JP2024029907A - 保護部材の設置方法 - Google Patents

Abstract

【課題】設置後に保護部材を取り外す手間と、保護部材の厚みの精度の低下を抑制することができる保護部材の設置方法を提供すること。【解決手段】保護部材の設置方法は、熱可塑性樹脂を含み被加工物の直径より大きい幅を有するシート状に形成された保護部材がロール状に巻かれたシートロールから保護部材を引き出す引き出しステップ１０２と、引き出された保護部材を加熱して軟化または溶融させながら、保護部材をロールの引き出し方向に延伸させて薄化する薄化ステップ１０３と、薄化ステップ１０３で薄化された保護部材を被加工物に密着させ、被加工物と保護部材とを一体化させる一体化ステップ１０４と、を備え、薄化ステップ１０３によって加熱された熱を保護部材が保持した状態で、一体化ステップ１０４を実施する。【選択図】図５

Description

本発明は、保護部材の設置方法に関する。

半導体ウエーハ等の板状の被加工物を研削して薄化したり、切削ブレードやレーザービームの照射により分割する際、被加工物はチャックテーブルに保持される。この時、被加工物を直接チャックテーブルに載置すると、被加工物の損傷や汚染に繋がることや、分割後に一括搬送できなくなってしまうことから、チャックテーブルの保持面と接触する面に粘着テープが貼り付けられるのが一般的である（例えば、特許文献１参照）。

しかしながら、被加工物から粘着テープを剥離する際に粘着剤等の残渣が被加工物に残ってしまう場合があった。

そこで、平坦な支持テーブルの支持面に塊状、紐状、粒状、または流動状態の熱可塑性樹脂を供給し、加熱しつつ押し広げることでシート状の保護部材を形成し、このシート状の保護部材を被加工物に接着する方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

特開２０１３－２１０１７号公報 特開２０２１－８２６３１号公報

特許文献２に示された方法で形成された保護部材は、粘着層を用いずに加熱によって接着することが可能なため、被加工物から剥離した際に残渣が残らないという利点がある。

しかしながら、一方で、支持テーブル上で加熱しつつ押し広げることにより形成されたシート上の保護部材を支持テーブルから剥離する手間がかかるという課題や、シート状の保護部材を支持テーブルから剥離した後、被加工物に接着する際に、押圧部材が熱により膨張してしまい、シートの厚み精度が出にくいという課題も存在していた。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、設置後に保護部材を取り外す手間と、保護部材の厚みの精度の低下を抑制することができる保護部材の設置方法を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の保護部材の設置方法は、被加工物に保護部材を設置する保護部材の設置方法であって、熱可塑性樹脂を含み、被加工物の直径より大きい幅を有するシート状に形成された保護部材がロール状に巻かれたシートロールから該保護部材を引き出す引き出しステップと、引き出された該保護部材を加熱して軟化または溶融させながら、該保護部材をロールの引き出し方向に延伸させて薄化する薄化ステップと、該薄化ステップで薄化された該保護部材を被加工物に密着させ、該被加工物と該保護部材とを一体化させる一体化ステップと、を備え、該薄化ステップによって加熱された熱を該保護部材が保持した状態で、該一体化ステップを実施することで、該保護部材と該被加工物とを一体化する際に再度加熱して軟化または溶融させる必要がないことを特徴とする。

前記保護部材の設置方法において、該薄化ステップでは、引き出し方向の延伸量を制御することで、該保護部材の厚みを調整しても良い。

本発明は、設置後に保護部材を取り外す手間と、保護部材の厚みの精度の低下を抑制することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る保護部材の設置方法により保護部材が設置される被加工物の一例を模式的に示す斜視図である。 図２は、実施形態１に係る保護部材の設置方法により被加工物に設置される保護部材が構成するシートロールの斜視図である。 図３は、実施形態１に係る保護部材の設置方法を実施するシート設置装置のシート送り出しユニットの構成を模式的に示す側面図である。 図４は、実施形態１に係る保護部材の設置方法を実施するシート設置装置のシート設置ユニットの構成を模式的に示す側面図である。 図５は、実施形態１に係る保護部材の設置方法の流れを示すフローチャートである。 図６は、図５に示された保護部材の設置方法の一体化ステップのシートカットユニットが被加工物の外縁に沿って保護部材を切断する状態を模式的に示す側面図である。 図７は、実施形態１に係る保護部材の設置方法により保護部材が設置された被加工物が研削される状態を模式的に示す側面図である。 図８は、実施形態１に係る保護部材の設置方法により保護部材が設置された被加工物が切削される状態を模式的に示す側面図である。 図９は、図１に示された被加工物の変形例の斜視図である。 図１０は、図９に示された被加工物を裏側からみた斜視図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る保護部材の設置方法を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る保護部材の設置方法により保護部材が設置される被加工物の一例を模式的に示す斜視図である。図２は、実施形態１に係る保護部材の設置方法により被加工物に設置される保護部材が構成するシートロールの斜視図である。

（被加工物）
実施形態１に係る保護部材の設置方法は、図１に示す被加工物２００に図２に示す保護部材１を設置する方法である。実施形態１に係る保護部材の設置方法において、保護部材１が設置される被加工物２００は、実施形態１では、シリコン、サファイア、又はガリウムヒ素などを基板２０１とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物２００は、図１に示すように、表面２０２の複数の分割予定ライン２０３によって区画された領域にそれぞれデバイス２０４が形成されている。

デバイス２０４は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）又はＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、又は各種のメモリ（半導体記憶装置）である。また、実施形態１では、デバイス２０４は、電極等に接続した導電性の球状のバンプ２０５を備える。

また、実施形態１では、被加工物２００は、基板２０１の表面が樹脂２０６によって被覆されている。実施形態１では、バンプ２０５が、被加工物２００の表面２０２である樹脂２０６の表面から突出して、被加工物２００は、表面２０２が凸凹に形成されている。被加工物２００は、保護部材１が設置された後、分割予定ライン２０３に沿って個々のデバイス２０４に分割される。

（保護部材）
実施形態１に係る保護部材の設置方法により被加工物２００に設置される保護部材１は、図２に示す円筒状の芯１１の外周にロール状に巻かれて、シートロール１０を構成する。実施形態１において、保護部材１は、熱可塑性樹脂を含み、被加工物２００の直径２０７（図１に示す）よりも大きい幅２を有する長尺のシート状に形成されている。保護部材１は、幅方向３が芯１１の軸心に平行でかつ長手方向４が芯１１の外周方向に沿う状態で、芯１１の外周に巻かれて、シートロール１０を構成する。

実施形態１において、保護部材１を構成する熱可塑性樹脂は、具体的には、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ビニル系樹脂、ポリアセタール、天然ゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、ポリエチレン，ポリプロピレン，ポリ（４－メチル－１－ペンテン），ポリ（１－ブテン）等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート，ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ナイロン－６，ナイロン－６６，ポリメタキシレンアジパミド等のポリアミド、ポリアクリレート、ポリメタアクリレート、ポリ塩化ビニル、ポリエーテルイミド、ポリアクリロニトリル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレン、エーテルポリブタジエン樹脂、ポリカーボネート樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、熱可塑性ポリウレタン樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、フッ素樹脂、エチレン－不飽和カルボン酸共重合樹脂、エチレン－酢酸ビニル共重合樹脂、アイオノマー、エチレン－酢酸ビニル－無水マレイン酸三元共重合樹脂、エチレン－酢酸ビニル共重合体ケン化樹脂、並びに、エチレン－ビニルアルコール共重合樹脂等から選択される一種または二種以上を挙げることができる。

上記のエチレン－不飽和カルボン酸共重合体を構成する不飽和カルボン酸は、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、イタコン酸、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、無水マレイン酸、及び、無水イタコン酸等が例示される。ここで、エチレン－不飽和カルボン酸共重合体は、エチレンと不飽和カルボン酸の２元共重合体のみならず、更に他の単量体が共重合された多元共重合体を包含するものである。エチレン－不飽和カルボン酸共重合体に共重合されていてもよい上記他の単量体としては、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルのようなビニルエステル、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸ｎ－ブチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸イソブチル、マレイン酸ジメチル、マレイン酸ジエチルのような不飽和カルボン酸エステルなどが例示される。

また、実施形態１において、保護部材１は、前述した熱可塑性樹脂の成分、分子量等が適宜調整されることで、軟化点が０℃以上でかつ３００℃以下（望ましくは、８０℃以上でかつ１００℃以下）に調整されている。また、実施形態１では、保護部材１の軟化点は、被加工物２００の基板２０１の表面を被覆した樹脂２０６の軟化点及び融点よりも低い。実施形態１では、保護部材１の１０℃から３０℃での貯蔵弾性率は１×１０^６（Ｐａ）以上でかつ１×１０^９（Ｐａ）以下であり、加熱時（貼着時）の温度８０℃から１００℃℃での貯蔵弾性率は１×１０^６（Ｐａ）以上でかつ１×１０^７（Ｐａ）以下である。

（シート設置装置）
次に、実施形態１に係る保護部材の設置方法を実施するシート設置装置２０を説明する。図３は、実施形態１に係る保護部材の設置方法を実施するシート設置装置のシート送り出しユニットの構成を模式的に示す側面図である。図４は、実施形態１に係る保護部材の設置方法を実施するシート設置装置のシート設置ユニットの構成を模式的に示す側面図である。

実施形態１に係る保護部材の設置方法を実施するシート設置装置２０は、図示しない装置本体と、図３に示すシート送り出しユニット３０と、図４に示すシート設置ユニット４０と、図示しない制御ユニットとを備える。

シート送り出しユニット３０は、図３に示すように、シートロール保持ローラ３１と、複数の加熱ローラ３２とを備える。シートロール保持ローラ３１は、外観が円柱状に形成され、芯１１内に挿通されてシートロール１０即ち保護部材１を保持する。シートロール保持ローラ３１は、軸心回りに回転自在に装置本体に支持されている。シートロール保持ローラ３１は、外周面にシートロール１０の芯１１の内周面を固定し、軸心回りに回転することで、保護部材１を端から順にシート設置ユニット４０に向けて送り出す。

複数の加熱ローラ３２は、それぞれ外観が円柱状に形成され、軸心が互いに平行に間隔をあけて配置されている。実施形態１では、複数の加熱ローラ３２は、外径が等しく形成され、シートロール保持ローラ３１寄りのものから一つずつ順にシートロール保持ローラ３１から送り出された保護部材１が外周面に当接して、シートロール保持ローラ３１寄りのものから順に保護部材１がかけ渡されている。また、実施形態１では、複数の加熱ローラ３２は、最もシートロール保持ローラ３１寄りの加熱ローラ３２の下方に保護部材１が通されて、最もシートロール保持ローラ３１寄りの加熱ローラ３２の隣りの加熱ローラ３２の上方に保護部材１が通されて、シートロール保持ローラ３１寄りのものから順に上方と下方とに交互に保護部材１が通されて、保護部材１がかけ渡されている。

また、加熱ローラ３２は、内部に外周面に当接した保護部材１を加熱するヒータを内蔵するとともに、図示しないモータ等の駆動源により軸心回りに回転される。加熱ローラ３２は、ヒータで保護部材１を加熱しながらモータにより軸心回りに回転されることで、シートロール保持ローラ３１から送り出された保護部材１をシート設置ユニット４０に向けて送り出す。実施形態１では、加熱ローラ３２は、モータにより軸心回りに回転することで、シートロール保持ローラ３１に保持されたシートロール１０から保護部材１を引き出す。また、実施形態１では、加熱ローラ３２は、シートロール保持ローラ３１に保持されたシートロール１０から引き出した保護部材１を、保護部材１の軟化点を超えかつ融点を下回る温度に加熱する。

また、実施形態１では、加熱ローラ３２の回転数は、シート設置ユニット４０寄りの回転数がシートロール保持ローラ３１寄りの回転数よりも高速に設定されている。即ち、加熱ローラ３２の回転数は、シートロール保持ローラ３１から離れるのにしたがってより高速に設定されている。このために、実施形態１では、複数の加熱ローラ３２すなわちシート送り出しユニット３０は、シートロール１０から引き出した保護部材１を、シートロール１０の引き出し方向である保護部材１の長手方向４に徐々に延伸させて薄化する。

シート設置ユニット４０は、保持テーブル４１と、一対の搬送ローラ４２と、押圧ローラ４３と、シートカットユニット４４と、巻き取りローラ４５とを備える。

保持テーブル４１は、被加工物２００を保持するものである。保持テーブル４１は、外径が被加工物２００の直径２０７よりも大径な円板状に形成され、上面が被加工物２００が載置される水平方向と平行な保持面４１１である。保持面４１１は、この保持面４１１と同軸となる位置に被加工物２００が載置される。保持テーブル４１は、保持面４１１に載置された被加工物２００を図示しない吸引源により吸引されることで、吸引保持する。保持テーブル４１は、保持面４１１上にシート送り出しユニット３０から送り出された保護部材１が通過する。

また、実施形態１では、保持テーブル４１は、保持面４１１に保持した被加工物２００を加熱することで、被加工物２００に設置される保護部材１を加熱するヒータ４１２を内蔵している。実施形態１では、保持テーブル４１のヒータ４１２は、保護部材１を、保護部材１の軟化点を超えかつ融点を下回る温度に加熱する。

搬送ローラ４２は、外観が円柱状に形成され、軸心が互いに平行でかつ互いに間隔をあけて配置されている。また、搬送ローラ４２は、平面視において互いの間に保持テーブル４１を位置付け、装置本体に軸心回りに回転自在に支持されているとともに、保持面４１１の上方に配置されている。実施形態１では、搬送ローラ４２は、軸心がシートロール保持ローラ３１及び加熱ローラ３２の軸心と平行に配置され、外周面でシート送り出しユニット３０から送り出された保護部材１を押圧して、保護部材１にテンションを付与するとともに、軸心回りに回転することで、保護部材１が保持テーブル４１の保持面４１１上を通過するように保護部材１を支持する。

押圧ローラ４３は、外観が外周面が平坦な円柱状に形成され、軸心がシートロール保持ローラ３１、加熱ローラ３２及び搬送ローラ４２の軸心と平行に配置されている。押圧ローラ４３は、図示しない移動ユニットにより、搬送ローラ４２の間で水平方向に沿って平行でかつ軸心に対して直交する方向に移動自在に支持されているとともに、保持面４１１に対して直交する方向に昇降自在に支持されている。

押圧ローラ４３は、下降することで、加熱ローラ３２等により加熱されて軟化した一対の搬送ローラ４２間の保護部材１を保持テーブル４１に保持された被加工物２００に押圧するとともに、下降した状態で水平方向に移動することで、軟化した保護部材１を被加工物２００に密着させて、保護部材１を被加工物２００に設置する。

シートカットユニット４４は、押圧ローラ４３が保護部材１を被加工物２００に設置したした後に、保護部材１を被加工物２００の外縁に沿って切断するものである。シートカットユニット４４は、保持テーブル４１の保持面４１１の上方に配置されている。

実施形態１において、シートカットユニット４４は、カッター刃４４１と、外縁部にカッター刃４４１を取り付けた円板状の取付ベース４４２と、取付ベース４４２を保持テーブル４１の保持面４１１の中心上の軸心回りに回転自在で昇降自在に支持した図示しない移動ユニットとを備える。

カッター刃４４１は、保持テーブル４１の保持面４１１上に送り出される保護部材１の厚みより長い切り刃を下端に有するものである。カッター刃４４１の切り刃は、保持テーブル４１の保持面４１１に保持される被加工物２００の外縁と対向する。取付ベース４４２は、保持テーブル４１と同軸な円板状に形成され、保持面４１１に対向して配置されているとともに、外径が保持テーブル４１の外径よりも大径に形成されている。

シートカットユニット４４は、移動ユニットにより取付ベース４４２即ちカッター刃４４１を下降させて、カッター刃４４１の切り刃を被加工物２００の外縁上の保護部材１に切り込ませる。シートカットユニット４４は、移動ユニットにより取付ベース４４２を軸心回りに回転することで、カッター刃４４１により保護部材１を保持テーブル４１に保持された被加工物２００の外縁に沿って切断する。

巻き取りローラ４５は、シートカットユニット４４によって被加工物２００の外縁に沿って切断された後の保護部材１の不要部分を巻き取るものである。なお、保護シートの不要部分は、保護部材１のカッター刃４４１により切断される被加工物２００の外縁よりも外周側の部分である。

巻き取りローラ４５は、実施形態１では、一対の搬送ローラ４２のうちシート送り出しユニット３０から離れた側の搬送ローラ４２の上方に配置されている。巻き取りローラ４５は、軸心がシートロール保持ローラ３１、加熱ローラ３２、搬送ローラ４２及び押圧ローラ４３の軸心と平行な円柱状に形成され、図示しないモータなどの駆動装置により軸心回りに回転されることで、外周面上に保護部材１を巻き取る。巻き取りローラ４５は、外周面上に保護部材１を巻き取ることで、シートロール保持ローラ３１に支持されたシートロール１０から保護部材１を引き出すものである。

制御ユニットは、シート設置装置２０の上述した各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２００に保護部材１を設置する設置動作をシート設置装置２０に実施させるものである。制御ユニットは、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニットの演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、シート設置装置２０を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介してシート設置装置２０の上述した各ユニットに出力する。

また、制御ユニットは、設置動作の状態や画像などを表示する表示ユニットと、オペレータがシート設置装置２０の制御ユニットに設置条件などを入力する際に用いる入力ユニットと、音と光のうち少なくとも一方を発してオペレータに報知する報知ユニットとが接続されている。

（保護部材の設置方法）
次に、実施形態１に係る保護部材の設置方法を説明する。図５は、実施形態１に係る保護部材の設置方法の流れを示すフローチャートである。図６は、図５に示された保護部材の設置方法の一体化ステップのシートカットユニットが被加工物の外縁に沿って保護部材を切断する状態を模式的に示す側面図である。図７は、実施形態１に係る保護部材の設置方法により保護部材が設置された被加工物が研削される状態を模式的に示す側面図である。図８は、実施形態１に係る保護部材の設置方法により保護部材が設置された被加工物が切削される状態を模式的に示す側面図である。

実施形態１に係る保護部材の設置方法は、被加工物２００に保護部材１を設置する方法であって、前述したシート設置装置２０が、被加工物２００に保護部材１を設置する設置動作でもある。実施形態１に係る保護部材の設置方法は、図５に示すように、準備ステップ１０１と、引き出しステップ１０２と、薄化ステップ１０３と、一体化ステップ１０４とを備える。

（準備ステップ）
準備ステップ１０１は、シート設置装置２０の被加工物２００に保護部材１を設置する設置動作を準備するステップである。実施形態１において、準備ステップ１０１では、先ず、オペレータ等が、シートロール保持ローラ３１にシートロール１０を保持し、シートロール１０から保護部材１の端を引き出して、保護部材１をシートロール保持ローラ３１寄りのものから順に複数の加熱ローラ３２にかけ渡して、一対の搬送ローラ４２の下方を通過させた後、巻き取りローラ４５の外周面上に巻きつける。

実施形態１において、準備ステップ１０１では、オペレータ等が被加工物２００の表面２０２の裏側の裏面２０８を保持テーブル４１の保持面４１１に載置し、設置条件を制御ユニットに登録する。準備ステップ１０１において、シート設置装置２０は、制御ユニットがオペレータ等からの設置動作の開始指示を受け付けると、加熱ローラ３２のヒータ及び保持テーブル４１のヒータ４１２を駆動して、保護部材１を加熱して、設置動作を開始して、引き出しステップ１０２に進む。

（引き出しステップ）
引き出しステップ１０２は、保護部材１がロール状に巻かれたシートロール１０から保護部材１を引き出すステップである。引き出しステップ１０２では、シート設置装置２０は、保持テーブル４１の保持面４１１に被加工物２００を吸引保持し、加熱ローラ３２のヒータ及び保持テーブル４１のヒータとで保護部材１を加熱しながら巻き取りローラ４５で保護部材１を巻き取るとともに加熱ローラ３２を前述した回転数で回転して、シートロール保持ローラ３１に保持されたシートロール１０から保護部材１を引き出して、薄化ステップ１０３に進む。

（薄化ステップ）
薄化ステップ１０３は、引き出された保護部材１を加熱して軟化または溶融させながら、保護部材１をシートロール１０の引き出し方向である保護部材１の長手方向４に延伸させて薄化するステップである。実施形態１において、薄化ステップ１０３では、シート設置装置２０が、各加熱ローラ３２のヒータ及び保持テーブル４１のヒータ４１２を保護部材１の軟化点を超えかつ融点を下回る温度に加熱しているので、シートロール１０から引き出した保護部材１を軟化させる。

実施形態１において、薄化ステップ１０３では、シート設置装置２０が、シートロール１０から引き出した保護部材１を軟化させながら、複数の加熱ローラ３２を前述した回転数で回転するので、加熱ローラ３２間において、長手方向４に沿って保護部材１が延伸されて、保護部材１が薄化する。複数の加熱ローラ３２により長手方向４に延伸されて薄化された保護部材１が保持テーブル４１上に位置すると、一体化ステップ１０４に進む。

なお、実施形態１において、薄化ステップ１０３では、シート設置装置２０が、被加工物２００に設置される保護部材１の厚みに応じて、加熱ローラ３２間の回転数の差を適宜変更する。即ち、被加工物２００に設置される保護部材１の厚みが薄くなるのにしたがって、加熱ローラ３２間の回転数の差を大きくして、保護部材１の長手方向４の延伸量を増加させる。こうして、実施形態１において、薄化ステップ１０３では、シート設置装置２０が、保護部材１の長手方向４の延伸量を制御することで、被加工物２００に設置される保護部材１の厚みを調整する。

（一体化ステップ）
一体化ステップ１０４は、薄化ステップ１０３で薄化された保護部材１を被加工物２００に密着させ、被加工物２００と保護部材１とを一体化させるステップである。実施形態１において、一体化ステップ１０４では、シート設置装置２０が、保護部材１の複数の加熱ローラ３２により薄化された箇所が保持テーブル４１に保持された被加工物２００の上方に位置すると、巻き取りローラ４５の保護部材１の巻き取りを停止するとともに、加熱ローラ３２の回転を停止して、保護部材１の複数の加熱ローラ３２により薄化された箇所を保持テーブル４１に保持された被加工物２００の上方で停止する。なお、保持テーブル４１に保持された被加工物２００の上方に位置する保護部材１は、薄化ステップ１０３で加熱された熱を保持した状態（実施形態１では、軟化点を超えかつ融点を下回る温度に加熱された状態）を保っている。

実施形態１において、一体化ステップ１０４では、シート設置装置２０が、押圧ローラ４３を下降させて、加熱ローラ３２のヒータ４１２により軟化点をこえた温度に加熱された保護部材１を被加工物２００に押し付けるとともに、押圧ローラ４３を一対の搬送ローラ４２間で所定回数水平方向に移動させる。すると、一体化ステップ１０４では、保護部材１が軟化点を超えた温度であり軟化し、押圧ローラ４３の外周面が平坦であるので、保護部材１が被加工物２００のバンプ２０５間に入り込むとともに、被加工物２００の表面２０２からの厚みが一様になるとともに、保護部材１の上面が平坦に形成される。

こうして、実施形態１において、一体化ステップ１０４では、シート設置装置２０が、被加工物２００の表面２０２全体に保護部材１の表面２０２からの厚みが一様で上面が平坦な保護部材１を密着させて、被加工物２００の表面２０２に保護部材１を設置して、被加工物２００に保護部材１を一体化する。このように、実施形態１では、薄化ステップ１０３の直後に、薄化ステップ１０３によって加熱された熱を保護部材１が保持した状態（即ち、保護部材１が軟化点を超えかつ融点を下回る温度に加熱された状態）で、一体化ステップ１０４を実施する。このために、実施形態１に係る保護部材の設置方法は、保護部材１と被加工物２００とを一体化する際に再度加熱して軟化または溶融させる必要がない。

実施形態１において、一体化ステップ１０４では、シート設置装置２０が、保護部材１を被加工物２００の表面２０２に設置した後、押圧ローラ４３を上昇させるとともに、シートカットユニット４４の取付ベース４４２及びカッター刃４４１を下降させて、カッター刃４４１を被加工物２００の外縁上の保護部材１に切り込ませる。実施形態１において、一体化ステップ１０４では、シート設置装置２０が、図６に示すように、取付ベース４４２を軸心回りに少なくとも１回転、回転して、カッター刃４４１により保護部材１を保持テーブル４１に保持された被加工物２００の外縁に沿って切断する。実施形態１において、一体化ステップ１０４では、シート設置装置２０が、シートカットユニット４４を上昇させて、保持テーブル４１の被加工物２００の吸引保持を停止して、実施形態１に係る保護部材の設置方法、即ち設置動作を終了する。

なお、本発明では、保持テーブル４１上で保護部材１が軟化点を超えかつ融点を下回る温度を保持しているのであれば、保持テーブル４１がヒータ４１２を備えていなくても良い。また、本発明では、保持テーブル４１がヒータ４１２を備えずに、押圧ローラ４３が保護部材１を加熱するヒータを備えても良い。

表面２０２に保護部材１が設置されて、保護部材１と一体化された被加工物２００は、例えば、図７に示すように、保護部材１側が研削装置５０のチャックテーブル５１に吸引保持されて、研削水５２が供給されながら研削ホイール５３の研削砥石５４により研削される。また、表面２０２に保護部材１が設置されて、保護部材１と一体化された被加工物２００は、例えば、図８に示すように、保護部材１側が切削装置６０のチャックテーブル６１に吸引保持されて、切削水が供給されながら切削ブレード６２により分割予定ラインが切削されてもよい。

また、本発明では、表面２０２に保護部材１が設置されて、保護部材１と一体化された被加工物２００は、保護部材１側がレーザー加工装置のチャックテーブルに吸引保持されて、被加工物２００に対して透過性又は吸収性を有するレーザービームが照射されてレーザー加工が施されても良い。要するに、本発明では、表面２０２に保護部材１が設置されて、保護部材１と一体化された被加工物２００は、種々の加工が施される。

以上説明した実施形態１に係る保護部材の設置方法は、引き出しステップ１０２においてロール状に巻かれたシートロール１０から保護部材１を引き出し、薄化ステップ１０３において保護部材１を加熱して長手方向４に延伸させて薄化し、一体化ステップ１０４において保護部材１を被加工物２００に密着させて、保護部材１を被加工物２００に設置するので、保護部材１を加熱して被加工物２００に押圧して密着させる必要がない。

このために、実施形態１に係る保護部材の設置方法は、押圧ローラ４３から保護部材１を剥離する手間を抑制でき、被加工物２００に設置後に保護部材１を押圧ローラ４３から取り外す手間を抑制することができる。

また、実施形態１に係る保護部材の設置方法は、引き出しステップ１０２においてロール状に巻かれたシートロール１０から保護部材１を引き出し、薄化ステップ１０３において保護部材１を加熱して長手方向４に延伸させて薄化するので、加熱しながら保護部材１を被加工物２００に押圧して密着する際よりも押圧ローラ４３が受ける保護部材１の熱の影響を抑制することができる。このために、実施形態１に係る保護部材の設置方法は、被加工物２００に設置される保護部材１の厚みの精度の低下を抑制することができる。

その結果、実施形態１に係る保護部材の設置方法は、設置後に保護部材１を取り外す手間と、保護部材１の厚みの精度の低下を抑制することができるという効果を奏する。

また、実施形態１に係る保護部材の設置方法は、薄化ステップ１０３において保護部材１を加熱し軟化させて薄化してから、一体化ステップ１０４において保護部材１が薄化ステップ１０３において加熱された熱を保持した状態でそのまま被加工物２００と一体化する。その結果、実施形態１に係る保護部材の設置方法は、被加工物２００に保護部材１を一体化させるために再度加熱する必要がなくなるため、生産性の向上に貢献する。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本発明では、保護部材１を被加工物２００の裏面２０８に設置しても良い。また、本発明では、薄化ステップ１０３において、保護部材１を、加熱ローラ３２のヒータで保護部材１の融点を超える温度まで加熱して溶融させながら、保護部材１を長手方向４に延伸させて薄化し、被加工物２００に設置しても良い。また、本発明では、一体化ステップ１０４において、押圧ローラ４３の代わりに保持面４１１と平行で平坦な押圧面を有する押圧部材で保護部材１を被加工物２００に押圧して一体化しても良く、被加工物２００と保護部材１との間に真空状態を形成することで、保護部材１を被加工物２００に一体化しても良い。

また、本発明では、保護部材１を図９及び図１０に示すパッケージ基板である被加工物２００－１に設置しても良い。図９及び図１０に示された被加工物２００－１は、互いに交差する分割予定ライン２１１が設定された基板２１０と、基板２１０の表面２１２の分割予定ライン２１１により囲まれた領域に設置されたデバイスチップと、基板２１０の表面２１２上のデバイスチップを被覆する封止樹脂２１３とを備えたＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded Package）基板又はＣＳＰ（Chip Scale Packaging）基板等のパッケージ基板である。

本発明では、パッケージ基板である被加工物２００に保護部材１を設置する場合には、基板２１０の表面２１２又は裏面２１４に保護部材１を設置する。なお、図９は、図１に示された被加工物の変形例の斜視図である。図１０は、図９に示された被加工物を裏側からみた斜視図である。

１ 保護部材
２ 幅
４ 長手方向（引き出し方向）
１０ シートロール
１０２ 引き出しステップ
１０３ 薄化ステップ
１０４ 一体化ステップ
２００，２００－１ 被加工物
２０７ 直径

Claims (2)

1. 被加工物に保護部材を設置する保護部材の設置方法であって、
   熱可塑性樹脂を含み、被加工物の直径より大きい幅を有するシート状に形成された保護部材がロール状に巻かれたシートロールから該保護部材を引き出す引き出しステップと、
   引き出された該保護部材を加熱して軟化または溶融させながら、該保護部材をロールの引き出し方向に延伸させて薄化する薄化ステップと、
   該薄化ステップで薄化された該保護部材を被加工物に密着させ、該被加工物と該保護部材とを一体化させる一体化ステップと、を備え、
   該薄化ステップによって加熱された熱を該保護部材が保持した状態で、該一体化ステップを実施することで、該保護部材と該被加工物とを一体化する際に再度加熱して軟化または溶融させる必要がないことを特徴とする保護部材の設置方法。
2. 該薄化ステップでは、引き出し方向の延伸量を制御することで、該保護部材の厚みを調整することを特徴とする、請求項１に記載の保護部材の設置方法。

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