JP2024032174A - スクリーンマスクの製造方法およびスクリーンマスク - Google Patents
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Abstract
Description
本発明に係る第1実施形態のスクリーンマスクの製造方法およびこれを用いて製造されるスクリーンマスクについて、図1~図10を参照しつつ説明する。以下の説明における厚さ方向は、図1~図4、図8~図14、図18~図24、図28~図30における上下方向である。
なお、露光工程は、第1面21と第2面22とを同時に行っても良い。また、第1面21の露光、現像を順に行い、その後、第2面22側にベース材12を再度塗布し、着色層25の塗布、第2面22の露光、現像を順に行っても良い。また、第1面21と第2面22の露光時の合わせ精度に余裕を持たせるため、第2面側露光用マスク53のパターン開口形成用開口51の開口幅を、第1面側露光用マスク33のパターン開口形成用開口31の開口幅に対して数μmから数十μm程度大きくても良い。
本発明に係る第2実施形態のスクリーンマスクの製造方法およびこれを用いて製造されるスクリーンマスクについて、図11~図20を参照しつつ第1実施形態との相違部分を中心に説明する。
なお、露光工程は、第1面21と第2面22とを同時に行っても良い。また、第1面21の露光、現像を順に行い、その後、第2面22側にベース材12を再度塗布し、着色層25の塗布、第2面22の露光、現像を順に行っても良い。また、第1面21と第2面22の露光時の合わせ精度に余裕を持たせるため、第2面側露光用マスク53のパターン開口形成用開口51の開口幅を、第1面側露光用マスク33のパターン開口形成用開口31の開口幅に対して数μmから数十μm程度大きくても良い。
本発明に係る第3実施形態のスクリーンマスクの製造方法およびこれを用いて製造されるスクリーンマスクについて、図21~図30を参照しつつ第1実施形態との相違部分を中心に説明する。
なお、露光工程は、第1面21と第2面22とを同時に行っても良い。また、第1面21の露光、現像を順に行い、その後、第2面22側にベース材12を再度塗布し、着色層25の塗布、第2面22の露光、現像を順に行っても良い。また、第1面21と第2面22の露光時の合わせ精度に余裕を持たせるため、第2面側露光用マスク53のパターン開口形成用開口51の開口幅を、第1面側露光用マスク33のパターン開口形成用開口31の開口幅に対して数μmから数十μm程度大きくても良い。
パターン開口形成陽像を形成する陽像形成工程と、
前記パターン開口形成陽像以外の部分に陰像を形成する陰像形成工程と、
前記パターン開口形成陽像を除去して前記陰像により第1面と第2面と前記第1面及び前記第2面を連通させるパターン開口とを形成する陽像除去工程と、
を含むスクリーンマスクの製造方法であって、
前記陽像形成工程は、
前記パターン開口形成陽像に加えて、前記第1面になる側の前記パターン開口形成陽像以外の位置および前記第2面になる側の前記パターン開口形成陽像以外の位置の少なくともいずれか一方に凹部形成陽像を形成し、
前記陰像形成工程は、
前記パターン開口形成陽像以外の部分であって前記凹部形成陽像以外の部分に陰像を形成し、
前記陽像除去工程は、
前記パターン開口形成陽像を除去すると共に前記凹部形成陽像を除去することによって、前記陰像により、前記第1面と前記第2面と前記パターン開口とに加えて、前記第1面から前記第2面の手前まで凹む第1面側凹部および前記第2面から前記第1面の手前まで凹む第2面側凹部の少なくともいずれか一方を形成することを特徴とするスクリーンマスクの製造方法。
前記陽像形成工程は、
前記パターン開口形成陽像に加えて、前記第1面になる側の前記パターン開口形成陽像以外の位置と前記第2面になる側の前記パターン開口形成陽像以外の位置とに前記凹部形成陽像を形成し、
前記陽像除去工程は、
前記パターン開口形成陽像を除去すると共に前記凹部形成陽像を除去することによって、前記陰像により、前記第1面と前記第2面と前記パターン開口とに加えて、前記第1面から前記第2面の手前まで凹む第1面側凹部と前記第2面から前記第1面の手前まで凹む第2面側凹部とを形成することを特徴とする付記1に記載のスクリーンマスクの製造方法。
前記陽像形成工程は、
前記パターン開口形成陽像に加えて、前記第1面になる側の前記パターン開口形成陽像以外の位置と前記第2面になる側の前記パターン開口形成陽像以外の位置とに、前記第1面および前記第2面の広がる方向の位置をずらして前記凹部形成陽像を形成することを特徴とする付記2に記載のスクリーンマスクの製造方法。
前記第1面になる側の前記凹部形成陽像と前記第2面になる側の前記凹部形成陽像とは、スクリーンメッシュまで硬化している付記3に記載のスクリーンマスクの製造方法。
前記陽像形成工程は、
前記第1面になる側と前記第2面になる側との両側から露光を行うことを特徴とする付記1乃至付記4のいずれか一つに記載のスクリーンマスクの製造方法。
前記凹部形成陽像は、ドット状、ライン状および格子状のいずれか一つである付記1乃至付記5のいずれか一つに記載のスクリーンマスクの製造方法。
第1面と第2面とを連通させるパターン開口が形成されたスクリーンマスクであって、
前記第1面の前記パターン開口とは異なる位置に、前記第1面から前記第2面の手前まで凹む第1面側凹部が設けられ、
前記第2面の前記パターン開口とは異なる位置に、前記第2面から前記第1面の手前まで凹む第2面側凹部が設けられていることを特徴とするスクリーンマスク。
前記第1面側凹部と前記第2面側凹部とは、前記第1面および前記第2面の広がる方向の位置をずらしていることを特徴とする付記7に記載のスクリーンマスク。
前記第1面側凹部と前記第2面側凹部とは、スクリーンメッシュまで延びていることを特徴とする付記7または付記8に記載のスクリーンマスク。
前記第1面側凹部および前記第2面側凹部は、ドット状、ライン状および格子状のいずれか一つである付記7乃至付記9のいずれか一つに記載のスクリーンマスク。
85,85A,85B 陰像
91,91B 第1面
92,92A 第2面
95 パターン開口
100,100A,100B スクリーンマスク
42 第1面側凹部形成陽像(凹部形成陽像)
62a 第2面側凹部形成陽像(凹部形成陽像)
101 第1面側凹部
102 第2面側凹部
Claims (10)
- パターン開口形成陽像を形成する陽像形成工程と、
前記パターン開口形成陽像以外の部分に陰像を形成する陰像形成工程と、
前記パターン開口形成陽像を除去して前記陰像により第1面と第2面と前記第1面及び前記第2面を連通させるパターン開口とを形成する陽像除去工程と、
を含むスクリーンマスクの製造方法であって、
前記陽像形成工程は、
前記パターン開口形成陽像に加えて、前記第1面になる側の前記パターン開口形成陽像以外の位置および前記第2面になる側の前記パターン開口形成陽像以外の位置の少なくともいずれか一方に凹部形成陽像を形成し、
前記陰像形成工程は、
前記パターン開口形成陽像以外の部分であって前記凹部形成陽像以外の部分に陰像を形成し、
前記陽像除去工程は、
前記パターン開口形成陽像を除去すると共に前記凹部形成陽像を除去することによって、前記陰像により、前記第1面と前記第2面と前記パターン開口とに加えて、前記第1面から前記第2面の手前まで凹む第1面側凹部および前記第2面から前記第1面の手前まで凹む第2面側凹部の少なくともいずれか一方を形成することを特徴とするスクリーンマスクの製造方法。 - 前記陽像形成工程は、
前記パターン開口形成陽像に加えて、前記第1面になる側の前記パターン開口形成陽像以外の位置と前記第2面になる側の前記パターン開口形成陽像以外の位置とに前記凹部形成陽像を形成し、
前記陽像除去工程は、
前記パターン開口形成陽像を除去すると共に前記凹部形成陽像を除去することによって、前記陰像により、前記第1面と前記第2面と前記パターン開口とに加えて、前記第1面から前記第2面の手前まで凹む第1面側凹部と前記第2面から前記第1面の手前まで凹む第2面側凹部とを形成することを特徴とする請求項1記載のスクリーンマスクの製造方法。 - 前記陽像形成工程は、
前記パターン開口形成陽像に加えて、前記第1面になる側の前記パターン開口形成陽像以外の位置と前記第2面になる側の前記パターン開口形成陽像以外の位置とに、前記第1面および前記第2面の広がる方向の位置をずらして前記凹部形成陽像を形成することを特徴とする請求項2記載のスクリーンマスクの製造方法。 - 前記第1面になる側の前記凹部形成陽像と前記第2面になる側の前記凹部形成陽像とは、スクリーンメッシュまで硬化している請求項3記載のスクリーンマスクの製造方法。
- 前記陽像形成工程は、
前記第1面になる側と前記第2面になる側との両側から露光を行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項記載のスクリーンマスクの製造方法。 - 前記凹部形成陽像は、ドット状、ライン状および格子状のいずれか一つである請求項1乃至4のいずれか一項記載のスクリーンマスクの製造方法。
- 第1面と第2面とを連通させるパターン開口が形成されたスクリーンマスクであって、
前記第1面の前記パターン開口とは異なる位置に、前記第1面から前記第2面の手前まで凹む第1面側凹部が設けられ、
前記第2面の前記パターン開口とは異なる位置に、前記第2面から前記第1面の手前まで凹む第2面側凹部が設けられていることを特徴とするスクリーンマスク。 - 前記第1面側凹部と前記第2面側凹部とは、前記第1面および前記第2面の広がる方向の位置をずらしていることを特徴とする請求項7記載のスクリーンマスク。
- 前記第1面側凹部と前記第2面側凹部とは、スクリーンメッシュまで延びていることを特徴とする請求項7または8記載のスクリーンマスク。
- 前記第1面側凹部および前記第2面側凹部は、ドット状、ライン状および格子状のいずれか一つである請求項7または8記載のスクリーンマスク。
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