少量でフィラメント間の接着を引き起こすものと推定される。また、低誘電ガラス組成、おそらくはホウ素（Ｂ）成分がサイジング剤の加熱分解を阻害し、粘稠性の副産物となり、フィラメント同士を結合するものと推測される。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、低誘電樹脂との安定した均一な樹脂含浸性を有するガラスクロス、及びその製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、該ガラスクロスを用いたプリプレグ及びプリント配線板を提供することも目的とする。

本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、ガラス糸に施されるサイジング剤の燃焼残さに起因するガラス繊維同士の接着が低誘電ガラスクロスの含浸性を阻害している大きな原因であることを突き止めた。そして、本発明者らは、サイジング剤の燃焼残さ量を特定範囲に調整することで良好なガラスクロスの含浸性が得られること、サイジング剤の燃焼残さ量を特定範囲に調整する方法を見出すことで、低誘電樹脂との安定した均一な含浸性を有する低誘電ガラスクロスが得られるに至った。本発明の一態様を以下に列記する。
＜１＞
複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として製織してなる、ガラスクロスの製造方法であって、ヒートクリーニング工程と、洗浄工程と、シランカップリング剤処理工程とを順次含み、
前記洗浄工程では、ガラスクロスに水中で超音波を照射して洗浄する、ガラスクロスの製造方法。
＜２＞
前記洗浄工程後の前記経糸の糸幅の下限値が、下式（１）：
１２０×Ｔ^{０．３８５}・・・式（１）
｛式中、Ｔ：経糸のＴＥＸ｝
で求められる値以上である、項目１に記載のガラスクロスの製造方法。
＜３＞
前記ガラスクロスの経糸の初期伸びの均一性が２０％以下となるように調整した状態で前記洗浄工程を行う、項目１又は２に記載のガラスクロスの製造方法。
＜４＞
前記ガラスクロスのアセトンによる抽出処理で捕集される抽出物量が、０ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ未満の範囲となるように前記洗浄工程を行う、項目１～３のいずれか１項に記載のガラスクロスの製造方法。
＜５＞
複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として構成されたガラスクロスであって、
アセトンによる抽出処理で捕集される抽出物量が、０ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ未満である、ガラスクロス。
＜６＞
前記ガラスクロスの経糸の初期伸びの均一性が２０％以下である、項目５に記載のガラスクロス。
＜７＞
前記経糸の糸幅の下限値が、下式（１）：
１２０×Ｔ^{０．３８５}・・・式（１）
｛式中、Ｔ：経糸のＴＥＸ｝
で求められる値以上である、項目５又は６に記載のガラスクロス。
＜８＞
前記ガラスクロスのホウ素（Ｂ）含量が、Ｂ_２Ｏ_３換算で、１５～４０質量％である、項目５～７のいずれか１項に記載のガラスクロス。
＜９＞
前記ガラスクロスの弾性係数が、５０～７０ＧＰａである、項目５～８のいずれか１項に記載のガラスクロス。
＜１０＞
前記ガラスクロスの弾性係数が、５０～６３ＧＰａである、項目５～９のいずれか１項に記載のガラスクロス。
＜１１＞
項目５～１０のいずれか１項に記載のガラスクロスと、該ガラスクロスに含浸されたマトリックス樹脂と、を有する、プリプレグ。
＜１２＞
項目５～１０のいずれか１項に記載のガラスクロスと、該ガラスクロスに含浸されたマトリックス樹脂と、金属箔と、を有する、プリント配線板。

本発明によれば、低誘電樹脂との良好な含浸性を有する低誘電ガラスクロスを提供することができる。また、本発明によれば、該低誘電ガラスクロスを用いたプリプレグ及びプリント配線板を提供することもできる。

以下、本発明の実施の形態（以下、「本実施形態」という。）について詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。

〔ガラスクロスの製造方法〕
本実施形態のガラスクロスの製造方法は、複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として製織してなる、ガラスクロスの製造方法であって、ヒートクリーニング工程と、洗浄工程と、次いで、ガラスクロスまたはその中間体をシランカップリング剤で処理するシランカップリング剤処理工程とを順次含む、ガラスクロスの製造方法である。

本発明によれば、ヒートクリーニング後に燃焼残さを洗浄除去し、燃焼残さが接着剤として作用することによるフィラメント間の接着を防ぐことにより、シランカップリング剤による複数フィラメントを覆う被膜形成が回避され、低誘電樹脂との含浸性が向上する。

（ヒートクリーニング工程）
本実施形態に係るガラスクロスの製造方法は、ヒートクリーニング工程を含む。ヒートクリーニング工程においては、ガラスクロスに３５０℃～１０００℃で２秒から１００時間加熱処理を行うことができる。

加熱処理の温度は３６０～６００℃が好ましく、３７０～５００℃がさらに好ましい。温度が３５０℃より高くなるようにガラスクロスを加熱することによって、ガラスクロス表面に付着している有機物を効率よく除去したり、有機物の除去時間を短縮したりすることができる。ガラスクロスの加熱処理は、逐次的もしくは連続的に、閉鎖系もしくは開放系で、行われることができ、または閉鎖系と開放系を組み合わせて行われることができる。生産性の観点から、巻出機構と巻取機構と有する装置を用いて、Ｒｏｌｌ－ｔｏ－Ｒｏｌｌでガラスクロスを加熱処理する方式が特に好ましい。

閉鎖系の場合には、加熱手段の観点から、ガラスクロスを加熱炉内に配置することが好ましく、かつ／又は貯蔵スペースおよび加熱範囲の観点から、ガラスクロスを巻物の状態で貯蔵しながら加熱することが好ましい。また、有機物除去の効率を上げたり、有機物の除去時間を短縮したりするという観点から、加熱炉内でガラスクロスを搬送しながら加熱することも好ましい。

開放系の場合には、被加熱面積の観点から、ガラスクロスを搬送させながら加熱することが好ましい。ガラスクロスの搬送は、例えば、巻出機構と巻取機構により行われることができる。

ガラスクロスを加熱する手段は、ガラスクロス表面温度が３５０℃より高くなるように加熱が行なわれる限り、既知の加熱方法、加熱媒体、加熱機構、加熱装置および加熱部品でよく、例えば、加熱炉内でのガラスクロスの加熱、加熱部とガラスクロスの接触、高温蒸気をガラスクロスに当てること等でよい。

〔加熱炉〕
加熱炉の加熱手段としては、ガラスクロスを３５０℃よりも高い温度となるように加熱できるのであれば、電気式ヒーター、バーナーなど種々のものが考えられ、特定の手段のみに限定されない。また、複数の手段を組み合わせて、加熱をしてもよいが、ガラスクロスを酸素濃度１０体積％以上の雰囲気下で加熱することが好ましく、そのためには、ガス式シングルラジアントチューブバーナー、もしくは、電気式ヒーターを用いることが好ましい。

加熱炉は、加熱効率の観点から、加熱炉内で生成したガスを排出する手段、および／または空気循環手段を備えることが好ましい。ガス排出手段は、例えば、ノズル、ガス管、小穴、ガス抜き弁などでよい。空気循環手段は、例えば、ファン、空気調和設備などでよい。

また、ガラスクロス表面に付着している有機物を効率よく除去するためには、ガラス繊維織物を巻芯に巻いて、所定の雰囲気温度でガラスクロスを加熱するバッチ方式よりも、ガラスクロスを連続的に加熱炉に通しながら、加熱することが可能な連続方式が好ましい。

また、上記有機物の除去のし易さの観点から、ガラスクロスを加熱する際の酸素濃度は、１０体積％以上が好ましく、より好ましくは１２体積％以上、さらに好ましくは１３体積％以上、特に好ましくは１５体積％以上である。酸素濃度は、加熱炉内で生成したガスを排出しながら、空気循環手段によって１０体積％以上に調整されることができる。

〔ガラスクロスを加熱するための接触部材〕
ガラスクロスを加熱する方法として、上記加熱炉を使用してもよいが、低ランニングコストの観点から、所定の温度に加熱した部材とガラスクロスを接触させることで、ガラスクロスを加熱してもよい。接触部材の形状は特に限定されないが、ガラスクロスの搬送のし易さから、ロール形状が好ましい。ロール形状でガラスクロスを加熱することが可能な部材としては、高温領域での使用が可能で、幅方向の温度のばらつきが比較的少ない、誘導発熱方式で加温するロールが好ましい。接触部材でガラスクロスを加熱するときには、接触部材の温度とガラスクロスの表面温度が概ね等しいことが考えられる。

また、ガラスクロスを連続加熱するにつれ、加熱ロールに付着する炭化物を除去するために、上記加熱ロール方式は、ロールに付着した汚れや異物を除去する機構、例えば、ブレード等の機構を備えた方式であることが好ましい。

〔高温蒸気をガラスクロスに適用すること〕
ガラスクロスに適用される蒸気は、例えば、揮発性溶媒、水蒸気、水蒸気以外のガスなどを含んでよいが、人体への毒性の観点やガラス繊維に用いられる集束剤の分解が促進し易い観点から水蒸気が好ましい。高温蒸気適用手段は、限定されるものではないが、噴霧、シャワー拡散、ジェットノズルなどでよい。代替的には、加熱炉から排出したガスを高温蒸気として再利用することがある。

（洗浄工程）
本実施態様に係るガラスクロスの製造方法は、ヒートクリーニング工程の後に、ガラスクロスに水中で超音波を照射して洗浄する、洗浄工程を含む。
洗浄工程においては、ガラスクロスに水中で超音波を照射して洗浄する工程に加え、行程中に別の洗浄工程をさらに含んでもよい。別の洗浄方法としては、ガラスクロスを液体に浸漬する方法、ガラスクロスを液体に浸漬して液体を通じてガラスクロスに力を加える方法（例えば、バイブロウォッシャー法、超音波法）、ガラスクロスに液体を勢いよくスプレーする方法（例えば、高圧スプレー法）等が挙げられる。

ガラスクロスを巻物の状態で液体に浸漬して洗浄することもでき、或いは、生産性および洗浄性の観点から、巻出機構と巻取機構と有する装置を用いて、Ｒｏｌｌ－ｔｏ－Ｒｏｌｌでガラスクロスを搬送させながら洗浄する方式が好ましい。

洗浄に用いる液体としては、水、又は有機溶媒のいずれも使用できるが、安全性及び地球環境保護の観点から、水を主成分とする液体を用いることが好ましい。洗浄に用いる液体には、洗浄の効率を上げるために、界面活性剤やｐＨ調整剤を加えることも可能である。

洗浄に用いる液体の温度に特に制約はないが、洗浄効果を高める観点で、５℃以上が好ましい。また、洗浄に用いる液体の温度は、安全性の観点から６０℃以下が好ましい。

本発明の一実施形態においては、ヒートクリーニング後の燃焼残さを極力洗浄除去してからシランカップリング剤処理工程に供することが好ましいため、洗浄力を高められる観点で、ガラスクロスに水中で超音波を照射して洗浄する方法を用いる。また、本発明の別の実施形態においては、超音波による洗浄と、本発明の他の要件と組み合わせることで、アセトン抽出物含量が１０ｐｐｍ未満となるまで洗浄することができるため好ましい。

超音波発振器によって超音波が照射されている水中にガラスクロスを走行させることによって、ガラスクロスに水中で超音波を照射して洗浄することができる。洗浄工程中の経糸に作用するライン張力は、３０Ｎ～５００Ｎ／１ｍが好ましい。経糸に作用するライン張力が３０Ｎ／１ｍ以上で、ガラスクロスに弛みがなく、また、後述する経糸の初期伸びの均一性が本発明の好ましい範囲にある時、経糸が緩むことなく均一に張られているため、超音波による洗浄力をムラなく作用させることができ、後述するアセトン抽出物含量を１０ｐｐｍ未満とすることができるため好ましい。

超音波照射による洗浄は、２０ｋＨｚ以上２００ｋＨｚ以下の周波数を有する超音波を用いることができる。超音波の周波数は、２０ｋＨｚ以上５０ｋＨｚ以下の周波数が好ましく、より好ましくは２０ｋＨｚ以上３０ｋＨｚ以下である。２０ｋＨｚ以上２００ｋＨｚ以下の周波数を有する超音波を用いれば、ガラスクロスの目曲り等の大きな欠点なく洗浄処理を行えるので好ましい。

本開示の一態様における超音波洗浄には、０．０７Ｗ／ｃｍ^２以上３．６０Ｗ／ｃｍ^２以下の出力の超音波を好ましく用いることができる。超音波出力のより好ましい範囲は０．１４Ｗ／ｃｍ^２以上２．１６Ｗ／ｃｍ^２以下、更に好ましい範囲は０．２１Ｗ／ｃｍ^２以上１．４４Ｗ／ｃｍ^２以下である。超音波出力が０．０７Ｗ／ｃｍ^２以上で良好に洗浄することができ、超音波出力が３．６０Ｗ／ｃｍ^２以下で目曲りなどの発生がなく均一な洗浄を行うことができるので好ましい。

本開示の一態様における好ましい超音波処理時間は、０．５秒以上６０秒以下である。超音波処理時間が０．５秒以上で良好にガラスクロスまたはその中間体を洗浄することができるので好ましい。超音波処理時間は長い方が大きな洗浄効果が得られるので好ましいが、６０秒を超えて処理しても更なる洗浄は殆どないので、６０秒で十分である。

また、本開示の一態様の超音波洗浄処理に用いる水中には、通常、窒素や酸素を主成分とする空気が溶存しているが、該溶存酸素量（重量比）は１ｐｐｍ以上２０ｐｐｍ以下であることが好ましく、より好ましい範囲は３ｐｐｍ以上１７ｐｐｍ以下であり、更に好ましい範囲は４ｐｐｍ以上１４ｐｐｍ以下である。溶存酸素量を管理することで、間接的に溶存気体量を制御することが可能であり、超音波が溶存気体により減衰される程度を制御することが可能となる。溶存酸素量は１ｐｐｍ以上で、均一に開繊処理が施されるため好ましい。溶存酸素量が２０ｐｐｍ以下の時、繊維織物に良好な洗浄作用が与えられるので好ましい。溶存酸素量が１ｐｐｍ以上２０ｐｐｍ以下の範囲で、均一で良好な開繊効果が得られるので好ましい。

（シランカップリング剤処理工程）
本実施形態に係るガラスクロスの製造方法は、洗浄工程後にシランカップリング剤処理工程を含む。シランカップリング剤としては後述する化合物を用いることができる。シランカップリング剤処理工程は、シランカップリング剤を含む処理液によってガラスフィラメントの表面をシランカップリング剤で覆う被覆工程と、加熱乾燥によりシランカップリング剤をガラスフィラメントの表面に化学的に固着させる固着工程と、を有する方法が挙げられる。処理液は、０．１重量％～３．０重量％のシランカップリング剤を含有することが好ましい。被覆工程によって、ガラスフィラメントの表面をシランカップリング剤でほぼ完全に覆うことが好ましい。

本実施形態のシランカップリング剤処理工程は、ガラスフィラメントの表面に物理的に付着したシランカップリング剤の少なくとも一部を水等の洗浄液により洗浄することにより、シランカップリング剤の付着量を調整する調整工程を含んでいてもよい。洗浄は、高圧スプレー水等で行うことができる。

シランカップリング剤を溶解又は分散させる溶媒としては、水、又は有機溶媒のいずれも使用できるが、安全性及び地球環境保護の観点から、水を主溶媒とすることが好ましい。水を主溶媒とした処理液を得る方法としては、シランカップリング剤を直接水に投入する方法、シランカップリング剤を水溶性有機溶媒に溶解させて有機溶媒溶液とした後に該有機溶媒溶液を水に投入する方法のいずれかの方法が好ましい。シランカップリング剤の処理液中での水分散性、安定性を向上させるために、界面活性剤を併用することも可能である。

必要に応じて、ガラスクロス製織工程後に、ガラスクロスのガラス糸を開繊する開繊工程を行ってもよく、シランカップリング剤処理工程が開繊工程を兼ねるものであってもよい。

なお、開繊前後ではガラスクロスの組成は通常変化しない。上記製造方法により、ガラス糸を構成するガラスフィラメント１本１本の表面全体に、ほぼ完全、かつ均一にシランカップリング剤層を形成することができると考えられる。

処理液をガラスクロスに塗布する方法としては、（Ａ）処理液をバスに溜め、ガラスクロスを浸漬、通過させる方法（以下、「浸漬法」という。）、（Ｂ）ロールコーター、ダイコーター、またはグラビアコーター等で処理液をガラスクロスに直接塗布する方法等が可能である。上記（Ａ）の浸漬法にて塗布する場合は、ガラスクロスの処理液への浸漬時間を０．５秒以上、１分以下に設定することが好ましい。

ガラスクロスに処理液を塗布した後、溶媒を加熱乾燥させる方法としては、熱風、電磁波等の公知の方法が挙げられる。加熱乾燥温度は、シランカップリング剤とガラスとの反応が十分に行われるように、好ましくは９０℃以上であり、より好ましくは１００℃以上である。また、加熱乾燥温度は、シランカップリング剤が有する有機官能基の劣化を防ぐために、好ましくは３００℃以下であり、より好ましくは２００℃以下である。

（アセトンによる抽出処理で捕集される抽出物含有量）
本実施形態においては、ガラスクロスの燃焼残さの含有量の指標として、ガラスクロスのアセトンによる抽出処理で捕集される抽出物含有量（ｐｐｍ）を用いる。本実施形態におけるアセトンによる抽出処理で捕集される抽出物含有量は、ガラスクロス重量に対するアセトン抽出される成分量の割合であり、具体的には実施例に記載の方法によって測定される。

ヒートクリーニング後の洗浄工程によって得られるガラスクロス中間体の、アセトンによる抽出処理で捕集される抽出物含有量は、1０ｐｐｍ未満であることが好ましい。アセトンによる抽出処理で捕集される抽出物含量は、より好ましくは９ｐｐｍ以下であり、さらに好ましくは８ｐｐｍ以下であり、さらにより好ましくは７ｐｐｍ以下である。抽出物含有量が１０ｐｐｍ未満であることにより、低誘電樹脂との安定した含浸性が得られる。

上記抽出物含有量の下限は、燃焼残さを十分に除去して低誘電樹脂との含浸性を高める観点から０ｐｐｍであることが理想であるが、０ｐｐｍ超過であってもよい。

アセトンによる抽出処理で捕集される抽出物含有量を調整する方法としては、例えば、ヒートクリーニング処理において、加熱温度、及び／又は加熱時間を制御する方法、ヒートクリーニング前及び／又は後のガラスクロスに水洗等を施し、ガラスクロス表面に付着している付着物及び／又は燃焼残さ等を除去する方法、サイジング剤のワックス成分の配合量を多くして燃焼を促進し、残さの発生を抑制することなどが挙げられる。

ここで、ヒートクリーニング処理において、加熱温度、及び／又は加熱時間を制御する方法としては、具体的には、加熱温度を高くするよう制御すること、加熱時間を長くするよう制御すること等が挙げられるが、加熱温度を高くする、或いは、加熱時間を長くすると、ガラスクロスの強度が低下し、ガラスクロスの破れや破断、毛羽の発生などを招くので、注意が必要である。ヒートクリーニング処理の加熱温度、及び／又は加熱時間の制御だけでは、ガラスクロスの破れや破断、毛羽等を発生させることなく、アセトン抽出物含有量を１０ｐｐｍ未満とするのは困難であるが、本発明に記載の他の方法と適時組み合わせ、アセトン抽出物含有量を１０ｐｐｍ未満とすることができるため好ましい。

ヒートクリーニング前にガラスクロスに水洗等を施す方法は、ヒート残さ量の低減に一定の効果はあるが、ヒート残さ量の低減には限度があり、アセトン抽出物含有量を１０ｐｐｍ未満とすることはできない。本発明に記載の他の方法と適時組み合わせることで、効果的にアセトン抽出物含有量を１０ｐｐｍ未満とすることができるため好ましい。

サイジング剤のワックス成分の配合量を多くして燃焼を促進し、残さの発生を抑制する方法においても、Ｂ含量が多い低誘電ガラスクロスでは、ヒートクリーニング残さの発生を完全に解消することはできず、アセトン抽出物含有量を１０ｐｐｍ未満とすることはできない。本発明に記載の他の方法と適時組み合わせることで、効果的にアセトン抽出物含有量を１０ｐｐｍ未満とすることができるため好ましい。

本発明の一実施形態においては、ヒートクリーニング後に、特定の条件でガラスクロスに洗浄を施すことで、アセトン抽出物含有量を１０ｐｐｍ未満に調整できるので好ましい。具体的には上述のように、ガラスクロスに水中で超音波を照射して洗浄する方法である。

アセトン抽出物含有量の調整と関連して、超音波発振器によって超音波が照射されている水中にガラスクロスを走行させることによって、ガラスクロスに水中で超音波を照射して洗浄することができる。洗浄工程中の経糸に作用するライン張力は、３０Ｎ～５００Ｎ／１ｍが好ましい。経糸に作用するライン張力が３０Ｎ／１ｍ以上で、ガラスクロスに弛みがなく、また、後述する経糸の初期伸びの均一性が本発明の好ましい範囲にある時、経糸が緩むことなく均一に張られているため、超音波による洗浄力をムラなく作用させることができ、アセトン抽出物含量を１０ｐｐｍ未満とすることができるため好ましい。

アセトン抽出物含有量の調整と関連して、超音波照射による洗浄は、２０ｋＨｚ以上２００ｋＨｚ以下の周波数を有する超音波を用いることができる。超音波の周波数は、２０ｋＨｚ以上５０ｋＨｚ以下の周波数が好ましく、より好ましくは２０ｋＨｚ以上３０ｋＨｚ以下である。２０ｋＨｚ以上２００ｋＨｚ以下の周波数を有する超音波を用いれば、ガラスクロスの目曲り等の大きな欠点なく洗浄処理を行えるので好ましい。

アセトン抽出物含有量の調整と関連して、超音波洗浄には、０．０７Ｗ／ｃｍ^２以上３．６０Ｗ／ｃｍ^２以下の出力の超音波を好ましく用いることができる。超音波出力のより好ましい範囲は０．１４Ｗ／ｃｍ^２以上２．１６Ｗ／ｃｍ^２以下、更に好ましい範囲は０．２１Ｗ／ｃｍ^２以上１．４４Ｗ／ｃｍ^２以下である。超音波出力が０．０７Ｗ／ｃｍ^２以上で良好に洗浄することができ、超音波出力が３．６０Ｗ／ｃｍ^２以下で目曲りなどの発生がなく均一な洗浄を行うことができるので好ましい。

アセトン抽出物含有量の調整と関連して、好ましい超音波処理時間は、０．５秒以上６０秒以下である。超音波処理時間が０．５秒以上で良好に洗浄することができるので好ましい。超音波処理時間は長い方が大きな洗浄効果が得られるので好ましいが、６０秒を超えて処理しても更なる洗浄は殆どないので、６０秒で十分である。

また、アセトン抽出物含有量の調整と関連して、超音波洗浄処理に用いる水中には、通常、窒素や酸素を主成分とする空気が溶存しているが、該溶存酸素量（重量比）は１ｐｐｍ以上２０ｐｐｍ以下であることが好ましい。より好ましい範囲は３ｐｐｍ以上１７ｐｐｍ以下であり、更に好ましい範囲は４ｐｐｍ以上１４ｐｐｍ以下である。溶存酸素量を管理することで、間接的に溶存気体量を制御することが可能であり、超音波が溶存気体により減衰される程度を制御することが可能となる。溶存酸素量は１ｐｐｍ以上で、均一に開繊処理が施されるため好ましい。溶存酸素量が２０ｐｐｍ以下の時、繊維織物に良好な洗浄作用が与えられるので好ましい。溶存酸素量が１ｐｐｍ以上２０ｐｐｍ以下の範囲で、均一で良好な開繊効果が得られるので好ましい。

本発明の一実施形態に係るガラスクロスの製造方法では、シランカップリング剤でガラスクロスを処理するシランカップリング剤処理工程後に、最終的に得られるガラスクロスのアセトン抽出物含量も１０ｐｐｍ未満であることが好ましい。アセトンによる抽出処理で捕集される抽出物含量は、好ましくは９ｐｐｍ以下であり、さらに好ましくは８ｐｐｍ以下であり、さらにより好ましくは７ｐｐｍ以下である。抽出物含有量が１０ｐｐｍ未満であることにより、低誘電樹脂との安定した含浸性が得られる。

最終的に得られるガラスクロスの上記抽出物含有量の下限は、燃焼残さを十分に除去して低誘電樹脂との含浸性を高める観点から０ｐｐｍであることが理想であるが、０ｐｐｍ超過であってもよい。

ヒートクリーニング後の洗浄工程でアセトン抽出物含量を１０ｐｐｍ未満とすれば、その後の工程では、アセトンに不溶な成分を意図的に付与しない限り、アセトン抽出物含量は１０ｐｐｍ未満となる。シランカップリング剤がガラスクロスに化学的に結合していれば、アセトンによる抽出操作ではシランカップリング剤層は剥離しない。また、物理的に吸着しているシランカップリング剤は、アセトン洗浄によりアセトンに溶解して洗浄除去されるので、アセトン不溶物として抽出物含量には加味されない。従って、ヒートクリーニング後の残さ洗浄工程以降、不純物の混入がなければアセトン抽出物含量は１０ｐｐｍ未満となる。不純物の混入はプリント配線板の絶縁不良を引き起こす原因となるため、アセトン抽出物含量は１０ｐｐｍ未満であることが好ましい。アセトン抽出物含量を指標として、不純物の混入がないことを確認できる。

（経糸の初期伸びの均一性）
また、本発明の一実施形態に係る洗浄工程において、前記ガラスクロスの経糸の初期伸びの均一性が２０％以内であることが好ましい。ガラスクロスの経糸の初期伸びの均一性のより好ましい範囲は１６％以内であり、さらに好ましい範囲は１２％以内であり、さらにより好ましい範囲は９％以内であり、最も好ましい範囲は７％以内である。

ここで、経糸の初期伸びの均一性とは、幅２５ｍｍ当たり１．５Ｎの荷重を経糸方向にかけた際に生じる伸び率を幅方向に等間隔で２５カ所求めた際の均一性を示す指標であり、具体的には実施例に記載の方法によって測定される。

幅２５ｍｍ当たり１．５Ｎの荷重を経糸方向にかけた際の経糸の初期伸びの均一性が２０％以内であれば、ヒートクリーニング後に残さを水洗する工程において、ガラスクロスに作用するライン張力（３０～５００Ｎ／１ｍ）の下、ガラスクロスの経糸が緩むことなく、均一に張ることができるため、超音波照査等の水洗加工力が経糸に均一に作用し、十分な洗浄作用が発揮され、アセトン抽出物含有量が１０ｐｐｍ未満に調整され易いので好ましい。

幅２５ｍｍ当たり１．５Ｎの荷重を経糸方向にかけた際の経糸の初期伸びの均一性の下限は、水洗加工力が均一に作用する観点から０％であることが理想であるが、０％超過であってもよい。

例えば、撚り数、糸束の幅、バインダー塗布量などが均一なガラス糸を経糸に用い、引張り張力が作用した際の糸の張り状態が均一になるように調整する方法を実行することで、幅２５ｍｍ当たり１．５Ｎの荷重を経糸方向にかけた際の経糸の初期伸びの均一性を２０％以内に制御することができる。

整経時に経糸をボビンから引き出す際の張力変動を小さく抑える方法、幅方向で経糸に作用する張力が均一になるように張力値をモニタリングしながら経糸事に張力をコントロールする方法等も、初期伸びの均一性を高められるため好ましい。また、バイブロウォッシャー、高圧水スプレー、超音波照射等による糸束の扁平加工、開繊加工において、幅方向で均一に加工されるよう、幅方向に作用する張力や加工力を調整する方法も、初期伸びの均一性を高められるため好ましい。一つの方法で経糸の初期伸びの均一性を調整できない場合はこれらを適宜組み合わせてフィラメント間を跨いだ表面被膜の形成を抑制することが好ましい。

本発明の一実施形態に係るガラスクロスの製造方法では、シランカップリング剤によりガラスクロスを処理するシランカップリング剤処理工程後に、最終的に得られるガラスクロスの経糸の初期伸びの均一性も２０％以内であることが好ましい。ガラスクロスの経糸の初期伸びの均一性のより好ましい範囲は１６％以内であり、さらに好ましい範囲は１２％以内であり、さらにより好ましい範囲は９％以内であり、最も好ましい範囲は７％以内である。最終的に得られるガラスクロスの経糸の初期伸びの均一性の下限は、例えば、０％でよく、または０％超過でよい。

洗浄工程における経糸の初期伸びの均一性も２０％以内であれば、最終的に得られるガラスクロスの経糸の初期伸びの均一性も２０％以内である傾向にある。

（経糸幅）
本発明の一実施形態に係るガラスクロスの製造方法は、前記のヒートクリーニング後の洗浄工程において、洗浄後のガラスクロス中間体の経糸の糸幅の下限値が、下式（１）で求められる値以上であることが好ましい。
１２０×Ｔ^{０．３８５}・・・式（１）
｛ここで、Ｔは経糸のＴＥＸである。｝

洗浄後の経糸の糸幅のより好ましい範囲は下式（３）で求められる値以上であり、さらに好ましい範囲は下式（４）で求められる値以上であり、さらにより好ましい範囲は下式（５）で求められる値以上であり、最も好ましくは下式（６）で求められる値以上である。
１２４×Ｔ^{０．３８２}・・・式（３）
１２６×Ｔ^{０．３８０}・・・式（４）
１２８×Ｔ^{０．３７８}・・・式（５）
１３０×Ｔ^{０．３７６}・・・式（６）
｛式中、Ｔは、上記式（１）で定義されたとおりである。｝

洗浄後の経糸幅が上記式（１）および（３）～（６）のいずれかで求められる下限値以上であれば、経糸を構成するフィラメント間同士の密着が抑えられ、隣り合うフィラメント間同士に隙間が形成さえる。そのため、続くシランカップリング剤処理において、隣り合うフィラメントを同時に覆うようなシランカップリング剤による被膜形成を抑制できる。結果、低誘電樹脂の含浸が阻害されることなく、良好な含浸性が得られ易いので好ましい。

上述のとおり、経糸幅の下限値は、経糸を構成するフィラメントが密集することなく散在する状態が好ましいため、経糸を構成するフィラメントの直径および本数を反映するＴＥＸに応じて決まる。

洗浄後の経糸の糸幅は広い方が含浸性の観点では好ましいが、毛羽の発生を抑える観点、目曲がりや破れの発生を抑える観点、または経緯異方性を抑える観点から、上限値は下式（７）で得られる値以下である。
１６０×Ｔ^{０．３３０}・・・式（７）
｛式中、Ｔは、上記式（１）で定義されたとおりである。｝

経糸幅は、例えば工程の加工力やライン張力、洗浄工程中のライン張力により制御することができる。加工力を上げることにより経糸幅は大きくなる傾向があり、ライン張力を下げることにより経糸幅が大きくなる傾向がある。より詳細には、ヒートクリーニング前の工程の加工力を上げることにより経糸幅は大きくなる傾向があり、ライン張力を下げることにより経糸幅が大きくなる傾向がある。また、洗浄工程中のライン張力を下げることにより、ヒートクリーニング前の工程で形成された経糸幅が維持され易く、経糸幅が大きくなる傾向にある。

本実施形態のガラスクロスの製造方法では、ガラスクロスまたはその中間体をシランカップリング剤で処理するシランカップリング剤処理工程後に、最終的に得られるガラスクロスの経糸の糸幅の下限値も、下式（１）で求められる値以上であることが好ましい。
１２０×Ｔ^{０．３８５}・・・式（１）
｛ここで、Ｔは経糸のＴＥＸである。｝

最終的に得られるガラスクロスの経糸の糸幅のより好ましい範囲は下式（３）で求められる値以上であり、さらに好ましい範囲は下式（４）で求められる値以上であり、さらにより好ましい範囲は下式（５）で求められる値以上であり、最も好ましくは下式（６）で求められる値以上である。
１２４×Ｔ^{０．３８２}・・・式（３）
１２６×Ｔ^{０．３８０}・・・式（４）
１２８×Ｔ^{０．３７８}・・・式（５）
１３０×Ｔ^{０．３７６}・・・式（６）
｛式中、Ｔは、上記式（１）で定義されたとおりである。｝

シランカップリング加工、およびその後の開繊加工等により、経糸の糸幅は変化を伴うが、糸幅の収縮を抑え、式（１）で求められる糸幅値以上に保つことで、良好な含浸が得られ易いので好ましい。
最終的に得られるガラスクロスの経糸の糸幅は広い方が含浸性の観点では好ましいが、毛羽の発生を抑える観点、目曲がりや破れの発生を抑える観点、または経緯異方性を抑える観点から、上限値は下式（７）で得られる値以下である。
１６０×Ｔ^{０．３３０}・・・式（７）
｛式中、Ｔは、上記式（１）で定義されたとおりである。｝

（ガラスクロスの構成）
ガラス糸は、複数本のフィラメントを束ね、必要に応じて撚って得られるものである。この場合、ガラス糸はマルチガラスフィラメント、ガラス糸に含まれるフィラメント（ガラスフィラメント）はモノガラスフィラメントにそれぞれ分類される。

ガラスクロスの弾性係数は、好ましくは５０～７０ＧＰａであり、より好ましくは５０～６３ＧＰａであり、更に好ましくは５３～６３ＧＰａである。

弾性係数はガラスの誘電率の指標にもなり、通常、ガラス糸の弾性係数が従来のＥガラスに比べて低く、上記上限値以下であると、ガラスクロスの毛羽発生抑制や、破れ防止の目的で、ガラスクロスの強度を高めるために、シランカップリング剤等の表面処理剤を従来のＥガラスより多く施す必要性が生じる。そのため、シランカップリング剤等の表面処理剤の被膜形成によるモノフィラメント間の接着が生じ、含浸性が低下する問題が発生し易い。本発明においては、シランカップリング剤処理前に、フィラメント同士の接合を抑制し、フィラメント間に隙間が形成されるため、またシランカップリング剤による複数のフィラメントを覆う被膜形成が防止されるため、ガラス糸の弾性係数が上記上限値以下でも、安定した耐ＣＡＦ性が得られるため好ましい。

また、弾性係数が上記上限値以下であると、通常は、ガラス糸の風合いが柔らかくなるため、ガラスクロスの経糸の張り具合、経糸のうねりが、幅方向で均一に揃い難いため、例えば、高圧水スプレー加工、バイブロウォッシャー加工、超音波照査加工等による開繊加工及び洗浄加工において、加工力が均等に作用されず、開繊ムラおよび開繊不足、洗浄ムラおよび洗浄不足が発生し易いことが推定される。これに対し、本発明の好ましい実施形態において、経糸の初期伸びの均一性を２０％以内に抑えることで、開繊および洗浄を均一に施すことができるため好ましい。ヒートクリーニング後に残さを洗浄する工程では、弾性係数が上記上限値以下のガラスクロスでも、アセトン抽出物含量を１０ｐｐｍ未満に抑えることができ、フィラメント間の接合を抑止して良好な含浸性が得られ易いため好ましい。

また、弾性係数が上記下限値以上であることにより、ガラス糸の剛性が向上し、製造工程において、毛羽が生じ難くなるため好ましい。

経糸及び緯糸を構成するモノガラスフィラメントの平均直径は、各々独立して、好ましくは２．５～９μｍであり、より好ましくは３．０～８μｍであり、さらに好ましくは３．５～７．５μｍである。目的とするガラスクロスの厚さによって、適時選択して用いることができる。

経糸及び緯糸のＴＥＸは各々独立して、好ましくは１～２５であり、好ましくは１．５以上２２以下であり、さらに好ましくは２．０以上２１以下であり、最も好ましくは、２．５以上２０．５以下である。

ＴＥＸが上記範囲内のガラス糸を用いてガラスクロスを製造することで、厚さ５～１００μｍのガラスクロスを得ることができるため、好ましい。本実施形態のガラスクロスの製造方法においては、ガラス糸のＴＥＸが変化するような加工は施されないため、原材料として使用するガラス糸、洗浄後のガラスクロス中間体を構成するガラス糸、シランカップリング剤処理する工程後に最終的に得られるガラスクロスを構成するガラス糸のＴＥＸは、実質的に同じである。

経糸及び緯糸を構成するモノガラスフィラメントの平均本数は、各々独立して、好ましくは３０本以上２５０本以下である。経糸及び緯糸を構成するモノガラスフィラメントの平均本数が多いほど、隣り合うガラスモノフィラメント同士が接着した部位が発生し易く、含浸性が悪くなる傾向にあるため、本発明によりガラスモノフィラメント同士の接着を抑制することで、低誘電樹脂との安定した均一な含浸性が得られるため好ましい。

ガラスクロスを構成する経糸及び緯糸の打ち込み密度は、好ましくは３０～１２０本／２５ｍｍであり、より好ましくは４０～１１０本／２５ｍｍであり、さらに好ましくは５０～１００本／２５ｍｍである。

ガラスクロスの厚さは、好ましくは５～１００μｍであり、より好ましくは６～９０μｍであり、さらに好ましくは７～８０μｍである。ガラスクロスの厚さが上記範囲内であることにより、薄くて比較的に強度の高いガラスクロスが得られる傾向にある。

ガラスクロスの布重量（目付け）は、好ましくは８～２５０ｇ／ｍ^２であり、より好ましくは８～１００ｇ／ｍ^２であり、さらに好ましくは８～５０ｇ／ｍ^２であり、特に好ましくは８～３５ｇ／ｍ^２である。

ガラスクロスの強熱減量値の好ましい範囲は、０．２５質量％～１．８質量％であり、より好ましくは０．３質量％～１．５質量％であり、さらに好ましくは０．３５質量％～１．２質量％である。ガラスクロスの強熱減量値が上記下限値以上であることにより、基板を製造する際に、十分なマトリックス樹脂との反応性が得られ、また、耐吸湿性がより向上し、結果として絶縁信頼性がより向上するため好ましい。また、ガラスクロスの強熱減量値が上記上限値以下であることにより、ガラスクロスへの樹脂浸透性がより向上し易いため好ましい。強熱減量値は、ＪＩＳＲ３４２０に記載されている方法に従って測定することができる。

ガラスクロスの織り構造については、特に限定されないが、例えば、平織り、ななこ織り、朱子織り、綾織り、等の織り構造が挙げられる。このなかでも、平織り構造がより好ましい。

（ガラス組成）
以下、本実施形態のガラスクロスの組成について説明する。なお、ガラスクロスの組成とは、ガラスクロスを構成するガラス糸の組成と同義である。ガラスクロスを構成する元素としては、ケイ素（Ｓｉ）、ホウ素（Ｂ）、アルミニウム（Ａｌ）、カルシウム（Ｃａ）、マグネシウム（Ｍｇ）、リン（Ｐ）、ナトリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、チタン（Ｔｉ）、亜鉛（Ｚｎ）、鉄（Ｆｅ）、及びフッ素（Ｆ）、等から成る群より選択される少なくとも一つが挙げられる。

ガラス糸のケイ素（Ｓｉ）含量は、ＳｉＯ₂換算で、好ましくは４０～６０質量％であり、より好ましくは４５～５５質量％であり、更に好ましくは４７．０～５３．５質量％であり、より更に好ましくは４８．０～５２．０質量％である。

Ｓｉはガラス糸の骨格構造を形成する成分である。このため、Ｓｉ含量が４０質量％以上であることで、ガラス糸の強度がより向上し、ガラスクロスの製造工程及びガラスクロスを用いたプリプレグの製造工程、等の後工程において、ガラスクロスの破断がより抑制される傾向にある。また、Ｓｉ含量が４０質量％以上であることで、ガラスクロスの誘電率がより低下する傾向にある。他方、Ｓｉ含量が６０質量％以下であることで、ガラス糸の製造過程において、溶融時の粘度がより低下し、より均質なガラス組成のガラス繊維が得られる傾向にある。このため、得られるガラスフィラメントに、部分的に失透し易い部位、又は部分的に気泡が抜け難い部位が発生し難くなることから、ガラスフィラメントに局所的に強度の弱い部位が生じ難くなる。その結果として、これを用いて得られるガラス糸から構成されるガラスクロスは、破断し難いものとなる。Ｓｉ含量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料使用量に応じて調整することができる。

ガラス糸のホウ素（Ｂ）含量は、Ｂ₂Ｏ₃換算で、好ましくは１５～４０質量％であり、より好ましくは１７～３０質量％、又は２０～４０質量％であり、更に好ましくは１８～２８質量％であり、より更に好ましくは１９～２６質量％であり、更により好ましくは２０～２５質量％であり、最も好ましくは２０．５～２４．５質量％である。

Ｂ含量が１５質量％以上であることにより、誘電率がより低下する傾向にある。また、Ｂ含量が１５質量％以上であることにより、ガラスクロスの耐脆性が向上し、また、ガラスクロスに適度な柔軟性、又はしなやかさが付与されるため、ガラス糸が、糸道ガイド、及び筬等の織機部材に接触した際、毛羽が発生し難くなる傾向にある。

Ｂ含量が１５質量％以上であると、ヒートクリーニング工程において、粘稠性のサイジング剤の燃焼残さが生成され易くなる。粘稠性の燃焼残さが接着剤となり、フィラメント同士が接合し、その上からシランカップリング剤処理を施すことで、複数のフィラメントを覆うようにシランカップリング剤による被膜が形成され、含浸阻害が引き起こされ易い。本発明においては、粘稠性の燃焼残さを特定範囲に調整することで、フィラメント間の接合が抑制され、シランカップリング剤による複数のフィラメントを覆う被膜形成も生じ難いため、低誘電樹脂との良好な含浸性が得られるため好ましい。

他方、ガラス糸の強度を保つには、Ｂ含量が４０質量％以下であることが好ましい。Ｂ含量が４０質量％以下であることにより、耐吸湿性が向上し、後述するガラス糸表面特性の安定性が適正に保たれ易くなる。

特に、ガラス糸における、Ｓｉ含量が上記範囲、かつ、Ｂ含量が上記範囲であることで、Ｓｉ及びＢに関する上記効果が相乗的に奏され易いので好ましい。

Ｂ含量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料の使用量（仕込み量）により、調整することができる。なお、ガラスフィラメント作製中に、作製条件、使用量又は含量が変動し得る場合には、それを予め見越して、原料の仕込み量を調整することができる。

ガラス糸のアルミニウム（Ａｌ）含量は、Ａｌ₂Ｏ₃換算で、好ましくは１１～１８質量％であり、より好ましくは１１～１７．５質量％であり、更に好ましくは１２～１７．０質量％である。Ａｌ含量が上記範囲内であることにより、電気特性、強度がより向上する傾向にある。Ａｌ含量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料の使用量（仕込み量）により、調整することができる。

ガラス糸のカルシウム（Ｃａ）含量は、ＣａＯ換算で、好ましくは５．０～１０質量％であり、より好ましくは５．０～９．０質量％であり、更に好ましくは５．０～８．５質量％である。Ｃａ含量が５．０質量％以上であることにより、ガラスフィラメントの製造過程において、溶融時の粘度がより低下し、より均質なガラス組成のガラス繊維が得られる傾向にある。また、Ｃａ含量が１０質量％以下であることにより、誘電率がより向上する傾向にある。Ｃａ含量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料の使用量（仕込み量）により、調整することができる。

ガラス糸のリン（Ｐ）含量は、Ｐ₂Ｏ₅換算で、好ましくは８．０質量％以下であり、より好ましくは７．０質量％以下であり、更に好ましくは６．０質量％以下である。Ｐ含量は０質量％超えでよい。Ｐ含量が０質量％超えであることにより、ガラスクロスの誘電特性がより良好となる傾向にある。また、Ｐ含量が８．０質量％以下であることにより、ガラスクロスの耐熱性が向上する傾向にある。Ｐ含量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料の使用量（仕込み量）により調整することができる。

なお、上記各含量は、ＩＣＰ発光分光分析法により測定することができる。具体的には、Ｓｉ含量及びＢ含量は、秤取したガラスクロスを炭酸ナトリウムで融解した後、希硝酸で溶解して所定の容量とし、得られたサンプルをＩＣＰ発光分光分析法により測定して得ることができる。更に、Ａｌ含量、Ｃａ含量、及びＰ含量は、秤取したガラスクロスを過塩素酸、硫酸、硝酸及びフッ化水素により加熱分解した後、希硝酸で溶解して所定の容量とし、得られたサンプルをＩＣＰ発光分光分析法により測定して得ることができる。なお、ＩＣＰ発光分光分析装置としては、日立ハイテクサイエンス社製のＰＳ３５２０ＶＤＤ ＩＩを用いることができる。

（表面処理剤）
ガラスクロスは表面処理剤により表面処理されたものであってもよい。表面処理剤としては、特に制限されないが、例えば、シランカップリング剤が挙げられ、必要に応じて水、有機溶剤、酸、染料、顔料、界面活性剤等を合わせて用いてもよい。
シランカップリング剤としては、特に制限されないが、例えば、式（Ｉ）で示される化合物が挙げられる。
Ｘ（Ｒ）_3-nＳｉＹ_n ・・・（Ｉ）
（式（Ｉ）中、Ｘは、アミノ基及び不飽和二重結合基のうち少なくとも１つ以上有する有機官能基であり、Ｙは、各々独立して、アルコキシ基であり、ｎは、１以上３以下の整数であり、Ｒは、各々独立して、メチル基、エチル基及びフェニル基からなる群より選ばれる基である。）

式（Ｉ）中、Ｘは、アミノ基及び不飽和二重結合基のうち少なくとも３つ以上を有する有機官能基であることが好ましく、Ｘは、アミノ基及び不飽和二重結合基のうち少なくとも４つ以上を有する有機官能基であることがより好ましい。

式（Ｉ）中、Ｙについて、上記のアルコキシ基としては、いずれの形態も使用できるが、ガラスクロスへの安定処理化の観点から、炭素数５以下のアルコキシ基が好ましい。

シランカップリング剤としては、具体的には、Ｎ－β－（Ｎ－ビニルベンジルアミノエチル）－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ビニルベンジルアミノエチル）－γ－アミノプロピルメチルジメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ジ（ビニルベンジル）アミノエチル）－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ジ（ビニルベンジル）アミノエチル）－Ｎ－γ－（Ｎ－ビニルベンジル）－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ベンジルアミノエチル）－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ベンジルアミノエチル）－γ－アミノプロピルトリエトキシシラン及びその塩酸塩、γ－（２－アミノエチル）アミノプロピルトリメトキシシラン、γ－（２－アミノエチル）アミノプロピルトリエトキシシラン、アミノプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の公知の単体、又はこれらの混合物が挙げられる。

シランカップリング剤の分子量は、好ましくは１００～６００であり、より好ましくは１５０～５００であり、さらに好ましくは２００～４５０である。この中でも、分子量が異なる２種類以上のシランカップリング剤を用いることが好ましい。分子量が異なる２種類以上のシランカップリング剤を用いてガラス糸の表面を処理することにより、ガラスクロスの表面における表面処理剤密度が高くなり、マトリックス樹脂との反応性がさらに向上する傾向にある。

〔プリプレグ〕
本実施形態のプリプレグは、上記ガラスクロスと、該ガラスクロスに含浸されたマトリックス樹脂組成物とを有する。上記ガラスクロスを有するプリプレグは、絶縁信頼性がより向上したものとなり、最終製品の歩留まりの高いものとなる。また、誘電特性に優れ、耐吸湿性に優れるために使用環境の影響、特に高湿度環境で誘電率の変動が小さい、プリント配線板を提供することができるという効果も奏することができる。

本実施形態のプリプレグは、常法に従って製造することができる。例えば、本実施形態のガラスクロスに、エポキシ樹脂のようなマトリックス樹脂を有機溶剤で希釈したワニスを含浸させた後、乾燥炉にて有機溶剤を揮発させ、熱硬化性樹脂をＢステージ状態（半硬化状態）にまで硬化させることにより製造することができる。

マトリックス樹脂組成物としては、上述のエポキシ樹脂の他に、ビスマレイミド樹脂、シアネートエステル樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ＢＴ樹脂、官能基化ポリフェニレンエーテル樹脂等の熱硬化性樹脂；ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、全芳香族ポリエステルの液晶ポリマー（ＬＣＰ）、ポリブタジエン、フッ素樹脂等の熱可塑性樹脂；及び、それらの混合樹脂等が挙げられる。誘電特性、耐熱性、耐溶剤性、及びプレス成形性を向上させる観点から、マトリックス樹脂組成物としては、熱可塑性樹脂を熱硬化性樹脂で変性した樹脂を用いてもよい。

また、マトリックス樹脂組成物は、樹脂中にシリカ及び水酸化アルミニウム等の無機充填剤；臭素系、リン系、金属水酸化物等の難燃剤；その他シランカップリング剤；熱安定剤；帯電防止剤；紫外線吸収剤；顔料；着色剤；滑沢剤等を含んでいてもよい。

〔プリント配線板〕
本実施形態のプリント配線板は、上記ガラスクロスを備える。本実施形態のプリント配線板は、絶縁信頼性がより向上したものとなり、最終製品の歩留まりの高いものとなる。また、誘電特性に優れ、耐吸湿性に優れるために使用環境の影響、特に高湿度環境で誘電率の変動が小さいという効果も奏することができる。

以下、本発明を実施例及び比較例を用いてより具体的に説明する。本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。

〔ガラス糸及びガラスクロスの物性〕
ガラス糸およびガラスクロスの物性、具体的には、ガラス糸のＴＥＸ、フィラメント数、経糸及び緯糸の打ち込み密度（織密度）は、ＪＩＳ Ｒ３４２０に準拠して測定した。

〔弾性係数〕
ガラス糸の弾性係数は、ガラス糸を溶融及び冷却して得られるガラスバルクを試験片として用いての、パルスエコーオーバーラップ法により測定した。

〔経糸の糸幅〕
ガラスクロスのＭＤ方向と垂直方向に、カメラを走査させ、ガラスクロス全幅分の経糸の画像を取得し、経糸１本毎の糸幅を測定した。得られたガラスクロス全幅分の経糸の糸幅値を平均し、経糸幅の平均値を求めた。

〔アセトンによる抽出処理で捕集される抽出物含有量〕
アセトンによる抽出処理で捕集される抽出物含有量は、以下の手順により測定した。
１）ビーカーにガラスクロス（Ａ４サイズ×３枚）と３００ｍＬのアセトンとを入れ、撹拌棒を用いて、５分間撹拌した。
２）次いで、目開き１μｍのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製のメンブランフィルターを用いて、吸引ろ過した。
３）残ったガラスクロスに、アセトン２５０ｍＬを追加し、撹拌棒を用いて、５分間撹拌した後、上記２）と同様の方法で吸引ろ過した。
４）上記３）の操作を１回、繰り返した。
５）メンブランフィルターを風乾した。
６）メンブランフィルター上に捕集された、アセトン抽出物を秤量し、ガラスクロスの質量で除した値を、アセトン抽出物量（ｐｐｍ）とした。
なお、メンブレンフィルター上にガラスクロスから脱落したガラス糸が捕集された場合、当該ガラス糸を取り除き秤量した。なお、メンブランフィルターは、予め、風袋を測定しておいた。

〔経糸の初期伸びの均一性〕
＜初期伸びの測定＞
ガラスクロスに経糸方向に張力をかけた際の伸び量を、ＪＩＳ Ｒ３４２０のガラス試験一般試験法、７．４引張り強さの項に記載された方法を準用して測定した。
該ＪＩＳ規定の方法では、幅約３０ｍｍ、長さ約２５０ｍｍの試験片を織物の経糸方向と緯糸方向から採り、該試験片の両端部の糸をほぐし、幅約２５ｍｍとし、約１５０ｍｍのつかみ間隔を確保してつかみ部に取り付け、引張り速度約２００ｍｍ／ｍｉｎで引っ張り、破断時の荷重を求める。

本発明においては、測定精度を向上させるために引っ張り速度を約３ｍｍ／ｍｉｎとし、試験片の弛みがないように試験片に０．１Ｎの荷重がかからないように注意しながらつかみ間隔を広げる側に微調整してから試験開始した以外は上記ＪＩＳ規定の方法と同一の条件で引っ張り試験を行い、ガラスクロスの幅２５ｍｍ当たり荷重が１．５Ｎ作用した際の変位量を求めた。下式（２）により、初期伸びを求めた。
｛（荷重時の間隔－無荷重時の間隔）／無荷重時の間隔｝×１００ （２）

＜経糸の初期伸びの均一性＞
幅方向に均等になるように２５カ所から経糸方向が長尺となるように試験片を採取し、上記のとおり本発明のためにＪＩＳ規定の方法を改良した方法によって経糸の初期伸びを２５点測定した。２５点の初期伸びの最大値、最小値、平均値を用い、下式（８）により、初期伸びの均一性を求めた。
（最大値－最小値）／平均値／２×１００・・・（８）

〔評価：ガラスクロスの含浸性評価〕
実施例および比較例で得られたガラスクロスから、幅方向に均等間隔となるように３枚の含浸性評価用試験片を採取した。

２３±２℃の環境下にて、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂をベンジルアルコールに溶解し、粘度６８０Ｐａ・ｓの含浸性評価用のワニスを作製した。

ガラスクロス試験片を含浸性評価用ワニスに浸漬し、横からＬＥＤライトの光を照射しながら、高精度カメラを装備したマイクロスコープにて含浸性評価用ワニスがガラスクロスに含浸する様子を観察し、ガラスクロス試験片を含浸評価用ワニスに浸漬してから所定時間後の、長さ１６０μｍ以上の未含浸部位の数（含浸性評価用ワニスの未含浸部位）をカウントした。このとき、マイクロスコープで観察したガラスクロスの視野範囲は、経糸方向約３２ｍｍ、緯糸方向約３２ｍｍとした。

試験片３枚の未含浸部位数を平均し、実施例および比較例のガラスクロスの未含浸部位数を求め、下記の基準により含浸性を評価した。なお、ガラスクロス試験片を含浸用ワニスに浸漬してから未含浸部位数をカウントするまでの時間は、実施例１～１１、比較例１～６は３分後、実施例１２～１４、比較例７、８は５分後とした。
◎： 未含浸部位数 １０未満
〇〇：未含浸部位数 １０以上２０未満
○： 未含浸部位数 ２０以上５０未満
△： 未含浸部位数 ５０以上２００未満
×： 未含浸部位数 ２００以上
××：未含浸部位数 ５００以上

［実施例４］
ガラス糸（ＴＥＸ４．９、フィラメント本数１００本、弾性係数６１ＧＰａ、ガラス組成：ＳｉＯ_２換算５１．２質量％、Ａｌ_２Ｏ_３換算１４．３質量％、ＣａＯ換算８．１質量％、ＭｇＯ換算０．３質量％、Ｂ_２Ｏ_３換算２３．３質量％、Ｐ_２Ｏ_５換算０．１質量％）を経糸および緯糸に用い、エアージェットルームにて、経糸織り密度６５．５本／２５ｍｍ、緯糸織り密度６７．０本／２５ｍｍのガラスクロス生機を得た。

得られた生機を糊水洗および高圧水スプレーによる開繊処理を施した後、４００℃で２４時間加熱処理し、脱糊した。次いで、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数２５ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ^２の超音波を照射し、残さの洗浄を行った。次いで、シランカップリング剤処理工を行い、最後に高圧水スプレーによる開繊加工を実施し、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。

なお、経糸に用いたガラス糸は、撚り数の標準偏差が０．０８～０．２９、糸幅の標準偏差が０．０３２～０．０４９であった。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［実施例３］
経糸に用いるガラス糸に、撚り数の標準偏差が０．１３以下、糸幅の標準偏差が０．０４０以下のガラス糸を選別して使用した以外は、実施例４と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

実施例４のガラスクロス製造に比べ、実施例３は、アセトン抽出物量が少なくなっているのが特徴である。これは、撚り数および糸幅の均一なガラス糸を経糸に選別して使用したため、超音波洗浄が均一に効率よく作用したためと推測する。

［実施例２］
実施例４に対し、糊水洗工程の加工力を２．０倍、ライン張力を０．７倍とし、且つ、超音波照射による洗浄工程のライン張力を０．７倍とした以外は、実施例４と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

実施例４のガラスクロス製造に比べ、実施例２は、経糸幅が広くなっているのが特徴である。これは、上記条件で工夫することにより、予め脱水洗工程で経糸幅を広げておき、且つ、洗浄工程での経糸幅の収縮を阻止したためである。

［実施例１］
経糸に用いるガラス糸に、撚り数の標準偏差が０．１３以下、糸幅の標準偏差が０．０４０以下のガラス糸を選別して使用し、且つ、糊水洗工程の加工力、ライン張張力、および洗浄工程のライン張力を、それぞれ実施例４対比で２．０倍、０．７倍、０．７倍とした以外は、実施例４と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

実施例４のガラスクロス製造に比べ、実施例１は、経糸幅が広く、アセトン抽出物量が少ない状態でガラスクロスの製造を実施することができた。

［比較例１］
超音波照射による残さ洗浄を行わない以外は、実施例１と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［比較例２］
超音波照射による残さ洗浄を行わない以外は、実施例３と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［実施例８］
ガラス糸（ＴＥＸ４．７、フィラメント本数１００本、弾性係数５６ＧＰａ、ガラス組成：ＳｉＯ_２換算４９．８質量％、Ａｌ_２Ｏ_３換算１６．８質量％、ＣａＯ換算３．２質量％、ＭｇＯ換算０．１質量％、Ｂ_２Ｏ_３換算２４．２質量％、Ｐ_２Ｏ_５換算４．０質量％）を経糸および緯糸に用いた以外は、実施例４と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。

なお、経糸に用いたガラス糸は、撚り数の標準偏差が０．０８～０．２７、糸幅の標準偏差が０．０３３～０．０５１であった。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［実施例７］
経糸に用いるガラス糸に、撚り数の標準偏差が０．１３以下、糸幅の標準偏差が０．０４０以下のガラス糸を選別して使用した以外は、実施例８と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［実施例６］
実施例８に対し、糊水洗工程の加工力を２．２倍、ライン張力を０．６倍とし、且つ、超音波照射による洗浄工程のライン張力を０．５倍とした以外は、実施例８と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［実施例５］
経糸に用いるガラス糸に、撚り数の標準偏差が０．１３以下、糸幅の標準偏差が０．０４０以下のガラス糸を選別して使用し、且つ、糊水洗工程の加工力を２．２倍、ライン張力を０．６倍とし、且つ、超音波照射による洗浄工程のライン張力を０．５倍とした以外は、実施例８と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［比較例３］
超音波照射による残さ洗浄を行わない以外は、実施例５と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［比較例４］
超音波照射による残さ洗浄を行わない以外は、実施例７と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［比較例９］
水中で走行させながら超音波照射による洗浄を行う代わり、水中にガラスクロスを通すだけの水洗による洗浄処理を行った以外は、実施例５と同様にして幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［比較例１０］
水中で走行させながら超音波照射による洗浄を行う代わりに、水圧を３．０±０．１ｋｇ／ｃｍ^２に調整した高圧水スプレーで洗浄処理を施した以外は、実施例５と同様にして幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［比較例１１］
水中で走行させながら超音波照射による洗浄を行う代わりに、水圧を１０．０±０．１ｋｇ／ｃｍ^２に調整した高圧水スプレーで洗浄処理を施した以外は、実施例５と同様にして幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［実施例１２］
ガラス糸（ＴＥＸ９．５、フィラメント本数２００本、弾性係数５６ＧＰａ、ガラス組成：ＳｉＯ_２換算４９．８質量％、Ａｌ_２Ｏ_３換算１６．８質量％、ＣａＯ換算３．２質量％、ＭｇＯ換算０．１質量％、Ｂ_２Ｏ_３換算２４．２質量％、Ｐ_２Ｏ_５換算４．０質量％）を経糸および緯糸に用い、エアージェットルームにて、経糸織り密度５２．５本／２５ｍｍ、緯糸織り密度５２．５本／２５ｍｍのガラスクロス生機を得た。

得られた生機を糊水洗および高圧水スプレーによる開繊処理を施した後、４００℃で２４時間加熱処理し脱糊した。次いで、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数２５ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ^２の超音波を照射し、残さの洗浄を行った。次いで、シランカップリング剤処理工を行い、最後に高圧水スプレーによる開繊加工を実施し、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。

なお、経糸に用いたガラス糸は、撚り数の標準偏差が０．０７～０．２６、糸幅の標準偏差が０．０３５～０．０６０であった。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［実施例１１］
経糸に用いるガラス糸に、撚り数の標準偏差が０．１３以下、糸幅の標準偏差が０．０４８以下のガラス糸を選別して使用した以外は、実施例１２と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［実施例１０］
実施例１２に対し、糊水洗工程の加工力を２．５倍、ライン張力を０．５倍とし、且つ、超音波照射による洗浄工程のライン張力を０．３倍とした以外は、実施例１２と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［実施例９］
経糸に用いるガラス糸に、撚り数の標準偏差が０．１３以下、糸幅の標準偏差が０．０４８以下のガラス糸を選別して使用し、且つ、糊水洗工程の加工力を２．５倍、ライン張力を０．５倍とし、且つ、超音波照射による洗浄工程のライン張力を０．３倍とした以外は、実施例１２と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［比較例５］
超音波照射による残さ洗浄を行わない以外は、実施例９と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［比較例６］
超音波照射による残さ洗浄を行わない以外は、実施例１１と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［実施例１６］
ガラス糸（ＴＥＸ１９．０、フィラメント本数２００本、弾性係数５６ＧＰａ、ガラス組成：ＳｉＯ_２換算４９．８質量％、Ａｌ_２Ｏ_３換算１６．８質量％、ＣａＯ換算３．２質量％、ＭｇＯ換算０．１質量％、Ｂ_２Ｏ_３換算２４．２質量％、Ｐ_２Ｏ_５換算４．０質量％）を経糸および緯糸に用い、エアージェットルームにて、経糸織り密度６０．０本／２５ｍｍ、緯糸織り密度５７．０本／２５ｍｍのガラスクロス生機を得た。

得られた生機を糊水洗および高圧水スプレーによる開繊処理を施した後、４００℃で２４時間加熱処理し脱糊した。次いで、ガラスクロスを水中で走行させながら、周波数２５ＧＨｚ、出力０．７２Ｗ／ｃｍ^２の超音波を照射し、残さの洗浄を行った。次いで、シランカップリング剤処理工を行い、最後に高圧水スプレーによる開繊加工を実施し、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。

なお、経糸に用いたガラス糸は、撚り数の標準偏差が０．０７～０．２４、糸幅の標準偏差が０．０４０～０．０８０であった。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［実施例１５］
経糸に用いるガラス糸に、撚り数の標準偏差が０．１３以下、糸幅の標準偏差が０．０５５以下のガラス糸を選別して使用した以外は、実施例１６と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［実施例１４］
実施例７に対し、糊水洗工程の加工力を２．５倍、ライン張力を０．５倍とし、且つ、超音波照射による洗浄工程のライン張力を０．３倍とした以外は、実施例１６同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［実施例１３］
経糸に用いるガラス糸に、撚り数の標準偏差が０．１３以下、糸幅の標準偏差が０．０５５以下のガラス糸を選別して使用し、且つ、糊水洗工程の加工力を２．５倍、ライン張力を０．５倍とし、且つ、超音波照射による洗浄工程のライン張力を０．３倍とした以外は、実施例１６と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［比較例７］
超音波照射による残さ洗浄を行わない以外は、実施例１３と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

［比較例８］
超音波照射による残さ洗浄を行わない以外は、実施例１５と同様にして、幅１２８５ｍｍのガラスクロスを得た。得られたガラスクロスの含浸性評価結果を表１に示した。

シランカップリング処理工程の前に超音波による洗浄を行った実施例１～１６のガラスクロスは、アセトン抽出物含量が少なく、良好な含浸性が得られた。

実施例１～４を比較すると、アセトン抽出量が大きく低減されている実施例３は、実施例４に比べて、更に良好な含浸性が得られた。これは、燃焼残さによるフィラメント同士の接着が抑えられた状態でシランカップリング剤処理が施されたため、シランカップリング剤によるフィラメント間の被膜形成が抑制されたためと推測する。

また、残さ洗浄工程後（シランカップリング処理前）の経糸幅が広い実施例２は、実施例４に比べて、更に良好な含浸性が得られた。これは、フィラメント間隔が広く状態でシランカップリング剤処理が施されるため、シランカップリング剤によるフィラメント間の被膜形成が抑制されたためと推測する。そして、アセトン抽出量が少なく、残さ洗浄工程後（シランカップリング処理前）の経糸幅が広い実施例１は、特に顕著な含浸性向上が見られた。

同様に実施例５～８、９～１２、１３～１６を比較すると、アセトン抽出量が少なく、残さ洗浄工程後（シランカップリング処理前）の経糸幅が広い実施例５、９、１３で、特に良好な含浸性向上が得られた。

シランカップリング処理工程の前に超音波洗浄を行わなかった比較例１～８で得られたガラスクロスは、含浸性に劣った。

Claims (12)

1. 複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として製織してなる、ガラスクロスの製造方法であって、ヒートクリーニング工程と、洗浄工程と、シランカップリング剤処理工程とを順次含み、
   前記洗浄工程では、ガラスクロスに水中で超音波を照射して洗浄する、ガラスクロスの製造方法。
2. 前記洗浄工程後の前記経糸の糸幅の下限値が、下式（１）：
   １２０×Ｔ^{０．３８５}・・・式（１）
   ｛式中、Ｔ：経糸のＴＥＸ｝
   で求められる値以上である、請求項１に記載のガラスクロスの製造方法。
3. 前記ガラスクロスの経糸の初期伸びの均一性が２０％以下となるように調整した状態で前記洗浄工程を行う、請求項１又は２に記載のガラスクロスの製造方法。
4. 前記ガラスクロスのアセトンによる抽出処理で捕集される抽出物量が、０ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ未満の範囲となるように前記洗浄工程を行う、請求項１又は２に記載のガラスクロスの製造方法。
5. 複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として構成されたガラスクロスであって、
   アセトンによる抽出処理で捕集される抽出物量が、０ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ未満である、ガラスクロス。
6. 前記ガラスクロスの経糸の初期伸びの均一性が２０％以下である、請求項５に記載のガラスクロス。
7. 前記経糸の糸幅の下限値が、下式（１）：
   １２０×Ｔ^{０．３８５}・・・式（１）
   ｛式中、Ｔ：経糸のＴＥＸ｝
   で求められる値以上である、請求項５又は６に記載のガラスクロス。
8. 前記ガラスクロスのホウ素（Ｂ）含量が、Ｂ_２Ｏ_３換算で、１５～４０質量％である、請求項５又は６に記載のガラスクロス。
9. 前記ガラスクロスの弾性係数が、５０～７０ＧＰａである、請求項５又は６に記載のガラスクロス。
10. 前記ガラスクロスの弾性係数が、５０～６３ＧＰａである、請求項５又は６に記載のガラスクロス。
11. 請求項５又は６に記載のガラスクロスと、該ガラスクロスに含浸されたマトリックス樹脂と、を有する、プリプレグ。
12. 請求項５又は６に記載のガラスクロスと、該ガラスクロスに含浸されたマトリックス樹脂と、金属箔と、を有する、プリント配線板。