JP2024009753A - Euvリソグラフィ方法、およびeuvリソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
EUVフォトレジスト層が形成されているウェハを提供するステップ;
前記EUVフォトレジスト層の表層が親水性表層になるように、DUV光源を用いて、前記EUVフォトレジスト層の表層をDUV露光するステップ;
前記EUVフォトレジスト層の親水性表層に水蒸気を供給し、且つ供給された前記水蒸気の少なくとも一部が前記EUVフォトレジスト層の親水性表層上で凝縮されて一層の水膜を形成するステップ;
EUV光源を用いて、EUVマスク上のパターンを前記水膜を透過して前記親水性表層の下方のEUVフォトレジスト層に露光するステップ;
を含む、EUVリソグラフィ方法を提供する。
前記気体供給システムは、前記EUVレジスト層の親水性表層に水蒸気を供給し、且つ供給された前記水蒸気の少なくとも一部が前記フォトレジスト層の親水性表層で凝縮されて一層の水膜を形成するようにするために用いられ、
前記EUV露光システムは、前記EUV光源を用いてEUVマスク上のパターンが前記水膜を透過して前記親水性表層の下方のEUVフォトレジスト層上に露光されるようにするために用いられる、EUVリソグラフィ装置をさらに提供する。
ウェハ上に塗布されたEUVフォトレジスト層にEUVリソグラフィを行う前に、EUVフォトレジスト層の表層をDUV露光して、EUVフォトレジスト層の表層が親水性表層になり、また、EUVフォトレジスト層の親水性表層に水を凝縮して一層の薄厚の水膜を形成するようにすることにより、EUVフォトレジスト層にEUV露光を行う過程で、水の屈折率が空気の屈折率よりも大きい性質を利用して、有効波長が短くなるという効果を奏することができ、EUV露光後のグラフィック解像度とコントラストがさらに向上され、従来よりも精密な構造に製造されるようにする。
S1:EUVフォトレジスト層が形成されているウェハを提供するステップ;
S2:DUV光源を用いて、前記EUVフォトレジスト層の表層をDUV露光して、前記EUVフォトレジスト層の表層が親水性表層になるようにするステップ;
S3:前記EUVフォトレジスト層の親水性表層に水蒸気を供給し、且つ供給された前記水蒸気の少なくとも一部が前記EUVフォトレジスト層の親水性表層で凝縮して水膜を形成するステップ;
S4:EUV光源を用いて、EUVマスク上のパターンを前記水膜を透過して前記親水性表層の下方のEUVフォトレジスト層に露光するステップ;
を含むEUVリソグラフィ方法を提供する。
まず、所望のパターンを有するEUVマスク20をEUVマスクテーブル112に固定し、EUVフォトレジスト層を有するウェハ30をDUVウェハステージ103上に固定するステップ;
次に、DUV光源100をオンにすると、放出されるDUV露光ビームがDUV光源100に対応するDUV照明モジュール101およびDUV投影モジュール102を介してDUVウェハステージ103のウェハ30のEUVフォトレジスト層31の表層に入射されて、さらに、ウェハ30のEUVフォトレジスト層31の表層全体をDUV露光して、所望の親水性表層を形成するステップ;
次に、DUV光源100をオフにすると、DUV露光されたウェハ30をEUVウェハステージ114に移送し、また、気体供給システム12をオンにして、脱イオン水が混合されている所望の湿度(例えば、少なくとも60℃)の担体気体流によって、DUV露光されたウェハ30上のEUVフォトレジスト層の親水性表層に水蒸気を供給し、それによって、ウェハ30上のEUVフォトレジスト層31の表面全体に水分吸着によって均一な厚さの水膜32を形成するステップ;
その後、気体供給システム12を閉じ、EUV光源110をオンにすると、放出されるEUV露光ビームが、まず、EUV光源110に対応するEUV照明モジュール111の伝達によってEUVマスクテーブル112のEUVマスク20上に入射され、再び、EUVマスク20で反射された後、EUV光源110に対応するEUV投影モジュール113に入射され、このEUV投影モジュール113は水膜32を透過して、ビームをEUVウェハステージ114上のウェハ30のEUVフォトレジスト層31のターゲット領域にフォーカシングして、1回のEUV露光を完成し、その後、EUVウェハステージ114をステップオンして、EUVフォトレジスト層31の各ターゲット領域のEUV露光を完成するステップ;を含む。
Claims (19)
- EUVフォトレジスト層が形成されているウェハを提供するステップ;
前記EUVフォトレジスト層の表層が親水性表層になるように、DUV光源を用いて、前記EUVフォトレジスト層の表層をDUV露光するステップ;
前記EUVフォトレジスト層の親水性表層に水蒸気を供給し、且つ供給された前記水蒸気の少なくとも一部が前記EUVフォトレジスト層の親水性表層上で凝縮されて一層の水膜を形成するステップ;
EUV光源を用いて、EUVマスク上のパターンを前記水膜を透過して前記親水性表層の下方のEUVフォトレジスト層に露光するステップ;
を含む、ことを特徴とするEUVリソグラフィ方法。 - 前記親水性表層の厚さが2nm未満である、ことを特徴とする請求項1に記載のEUVリソグラフィ方法。
- DUV露光の波長が193nm~248nmであり、露光量が1mJ/cm2未満である、ことを特徴とする請求項1に記載のEUVリソグラフィ方法。
- 前記EUVフォトレジスト層の表層を少なくとも1回DUV露光をし、且つ毎回DUV露光する時間が5秒~10秒である、ことを特徴とする請求項1に記載のEUVリソグラフィ方法。
- 毎回前記DUV露光が終わった後、または全ての回数のDUV露光が完成し終わった後に、前記EUVフォトレジスト層の表層をプラズマ処理して、前記親水性表面の親水性を増強する、ことを特徴とする請求項4に記載のEUVリソグラフィ方法。
- 前記プラズマ処理に用いられるプラズマは、N、O、Hの少なくとも一つを含む、ことを特徴とする請求項5に記載のEUVリソグラフィ方法。
- 前記プラズマ処理の工程条件が、10mTorr~100mTorrの工程圧力を含む、ことを特徴とする請求項5に記載のEUVリソグラフィ方法。
- 脱イオン水が混合されている所望の湿度の担体気体流で、前記EUVフォトレジスト層の親水性表面に水蒸気を提供する、ことを特徴とする請求項1に記載のEUVリソグラフィ方法。
- 前記担体気体流が、窒素および/または不活性気体を含む、ことを特徴とする請求項8に記載のEUVリソグラフィ方法。
- 前記所望の湿度が少なくとも60%である、ことを特徴とする請求項8に記載のEUVリソグラフィ方法。
- 前記水膜の厚さが、少なくともλ/2nナノメートルであり、ここで、λは、EUV光源の波長であり、nは水の屈折率である、ことを特徴とする請求項1に記載のEUVリソグラフィ方法。
- DUV光源を備えるDUV露光システム、EUV光源を備えるEUV露光システム、および前記EUV露光システムの外周に配置された気体供給システムを含み、
前記DUV露光システムは、前記EUVフォトレジスト層の表層が親水性表層になるように、前記DUV光源を用いて対応するウェハ上のEUVフォトレジスト層の表層をDUV露光するために用いられ;
前記気体供給システムは、前記EUVレジスト層の親水性表層に水蒸気を供給し、且つ供給された前記水蒸気の少なくとも一部が前記フォトレジスト層の親水性表層で凝縮されて一層の水膜を形成するようにするために用いられ;
前記EUV露光システムは、前記EUV光源を用いてEUVマスク上のパターンが前記水膜を透過して前記親水性表層の下方のEUVフォトレジスト層上に露光されるようにするために用いられる、ことを特徴とするEUVリソグラフィ装置。 - 前記気体供給システムは、脱イオン水が混合されている所望の湿度の担体気体流を利用して、前記ウェハ上のEUVフォトレジスト層の親水性層に水蒸気を供給し、且つ、前記気体供給システムは、DUV露光中およびEUV露光中に全部閉じられている、ことを特徴とする請求項12に記載のEUVリソグラフィ装置。
- 前記気体供給システムで供給される担体気体流が、窒素および/または不活性気体を含む、ことを特徴とする請求項13に記載のEUVリソグラフィ装置。
- 前記所望の湿度が少なくとも60%である、ことを特徴とする請求項13に記載のEUVリソグラフィ装置。
- 前記DUV露光システムの外周または前記EUV露光システムの外周に配置されたプラズマ処理システムをさらに含み、前記プラズマ処理システムは、前記DUV光源を用いて前記EUVフォトレジスト層の表層にDUV露光を行った後、且つ、前記気体供給システムが水蒸気を供給する前に、前記親水性表層をプラズマ処理して、前記親水性表層の親水性を増強させる、ことを特徴とする請求項12~15のいずれか一項に記載のEUVリソグラフィ装置。
- 前記プラズマ処理システムで供給されるプラズマは、N、O、Hの少なくとも一つを含む、ことを特徴とする請求項16に記載のEUVリソグラフィ装置。
- 前記DUV露光システムはDUVウェハステージを有し、前記EUV露光システムはEUVウェハステージを有し、前記EUVリソグラフィ装置はデュアルウェハステージリソグラフィ機械であり、前記DUVウェハステージと前記EUVウェハステージの中の一つのウェハステージが露光操作を行う間に、もう一つのウェハステージはローディング、アライメントまたはアンローディングを含む非露光操作を行う、ことを特徴とする請求項12~15のいずれか一項に記載のEUVリソグラフィ装置。
- 前記DUV露光システムはDUVウェハステージを有し、前記EUV露光システムはEUVウェハステージを有し、前記EUVリソグラフィ装置はデュアルウェハステージリソグラフィ機械であり、前記DUVウェハステージと前記EUVウェハステージの中の一つのウェハステージが露光操作を行う間に、もう一つのウェハステージはローディング、アライメントまたはアンローディングを含む非露光操作を行う、ことを特徴とする請求項17に記載のEUVリソグラフィ装置。
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---|---|---|---|---|
JP2005250511A (ja) * | 2003-02-20 | 2005-09-15 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 液浸露光プロセス用レジスト保護膜形成用材料、該保護膜形成材料による保護膜を有するレジスト膜、および該保護膜を用いたレジストパターン形成方法 |
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WO2009022504A1 (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-19 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | 微細パターン形成方法及び被覆膜形成用材料 |
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