JP2024060802A - ガラスクロス、プリプレグ、およびプリント配線板 - Google Patents

Abstract

【課題】低粗度金属箔と低誘電樹脂との組み合わせにおいても、安定して十分な接着強度を得るのに好適なガラスクロスを提供する。【解決手段】複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸をそれぞれ経糸及び緯糸として製織して成る、厚さ５～１００μｍのガラスクロスであって、下式（１）：緯糸占有率＝Ｗ／（２５０００／Ｇ）×１００・・・式（１）で求められる、ＭＤ方向における緯糸の存在する部分の割合を示す前記緯糸占有率（％）が、８６．０～１０７．０％であり、下式（２）：緯糸の糸幅変動係数Ａ＝（Ｗ９５％－Ｗ５％）／Ｗ５０％／Ｆ・・・式（２）で求められる前記糸幅変動係数Ａが、下式（３）：０．００５６×ｅ（－０．１６０×Ｔ）・・・式（３）で求められる値以下である。【選択図】なし

Description

本発明は、ガラスクロス、プリプレグ、およびプリント配線板に関する。

近年の情報通信社会の発達とともに、データ通信、及び／又は信号処理が大容量で高速に行われるようになり、このため、電子回路基板上で伝送される信号の高速化が進んでいる。信号の高速化に伴い、プリント配線板における伝送損失の低減が求められている状況がある。プリント配線板の伝送損失を低減する方法としては、絶縁基板を構成するマトリクス樹脂、及びガラスクロスを低誘電化する方法、並びに金属箔の表面粗度を低減する方法（例えば、特許文献１、及び２を参照。）等が知られている。

特開２０１５－１２７１４４号公報 国際公開第２０２０／０２７１８９号

しかしながら、表面粗度が小さい金属箔と、低誘電樹脂、及び低誘電ガラスクロスから構成される低誘電基板と、の接着性は、表面粗度が大きい金属箔が用いられる場合と比較し、接着性が低下する問題があった。

特許文献１には、表面粗さＲｚが２．０μｍ以下の面を有する金属箔との金属箔ピール強度が０．６Ｎ／ｍｍ以上の積層板が開示されている。しかしながら、特許文献１に記載の積層板は、信号の高速化の要求に伴いマトリクス樹脂の極性が低下する場合等において、十分な接着性が得られ難くなる問題があった。
特許文献２には、低誘電マトリクス樹脂と、表面粗さ（Ｒｚ）が２．０μｍ以下の金属箔と、体積平均粒子径が１０ｎｍ～４００ｎｍであるコアシェルポリマー粒子と、を含むことで、接着性の改善を試みた積層板が開示されている。しかしながら、特許文献２に記載の積層板は、金属箔とのピール強度には未だ改善余地があり、十分な接着性が得られ難い問題があった。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、低粗度金属箔と低誘電樹脂との組み合わせにおいても、安定して十分な接着強度を得るのに好適なガラスクロスを提供することを目的とする。また、本発明は、該ガラスクロスを用いたプリプレグ及びプリント配線板を提供することを目的とする。

本発明の一態様は以下のとおりである。
［１］
複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸をそれぞれ経糸及び緯糸として製織して成る、厚さ５～１００μｍのガラスクロスであって、
下式（１）：
緯糸占有率＝Ｗ／（２５０００／Ｇ）×１００・・・式（１）
｛式中、Ｗは、緯糸幅の平均値（μｍ）であり、そしてＧは、緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）である。｝で求められる、ＭＤ方向における緯糸の存在する部分の割合を示す前記緯糸占有率（％）が、８６．０～１０７．０％であり、
下式（２）：
緯糸の糸幅変動係数Ａ＝（Ｗ_９５％－Ｗ_５％）／Ｗ_５０％／Ｆ・・・式（２）
｛式中、Ｗ_９５％は、緯糸方向に沿って一方側の端部から反対側の端部まで測定したときの糸幅が小さい側を起点とした累積糸幅分布における、累積９５％緯糸幅（μｍ）であり、Ｗ_５％は累積５％緯糸幅（μｍ）であり、Ｗ_５０％は累積５０％緯糸幅（μｍ）であり、そしてＦは、緯糸のフィラメント本数（本）である。｝で求められる前記糸幅変動係数Ａが、
下式（３）：
０．００５６×ｅ（－０．１６０×Ｔ）・・・式（３）
｛式中、Ｔは、緯糸のＴＥＸである。｝で求められる値以下である、ガラスクロス。
［２］
下式（４）：
経糸占有率＝Ｘ／（２５０００／Ｈ）×１００・・・式（４２）
｛式中、Ｘは、経糸幅（μｍ）であり、そしてＨは、経糸の織密度（本／２５ｍｍ）である。｝で求められる、ＴＤ方向における経糸の存在する部分の割合を示す前記経糸占有率（％）と、前記緯糸占有率との和が、１５０～２００％である、項目１に記載のガラスクロス。
［３］
下式（５）：
緯糸の糸幅変動係数α＝Ｗ／Ｆ・・・（式５）
｛式中、Ｗは、緯糸幅の標準偏差（μｍ）であり、そしてＦは、緯糸のフィラメント本数（本）である。｝で求められる前記糸幅変動係数αが、
下式（６）：
０．５×ｅ（－０．１×Ｔ）・・・式（６）
｛式中、Ｔは、緯糸のＴＥＸである。｝で求められる値以下である、項目１又は２に記載のガラスクロス。
［４］
前記ガラス糸の弾性係数が５０～７０ＧＰａである、項目１～３のいずれか１項に記載のガラスクロス。
［５］
前記ガラス糸の弾性係数が５０～６３ＧＰａである、項目１～３のいずれか１項に記載のガラスクロス。
［６］
項目１～５のいずれか１項に記載のガラスクロスと、熱硬化性樹脂と、を含有する、プリプレグ。
［７］
項目６に記載のプリプレグを含む、プリント配線板。

本発明によれば、低粗度金属箔と低誘電樹脂との組み合わせにおいても、安定して十分な接着強度を得るのに好適なガラスクロスを提供することができる。
また、本発明によれば、該ガラスクロスを用いたプリプレグ及びプリント配線板を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態（以下、「本実施形態」という。）について詳細に説明する。本発明は、本実施形態のみに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。本明細書中、段階的に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換わってよい。また、本明細書中、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換わってよい。

本実施形態に関し、本発明者らは、低粗度金属箔と低誘電基板との接着性が低下する一因として、低誘電樹脂とガラスクロスの複合体にける樹脂層厚さのバラツキが関与することを突き止めた。そして、ガラスクロスの緯糸幅の変動を特定範囲とすることで、樹脂層厚さのバラツキが低減し、金属箔と低誘電基板の接着性が向上することを見出した。本実施形態は、かかる知見に基づいて成されたものである。

［ガラスクロス］
本実施形態のガラスクロスは、複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸をそれぞれ経糸及び緯糸として製織して成る、厚さ５～１００μｍのガラスクロスであって、
下式（１）：
緯糸占有率＝Ｗ／（２５０００／Ｇ）×１００・・・式（１）
｛式中、Ｗは、緯糸幅の平均値（μｍ）であり、そしてＧは、緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）である。｝で求められる、ＭＤ方向における緯糸の存在する部分の割合を示す上記緯糸占有率（％）が、８６．０～１０７．０％であり、
下式（２）：
緯糸の糸幅変動係数Ａ＝（Ｗ_９５％－Ｗ_５％）／Ｗ_５０％／Ｆ・・・式（２）
｛式中、Ｗ_９５％は、緯糸方向に沿って一方側の端部から反対側の端部まで測定したときの糸幅が小さい側を起点とした累積糸幅分布における、累積９５％緯糸幅（μｍ）であり、Ｗ_５％は累積５％緯糸幅（μｍ）であり、Ｗ_５０％は累積５０％緯糸幅（μｍ）であり、そしてＦは、緯糸のフィラメント本数（本）である。｝で求められる上記糸幅変動係数Ａが、
下式（３）：
０．００５６×ｅ（－０．１６０×Ｔ）・・・式（３）
｛式中、Ｔは、緯糸のＴＥＸである。｝で求められる値以下である。

高速通信用のプリント配線基板には、伝送線路中の信号伝播速度の差異を小さくするため、面方向でのガラス分布均一性が高められたガラスクロスが一般に用いられる。通常、ガラスクロスは経糸方向に引張張力を付与して搬送しながら開繊加工が施されるため、張力で拘束されている経糸に比べ、緯糸の方が拡幅させ易い。そのため、緯糸を拡幅してＭＤ方向に並べ、これにより緯糸占有率を大きくすることで、面方向のガラス分布を高くするのが一般である。

しかしながら、低誘電ガラスの中でも、上述したような、緯糸占有率が高い低誘電ガラスクロスでは、従来Ｅガラスクロスと比較して、低粗度金属箔との接着性に劣ることが分かってきた。そして、低粗度金属箔との接着性に劣る低誘電ガラスクロスを詳細に調べると、緯糸占有率が高い低誘電ガラスクロスは、従来のＥガラスクロスに比べ、表面平滑性に劣る共通点があることが分かった。この理由は、理論に限定されるものではないが、表面平滑性に劣るガラスクロスでは、マトリクス樹脂との複合体における基板において、マトリクス樹脂層の薄い部位が局所的に存在し、この部位に応力が集中して、金属箔とマトリクス樹脂の接着破壊の起点になるものと考えられる。

そして、本発明者らは、緯糸占有率が高い低誘電ガラスクロスが表面平滑性に劣る原因を詳細に調べた結果、ガラスクロスの開繊工程にて、ガラス糸束が拡幅・扁平化して織物構造が形成される過程で、同じ緯糸の中で細い部分と太い部分とのムラが生じ、これによりうねり構造に大きな歪が生じ、その結果、凹凸が形成されることが分かった。

これに対して、本実施形態のガラスクロスは、緯糸占有率（％）が８６．０～１０７．０％であるような、緯糸による面方向のガラス分布が高い低誘電ガラスクロスであっても、緯糸の糸幅変動係数Ａを特定の範囲にすることで、ガラスクロスの表面平滑性が向上し、これにより、低粗度金属箔との接着性を向上することができる。なお、緯糸占有率（％）は、ＭＤ方向における緯糸の存在する部分の割合であり、緯糸の糸幅変動係数Ａは、緯糸の糸幅の広い部分と狭い部分との差異の指標である。

〔緯糸占有率〕
本実施形態のガラスクロスは、
上記式（１）で求められる緯糸占有率（％）が、８６．０～１０７．０％である。
緯糸占有率の好ましい範囲は、８８．０～１０６．０％であり、より好ましい範囲は８９．０～１０５．０％であり、更に好ましい範囲は９０．０～１０４．５％である。
緯糸占有率が８６％以上であると、開繊工程において糸幅が拡幅される過程で、隣り合う緯糸同士の干渉が生じ、このため、同じ緯糸の中で細い部分と太い部分とのムラが広がる。その結果、表面の凹凸が大きくなり、低粗度金属箔との接着性が低下する問題が発生する。本実施形態においては、緯糸占有率が８６％以上でも、緯糸の糸幅変動係数を特定範囲にすることで、表面の平滑性に優れるガラスクロスが得られ、これにより低粗度金属箔との強い接着性が得られるため好ましい。
また、緯糸占有率が上記１０７％以下であることにより、本実施形態における緯糸の糸幅変動係数を制御することで表面平滑性を小さく維持できる。

緯糸占有率は、例えば、緯糸の織密度の調整、緯糸の開繊による糸幅の調整等により、上記の範囲に制御することができる。

〔緯糸占有率と経糸占有率の和〕
本実施形態では、
下式（４）：
経糸占有率＝Ｘ／（２５０００／Ｈ）×１００・・・式（４２）
｛式中、Ｘは、経糸幅（μｍ）であり、そしてＨは、経糸の織密度（本／２５ｍｍ）である。｝で求められる、ＴＤ方向における経糸の存在する部分の割合を示す上記経糸占有率（％）と、上記式（１）で求められる緯糸占有率との和が、１５０～２００％が好ましい。

緯糸占有率と経糸占有率の和が１５０％以上であると、緯糸のうねり構造に対する経糸の干渉の度合いが大きくなり易いため、糸幅の太い部分と細い部分のムラがある緯糸のうねり構造の歪が益々助長され易く、その結果、表面の凹凸が大きくなり易く、これにより、低粗度金属箔との接着性が低下し易い問題が発生する。本実施形態においては、緯糸の糸幅変動係数を特定範囲とすることで、表面の平滑性に優れるため、緯糸占有率と経糸占有率の和が１５０％以上でも、低粗度金属箔との強い接着性が得られるため好ましい。

また、緯糸占有率と経糸占有率の和が上記２００％以下であることにより、本実施形態における緯糸の糸幅変動係数を制御することで表面平滑性を小さく維持し易いため、好ましい。

緯糸占有率と経糸占有率の和は、１５１％以上がより好ましく、１５２％以上が更に好ましく、１５３％以上が最も好ましい。また、１９８％以下がより好ましく、１９６％以下が更に好ましく、１９５％以下が最も好ましい。経糸占有率は、６０％以上が好ましく、６０．５％以上がより好ましく、６１％以上が更に好ましい。また、９８％以下が好ましく、９７％以下がより好ましく、９６％以下が更に好ましい。経糸占有率と緯糸占有率の和は、例えば、経糸及び緯糸の織密度の調整、経糸及び緯糸の開繊による糸幅の調整等により、上記の範囲に制御することができる。

〔緯糸の糸幅変動係数Ａ〕
本実施形態では、上記式（２）で求められる緯糸の糸幅変動係数Ａが、上記式（３）で示される値以下である。緯糸の糸幅変動係数Ａは、下式（６Ａ）：
０．００５６×ｅ（－０．１６５×Ｔ）・・・式（６Ａ）
で示される値以下であることが好ましく、下式（７）：
０．００５６×ｅ（－０．１７０×Ｔ）・・・式（７）
で示される値以下であることがより好ましく、下式（８）：
０．００５６×ｅ（－０．１７５×Ｔ）・・・式（８）
で示される値以下であることが更に好ましい。
なお、式中、Ｔは、緯糸のＴＥＸである。

緯糸の糸幅変動係数Ａは、以下の方法で求められる。ガラスクロスの経糸に対して直行する方向（ＴＤ方向）に沿って、ガラスクロスの一方の端から他方の端までＣＣＤカメラを走査し、ガラス糸束の画像を撮像する。このとき、撮像しながら、ＴＤ方向０．５ｍｍ当たり１回以上の頻度で、緯糸の糸幅を測定する。得られた緯糸の糸幅データを、糸幅が小さい順にならべた累積糸幅分布を作成する。そして、
糸幅が小さい方から累積５％の糸幅値をＷ_５％：累積５％緯糸幅（μｍ）、
糸幅が小さい方から累積５０％の糸幅値をＷ_５０％：累積５０％緯糸幅（μｍ）、
糸幅が小さい方から累積９５％の糸幅値をＷ_９５％：累積９５％緯糸幅（μｍ）、として得る。得られた、Ｗ_５％、Ｗ_５０％、Ｗ_９５％と、緯糸のフィラメント本数：Ｆと、を用いて、上記式（２）により算出して求めた値を緯糸の糸幅変動係数Ａとして扱う。

緯糸の糸幅変動係数Ａを式（３）で示される値以下とする方法としては、高圧水スプレー流、バイブロウォッシャー、及び液体を媒体とした高周波振動等を利用した工程（脱糊工程、及び開繊工程等）において、経糸の拡幅が緯糸の拡幅に先行するように、かつ、経糸の拡が十分に均一に行われるように、ガラスクロスを構成するガラス糸、ガラス糸へのサイジング剤塗布、脱糊工程、及び開繊工程の条件を調整する方法が有効である。
また、経糸の拡幅を促進するように、ガラス糸製造時に塗布されるサイジング剤、及び整経工程で塗布されるサイジング剤の塗布量を少なく抑える方法、ガラスフィラメントの集束性が緩やかで糸幅が比較的広いガラス糸を経糸に用い、他方、緯糸の拡幅を抑制するように、ガラス糸製造時に塗布されるサイジング剤の塗布量が多く、ガラスフィラメントの集束性が高く糸幅の狭いガラス糸を緯糸に用いる方法も有効である。
また、経糸を十分に均一に拡幅するため、生機の製造工程において、経糸の張り具合を均一にする方法、経糸の撚り数等の糸品質を高める方法も有効である。
また、経糸の拡幅を促進するため、脱糊工程、及び開繊工程において、ライン張力を弱くする方法も有効である。
これら方法を組み合わせることで、緯糸の糸幅変動係数Ａを式（３）で示される値以下とすることができる。

〔緯糸の糸幅変動係数α〕
本実施形態では、
下式（５）：
緯糸の糸幅変動係数α＝Ｗ／Ｆ・・・（式５）
｛式中、Ｗは、緯糸幅の標準偏差（μｍ）であり、そしてＦは、緯糸のフィラメント本数（本）である。｝で求められる上記糸幅変動係数αが、
下式（６）：
０．５×ｅ（－０．１×Ｔ）・・・式（６）
｛式中、Ｔは、緯糸のＴＥＸである。｝で求められる値以下であることが好ましい。緯糸の糸幅変動係数αのより好ましい範囲は、下式（９）：
０．５１×ｅ（－０．１０５×Ｔ）・・・式（９）
で示される値以下であり、更に好ましい範囲は、下式（１０）：
０．５２×ｅ（－０．１１０×Ｔ）・・・式（１０）
で示される値以下であり、最も好ましい範囲は、下式（１１）：
０．５３×ｅ（－０．１１５×Ｔ）・・・式（１１）
で示される値以下である。
なお、式中、Ｗは、緯糸幅の標準偏差（μｍ）であり、そしてＦは、緯糸のフィラメント本数（本）である。

緯糸の糸幅変動係数αは、以下の方法で求められる。緯糸の糸幅変動係数Ａを求めた場合と同じ測定で得られた緯糸の糸幅データを用い、標準偏差Ｗを算出する。得られた、標準偏差Ｗと、緯糸のフィラメント本数Ｆ、を用いて、上記式（５）により算出して求めた値を緯糸の糸幅変動係数Ａとして扱う。

緯糸の糸幅変動係数αが式（６）で求められる値以下であれば、緯糸占有率が８６％以上であるような、緯糸が密に詰まったガラスクロスにおいて、ガラスクロスの表面平滑性を全体的に小さく抑え易い。その結果、ガラスクロスとマトリクス樹脂との複合基板において、全体の樹脂量を維持したまま、十分な樹脂層の厚さを確保し易いため、金属箔との接着性が強くなる傾向にあり好ましい。また、面内のガラス分布、及び樹脂分布がより均一になり易いため、基板上で、信号伝播速度の差異が小さくなり易いため好ましい。

〔ガラスクロス〕
（概略構成）
ガラス糸は、複数本のフィラメントを束ね、必要に応じて撚って得られるものである。この場合、ガラス糸はマルチガラスフィラメント、ガラス糸に含まれるフィラメント（ガラスフィラメント）はモノガラスフィラメントにそれぞれ分類される。

ガラス糸の弾性係数は、好ましくは５０～７０ＧＰａ、より好ましくは５０～６３ＧＰａ、更に好ましくは５３～６３ＧＰａである。弾性係数が５０ＧＰａ以上であれば、ガラス糸の剛性が大きいため、ガラスクロスの開繊工程にて過剰な糸束の拡幅が生じ難く、糸幅のムラにより生じるうねり構造の歪を抑制し易い。弾性係数が７０ＧＰａ以下であれば、ガラス糸が適度な柔軟性を有するため、ガラスクロス開繊加工時に、糸束の開繊を適度にコントロールし易いため、糸幅のムラにより生じるうねり構造の歪を抑制し易い。

経糸及び緯糸を構成するモノガラスフィラメントの平均直径は、好ましくは２．５～９μｍ、より好ましくは３．０～８μｍ、更に好ましくは３．５～７．５μｍである。目的とするガラスクロスの厚さによって、適時選択して用いることができる。

ガラスクロスを構成する経糸及び緯糸の打ち込み密度は、好ましくは３０～１２０本／２５ｍｍ、より好ましくは４０～１１０本／２５ｍｍ、更に好ましくは５０～１００本／２５ｍｍである。

経糸及び緯糸を構成するモノガラスフィラメントの平均直径は、好ましくは２．５～９μｍ、より好ましくは３．０～８μｍ、更に好ましくは３．５～７．５μｍである。目的とするガラスクロスの厚さによって、適時選択して用いることができる。

経糸及び緯糸を構成するモノガラスフィラメントの平均本数は、好ましくは２０～２５０本、より好ましくは３０～２３０本、更に好ましくは３３～２２０本である。

ガラスクロスの厚さは、５～１００μｍであり、好ましくは６～９０μｍ、より好ましくは７～８０μｍである。ガラスクロスの厚さが上記範囲内であることにより、薄くて比較的に強度の高いガラスクロスが得られる。

ガラスクロスの布重量（目付け）は、好ましくは８～２５０ｇ／ｍ^２、より好ましくは８～１００ｇ／ｍ^２、更に好ましくは８～５０ｇ／ｍ^２であり、特に好ましくは８～３５ｇ／ｍ^２である。

ガラスクロスの強熱減量値の好ましい範囲は、０．２５～１．５質量％、より好ましくは０．３～１．４質量％であり、更に好ましくは０．３５～１．３質量％である。ガラスクロスの強熱減量値の上限値は、１．２質量％、１．０質量％、又は０．９質量％でもよい。ガラスクロスの強熱減量値が上記下限値以上であることにより、基板を製造する際に、十分なマトリックス樹脂との反応性が得られ易く、また、耐吸湿性がより向上し、結果として絶縁信頼性がより向上し易いため好ましい。また、ガラスクロスの強熱減量値が上記上限値以下であることにより、ガラスクロスへの樹脂浸透性がより向上し易いため好ましい。強熱減量値は、ＪＩＳＲ３４２０に記載されている方法に従って測定することができる。

ガラスクロスの織り構造については、特に限定されないが、例えば、平織り、ななこ織り、朱子織り、綾織り、等の織り構造が挙げられる。このなかでも、平織り構造がより好ましい。

（ガラスクロスの組成）
以下、本実施形態のガラスクロスの組成について説明する。なお、ガラスクロスの組成とは、ガラスクロスを構成するガラス糸の組成と同義である。ガラスクロスを構成する元素としては、ケイ素（Ｓｉ）、ホウ素（Ｂ）、アルミニウム（Ａｌ）、カルシウム（Ｃａ）、マグネシウム（Ｍｇ）、リン（Ｐ）、ナトリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、チタン（Ｔｉ）、亜鉛（Ｚｎ）、鉄（Ｆｅ）、及びフッ素（Ｆ）、等から成る群より選択される少なくとも一つが挙げられる。

ガラス糸のケイ素（Ｓｉ）含量は、ＳｉＯ₂換算で、好ましくは４０～６０質量％、より好ましくは４５～５５質量％、更に好ましくは４７．０～５３．５質量％、より更に好ましくは４８．０～５２．０質量％である。Ｓｉはガラス糸の骨格構造を形成する成分である。このため、Ｓｉ含量が４０質量％以上であることで、ガラス糸の強度がより向上し、ガラスクロスの製造工程及びガラスクロスを用いたプリプレグの製造工程、等の後工程において、ガラスクロスの破断がより抑制される傾向にある。また、Ｓｉ含量が４０質量％以上であることで、ガラスクロスの誘電率がより低下する傾向にある。他方、Ｓｉ含量が６０質量％以下であることで、ガラスフィラメントの製造過程において、溶融時の粘度がより低下し、より均質なガラス組成のガラス繊維が得られる傾向にある。このため、得られるガラスフィラメントに、部分的に失透し易い部位、又は部分的に気泡が抜け難い部位が発生し難くなることから、ガラスフィラメントに局所的に強度の弱い部位が生じ難くなる。その結果として、これを用いて得られるガラス糸から構成されるガラスクロスは、破断し難いものとなる。Ｓｉ含量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料使用量に応じて調整することができる。

ガラス糸のホウ素（Ｂ）含量は、Ｂ₂Ｏ₃換算で、好ましくは１５～４０質量％、より好ましくは１７～３０質量％、又は２０～４０質量％、更に好ましくは１８～２８質量％、より更に好ましくは１９～２６質量％、更により好ましくは２０～２５質量％、最も好ましくは２０．５～２４．５質量％である。

Ｂ含量が１５質量％以上であることにより、誘電率がより低下する傾向にある。また、Ｂ含量が１５質量％以上であることにより、ガラスクロスの耐脆性が向上し、また、ガラスクロスに適度な柔軟性、又はしなやかさが付与されるため、ガラス糸が、糸道ガイド、及び筬等の織機部材に接触した際、毛羽が発生し難くなる傾向にある。

他方、ガラス糸の強度を保つには、Ｂ含量が４０質量％以下であることが好ましい。Ｂ含量が４０質量％以下であることにより、耐吸湿性が向上し、後述するガラス糸表面特性の安定性が適正に保たれ易くなる。

特に、ガラス糸における、Ｓｉ含量が上記範囲、かつ、Ｂ含量が上記範囲であることで、Ｓｉ及びＢに関する上記効果が相乗的に奏され易いので好ましい。

Ｂ含量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料の使用量（仕込み量）により、調整することができる。なお、ガラスフィラメント作製中に、作製条件、使用量又は含量が変動し得る場合には、それを予め見越して、原料の仕込み量を調整することができる。

ガラス糸のアルミニウム（Ａｌ）含量は、Ａｌ₂Ｏ₃換算で、好ましくは１１～１８質量％、より好ましくは１１～１７．５質量％、更に好ましくは１２～１７．０質量％である。Ａｌ含量が上記範囲内であることにより、電気特性、強度がより向上する傾向にある。Ａｌ含量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料の使用量（仕込み量）により、調整することができる。

ガラス糸のカルシウム（Ｃａ）含量は、ＣａＯ換算で、好ましくは５．０～１０質量％、より好ましくは５．０～９．０質量％、更に好ましくは５．０～８．５質量％である。Ｃａ含量が５．０質量％以上であることにより、ガラスフィラメントの製造過程において、溶融時の粘度がより低下し、より均質なガラス組成のガラス繊維が得られる傾向にある。また、Ｃａ含量が１０質量％以下であることにより、誘電率がより向上する傾向にある。Ｃａ含量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料の使用量（仕込み量）により、調整することができる。

ガラス糸のリン（Ｐ）含量は、Ｐ₂Ｏ_５換算で、好ましくは８．０質量％以下、より好ましくは７．０質量％以下、更に好ましくは６．０質量％以下である。Ｐ含量は０質量％超えでよい。Ｐ含量が０質量％超えであることにより、ガラスクロスの誘電特性がより良好となる傾向にある。また、Ｐ含量が８．０質量％以下であることにより、ガラスクロスの耐熱性が向上する傾向にある。Ｐ含量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料の使用量（仕込み量）により調整することができる。

なお、上記各含量は、ＩＣＰ発光分光分析法により測定することができる。具体的には、Ｓｉ含量及びＢ含量は、秤取したガラスクロスを炭酸ナトリウムで融解した後、希硝酸で溶解して所定の容量とし、得られたサンプルをＩＣＰ発光分光分析法により測定して得ることができる。また、Ｆｅ含量は、秤取したガラスクロスをアルカリ溶解法により溶解して所定の容量とし、得られたサンプルをＩＣＰ発光分光分析法により測定して得ることができる。更に、Ａｌ含量、Ｃａ含量、Ｐ含量及びＭｇ含量は、秤取したガラスクロスを過塩素酸、硫酸、硝酸及びフッ化水素により加熱分解した後、希硝酸で溶解して所定の容量とし、得られたサンプルをＩＣＰ発光分光分析法により測定して得ることができる。なお、ＩＣＰ発光分光分析装置としては、日立ハイテクサイエンス社製のＰＳ３５２０ＶＤＤ ＩＩを用いることができる。

（表面処理）
ガラスクロスは、表面処理剤により表面処理されたものであってよい。表面処理剤としては、特に制限されないが、例えば、シランカップリング剤が挙げられ、必要に応じて水、有機溶剤、酸、染料、顔料、界面活性剤等を合わせて用いてもよい。シランカップリング剤としては、特に制限されないが、例えば、式（１０）：
Ｘ（Ｒ）_３－ｎＳｉＹ_ｎ…（１０）
（式中、Ｘは、アミノ基及び不飽和二重結合基のうち少なくとも１つ以上有する有機官能基であり、Ｙは、各々独立して、アルコキシ基であり、ｎは、１以上３以下の整数であり、そしてＲは、各々独立して、メチル基、エチル基及びフェニル基からなる群より選ばれる基である。）で示される化合物が挙げられる。

Ｘは、アミノ基及び不飽和二重結合基のうち少なくとも３つ以上を有する有機官能基であることが好ましく、Ｘは、アミノ基及び不飽和二重結合基のうち少なくとも４つ以上を有する有機官能基であることがより好ましい。

上記のアルコキシ基としては、いずれの形態も使用できるが、ガラスクロスへの安定処理化の観点から、炭素数５以下のアルコキシ基が好ましい。

シランカップリング剤としては、具体的には、Ｎ－β－（Ｎ－ビニルベンジルアミノエチル）－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ビニルベンジルアミノエチル）－γ－アミノプロピルメチルジメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ジ（ビニルベンジル）アミノエチル）－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ジ（ビニルベンジル）アミノエチル）－Ｎ－γ－（Ｎ－ビニルベンジル）－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ベンジルアミノエチル）－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ－β－（Ｎ－ベンジルアミノエチル）－γ－アミノプロピルトリエトキシシラン及びその塩酸塩、γ－（２－アミノエチル）アミノプロピルトリメトキシシラン、γ－（２－アミノエチル）アミノプロピルトリエトキシシラン、アミノプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の公知の単体、又はこれらの混合物が挙げられる。

シランカップリング剤の分子量は、好ましくは１００～６００、より好ましくは１５０～５００、更に好ましくは２００～４５０である。この中でも、分子量が異なる２種類以上のシランカップリング剤を用いることが好ましい。分子量が異なる２種類以上のシランカップリング剤を用いてガラス糸の表面を処理することにより、ガラスクロスの表面における表面処理剤密度が高くなり、マトリックス樹脂との反応性が更に向上する傾向にある。

〔ガラスクロスの製造方法〕
本実施形態のガラスクロスの製造方法は、特に限定されないが、ガラス糸を経糸と緯糸に用い、常法により製織し、その後、ガラスクロスの生機をシランカップリング剤による処理する等の後加工を施す方法が挙げられる。ガラスクロスの織り構造としては、特に限定されないが、例えば、平織り、ななこ織り、朱子織り、綾織り等の織り構造が挙げられる。更に異種のガラス糸を用いた混織構造でもよい。この中でも、平織り構造が好ましい。

本実施形態のガラスクロスの製造方法の一態様として、例えば、
シランカップリング剤の濃度が０．１～３．０質量％である処理液をガラスクロスに塗布してガラスフィラメントの表面をほぼ完全にシランカップリング剤で覆う被覆工程と、
加熱乾燥によりシランカップリング剤をガラスフィラメントの表面に固着させる固着工程と、
ガラスクロスのガラス糸を開繊する開繊工程と、
を有する方法が好適に挙げられる。

シランカップリング剤を溶解又は分散させる溶媒としては、水、又は有機溶媒のいずれも使用できるが、安全性、地球環境保護の観点から、水を主溶媒とすることが好ましい。水を主溶媒とした処理液を得る方法としては、シランカップリング剤を直接水に投入する方法、シランカップリング剤を水溶性有機溶媒に溶解させて有機溶媒溶液とした後に該有機溶媒溶液を水に投入する方法、のいずれかの方法が好ましい。シランカップリング剤の処理液中での水分散性、安定性を向上させるために、界面活性剤を併用することも可能である。

シランカップリング剤の処理液をガラスクロスに塗布する方法としては、（ア）シランカップリング剤の処理液をバスに溜め、ガラスクロスを浸漬、通過させる方法（以下、「浸漬法」という。）、（イ）ロールコーター、ダイコーター、又はグラビアコーター等でシランカップリング剤の処理液をガラスクロスに直接塗布する方法等が挙げられる。上記（ア）の浸漬法にて塗布する場合は、ガラスクロスの処理液への浸漬時間を０．５秒以上１分以下にすることが好ましい。また、ガラスクロスに処理液を塗布した後、溶媒を加熱乾燥させる方法としては、熱風、電磁波等公知の方法が挙げられる。

加熱乾燥温度は、シランカップリング剤とガラスとの反応が十分に行われるように、好ましくは９０℃以上、より好ましくは１００℃以上である。また、加熱乾燥温度は、シランカップリング剤が有する有機官能基の劣化を防ぐために、好ましくは３００℃以下、より好ましくは２００℃以下である。

開繊工程の開繊方法としては、特に限定されないが、例えば、ガラスクロスを、スプレー水（高圧水開繊）、バイブロウォッシャー、超音波水、マングル等で開繊加工する方法が挙げられる。バスケットホールの総面積を一定の範囲に保つためには、スプレー水により開繊工程を行うことが好ましい。

スプレー水で開繊する場合、水圧は適宜設定すればよく、ガラスクロスに存在するバスケットホールの総面積を調整するために、水圧は一定にすることが好ましい。ここで、水圧を一定にするとは、開繊を実施するために設定したスプレーの水圧と、実際の水圧の最大値、最小値との差を小さくすることを指す。開繊工程前後においても、加熱乾燥させる工程を有していてもよい。

［プリプレグ］
本実施形態の一態様は、前記したガラスクロスとマトリックス樹脂との複合体であるプリプレグである。マトリックス樹脂は、該ガラスクロスに含侵している。

プリプレグは、常法に従って製造することができる。例えば、ガラスクロスに、マトリックス樹脂を有機溶剤で希釈したワニスを含浸させた後、乾燥炉にて有機溶剤を揮発させ、樹脂含浸プリプレグを作製することができる。

マトリックス樹脂としては、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂のいずれも使用可能である。熱硬化性樹脂としては、特に限定されないが、例えば、ａ）エポキシ基を有する化合物と、エポキシ基と反応する、アミノ基、フェノール基、酸無水物基、ヒドラジド基、イソシアネート基、シアネート基、及び水酸基等の少なくとも１つを有する化合物と、を、無触媒で、又は、イミダゾール化合物、３級アミン化合物、尿素化合物、燐化合物等の反応触媒能を持つ触媒を添加して、反応させて硬化させるエポキシ樹脂；ｂ）ビニル基、アリル基、メタクリル基、及びアクリル基の少なくとも１つを有する化合物を、熱分解型触媒、又は光分解型触媒を反応開始剤として使用して、硬化させるラジカル重合型硬化樹脂；ｃ）シアネート基を有する化合物と、マレイミド基を有する化合物と、を反応させて硬化させるマレイミドトリアジン樹脂；ｄ）マレイミド化合物と、アミン化合物と、を反応させて硬化させる熱硬化性ポリイミド樹脂；ｅ）ベンゾオキサジン環を有する化合物を加熱重合により架橋硬化させるベンゾオキサジン樹脂等が挙げられる。

また、熱可塑性樹脂としては、特に限定されないが、例えば、ポリフェニレンエーテル、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンサルファイド、ポリスルホン、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、芳香族ポリアミド、ポリエーテルエーテルケトン、熱可塑性ポリイミド、不溶性ポリイミド、ポリアミドイミド、フッ素樹脂等が挙げられる。また、熱硬化性樹脂と、熱可塑性樹脂を併用してもよい。

本実施形態の一つであるガラスクロスとマトリックス樹脂とから構成されるプリプレグにおけるマトリックス樹脂は、好ましくは、ポリフェニレンエーテル樹脂である。更に好ましくは、ビニル基、アリル基、メタクリル基、及びアクリル基等の炭素－炭素二重結合を含む官能基が主鎖末端に１分子当たり１．５～５個存在するポリフェニレンエーテル樹脂である。また、好ましくは、数平均分子量５００～８，０００のポリフェニレンエーテルである。マトリックス樹脂がポリフェニレンエーテル樹脂であると、誘電特性に優れるために好ましい。

また、マトリックス樹脂が、上記の官能基及び数平均分子量を有することにより、プリプレグ作製工程、プレス成型工程において、樹脂組成物がガラスクロスの内部まで浸透しやすく、ガラスクロスとの接着点が多く確保されるために、誘電特性が優れると推測されるが、本実施形態のようにガラスの面内均一性が高く、通気度が小さために、ガラスクロスの上下に形成される樹脂マトリックス層同士の直接の接着点数が下がる系においても、ガラスクロスと樹脂組成物の界面の強い接着性が発現することにより、耐熱性や絶縁信頼性が向上する。

［プリント配線板］
本実施形態の更に他の態様は、前記したプリプレグを用いて製造されるプリント配線板、すなわち、本実施形態のプリプレグを成形してなるプリント配線板である。本実施形態のプリプレグを用いてプリント配線板を製造することにより、高品質で、複数の伝送線路の信号伝播速度差が軽減されたプリント配線板を提供することができる。

以下、本発明を実施例及び比較例を用いてより具体的に説明する。本発明は、以下の実施例のみに限定されない。

［ガラスクロス、及びガラス糸の物性］
ガラスクロスの物性、具体的には、ガラスクロスの厚さ、経糸及び緯糸のＴＥＸ、経糸、及び緯糸を構成するフィラメントの径、経糸及び緯糸のフィラメント本数、経糸及び緯糸の織密度、強熱減量値（ＬＯＩ）は、ＪＩＳ Ｒ３４２０に従い測定した。

（ガラスクロスにおける経糸幅の平均値、標準偏差）
ガラスクロスの経糸に対して直行する方向（ＴＤ方向）に沿ってカメラを走査させ、ガラスクロス全幅分の経糸の画像を取得し、経糸１本毎の糸幅を測定した。ガラスクロス全幅分の経糸幅の平均値と標準偏差を求めた。

（ガラスクロスにおける緯糸幅の平均値、標準偏差）
ガラスクロスの緯糸に対して直行する方向（ＭＤ方向）に沿ってカメラを走査させ、長さ方向に１３００ｍｍの範囲の緯糸の画像を取得し、緯糸１本毎の糸幅を測定した。長さ方向に１３００ｍｍ分の緯糸幅の平均値と標準偏差を求めた。

（ガラスクロスにおける緯糸幅の累積糸幅）
ガラスクロスの経糸に対して直行する方向（ＴＤ方向）に沿ってガラスクロスの一端端から他端までＣＣＤカメラを走査し、ガラス糸束の画像を撮像した、このとき、撮像しながら、ＴＤ方向０．５ｍｍ当たり１回以上の頻度で緯糸の糸幅を測定した。得られた緯糸の糸幅データを、糸幅が小さい順にならべた累積糸幅分布を作成し、
糸幅が小さい方から累積５％の糸幅値をＷ_５％：累積５％緯糸幅（μｍ）、
糸幅が小さい方から累積５０％の糸幅値をＷ_５０％：累積５０％緯糸幅（μｍ）、
糸幅が小さい方から累積９５％の糸幅値をＷ_９５％：累積９５％緯糸幅（μｍ）、
として得た。

（ガラス糸原糸の糸幅）
ガラス糸を１ｍ／分の速度で搬送させながら、ＬＥＤ投影方式の透過型寸法測定器（ＨＩＧＨ ＡＣＣＵＲＡＣＹ ＣＭＯＳ ＭＩＣＲＯＭＥＴＥＲ ＬＳ－９００６ＭＲ ／キーエンス社製）を用い、５０ｍのガラス糸の糸幅を測定し、得られた糸幅データから、ガラス糸の糸幅の平均値を算出した。

ＬＥＤ投影方式の透過型寸法測定器による糸幅測定は、１ｍ当たり１９３４点の測定値が得られる条件で行い、ＬＥＤの焦点が合わないこと等でエラーとなった場合（－９９９９値が表示される）には、該測定値は削除して、糸幅の平均値及び／又は糸幅分布の算出を行った。

ガラス糸が搬送される際にガラス糸に作用する張力は、張力計（ＳＣＨＭＩＤＴ社製Ｃｏｎｒｏｌ ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ ＥＴＰＢ－１００－Ｃ０５８５）で測定される値張力で、０．１２～０．１８Ｎであった。

（ガラス糸の弾性係数）
ガラス糸の弾性係数は、ガラス糸を溶融、冷却して得られるガラスバルクを試験片に用い、パルスエコーオーバーラップ法により測定した。
〔銅箔ピール強度（Ｎ／ｍｍ）〕
（樹脂ワニスの作成）
トルエン２００重量部に、ポリフェニレンエーテル樹脂（ＳＡ９０００、ＳＡＢＩＣ社製）３８．６重量部、トリアリルイソシアヌレート（ＴＡＩＣ、日本化成社製）９．７重量部、ビス（１－ｔｅｒｔ－ブチルペルオキシンー１－メチルエチル）ベンゼン（パーブチルＰ、日本油脂社製）０．２２重量部、トリスジエチルホスフィン酸アルミニウム（ＯＰ９４５、クラリアントジャパン社製）１３．６重量部、ベンゾグアナミン（東京化成社製）０．５重量部、水添スチレン系熱可塑性樹脂（タフテックＮ５２５、旭化成社製）３３重量部、球状シリカ（龍森社製）４．３重量部を混合し、樹脂ワニスを得た。

（プリプレグの作成）
実施例、及び比較例で得られたガラスクロスに、上記の樹脂ワニスを含侵させた後、所定のスリットに通すことにより余分なワニスを掻き落とし、１０５℃の乾燥オーブンにて所定時間乾燥させ、トルエンを除去することにより、プリプレグを得た。このプリプレグを所定サイズに切り出し、その重量と同サイズのガラスクロスの重量を比較することで、プリプレグにおける樹脂組成物の固形分の含有量を算出したところ、実施例１～４、及び比較例１は６６％、実施例５、６、及び比較例２は７２％、実施例７、８、及び比較例３は５８％、実施例９、１０、及び比較例４は５６％、であった。

（評価表銅張り積層板の作成）
得られたプリプレグを２枚重ね、その上下に１８μｍ厚の銅箔（ＦＺ－ＷＳ、Ｒｚ１．１、古川電気工業社製）を重ね合わせてものを、２００℃、４０ｋｇ／ｃｍ^２の条件で６０分間真空プレス成型を行い、両面銅張積層板を作製した。

（銅箔ピール強度の測定、評価）
得られた銅張積層板を、幅１０ｍｍ×長さ１００ｍｍのサイズに切り出し、銅箔ピール強度測定用試験片とした。オートグラフ（ＡＧ－５０００Ｄ、島津製作所製社製）を用い、銅箔を除去面に対し９０℃の角度で５０ｍｍ／分の速度で引き剥がした際の荷重の平均値を測定し、５回の測定の平均値を求め、以下の基準により評価した。
Ｅ（◎）： ０．９Ｎ／ｍｍ以上
Ｇ（〇）： ０．８Ｎｍｍ以上０．９Ｎ／ｍｍ未満
Ａ（△）： ０．７Ｎｍｍ以上０．８Ｎｍｍ未満
Ｐ（×）： ０．７Ｎｍｍ未満

＜比較例１＞
経糸、緯糸ともに、ＡＧＹ社製の低誘電ガラス糸ＬＣＤ５１０（弾性係数６１ＧＰａ、ＴＥＸ９．７３）を使用し、エアジェットルームを用い、経糸打込み密度５２．５本／２５ｍｍ、緯糸打ち込み密度５２．５本／２５ｍｍのガラスクロス（生機）を製織した。ここで、経糸には、ＬＯＩが１．４～１．５、糸幅の平均値が１４５～１５５μｍの範囲にあるボビンを選定して用い、整経工程でＬＯＩが３．０～３．１となるようにサイジング剤を塗布した後に、製織に供した。緯糸には、緯糸には、ＬＯＩが１．４～１．５、糸幅の平均値が１４５～１５５μｍの範囲にあるボビンを選定して用いた。

得られた生機に糊水洗及び高圧水スプレーによる開繊処理を施した。次いで、４００℃で２４時間加熱処理し脱糊した後、表面処理剤としてシランカップリング剤を用いた処理液にガラスクロスを浸漬し、絞液後、１２０℃で１分乾燥した。更に高圧水スプレーによる開繊加工を実施し、厚さ４８μｍ、幅１３００ｍｍのガラスクロスを得た。生機の脱水洗、開繊処理、及びシランカップリング処理後の開繊処理により、ガラスクロスの糸幅平均値を調整した。

＜実施例１＞
整経工程でＬＯＩが２．５～２．６となるようにサイジング剤を塗布したこと、緯糸にＬＯＩが１．６～１．７、糸幅の平均値１４０～１４５μｍのガラス糸を用いたこと、生機の糊水洗及び高圧水スプレーによる開繊処理におけるライン張力を、比較例１を基準として０．８倍に調整した以外は、比較例１と同様の方法でガラスクロスの製造を行い、厚さ４６μｍ、幅１３００ｍｍのガラスクロスを得た。

＜実施例２＞
緯糸にＬＯＩが１．７～１．８、糸幅の平均値１３５～１４０μｍのガラス糸を用いたこと以外は、実施例１と同様の方法でガラスクロスの製造を行い、厚さ４５μｍ、幅１３００ｍｍのガラスクロスを得た。
＜実施例３＞
経糸にＬＯＩが１．１～１．２、糸幅の平均値が１５５～１６０μｍのガラス糸を用い、整経工程でＬＯＩが２．１～２．２となるようにサイジング剤を塗布したこと以外は、実施例２と同様の方法でガラスクロスの製造を行い、厚さ４４μｍ、幅１３００ｍｍのガラスクロスを得た。
＜実施例４＞
緯糸にＬＯＩが１．８～１．９、糸幅の平均値１３０～１３５μｍのガラス糸を用いたこと、生機の糊水洗及び高圧水スプレーによる開繊処理におけるライン張力を、比較例１を基準として０．６倍に調整した以外は、実施例３と同様の方法でガラスクロスの製造を行い、厚さ４３μｍ、幅１３００ｍｍのガラスクロスを得た。

＜比較例２＞
経糸、緯糸ともに、ＡＧＹ社製の低誘電ガラス糸ＬＣＤ１０２０（弾性係数６１ＧＰａ、ＴＥＸ４．８６）を使用し、エアジェットルームを用い、経糸打込み密度６９本／２５ｍｍ、緯糸打ち込み密度６９本／２５ｍｍのガラスクロス（生機）を製織した。

得られた生機に糊水洗及び高圧水スプレーによる開繊処理を施した。次いで、４００℃で２４時間加熱処理し脱糊した後、表面処理剤としてシランカップリング剤を用いた処理液にガラスクロスを浸漬し、絞液後、１２０℃で１分乾燥した。更に高圧水スプレーによる開繊加工を実施し、厚さ３１μｍ、幅１３００ｍｍのガラスクロスを得た。

経糸には、ＬＯＩが１．８～１．９、糸幅の平均値が１１０～１２０μｍのガラス糸を用い、整経工程でＬＯＩが３．４～３．５となるようにサイジング剤を塗布した後に、製織に供した。緯糸には、緯糸には、ＬＯＩが１．８～１．９、糸幅の平均値が１１０～１２０μｍのガラス糸を用いた。

＜実施例５＞
経糸にＬＯＩが１．５～１．６、糸幅の平均値が１２０～１３０μｍのガラス糸を用い、整経工程でＬＯＩが２．４～２．５となるようにサイジング剤を塗布したこと、緯糸にＬＯＩが２．０～２．１、糸幅の平均値１０５～１１０μｍのガラス糸を用いたこと、生機の糊水洗及び高圧水スプレーによる開繊処理におけるライン張力を、比較例１を基準として０．８倍に調整した以外は、比較例２と同様の方法でガラスクロスの製造を行い、厚さ２９μｍ、幅１３００ｍｍのガラスクロスを得た。

＜実施例６＞
緯糸にＬＯＩが２．２～２．３、糸幅の平均値が１００～１０５μｍのガラス糸を用いたこと、生機の糊水洗及び高圧水スプレーによる開繊処理におけるライン張力を、比較例１を基準として０．６倍に調整した以外は、実施例５と同様の方法でガラスクロスの製造を行い、厚さ２９μｍ、幅１３００ｍｍのガラスクロスを得た。

＜比較例３＞
経糸、緯糸ともに、ＡＧＹ社製の低誘電ガラス糸ＬＣＤＥ３４０（弾性係数６１ＧＰａ、ＴＥＸ１４．５９）を使用し、エアジェットルームを用い、経糸打込み密度５９．０本／２５ｍｍ、緯糸打ち込み密度６１．０本／２５ｍｍのガラスクロス（生機）を製織した。

得られた生機に糊水洗及び高圧水スプレーによる開繊処理を施した。次いで、４００℃で２４時間加熱処理し脱糊した後、表面処理剤としてシランカップリング剤を用いた処理液にガラスクロスを浸漬し、絞液後、１２０℃で１分乾燥した。更に高圧水スプレーによる開繊加工を実施し、厚さ７６μｍ、幅１３００ｍｍのガラスクロスを得た。

経糸には、ＬＯＩが１．５～１．６、糸幅の平均値が１７０～１８０μｍのガラス糸を用い、整経工程でＬＯＩが２．９～３．０となるようにサイジング剤を塗布した後に、製織に供した。緯糸には、緯糸には、ＬＯＩが１．５～１．６、糸幅の平均値が１７０～１８０μｍのガラス糸を用いた。

＜実施例７＞
経糸にＬＯＩが１．１～１．２、糸幅の平均値が１８０～１９０μｍのガラス糸を用い、整経工程でＬＯＩが２．０～２．１となるようにサイジング剤を塗布したこと、緯糸にＬＯＩが１．７～１．８、糸幅の平均値１６５～１７０μｍのガラス糸を用いたこと、生機の糊水洗及び高圧水スプレーによる開繊処理におけるライン張力を、比較例１を基準として０．８倍に調整した以外は、比較例３と同様の方法でガラスクロスの製造を行い、厚さ７３μｍ、幅１３００ｍｍのガラスクロスを得た。

＜実施例８＞
緯糸にＬＯＩが１．９～２．０、糸幅の平均値１６０～１６５μｍのガラス糸を用いたこと、生機の糊水洗及び高圧水スプレーによる開繊処理におけるライン張力を、比較例１を基準として０．６倍に調整した以外は、実施例７と同様の方法でガラスクロスの製造を行い、厚さ７０μｍ、幅１３００ｍｍのガラスクロスを得た。

＜比較例４＞
経糸、緯糸ともに、ＡＧＹ社製の低誘電ガラス糸ＬＣＥ２５５（弾性係数６１ＧＰａ、ＴＥＸ１９．４５）を使用し、エアジェットルームを用い、経糸打込み密度６０．０本／２５ｍｍ、緯糸打ち込み密度５７．０本／２５ｍｍのガラスクロス（生機）を製織した。

得られた生機に糊水洗及び高圧水スプレーによる開繊処理を施した。次いで、４００℃で２４時間加熱処理し脱糊した後、表面処理剤としてシランカップリング剤を用いた処理液にガラスクロスを浸漬し、絞液後、１２０℃で１分乾燥した。更に高圧水スプレーによる開繊加工を実施し、厚さ９１μｍ、幅１３００ｍｍのガラスクロスを得た。

経糸には、ＬＯＩが１．４～１．５、糸幅の平均値が１８０～１９０μｍのガラス糸を用い、整経工程でＬＯＩが３．０～３．１となるようにサイジング剤を塗布した後に、製織に供した。緯糸には、緯糸には、ＬＯＩが１．４～１．５、糸幅の平均値が１８０～１９０μｍのガラス糸を用いた。

＜実施例９＞
経糸にＬＯＩが１．１～１．２、糸幅の平均値が２００～２１０μｍのガラス糸を用い、整経工程でＬＯＩが２．０～２．１となるようにサイジング剤を塗布したこと、緯糸にＬＯＩが１．６～１．７、糸幅の平均値１７５～１８０μｍのガラス糸を用いたこと、生機の糊水洗及び高圧水スプレーによる開繊処理におけるライン張力を、比較例１を基準として０．８倍に調整した以外は、比較例４と同様の方法でガラスクロスの製造を行い、厚さ８７μｍ、幅１３００ｍｍのガラスクロスを得た。

＜実施例１０＞
緯糸にＬＯＩが１．８～１．９、糸幅の平均値１７０～１７５μｍのガラス糸を用いたこと、生機の糊水洗及び高圧水スプレーによる開繊処理におけるライン張力を、比較例１を基準として０．６倍に調整した以外は、実施例９と同様の方法でガラスクロスの製造を行い、厚さ８４μｍ、幅１３００ｍｍのガラスクロスを得た。

以上の結果を下表に示す。

Claims (7)

1. 複数本のガラスフィラメントを含むガラス糸をそれぞれ経糸及び緯糸として製織して成る、厚さ５～１００μｍのガラスクロスであって、
   下式（１）：
   緯糸占有率＝Ｗ／（２５０００／Ｇ）×１００・・・式（１）
   ｛式中、Ｗは、緯糸幅の平均値（μｍ）であり、そしてＧは、緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）である。｝で求められる、ＭＤ方向における緯糸の存在する部分の割合を示す前記緯糸占有率（％）が、８６．０～１０７．０％であり、
   下式（２）：
   緯糸の糸幅変動係数Ａ＝（Ｗ_９５％－Ｗ_５％）／Ｗ_５０％／Ｆ・・・式（２）
   ｛式中、Ｗ_９５％は、緯糸方向に沿って一方側の端部から反対側の端部まで測定したときの糸幅が小さい側を起点とした累積糸幅分布における、累積９５％緯糸幅（μｍ）であり、Ｗ_５％は累積５％緯糸幅（μｍ）であり、Ｗ_５０％は累積５０％緯糸幅（μｍ）であり、そしてＦは、緯糸のフィラメント本数（本）である。｝で求められる前記糸幅変動係数Ａが、
   下式（３）：
   ０．００５６×ｅ（－０．１６０×Ｔ）・・・式（３）
   ｛式中、Ｔは、緯糸のＴＥＸである。｝で求められる値以下である、ガラスクロス。
2. 下式（４）：
   経糸占有率＝Ｘ／（２５０００／Ｈ）×１００・・・式（４２）
   ｛式中、Ｘは、経糸幅（μｍ）であり、そしてＨは、経糸の織密度（本／２５ｍｍ）である。｝で求められる、ＴＤ方向における経糸の存在する部分の割合を示す前記経糸占有率（％）と、前記緯糸占有率との和が、１５０～２００％である、請求項１に記載のガラスクロス。
3. 下式（５）：
   緯糸の糸幅変動係数α＝Ｗ／Ｆ・・・（式５）
   ｛式中、Ｗは、緯糸幅の標準偏差（μｍ）であり、そしてＦは、緯糸のフィラメント本数（本）である。｝で求められる前記糸幅変動係数αが、
   下式（６）：
   ０．５×ｅ（－０．１×Ｔ）・・・式（６）
   ｛式中、Ｔは、緯糸のＴＥＸである。｝で求められる値以下である、請求項１に記載のガラスクロス。
4. 前記ガラス糸の弾性係数が５０～７０ＧＰａである、請求項１に記載のガラスクロス。
5. 前記ガラス糸の弾性係数が５０～６３ＧＰａである、請求項１に記載のガラスクロス。
6. 請求項１～５のいずれか１項に記載のガラスクロスと、熱硬化性樹脂と、を含有する、プリプレグ。
7. 請求項６に記載のプリプレグを含む、プリント配線板。