TW202413122A - 網版遮罩的製造方法以及網版遮罩 - Google Patents

Abstract

在此網版遮罩的製造方法中，正像成形程序在構成第一面側的圖案開口成形正像以外的位置以及構成第二面側的圖案開口成形正像以外的位置中的至少任一處形成凹部成形正像；負像成形程序在圖案開口成形正像以外的部分中的凹部成形正像以外的部分形成負像；正像去除程序去除圖案開口成形正像之外亦去除凹部成形正像，據以於第一面、第二面以及圖案開口之外，透過負像另外形成從第一面凹入到第二面前的第一面側凹部以及從第二面凹入到第一面前的第二面側凹部中的至少任一個。

Description

網版遮罩的製造方法以及網版遮罩

本發明係關於網版遮罩的製造方法以及網版遮罩。

本申請主張2022年8月29日於日本提出申請的第2022-135683號專利申請基礎案的優先權，並於此引用其內容。

現有形成正像，並在正像以外的部分形成負像之後，藉由除去正像而依負像形成圖案開口的網版印刷版的製造方法以及網版印刷版(例如，參照專利文獻1、2)。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1] 日本專利公開昭64-26446號公報

[專利文獻2] 日本專利公開平10-326019號公報

[發明欲解決的課題]

在製造如上述的網版遮罩時，於形成負像之際，從提升印刷解析度、確保印刷厚度的穩定性的觀點而言，要求使負像成形材料的表面側接近平面狀，也就是要求提升平滑性，使厚度方向的高度接近固定。

因此，本發明的目的在於提供可提升負像成形材料的表面側的平滑性，並可使厚度方向的高度趨於固定的網版遮罩的製造方法以及網版遮罩。

[用以解決課題的手段]

為達上述目的，關於本發明的網版遮罩的製造方法的一個型態包括：一形成一圖案開口成形正像的正像成形程序、在所述圖案開口成形正像以外的部分形成一負像的一負像成形程序、以及一去除所述圖案開口成形正像的正像去除程序，透過所述負像形成第一面、第二面以及連通所述第一面和所述第二面的圖案開口，其特徵在於：所述正像成形程序除了所述圖案開口成形正像之外，另於構成所述第一面側的所述圖案開口成形正像以外的位置以及構成所述第二面側的所述圖案開口成形正像以外的位置中的至少任一處形成一凹部成形正像；所述負像成形程序於所述圖案開口成形正像以外的部分中的所述凹部成形正像以外的部分形成一負像；以及所述正像去除程序去除所述圖案開口成形正像之外亦去除所述凹部成形正像，據以於所述第一面、所述第二面以及所述圖案開口之外，透過所述負像另外形成從所述第一面凹入到所述第二面前的第一面側凹部以及從所述第二面凹入到所述第一面前的第二面側凹部中的至少任一個。

根據上述，在正像成形程序中先構成第一面側的圖案開口成形正像以外的位置以及構成第二面側的圖案開口成形正像以外的位置中的至少任一處形成凹部成形正像。其結果為在負像成形程序中，一旦在圖案開口成形正像以外的部分中的凹部成形正像以外的部分形成填充負像成形材料，負像成形材料除了所述圖案開口成形正像之外也被凹部成形正像支撐。因此，負像成形材料的凹部成形正像側的表面的平滑性可被提升，厚度方向的高度可接近固定。

關於本發明的網版遮罩的一型態形成有連通第一面與第二面的圖案開口，其特徵在於：在和所述第一面的所述圖案開口不同的位置處設置有從所述第一面凹入到所述第二面前的篩網位置處的第一面側凹部；以及在和所述第二面的所述圖案開口不同的位置處設有從所述第二面凹入到所述第一面前的篩網位置處的第二面側凹部。

根據上述，先在正像成形程序中除了圖案開口成形正像之外，另於構成所述第一面側的所述圖案開口成形正像以外的位置以及構成所述第二面側的所述圖案開口成形正像以外的位置兩處形成凹部成形正像。其結果為在負像成形程序中，一旦在圖案開口成形正像以外的部分中的凹部成形正像以外的部分形成填充負像成形材料，負像成形材料除了所述圖案開口成形正像之外也被凹部成形正像支撐。因此，負像成形材料的構成第一面側的表面以及構成第二面側的表面的平滑性可被提升，第一面、第二面厚度方向的高度可接近固定。

[發明效果]

根據本發明的上述各態樣，可提升負像成形材料的表面側的平滑性，並可使厚度方向的高度趨於固定。

[第1實施型態]

關於本發明第一實施型態的網版遮罩的製造方法以及以此製造的網版遮罩，參照圖1~圖10加以說明。在以下的說明中所指的厚度方向，在圖1~圖4、圖8~圖14、圖18~圖24、圖28~圖30中為上下方向。

第一實施型態的網版遮罩的製造方法中，如圖1所示，準備遮罩基底11。遮罩基底11為片狀，並具有片狀基底材料12與埋設在片狀基底材料12中以相似方式延伸的片狀篩網13。篩網13在以一定的張力被張開的狀態下，被貼附至圖中未示出的框架上。基底材料12係由光硬化型的硬化前樹脂材料所製。篩網13係由金屬製或合成樹脂製的線狀部件材料編織成網目狀而形成。或者，篩網13也可為以電鍍方法製作出具有多個開口的片狀金屬板。

基底材料12在其厚度方向的一側具有平面狀的第一面21，其厚度方向的另一側具有平面狀的第二面22。遮罩基底11中也同樣在厚度方向的一側處有第一面21，在厚度方向的另一側處有第二面22。第一面21和第二面22於相對面平行延伸。篩網13在基底材料12中與第一面21和第二面22平行延伸，其與第一面21之間的距離比與第二面22之間的距離大。以下利用遮罩基底11的第一面21和第二面22為基準的方向進行說明。

在第一實施型態的網版遮罩的製造方法中，進行正像成形程序。在正像成形程序中，首先，進行第二面的著色程序，在準備好的遮罩基底11的第二面22上平面狀塗佈與基底材料12顏色不同的感光乳劑，形成著色層25。

在正像成形程序中，接著進行如圖2所示的第一曝光程序，其係以在適當位置處形成圖案開口成形用開口31與第一面側凹部成形用開口32的第一面側曝光用遮罩33覆蓋第一面21，沿遮罩基底11厚度方向，從第一面21側對遮罩基底11的基底材料12進行曝光。透過第一曝光程序，第一面21延伸方向上的位置和形狀與圖案開口成形用開口31相吻合的第一面側圖案開口成形正像41以及第一面21延伸方向上的位置和形狀與第一面側凹部成形用開口32相吻合的第一面側凹部成形正像42，係透過基底材料12的硬化而被形成。在第一曝光程序中調整曝光，以使第一面側圖案開口成形正像41與第一面側凹部成形正像42都從基底材料12的第一面21硬化到比第二面22靠前的篩網13的位置。在第一曝光程序中，也可不使用第一面側曝光用遮罩33，而利用雷射等直接描繪第一面側圖案開口成形正像41與第一面側凹部成形正像42。

在正像成形程序中，接著進行如圖3所示的第二曝光程序，以在適當位置處形成圖案開口成形用開口51與第二面側凹部成形用開口52的第二面側曝光用遮罩53覆蓋著色層25，沿遮罩基底11厚度方向，從著色層25側對著色層25以及遮罩基底11的基底材料12進行曝光。透過第二曝光程序，第二面22延伸方向上的位置和形狀與圖案開口成形用開口51相吻合的第二面側圖案開口成形正像61以及第二面22延伸方向上的位置和形狀與第二面側凹部成形用開口52相吻合的第二面側凹部成形正像62，係透過著色層25與基底材料12的硬化而被形成。在第二曝光程序中調整曝光，以使第二面側圖案開口成形正像61與第二面側凹部成形正像62都從著色層25硬化到比基底材料12的第一面21靠前的篩網13的位置。在第二曝光程序中，也可不使用第二面側曝光用遮罩53，而利用雷射等直接描繪第二面側圖案開口成形正像61與第二面側凹部成形正像62。

此處，第一面側曝光用遮罩33的圖案開口成形用開口31與第二面側曝光用遮罩53的圖案開口成形用開口51在第一面21與第二面22的延伸方向上的位置與形狀一致。換言之，第一面側曝光用遮罩33的圖案開口成形用開口31與第二面側曝光用遮罩53的圖案開口成形用開口51在遮罩基底11的厚度方向上形成鏡面對稱狀。因此，第二面側圖案開口成形正像61與第一面側圖案開口成形正像41相連，成為結合第一面21與第二面22的圖案開口成形正像71。

相對地，第一面側曝光用遮罩33的第一面側凹部成形用開口32與第二面側曝光用遮罩53的第二面側凹部成形用開口52在第一面21與第二面22的延伸方向上位置完全錯開。換言之，第一面側曝光用遮罩33的第一面側凹部成形用開口32在遮罩基底11的厚度方向上形成鏡面對稱狀的情況下，被形成於不與第二面側曝光用遮罩53的第二面側凹部成形用開口52重疊的位置。因此，第一面側凹部成形正像42與第二面側凹部成形正像62完全沒有相連，形成於互相完全分離的位置。

又，相對於第一面側曝光用遮罩33的圖案開口成形用開口31與第二面側曝光用遮罩53的圖案開口成形用開口51，第一面側曝光用遮罩33的第一面側凹部成形用開口32與第二面側曝光用遮罩53的第二面側凹部成形用開口52在第一面21與第二面22的延伸方向上位置完全錯開。因此，第一面側凹部成形正像42與第二面側凹部成形正像62，和圖案開口成形正像71亦然，形成於完全分離的位置。

在正像成形程序中，接著進行如圖4所示的顯像程序，去除著色層25未硬化的部分以及基底材料12未硬化的部分。顯像程序係因應著色層25與基底材料12的材質進行，例如，進行以水流清洗此等未硬化的部分的水顯像。藉此，開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42與第二面側凹部成形正像62有殘留。殘留的圖案開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42與第二面側凹部成形正像62都為被篩網13支撐的狀態。

從以上可知，顯像程序係形成由硬化著色層25與硬化基底材料12構成的圖案開口成形正像71，而在圖案開口成形正像71之外，另於第一面21側的圖案開口成形正像71以外的位置處，形成由硬化基底材料12構成的第一面側凹部成形正像42，並且在第二面22側的圖案開口成形正像71以外的位置處，形成由硬化著色層25與硬化基底材料12構成的第二面側凹部成形正像62。而且，正像成形程序係形成在第一面21與第二面22的延伸方向上位置完全錯開的圖案開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62。第一面21側的第一面側凹部成形正像42以及第二面22側的第二面側凹部成形正像62係硬化到篩網13。正像成形程序從第一面21側和第二面22側兩側進行曝光。

此處，圖案開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62以圖5所示者為例。在圖5的例子中，從第二面22側觀看的情況下，圖案開口成形正像71為直線狀，第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62都為圓形的點狀。亦即，圖案開口成形正像71為在篩網13的厚度方向上延伸的平板狀，第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62都為在篩網13的厚度方向上延伸的圓柱狀。第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62在第二面22的延伸方向上被以均等密度方式配置在平行於圖案開口成形正像71的縱向以及垂直於圖案開口成形正像71的橫向同時以等間隔延伸的格子交點位置處。第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62在格子的縱向上以等間隔交互配置，在格子的橫向上也以等間隔交互配置。又，第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62的形狀除了圓柱狀之外，可採用四角柱狀、三角柱狀、橢圓柱狀等各種形狀。此外，第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62的大小、排列方式也可採用各種圖案。

圖案開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62也可以圖6所示者為另一例。在圖6的例子中，從第二面22側觀看的情況下，圖案開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62為互相平行的直線狀。亦即，圖案開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62都為在篩網13的厚度方向上延伸的平板狀，為互相平行的平板狀。第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62在篩網13的延伸方向上等間隔交互配置。

圖案開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62也可以圖7所示者為又一例。在圖7的例子中，從第二面22側觀看的情況下，圖案開口成形正像71為直線狀，第一面側凹部成形正像42為由平行於圖案開口成形正像71的直線狀部分與垂直於圖案開口成形正像71的直線狀部分構成的格子狀，而第二面側凹部成形正像62為點狀。第二面側凹部成形正像62被配置於格子狀的第一面側凹部成形正像42的各直線間的中央位置處。又，也可以把第一面側凹部成形正像42做成點狀，第二面側凹部成形正像62做成格子狀。

因此，第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62分別為點狀、線狀以及格子狀的任一種。可把第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62的組合有時做成點狀和線狀的組合，有時做成線狀和格子狀的組合。

正像成形程序之後，進行如圖8所示的負像成形程序。在負像成形程序中，首先進行封閉程序，把閉塞片80平面狀展開，貼附在顯像程序中殘餘的圖案開口成形正像71的第一面21所構成的端面以及第一面側凹部成形正像42的第一面21所構成的端面上，因而封閉第一面21側。此處，閉塞片80例如為一面上形成有黏著層的黏著片，把此黏著片的黏著層貼附在全部的圖案開口成形正像71的第一面21所構成的端面以及全部的第一面側凹部成形正像42的第一面21所構成的端面上。

在負像成形程序中，接著進行負像成形材料填充硬化程序，將負像成形材料81填入從著色層25側亦即第二面22側到閉塞片80的範圍內的圖案開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42、第二面側凹部成形正像62以及篩網13之間的間隙內，直到完全覆蓋這些的第二面22側，並使之硬化。藉此，圖案開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42、第二面側凹部成形正像62以及篩網13為埋設在負像成形材料81內的狀態。此處，在完成的網版遮罩作為印刷用的使用狀況下，選擇順應墨液種類的材料做為負像成形材料81。例如，在作為水性墨液的印刷用遮罩使用的情況下，可使用耐水性強的矽膠，而在作為有機溶劑墨液的印刷用遮罩使用的情況下，可使用耐水性強的環氧樹脂。然後，以與材料相配合的加熱、光照射等適當硬化方法使負像成形材料81硬化。

在負像成形程序中，接著進行第二面研磨程序，從閉塞片80的相反側對圖案開口成形正像71、第二面側凹部成形正像62以及硬化後的負像成形材料81進行平面研磨，使閉塞片80的相反側的面82接近平面狀，而形成負像85。在第二面研磨程序中，進行研磨直到形成在圖案開口成形正像71和第二面側凹部成形正像62上的著色層25的硬化部分消失為止，如此一來，面82變成預定的平面狀。當然，在第二面研磨程序中，不會對篩網13與第一面側凹部成形正像42露出的位置進行平面研磨。透過第二面研磨程序，圖案開口成形正像71被削減成為圖案開口成形正像71a，第二面側凹部成形正像62被削減成為第二面側凹部成形正像62a (凹部成形正像)。

根據上述，負像成形程序在圖案開口成形正像71a以外的部分的第二面側凹部成形正像62a以外的部分形成負像85。

接著，進行如圖10所示的正像去除程序。在正像去除程序中，首先剝除閉塞片80，之後。利用溶劑去除圖案開口成形正像71a、第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62a。藉此，透過負像85在其第一面21側上形成第一面91，在其第二面22側上形成由面82的一部分構成的第二面92，且形成連通第一面91和第二面92的圖案開口95，而形成網版遮罩100。在網版遮罩100中，除了這些第一面91、第二面92以及圖案開口95之外，還形成從第一面91凹入到第二面92前的篩網13的位置的第一面側凹部101以及從第二面92凹入到第一面91前的篩網13的位置的第二面側凹部102。

根據上述，正像去除程序去除圖案開口成形正像71a，透過負像85形成第一面91、第二面92以及連通第一面91和第二面92的圖案開口95。又，正像去除程序除了圖案開口成形正像71a之外，藉由去除第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62a，透過負像85在第一面91、第二面92以及連通第一面91和第二面92的圖案開口95之外又形成從第一面91凹入到第二面92前的篩網13的位置的第一面側凹部101以及從第二面92凹入到第一面91前的篩網13的位置的第二面側凹部102。

此處，第一面91為與被剝除閉塞片80的形狀相仿的形狀。由於閉塞片80除了圖案開口成形正像71之外也被貼附到第一面側凹部成形正像42，和只被貼附到圖案開口成形正像71的情況相比，接近平面狀且平滑性被提升，厚度方向的高度接近固定。藉此，和閉塞片80只被貼附到圖案開口成形正像71的情況相比，仿照閉塞片80形成的第一面91接近平面狀且平滑性被提升，厚度方向的高度接近固定。亦即，在負像85形成之際，負像成形材料81的第一面21側的表面的平滑性可被提升，厚度方向的高度也可趨近固定。

第二面92如上述般以平面研磨形成。因為除了圖案開口成形正像71之外第二面側凹部成形正像62也被形成，負像成形材料81在平面研磨前的填充時處於被圖案開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62兩者支撐的狀態下，和只被圖案開口成形正像71支撐的狀態下相比，第二面22側的表面的平滑性可被提升，厚度方向的高度也可趨近固定。亦即，在負像85形成之際，平面研磨前的負像成形材料81的第二面22側的表面的平滑性可被提升，厚度方向的高度也可趨近固定。藉此，透過平面研磨來研磨的第二面22側的表面而形成第二面92之際所需的加工餘量可以很少。

以上述製造方法製造的網版遮罩100形成有第一面91、第二面92以及連通第一面91和第二面92的圖案開口95。網版遮罩100在和第一面91的圖案開口95的不同位置處設有從第一面91凹入到第二面92前的篩網13的位置的第一面側凹部101，在和第二面92的圖案開口95的不同位置處設有從第二面92凹入到第一面91前的篩網13的位置的第二面側凹部102。網版遮罩100的第一面側凹部101與第二面側凹部102分散在第一面91和第二面92的延伸方向上的位置處。網版遮罩100的第一面側凹部101與第二面側凹部102延伸到篩網13為止。網版遮罩100作為印刷用的情況下，分別將第一面91配置在被被印刷物側，將第二面92配置在刷入墨液的刮墨片側。

如上述，網版遮罩100中有第一面91被形成在第一面21側，有第二面92被形成在第二面22側。換言之，在網版遮罩100中，構成第一面91的一側為第一面21側，而構成第二面92的一側為第二面22側。第一面21側和第二面22側的延伸方向構成第一面91和第二面92的延伸方向。

此處，在圖案開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62為如圖5所示形狀的情況下，若從第二面92側觀看或透視網版遮罩100，圖案開口95為直線狀，而第一面側凹部101與第二面側凹部102都各自為點狀。第一面側凹部101與第二面側凹部102在第二面92的延伸方向上，以構成均等密度的方式被配置在平行於圖案開口95的縱向以及垂直於圖案開口95的橫向同時為等間隔延伸的格子交點位置處。第一面側凹部101與第二面側凹部102在格子的縱向上以等間隔交互配置，在格子的橫向上也以等間隔交互配置。

在圖案開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62為如圖6所示形狀的情況下，若從第二面92側觀看或透視網版遮罩100，圖案開口95、第一面側凹部101以及第二面側凹部102為互相平行的直線狀。第一面側凹部101與第二面側凹部102在第二面92的延伸方向上以等間隔交互配置。

在圖案開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62為如圖7所示形狀的情況下，若從第二面92側觀看或透視網版遮罩100，圖案開口95為直線狀，第一面側凹部101為由平行於圖案開口95的直線狀部分和垂直於圖案開口95的直線狀部分構成的格子狀，而第二面側凹部102為點狀。第二面側凹部102被配置於格子狀的第一面側凹部101的各直線間的中央位置處。又，也可以把第一面側凹部101做成點狀，第二面側凹部102做成格子狀。

因此，在網版遮罩100中，第一面側凹部101以及第二面側凹部102分別為點狀、線狀以及格子狀的任一種。可把第一面側凹部101以及第二面側凹部102的組合有時做成點狀和線狀的組合，有時做成格子狀和線狀的組合。

根據上述網版遮罩100的製造方法，在正像成形程序中，除了圖案開口成形正像71之外，在第一面21側的圖案開口成形正像71以外的位置處也形成第一面側凹部成形正像42，同時在第二面22側的圖案開口成形正像71以外的位置處也形成第二面側凹部成形正像62。因此，在負像成形程序中，填充的負像成形材料81為受到圖案開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62兩者支撐的狀態，和只被圖案開口成形正像71支撐的狀態下相比，第二面22側的表面的平滑性可被提升，厚度方向的高度也可趨近固定。藉此，為形成之後的第二面92的平面研磨的加工餘量可以變少，平面研磨的工時可以降低，製造成本可以降低。

再者，由於形成第一面91的閉塞片80除了圖案開口成形正像71之外也貼附在第一面側凹部成形正像42上，和只被貼附到圖案開口成形正像71的情況相比，平滑性可提升，厚度方向的高度接近固定。藉此，和閉塞片80只被貼附到圖案開口成形正像71的情況相比，仿照閉塞片80形成的負像成形材料81的第一面21側的表面平滑性被提升，厚度方向的高度接近固定。亦即，第一面91的表面平滑性被提升，厚度方向的高度接近固定。藉此，第一面91的形成不需進行平面研磨即可完成，因此製造成本可以降低。

可以上述方法製得在和第一面91的圖案開口95的不同位置處設有從第一面91凹入到第二面92前的篩網13的位置的第一面側凹部101，而在和第二面92的圖案開口95的不同位置處設有從第二面92凹入到第一面91前的篩網13的位置的第二面側凹部102的網版遮罩100。藉此，網版遮罩100的製造成本可以降低。

網版遮罩100因為仿照平滑性被提升、厚度方向的高度接近固定的閉塞片80，因而第一面91的平滑性可被提升，負像85的厚度可趨近固定，因此，使網版遮罩100覆蓋基板並與基板接觸的情況下，第一面91的與基板的密著性可被提高。因此，在使用於印刷的情況下，墨液的噴出厚度與印刷解析度穩定。

網版遮罩100因為形成第二面92時的平面研磨的加工餘量可以很少，負像85從篩網13到第二面92側的部分的厚度可以加厚。因此，可使負像85的此部分的強度提升，可提高負像85的此部分與篩網13的接合強度。

又，在形成有著色層25的一片遮罩基底11中，隨區域不同，可在一個範圍內形成第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62兩者，在與其不同的範圍內僅形成第一面側凹部成形正像42與第二面側凹部成形正像62中之一的第一面側凹部成形正像42，在與這些不同的範圍內僅形成第一面側凹部成形正像42與第二面側凹部成形正像62中之另一的第二面側凹部成形正像62。此處，為了提升負像成形材料81的第一面21側的表面平滑性，並使厚度方向的高度接近固定，以在相鄰圖案開口成形正像71的間隔寬的情況下形成第一面側凹部成形正像42為佳。在相鄰圖案開口成形正像71的間隔例如為5mm以上的情況下，較佳在這些的中間設置一個以上的第一面側凹部成形正像42。再者，為了提升負像成形材料81的第二面22側的表面平滑性，並使厚度方向的高度接近固定，以在相鄰圖案開口成形正像71的間隔寬的情況下形成第二面側凹部成形正像62為佳。在相鄰圖案開口成形正像71的間隔例如為1mm以上的情況下，較佳在這些的中間設置一個以上的第二面側凹部成形正像62。

正像成形程序因為第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62分散在第一面21和第二面22的延伸方向上的位置處，所形成的網版遮罩100的第一面側凹部101與第二面側凹部102分散在第一面91和第二面92的延伸方向上的位置處。藉此，第一面側凹部101與第二面側凹部102不會連結成連通第一面91和第二面92的開口，因此不需要進行封閉此種開口的處理。

第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62延伸至篩網13，因此，第一面側凹部101與第二面側凹部102延伸至篩網13。從而，第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62可用篩網13加以支撐。

正像成形程序從第一面21側和第二面22側兩側進行曝光。因此，使用厚度厚的遮罩基底11也可形成圖案開口成形正像71，且著色層25的厚度加厚也可形成圖案開口成形正像71。因此，透過硬化後的負像成形材料81、圖案開口成形正像71以及第二面側凹部成形正像62的第二面22側的平面研磨，在不使篩網13與第一面側凹部成形正像42暴露出之下，可確實地去除不要部分，第二面92可接近平面狀。

第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62分別為點狀、線狀以及格子狀中的任一種，因此，第一面側凹部101與第二面側凹部102分別為點狀、線狀以及格子狀中的任一種。從而，可容易地在有效的位置上形成第一面側凹部成形正像42以及第二面側凹部成形正像62。

又，曝光程序也可在第一面21和第二面22同時進行。再者，也可進行第一面21的曝光、接著顯像、之後再度於第二面22側塗佈基底材料12、著色層25的塗佈、第二面22的曝光、接著顯像。又者，為了使第一面21和第二面22曝光時保有對準精度，也可使第二面側曝光用遮罩53的形成圖案開口成形用開口51的開口寬度相對於第一面側曝光用遮罩33的形成圖案開口成形用開口31的開口寬度大數μｍ到數十μｍ的程度。

[第二實施型態]

關於本發明第二實施型態的網版遮罩的製造方法以及以此製造的網版遮罩，參照圖11~圖20，以和第一實施型態相異的部分為中心進行說明。

在第二實施型態的網版遮罩的製造方法中，在正像成形程序中，和第一實施型態一樣，進行如圖11所示的第二面著色程序，在遮罩基底11的第二面22上形成著色層25。接著，如圖12所示，進行第一曝光程序，以和第一實施型態同樣的第一面側曝光用遮罩33覆蓋第一面21，沿遮罩基底11厚度方向，從第一面21側對遮罩基底11的基底材料12進行曝光。透過第一曝光程序，第一面21延伸方向上的位置和形狀與圖案開口成形用開口31相吻合的第一面側圖案開口成形正像41以及第一面21延伸方向上的位置和形狀與第一面側凹部成形用開口32相吻合的第一面側凹部成形正像42，係透過基底材料12的硬化而被形成。在第一曝光程序中調整曝光，以使第一面側圖案開口成形正像41與第一面側凹部成形正像42都從基底材料12的第一面21硬化到比第二面22靠前的篩網13的位置。

在正像成形程序中，接著進行如圖13所示的第二曝光程序，以在適當位置處僅形成圖案開口成形用開口51的第二面側曝光用遮罩53A覆蓋著色層25，沿遮罩基底11厚度方向，從著色層25側對著色層25以及遮罩基底11的基底材料12進行曝光。透過第二曝光程序，第二面22延伸方向上的位置和形狀與圖案開口成形用開口51相吻合的第二面側圖案開口成形正像61係透過著色層25與基底材料12的硬化而被形成。在第二曝光程序中調整曝光，以使第二面側圖案開口成形正像6從著色層25硬化到比基底材料12的第一面21靠前的篩網13的位置。

此處，第一面側曝光用遮罩33的圖案開口成形用開口31與第二面側曝光用遮罩53A的圖案開口成形用開口51在第一面21與第二面22的延伸方向上的位置與形狀一致。因此，第二面側圖案開口成形正像61與第一面側圖案開口成形正像41相連，成為結合第一面21與第二面22的圖案開口成形正像71。

對於第一面側曝光用遮罩33的圖案開口成形用開口31以及第二面側曝光用遮罩53A的圖案開口成形用開口51，第一面側曝光用遮罩33的第一面側凹部成形用開口32在第一面21與第二面22的延伸方向上位置完全錯開。因此，第一面側凹部成形正像42與圖案開口成形正像71被形成於完全分離的位置。

在正像成形程序中，接著進行如圖14所示的和第一實施型態相同的顯像程序，去除著色層25未硬化的部分以及基底材料12未硬化的部分。藉此，圖案開口成形正像71和第一面側凹部成形正像42有殘留。殘留的圖案開口成形正像71和第一面側凹部成形正像42都為被篩網13支撐的狀態。

從以上可知，顯像程序係形成由硬化著色層25與硬化基底材料12構成的圖案開口成形正像71，而在圖案開口成形正像71之外，另於第一面21側的圖案開口成形正像71以外的位置處，形成由硬化基底材料12構成的第一面側凹部成形正像42。而且，正像成形程序係形成在第一面21與第二面22的延伸方向上位置完全錯開的圖案開口成形正像71與第一面側凹部成形正像42。第一面21側的第一面側凹部成形正像42延伸到篩網13。正像成形程序從第一面21側和第二面22側兩側進行曝光。

此處，圖案開口成形正像71與第一面側凹部成形正像42以圖15所示者為例。在圖15的例子中，從第二面22側觀看的情況下，圖案開口成形正像71為直線狀，第一面側凹部成形正像42為圓形的點狀。亦即，圖案開口成形正像71為在篩網13的厚度方向上延伸的平板狀，第一面側凹部成形正像42為在篩網13的厚度方向上延伸的圓柱狀。第一面側凹部成形正像42在篩網13的延伸方向上被以均等密度方式配置成千鳥格狀。又，第一面側凹部成形正像42的形狀除了圓柱狀之外，可採用四角柱狀、三角柱狀、橢圓柱狀等各種形狀。此外，第一面側凹部成形正像42的大小、排列方式也可採用各種圖案。

圖案開口成形正像71與第一面側凹部成形正像42也可以圖16所示者為另一例。在圖16的例子中，從第二面22側觀看的情況下，圖案開口成形正像71與第一面側凹部成形正像42為互相平行的直線狀。亦即，圖案開口成形正像71與第一面側凹部成形正像42都為在篩網13的厚度方向上垂直延伸、互相平行的平板狀。

圖案開口成形正像71與第一面側凹部成形正像42也可以圖17所示者為又一例。在圖17的例子中，從第二面22側觀看的情況下，圖案開口成形正像71為直線狀，第一面側凹部成形正像42為由平行於圖案開口成形正像71的直線狀部分與垂直於圖案開口成形正像71的直線狀部分構成的格子狀。亦即，圖案開口成形正像71為在篩網13的厚度方向上延伸的平板狀，第一面側凹部成形正像42為由平行於圖案開口成形正像71的平板狀部分與垂直於圖案開口成形正像71的平板狀部分構成。

因此，第一面側凹部成形正像42為點狀、線狀以及格子狀中之任一種。

正像成形程序之後，進行如圖18所示的負像成形程序。在負像成形程序中，首先和第一實施型態一樣進行封閉程序，把閉塞片80平面狀展開，貼附在顯像程序中殘餘的圖案開口成形正像71的第一面21所構成的端面以及第一面側凹部成形正像42的第一面21所構成的端面上。

在負像成形程序中，接著和第一實施型態一樣進行負像成形材料填充硬化程序，將負像成形材料81填入從著色層25側亦即第二面22側到閉塞片80的範圍內的圖案開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42以及篩網13之間的間隙內，直到完全覆蓋這些的第二面22側，並使之硬化。藉此，圖案開口成形正像71、第一面側凹部成形正像42以及篩網13為埋設在負像成形材料81內的狀態。

在負像成形程序中，接著進行第二面研磨程序，從閉塞片80的相反側和第一實施型態一樣對圖案開口成形正像71以及硬化後的負像成形材料81進行平面研磨，使閉塞片80的相反側的面82A接近平面狀，而形成負像85A。在第二面研磨程序中，進行研磨直到形成在圖案開口成形正像71上的著色層25的硬化部分消失為止，如此一來，形成面82A。透過第二面研磨程序，圖案開口成形正像71被削減成為圖案開口成形正像71a。

根據上述，負像成形程序在圖案開口成形正像71以外的部分的第一面側凹部成形正像42以外的部分形成負像85A。

接著，如圖20所示和第一實施型態一樣進行正像去除程序。在正像去除程序中，首先剝除閉塞片80，之後。利用溶劑去除圖案開口成形正像71a與第一面側凹部成形正像42。藉此，透過負像85A在其第一面21側上形成第一面91，在其第二面22側上形成由面82A的一部分構成的第二面92A，且形成連通第一面91和第二面92A的圖案開口95，而形成網版遮罩100A。在網版遮罩100A中，除了這些第一面91、第二面92A以及圖案開口95之外，還形成從第一面91凹入到第二面92A前的篩網13的位置的第一面側凹部101。

根據上述，正像去除程序去除圖案開口成形正像71a，透過負像85A形成第一面91、第二面92A以及連通第一面91和第二面92A的圖案開口95。又，正像去除程序除了圖案開口成形正像71a之外，藉由去除第一面側凹部成形正像42，透過負像85A在第一面91、第二面92A以及連通第一面91和第二面92的圖案開口95之外又形成從第一面91凹入到第二面92A前的篩網13的位置的第一面側凹部101。

此處，第一面91為與被剝除閉塞片80的形狀相仿的形狀。由於閉塞片80除了圖案開口成形正像71之外也被貼附到第一面側凹部成形正像42，和只被貼附到圖案開口成形正像71的情況相比，接近平面狀且平滑性被提升，厚度方向的高度接近固定。藉此，和閉塞片80只被貼附到圖案開口成形正像71的情況相比，仿照閉塞片80形成的第一面91接近平面狀且平滑性被提升，厚度方向的高度接近固定。亦即，在負像85A形成之際，負像成形材料81的第一面21側的表面的平滑性可被提升，厚度方向的高度也可趨近固定。

以上述製造方法製造的網版遮罩100A在和第一面91的圖案開口95的不同位置處設有從第一面91凹入到第二面92前的篩網13的位置的第一面側凹部101。網版遮罩100A的第一面側凹部101延伸到篩網13為止。網版遮罩100A作為印刷用的情況下，分別將第一面91配置在被被印刷物側，將第二面92A配置在刷入墨液的刮墨片側。

在網版遮罩100A中，構成第一面91側為第一面21側，構成第二面92A側為第二面22側。第一面21和第二面22的延伸方向構成第一面91和第二面92A的延伸方向。

此處，在圖案開口成形正像71與第一面側凹部成形正像42為如圖15所示形狀的情況下，若從第二面92A側觀看或透視網版遮罩100A，圖案開口95為直線狀，而第一面側凹部101為點狀。第一面側凹部101在第一面91的延伸方向上，以構成均等密度的方式被配置成千鳥格狀。

在圖案開口成形正像71與第一面側凹部成形正像42為如圖16所示形狀的情況下，若從第二面92A側觀看或透視網版遮罩100A，圖案開口95與第一面側凹部101為互相平行的直線狀。

在圖案開口成形正像71與第一面側凹部成形正像42為如圖17所示形狀的情況下，若從第二面92A側觀看或透視網版遮罩100A，圖案開口95為直線狀，第一面側凹部101為由平行於圖案開口95的直線狀部分和垂直於圖案開口95的直線狀部分構成的格子狀。

因此，在網版遮罩100A中，第一面側凹部101為點狀、線狀以及格子狀之任一種。

根據上述網版遮罩100A的製造方法，在正像成形程序中，除了圖案開口成形正像71之外，在第一面21側的圖案開口成形正像71以外的位置處也形成第一面側凹部成形正像42。因此，由於形成第一面91的閉塞片80除了圖案開口成形正像71之外也貼附在第一面側凹部成形正像42上，和只被貼附到圖案開口成形正像71的情況相比，平滑性可提升，厚度方向的高度接近固定。藉此，和閉塞片80只被貼附到圖案開口成形正像71的情況相比，仿照閉塞片80形成的負像成形材料81的第一面21側的表面平滑性被提升，厚度方向的高度接近固定。亦即，第一面91的表面平滑性被提升，厚度方向的高度接近固定。藉此，第一面91的形成不需進行平面研磨即可完成，因此製造成本可以降低。

可以上述方法製得在和第一面91的圖案開口95的不同位置處設有從第一面91凹入到第二面92A前的篩網13的位置處的第一面側凹部101的網版遮罩100A。藉此，網版遮罩100A的製造成本可以降低。

網版遮罩100A因為仿照平滑性被提高的閉塞片80，第一面91的平滑性可被提升，厚度可趨近固定，因此，使網版遮罩100A覆蓋基板並與基板接觸的情況下，第一面91的與基板的密著性可被提高。因此，在使用於印刷的情況下，墨液的噴出厚度與印刷解析度穩定。

第一面側凹部成形正像42係硬化到篩網13，因此第一面側凹部101延伸到篩網13。從而，第一面側凹部成形正像42可用篩網13加以支撐。

正像成形程序從第一面21側和第二面22側兩側進行曝光。因此，使用厚度厚的遮罩基底11也可形成圖案開口成形正像71，且著色層25的厚度加厚也可形成圖案開口成形正像71。因此，透過硬化後的負像成形材料81以及圖案開口成形正像71的第二面22側的平面研磨，在不使篩網13與第一面側凹部成形正像42暴露出之下，可確實地去除不要部分，第二面92A可接近平面狀。

第一面側凹部成形正像42為點狀、線狀以及格子狀中的任一種，因此，第一面側凹部101為點狀、線狀以及格子狀中的任一種。從而，可容易地在有效的位置上形成第一面側凹部成形正像42。

又，曝光程序也可在第一面21和第二面22同時進行。再者，也可進行第一面21的曝光、接著顯像、之後再度於第二面22側塗佈基底材料12、著色層25的塗佈、第二面22的曝光、接著顯像。又者，為了使第一面21和第二面22曝光時保有對準精度，也可使第二面側曝光用遮罩53的形成圖案開口成形用開口51的開口寬度相對於第一面側曝光用遮罩33的形成圖案開口成形用開口31的開口寬度大數μｍ到數十μｍ的程度。

[第三實施型態]

關於本發明第三實施型態的網版遮罩的製造方法以及以此製造的網版遮罩，參照圖21~圖30，以和第一實施型態相異的部分為中心進行說明。

在第三實施型態的網版遮罩的製造方法中，在正像成形程序中，和第一實施型態一樣，進行如圖21所示的在遮罩基底11的第二面22上形成著色層25的第二面著色程序。

在正像成形程序中，接著如圖22所示，進行第一曝光程序，以僅於適當位置處形成圖案開口成形用開口31的第一面側曝光用遮罩33B覆蓋第一面21，沿遮罩基底11的厚度方向，從第一面21側對遮罩基底11的基底材料12進行曝光。透過第一曝光程序，第一面21延伸方向上的位置和形狀與圖案開口成形用開口31相吻合的第一面側圖案開口成形正像41，透過基底材料12的硬化而被形成。在第一曝光程序中調整曝光，以使第一面側圖案開口成形正像41從基底材料12的第一面21硬化到比第二面22靠前的篩網13的位置處。

在正像成形程序中，接著進行如圖23所示的第二曝光程序，以在適當位置處形成圖案開口成形用開口51以及第二面側凹部成形用開口52的和第一實施型態同樣的第二面側曝光用遮罩53覆蓋著色層25，沿遮罩基底11厚度方向，從著色層25側對著色層25以及遮罩基底11的基底材料12進行曝光。透過第二曝光程序，第二面22延伸方向上的位置和形狀與圖案開口成形用開口51相吻合的第二面側圖案開口成形正像61以及第二面22延伸方向上的位置和形狀與第二面側凹部成形用開口52相吻合的第二面側凹部成形正像62，係透過著色層25與基底材料12的硬化而被形成。在第二曝光程序中調整曝光，以使第二面側圖案開口成形正像61與第二面側凹部成形正像62都從著色層25硬化到比基底材料12的第一面21靠前的篩網13的位置。

此處，第一面側曝光用遮罩33B的圖案開口成形用開口31與第二面側曝光用遮罩53的圖案開口成形用開口51在第一面21與第二面22的延伸方向上的位置與形狀一致。因此，第二面側圖案開口成形正像61與第一面側圖案開口成形正像41相連，成為結合第一面21與第二面22的圖案開口成形正像71。

對於第一面側曝光用遮罩33B的圖案開口成形用開口311與第二面側曝光用遮罩53的圖案開口成形用開口51，第二面側曝光用遮罩53的第二面側凹部成形用開口52在第一面21與第二面22的延伸方向上位置完全錯開。因此，第二面側凹部成形正像62係形成於與圖案開口成形正像71完全分離的位置處。

在正像成形程序中，接著進行如圖24所示的和第一實施型態同樣的顯像程序，去除著色層25未硬化的部分以及基底材料12未硬化的部分。藉此，開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62有殘留。殘留的圖案開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62都為被篩網13支撐的狀態。

從以上可知，顯像程序係形成由硬化著色層25與硬化基底材料12構成的圖案開口成形正像71，而在圖案開口成形正像71之外，另於第一面21側的圖案開口成形正像71以外的位置處，形成由硬化基底材料12構成的第二面側凹部成形正像62。第二面22側的第二面側凹部成形正像62係硬化到篩網13。正像成形程序從第一面21側和第二面22側兩側進行曝光。

此處，圖案開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62以圖25所示者為例。在圖25的例子中，從第二面22側觀看的情況下，圖案開口成形正像71為直線狀，第二面側凹部成形正像62為圓形的點狀。亦即，圖案開口成形正像71為在篩網13的厚度方向上延伸的平板狀，第二面側凹部成形正像62為在篩網13的厚度方向上延伸的圓柱狀。第二面側凹部成形正像62在篩網13的延伸方向上被以均等密度方式配置成千鳥格狀。又，第二面側凹部成形正像62的形狀除了圓柱狀之外，可採用四角柱狀、三角柱狀、橢圓柱狀等各種形狀。此外，第二面側凹部成形正像62的大小、排列方式也可採用各種圖案。

圖案開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62也可以圖26所示者為另一例。在圖26的例子中，從第二面22側觀看的情況下，圖案開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62為互相平行的直線狀。亦即，圖案開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62都為在篩網13的厚度方向上延伸、互相平行的平板狀。相鄰第二面側凹部成形正像62與第二面側凹部成形正像62間的間隔在篩網13的延伸方向上均等。

圖案開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62也可以圖27所示者為又一例。在圖27的例子中，從第二面22側觀看的情況下，圖案開口成形正像71為直線狀，第二面側凹部成形正像62為由平行於圖案開口成形正像71的直線狀部分與垂直於圖案開口成形正像71的直線狀部分構成的格子狀。亦即，圖案開口成形正像71為在篩網13的厚度方向上延伸的平板狀，第二面側凹部成形正像62為由平行於圖案開口成形正像71的平板狀部分與垂直於圖案開口成形正像71的平板狀部分構成。

因此，第二面側凹部成形正像62為點狀、線狀以及格子狀中之任一種。

正像成形程序之後，進行如圖28所示的負像成形程序。在負像成形程序中，首先進行封閉程序，把閉塞片80盡可能平面狀展開，貼附在顯像程序中殘餘的圖案開口成形正像71的第一面21所構成的端面上。

在負像成形程序中，接著進行負像成形材料填充硬化程序，將負像成形材料81填入從著色層25側亦即第二面22側到閉塞片80的範圍內的圖案開口成形正像71、第二面側凹部成形正像62以及篩網13之間的間隙內，直到完全覆蓋這些的第二面22側，並使之硬化。藉此，圖案開口成形正像71、第二面側凹部成形正像62以及篩網13為埋設在負像成形材料81內的狀態。

在負像成形程序中，接著進行如圖29所示的第二面研磨程序，從閉塞片80的相反側對圖案開口成形正像71、第二面側凹部成形正像62以及硬化後的負像成形材料81進行平面研磨，使閉塞片80的相反側的面82接近平面狀，而形成負像85B。在第二面研磨程序中，進行研磨直到形成在圖案開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62上的著色層25的硬化部分消失為止，如此一來，面82成為預定的平面狀。當然，在第二面研磨程序中，不會對篩網13露出的位置進行平面研磨。透過第二面研磨程序，圖案開口成形正像71被削減成為圖案開口成形正像71a，第二面側凹部成形正像62被削減成為第二面側凹部成形正像62a。

根據上述，負像成形程序在圖案開口成形正像71a以外的部分的第二面側凹部成形正像62a以外的部分形成負像85B。

接著，進行如圖30所示的正像去除程序。在正像去除程序中，和第一實施型態一樣，首先剝除閉塞片80，之後。利用溶劑去除圖案開口成形正像71a與第二面側凹部成形正像62a。藉此，透過負像85B在其第一面21側上形成第一面91B，在其第二面22側上形成由面82的一部分構成的第二面92，且形成連通第一面91B和第二面92的圖案開口95，而形成網版遮罩100B。在網版遮罩100B中，除了這些第一面91B、第二面92A以及圖案開口95之外，還形成從第二面92凹入到第一面91B前的篩網13的位置的第二面側凹部102。

根據上述，正像去除程序去除圖案開口成形正像71a，透過負像85B形成第一面91B、第二面92以及連通第一面91B和第二面92A的圖案開口95。又，正像去除程序除了圖案開口成形正像71a之外，藉由去除第二面側凹部成形正像62a，透過負像85A在第一面91B、第二面92A以及連通第一面91和第二面92的圖案開口95之外又形成從第二面92凹入到第一面91B前的篩網13的位置的第二面側凹部102。

此處，第二面92如上述般以平面研磨形成。因為除了圖案開口成形正像71之外第二面側凹部成形正像62也被形成，負像成形材料81在平面研磨前的填充時處於被圖案開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62兩者支撐的狀態下，和只被圖案開口成形正像71支撐的狀態下相比，第二面22側的表面的平滑性可被提升，厚度方向的高度也可趨近固定。亦即，在負像85B形成之際，平面研磨前的負像成形材料81的第二面22側的表面的平滑性可被提升，厚度方向的高度也可趨近固定。藉此，透過平面研磨來研磨的第二面22側的表面而形成第二面92之際所需的加工餘量可以很少。

以上述製造方法製造的網版遮罩100B形成有第一面91B、第二面92以及連通第一面91B和第二面92的圖案開口95。網版遮罩100B在和第二面92的圖案開口95的不同位置處設有從第二面92凹入到第一面91B前的篩網13的位置的第二面側凹部102。網版遮罩100B的第二面側凹部102延伸到篩網13為止。網版遮罩100B作為印刷用的情況下，分別將第一面91B配置在被被印刷物側，將第二面92配置在刷入墨液的刮墨片側。網版遮罩100B也可反過來分別將第二面92配置在被印刷物側，將第一面91B配置在刷入墨液的刮墨片側。

在網版遮罩100B中，構成第一面91B側為第一面21側，構成第二面92側為第二面22側。第一面21和第二面22的延伸方向構成第一面91B和第二面92的延伸方向。

此處，在圖案開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62為如圖25所示形狀的情況下，若從第二面92側觀看或透視網版遮罩100B，圖案開口95為直線狀，而第二面側凹部102為點狀。第二面側凹部102在第二面92的延伸方向上，以構成均等密度的方式被配置成千鳥格狀。

在圖案開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62為如圖26所示形狀的情況下，若從第二面92側觀看或透視網版遮罩100B，圖案開口95與第二面側凹部102為互相平行的直線狀。相鄰第二面側凹部102間也為等間隔。

在圖案開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62為如圖27所示形狀的情況下，若從第二面92側觀看或透視網版遮罩100B，圖案開口95為直線狀，第二面側凹部102為由平行於圖案開口95的直線狀部分和垂直於圖案開口95的直線狀部分構成的格子狀。

因此，在網版遮罩100B中，第二面側凹部102為點狀、線狀以及格子狀之任一種。

根據上述網版遮罩100B的製造方法，在正像成形程序中，除了圖案開口成形正像71之外，在第二面22側的圖案開口成形正像71以外的位置處也形成第二面側凹部成形正像62。因此，在負像成形程序中，填充的負像成形材料81為受到圖案開口成形正像71與第二面側凹部成形正像62兩者支撐的狀態，和只被圖案開口成形正像71支撐的狀態下相比，第二面22側的表面的平滑性可被提升，厚度方向的高度也可趨近固定。藉此，為形成之後的第二面92的平面研磨的加工餘量可以變少，平面研磨的工時可以降低，製造成本可以降低。

可以上述方法製得在和第二面92的圖案開口95的不同位置處設有從第二面92凹入到第一面91B前的篩網13的位置的第二面側凹部102的網版遮罩100B。藉此，網版遮罩100B的製造成本可以降低。

網版遮罩100B因為形成第二面92時的平面研磨的加工餘量可以很少，負像85B從篩網13到第二面92側的部分的厚度可以加厚。因此，可使負像85B的此部分的強度提升，可提高負像85B的此部分與篩網13的接合強度。

第二面側凹部成形正像62延伸至篩網13，因此，第二面側凹部102延伸至篩網13。從而，第二面側凹部成形正像62可用篩網13加以支撐。

正像成形程序從第一面21側和第二面22側兩側進行曝光。因此，使用厚度厚的遮罩基底11也可形成圖案開口成形正像71，且著色層25的厚度加厚也可形成圖案開口成形正像71。因此，透過硬化後的負像成形材料81、圖案開口成形正像71以及第二面側凹部成形正像62的第二面22側的平面研磨，在不使篩網13暴露出之下，可確實地去除不要部分，第二面92可接近平面狀。

第二面側凹部成形正像62分別為點狀、線狀以及格子狀中的任一種，因此，第二面側凹部102分別為點狀、線狀以及格子狀中的任一種。從而，可容易地在有效的位置上形成第二面側凹部成形正像62。

又，曝光程序也可在第一面21和第二面22同時進行。再者，也可進行第一面21的曝光、接著顯像、之後再度於第二面22側塗佈基底材料12、著色層25的塗佈、第二面22的曝光、接著顯像。又者，為了使第一面21和第二面22曝光時保有對準精度，也可使第二面側曝光用遮罩53的形成圖案開口成形用開口51的開口寬度相對於第一面側曝光用遮罩33B的形成圖案開口成形用開口31的開口寬度大數μｍ到數十μｍ的程度。

(附記1)

一種網版遮罩的製造方法，包括：

一正像成形程序，形成一圖案開口成形正像；

一負像成形程序，在所述圖案開口成形正像以外的部分形成一負像；以及

一正像去除程序，去除所述圖案開口成形正像，透過所述負像形成第一面、第二面以及連通所述第一面和所述第二面的圖案開口，

所述網版遮罩的製造方法的特徵在於：

所述正像成形程序除了所述圖案開口成形正像之外，另於構成所述第一面側的所述圖案開口成形正像以外的位置以及構成所述第二面側的所述圖案開口成形正像以外的位置中的至少任一處形成一凹部成形正像；

所述負像成形程序於所述圖案開口成形正像以外的部分中的所述凹部成形正像以外的部分形成一負像；以及

所述正像去除程序去除所述圖案開口成形正像之外亦去除所述凹部成形正像，據以於所述第一面、所述第二面以及所述圖案開口之外，透過所述負像另外形成從所述第一面凹入到所述第二面前的第一面側凹部以及從所述第二面凹入到所述第一面前的第二面側凹部中的至少任一個。

(附記2)

如附記1所述的網版遮罩的製造方法，其特徵在於：

所述正像成形程序除了所述圖案開口成形正像之外，另於構成所述第一面側的所述圖案開口成形正像以外的位置以及構成所述第二面側的所述圖案開口成形正像以外的位置形成所述凹部成形正像；以及

所述正像去除程序去除所述圖案開口成形正像之外亦去除所述凹部成形正像，據以於所述第一面、所述第二面以及所述圖案開口之外，透過所述負像另外形成從所述第一面凹入到所述第二面前的第一面側凹部以及從所述第二面凹入到所述第一面前的第二面側凹部。

(附記3)

如附記2所述的網版遮罩的製造方法，其特徵在於：

所述正像成形程序除了所述圖案開口成形正像之外，另於構成所述第一面側的所述圖案開口成形正像以外的位置以及構成所述第二面側的所述圖案開口成形正像以外的位置處形成在所述第一面以及所述第二面的延伸方向上的位置錯開的所述凹部成形正像。

(附記4)

如附記3所述的網版遮罩的製造方法，其中，構成所述第一面側的所述凹部成形正像和構成所述第二面側的的所述凹部成形正像係硬化到一篩網。

(附記5)

如附記1至4中任一者所述的網版遮罩的製造方法，其特徵在於：

所述正像成形程序從構成所述第一面側和構成所述第二面側的兩側進行曝光。

(附記6)

如附記1至4中任一者所述的網版遮罩的製造方法，其中，所述凹部成形正像為點狀、線狀以及格子狀中之任一者。

(附記7)

一種網版遮罩，形成有連通第一面與第二面的圖案開口，其特徵在於：

在和所述第一面的所述圖案開口不同的位置處設置有從所述第一面凹入到所述第二面前的篩網位置處的第一面側凹部；以及

在和所述第二面的所述圖案開口不同的位置處設有從所述第二面凹入到所述第一面前的篩網位置處的第二面側凹部。

(附記8)

如附記7所述的網版遮罩，其特徵在於所述第一面側凹部和所述第二面側凹部在所述第一面以及所述第二面的延伸方向上的位置錯開。

(附記9)

如附記7或8所述的網版遮罩，其特徵在於所述第一面側凹部和所述第二面側凹部係延伸到一篩網。

(附記10)

如附記7至9中任一者所述的網版遮罩，其特徵在於所述第一面側凹部和所述第二面側凹部為點狀、線狀以及格子狀中之任一者。

[產業上之可利用性]

根據本發明的上述各型態，可提供一種能提升負像成形材料的表面側的平滑性，並可使厚度方向的高度接近固定的網版遮罩的製造方法以及網版遮罩。因此，產業上之可利用性大。 以上所述僅為本發明之較佳實施例，凡依本發明申請專利範圍所做之均等變化與修飾，皆應屬本發明之涵蓋範圍。

11:遮罩基底 12:片狀基底材料 13:篩網 21:第一面 22:第二面 25:著色層 31:圖案開口成形用開口 32:第一面側凹部成形用開口 33,33B:第一面側曝光用遮罩 41:第一面側圖案開口成形正像 42:第一面側凹部成形正像 51,61:第二面側圖案開口成形正像 52,62,62a:第二面側凹部成形正像 53,53A:第二面側曝光用遮罩 71,71a:圖案開口成形正像 80:閉塞片 81:負像成形材料 82,82A:閉塞片的相反側的面 85,85A,85B:負像 91,91B:第一面 92,92A:第二面 95:圖案開口 100,100A,100B:網版遮罩 101:第一面側凹部 102:第二面側凹部

圖1為概略顯示關於本發明第1實施型態的網版遮罩的製造方法的正像成形程序中，在第2面上色程序後的狀態的截面圖。 圖2為概略顯示關於本發明第1實施型態的網版遮罩的製造方法的正像成形程序中，第1曝光程序的截面圖。 圖3為概略顯示關於本發明第1實施型態的網版遮罩的製造方法的正像成形程序中，第2曝光程序的截面圖。 圖4為概略顯示關於本發明第1實施型態的網版遮罩的製造方法的正像成形程序中，在顯像程序後的狀態的截面圖。 圖5為顯示關於本發明第1實施型態的網版遮罩的製造方法的圖案開口成形正像、第1面側凹部成形正像、以及第2面側凹部成形正像的各自形狀以及一配置實例的平面圖。 圖6為顯示關於本發明第1實施型態的網版遮罩的製造方法的圖案開口成形正像、第1面側凹部成形正像、以及第2面側凹部成形正像的各自形狀以及另一配置實例的平面圖。 圖7為顯示關於本發明第1實施型態的網版遮罩的製造方法的圖案開口成形正像、第1面側凹部成形正像、以及第2面側凹部成形正像的各自形狀以及又一配置實例的平面圖。 圖8為概略顯示關於本發明第1實施型態的網版遮罩的製造方法的負像成形程序中，在密封程序以及負像成形材料填充硬化程序後的狀態的截面圖。 圖9為概略顯示關於本發明第1實施型態的網版遮罩的製造方法的負像成形程序中，第2面研磨程序後的狀態的截面圖。 圖10為概略顯示關於本發明第1實施型態的網版遮罩的製造方法的正像去除程序後的網版遮罩的截面圖。 圖11為概略顯示關於本發明第2實施型態的網版遮罩的製造方法的正像成形程序中，在第2面上色程序後的狀態的截面圖。 圖12為概略顯示關於本發明第2實施型態的網版遮罩的製造方法的正像成形程序中，第1曝光程序的截面圖。 圖13為概略顯示關於本發明第2實施型態的網版遮罩的製造方法的正像成形程序中，第2曝光程序的截面圖。 圖14為概略顯示關於本發明第2實施型態的網版遮罩的製造方法的正像成形程序中，在顯像程序後的狀態的截面圖。 圖15為顯示關於本發明第2實施型態的網版遮罩的製造方法的圖案開口成形正像、第1面側凹部成形正像、以及第2面側凹部成形正像的各自形狀以及一配置實例的平面圖。 圖16為顯示關於本發明第2實施型態的網版遮罩的製造方法的圖案開口成形正像、第1面側凹部成形正像、以及第2面側凹部成形正像的各自形狀以及另一配置實例的平面圖。 圖17為顯示關於本發明第2實施型態的網版遮罩的製造方法的圖案開口成形正像、第1面側凹部成形正像、以及第2面側凹部成形正像的各自形狀以及又一配置實例的平面圖。 圖18為概略顯示關於本發明第2實施型態的網版遮罩的製造方法的負像成形程序中，在密封程序以及負像成形材料填充硬化程序後的狀態的截面圖。 圖19為概略顯示關於本發明第2實施型態的網版遮罩的製造方法的負像成形程序中，第2面研磨程序後的狀態的截面圖。 圖20為概略顯示關於本發明第2實施型態的網版遮罩的製造方法的正像去除程序後的網版遮罩的截面圖。 圖21為概略顯示關於本發明第3實施型態的網版遮罩的製造方法的正像成形程序中，在第2面上色程序後的狀態的截面圖。 圖22為概略顯示關於本發明第3實施型態的網版遮罩的製造方法的正像成形程序中，第1曝光程序的截面圖。 圖23為概略顯示關於本發明第3實施型態的網版遮罩的製造方法的正像成形程序中，第2曝光程序的截面圖。 圖24為概略顯示關於本發明第3實施型態的網版遮罩的製造方法的正像成形程序中，在顯像程序後的狀態的截面圖。 圖25為顯示關於本發明第3實施型態的網版遮罩的製造方法的圖案開口成形正像、第1面側凹部成形正像、以及第2面側凹部成形正像的各自形狀以及一配置實例的平面圖。 圖26為顯示關於本發明第3實施型態的網版遮罩的製造方法的圖案開口成形正像、第1面側凹部成形正像、以及第2面側凹部成形正像的各自形狀以及另一配置實例的平面圖。 圖27為顯示關於本發明第3實施型態的網版遮罩的製造方法的圖案開口成形正像、第1面側凹部成形正像、以及第2面側凹部成形正像的各自形狀以及又一配置實例的平面圖。 圖28為概略顯示關於本發明第3實施型態的網版遮罩的製造方法的負像成形程序中，在密封程序以及負像成形材料填充硬化程序後的狀態的截面圖。 圖29為概略顯示關於本發明第3實施型態的網版遮罩的製造方法的負像成形程序中，第2面研磨程序後的狀態的截面圖。 圖30為概略顯示關於本發明第3實施型態的網版遮罩的製造方法的正像去除程序後的網版遮罩的截面圖。

13:篩網

21:基底材料的第一面

42:第一面側凹部成形正像

62a:第二面側凹部成形正像

71a:圖案開口成形正像

80:閉塞片

82:閉塞片的相反側的面

85:負像

91:第一面

92:第二面

Claims (10)

1. 一種網版遮罩的製造方法，包括： 一正像成形程序，形成一圖案開口成形正像； 一負像成形程序，在所述圖案開口成形正像以外的部分形成一負像；以及 一正像去除程序，去除所述圖案開口成形正像，透過所述負像形成第一面、第二面以及連通所述第一面和所述第二面的圖案開口， 所述網版遮罩的製造方法的特徵在於： 所述正像成形程序除了所述圖案開口成形正像之外，另於構成所述第一面側的所述圖案開口成形正像以外的位置以及構成所述第二面側的所述圖案開口成形正像以外的位置中的至少任一處形成一凹部成形正像； 所述負像成形程序於所述圖案開口成形正像以外的部分中的所述凹部成形正像以外的部分形成一負像；以及 所述正像去除程序去除所述圖案開口成形正像之外亦去除所述凹部成形正像，據以於所述第一面、所述第二面以及所述圖案開口之外，透過所述負像另外形成從所述第一面凹入到所述第二面前的第一面側凹部以及從所述第二面凹入到所述第一面前的第二面側凹部中的至少任一個。
2. 如請求項1所述的網版遮罩的製造方法，其特徵在於： 所述正像成形程序除了所述圖案開口成形正像之外，另於構成所述第一面側的所述圖案開口成形正像以外的位置以及構成所述第二面側的所述圖案開口成形正像以外的位置形成所述凹部成形正像；以及 所述正像去除程序去除所述圖案開口成形正像之外亦去除所述凹部成形正像，據以於所述第一面、所述第二面以及所述圖案開口之外，透過所述負像另外形成從所述第一面凹入到所述第二面前的第一面側凹部以及從所述第二面凹入到所述第一面前的第二面側凹部。
3. 如請求項2所述的網版遮罩的製造方法，其特徵在於： 所述正像成形程序除了所述圖案開口成形正像之外，另於構成所述第一面側的所述圖案開口成形正像以外的位置以及構成所述第二面側的所述圖案開口成形正像以外的位置處形成在所述第一面以及所述第二面的延伸方向上的位置錯開的所述凹部成形正像。
4. 如請求項3所述的網版遮罩的製造方法，其中，構成所述第一面側的所述凹部成形正像和構成所述第二面側的的所述凹部成形正像係硬化到一篩網。
5. 如請求項1至4中任一項所述的網版遮罩的製造方法，其特徵在於： 所述正像成形程序從構成所述第一面側和構成所述第二面側的兩側進行曝光。
6. 如請求項1至4中任一項所述的網版遮罩的製造方法，其中，所述凹部成形正像為點狀、線狀以及格子狀中之任一者。
7. 一種網版遮罩，形成有連通第一面與第二面的圖案開口，其特徵在於： 在和所述第一面的所述圖案開口不同的位置處設置有從所述第一面凹入到所述第二面前的篩網位置處的第一面側凹部；以及 在和所述第二面的所述圖案開口不同的位置處設有從所述第二面凹入到所述第一面前的篩網位置處的第二面側凹部。
8. 如請求項7所述的網版遮罩，其特徵在於所述第一面側凹部和所述第二面側凹部在所述第一面以及所述第二面的延伸方向上的位置錯開。
9. 如請求項7或8所述的網版遮罩，其特徵在於所述第一面側凹部和所述第二面側凹部係延伸到一篩網。
10. 如請求項7或8所述的網版遮罩，其特徵在於所述第一面側凹部和所述第二面側凹部為點狀、線狀以及格子狀中之任一者。