JP2023137395A - 半導体装置及び半導体製造装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】貼合プロセスに起因する製造歩留りや品質の低下を抑制することを可能にした半導体装置を提供する。【解決手段】実施形態の半導体装置1は、略円形状の半導体基板2に設けられた第1の金属パッド5と、第1の金属パッド5の少なくとも一部に接続された第1の回路と、上面視で第1の回路を囲うように、半導体基板2の略円形の外周に沿って設けられた第1の金属リング16とを備える第1のデバイス構成部と、第1の金属パッド5と接合された第2の金属パッド8と、第2の金属パッド8の少なくとも一部に接続された第2の回路と、第1の金属リング16と接合された第2の金属リング17とを備え、第1のデバイス構成部に貼合された第2のデバイス構成部とを具備する。接合された第1の金属リング16と第2の金属リング17とは、周辺シールリング18を構成している。【選択図】図1

Description

本発明の実施形態は、半導体装置及び半導体製造装置に関する。
半導体装置の高密度化や装置面積の有効活用等を図るために、例えばメモリセルを有する半導体基板と、CMOS等の周辺回路を有する半導体基板とを、各半導体基板にそれぞれ設けられた金属パッド同士を接合しつつ貼り合せる貼合プロセスが適用されている。貼合プロセスを適用した貼合基板を具備する半導体装置において、半導体基板同士の外周部分の貼り合わせが不十分であると、後工程で半導体基板間に剥がれが生じたり、さらに半導体基板に欠損が生じる等の課題がある。そこで、半導体基板同士の外周部分の貼り合わせ性を向上させ、半導体装置の品質や製造歩留りを高めることが求められている。
特許第6212720号 特開平11-261000号公報 米国特許第10790240号明細書 特開2020-092146号公報
本発明の解決しようとする課題は、貼合プロセスに起因する製造歩留りや品質の低下を抑制することを可能にした半導体装置及び半導体製造装置を提供することにある。
実施形態の半導体装置は、略円形状の半導体基板に設けられた第1の金属パッドと、前記第1の金属パッドの少なくとも一部に接続された第1の回路と、上面視で前記第1の回路を囲うように、前記半導体基板の略円形の外周に沿って設けられた第1の金属リングとを備える第1のデバイス構成部と、前記第1の金属パッドと対応するように設けられ、前記第1の金属パッドと接合された第2の金属パッドと、前記第2の金属パッドの少なくとも一部に接続された第2の回路と、前記第1の金属リングと対応するように設けられ、前記第1の金属リングと接合された第2の金属リングとを備え、前記第1のデバイス構成部に貼合された第2のデバイス構成部とを具備し、接合された前記第1の金属リングと前記第2の金属リングとは、周辺シールリングを構成している。
実施形態の半導体装置を示す断面図である。 実施形態の半導体装置の最終構造を示す断面図である。 図1に示す半導体装置の一方のデバイス構成部を示す平面図である。 図1に示す半導体装置の一部を拡大して示す断面図である。 図4に示す半導体装置の第1及び第2の金属リングを拡大して示す断面図である。 実施形態の半導体装置の製造工程を示す断面図である。 実施形態の半導体装置の製造工程に用いられる半導体製造装置を示す平面図である。 図7に示す半導体製造装置の正面図である。 実施形態の半導体装置を用いて作製した半導体チップの構成例を示す断面図である。
以下、実施形態の半導体装置及び半導体製造装置について、図面を参照して説明する。なお、各実施形態において、実質的に同一の構成部位には同一の符号を付し、その説明を一部省略する場合がある。図面は模式的なものであり、厚さと平面寸法との関係、各部の厚さの比率等は現実のものとは異なる場合がある。説明中の上下等の方向を示す用語は、特に明記が無い場合には後述する第1の半導体基板の金属パッドの形成面を上とした場合の相対的な方向を示し、重力加速度方向を基準とした現実の方向とは異なる場合がある。
図1及び図2は実施形態の半導体装置1を示す断面図、図3は実施形態の半導体装置1における一方のデバイス構成部を示す平面図である。図1は貼合基板を構成する2つの半導体基板のうちの一方をバックグラインドや薬液処理により薄厚化する前段階の半導体装置1を示し、図2は一方の半導体基板をバックグラインドや薬液処理により薄厚化した後段階の半導体装置1を示している。
図1に示す半導体装置1は、第1の半導体基板2と第2の半導体基板3とを備えている。第1及び第2の半導体基板2、3は、円形状(円板状)のいわゆる半導体ウェハである。半導体ウェハは外周にノッチが設けられている場合があり、半導体ウェハの円形の形状とは真円に限らず、ノッチを有するような場合の形状を含むものである。すなわち、半導体ウェハの形状は略円形であればよく、このウェハ形状は真円に限らず、ノッチを有するような場合の略円形の形状を含むものである。第1の半導体基板2と第2の半導体基板3とは貼合されており、貼合基板4を形成している。すなわち、半導体装置1は、貼合基板4を備えている。符号Sは第1の半導体基板2と第2の半導体基板3との貼合面を示している。貼合面Sは便宜的に示したものであり、第1の半導体基板2と第2の半導体基板3とは一体化されているため、視認可能な接合界面は存在していない場合がある。ただし、貼合基板4の断面を解析することにより第1の半導体基板2と第2の半導体基板3とが貼合されていることは判別できる。
第1の半導体基板2は、複数の第1の金属パッド5を有している。第1の金属パッド5には、第1の配線層6が接続されている。第1の金属パッド5及び第1の配線層6は、層間絶縁膜としての第1の絶縁層7内に埋め込まれている。第2の半導体基板3は、複数の第2の金属パッド8を有している。第2の金属パッド8には、第2の配線層9が接続されている。第2の金属パッド8及び第2の配線層9は、層間絶縁膜としての第2の絶縁層10内に埋め込まれている。ここでは、第1及び第2の金属パッド5、8に第1及び第2の配線層6、9が接続された状態を示している。すなわち、図1は第1及び第2の配線層6、9が接続された第1及び第2の金属パッド5、8を示している。後述するように、第1及び第2の金属パッド5、8の一部は配線層に接続されていないダミーパッドであってもよい。また、第1及び第2の配線層6、9は後述するビアプラグを含んでいてもよい。
第1の半導体基板2は、例えばCMOS等のトランジスタや受動素子等の周辺回路(図示せず)と、それら周辺回路と第1の金属パッド5の少なくとも一部とを接続する配線層とを含む第1の回路(図示せず)が設けられた第1の回路領域12を有している。第1の回路領域12は第1の半導体基板2の基板部分11上に設けられている。第2の半導体基板3は、例えば複数のイメージセンサの画素を含む画素アレイや、複数のメモリセルを含むメモリセルアレイ、ソース線、複数のビット線、第2の金属パッド8の少なくとも一部に接続された配線層等を含む第2の回路(図示せず)が設けられた第2の回路領域14を有している。第2の回路領域14は、第2の半導体基板3の基板部分13の下に設けられている。第1の半導体基板2は例えば制御回路チップを構成し、第2の半導体基板3は例えばアレイチップを構成する。
第2の半導体基板3は、図2に示すように、少なくとも第2の回路領域14が残存するように貼合基板4にバックグラインドや薬液処理を施して薄厚化される。その際、第2の半導体基板3の基板部分13は残存していなくてもよいし、残存していてもよい。図2に示す半導体装置1において、第1の金属パッド5や第1の回路領域12を有する第1の半導体基板2は、第1のデバイス構成部となる。また、第2の金属パッド8や第2の回路領域14を有し、基板部分13が削除された第2の半導体基板3、言い換えると基板部分13が削除された第2の半導体基板3の残存部分は、第2のデバイス構成部となる。
図3は貼合基板4を具備する半導体装置1において、貼合前の一方の半導体基板(第1の半導体基板2又は第2の半導体基板3)を示す平面図である。図3に示すように、第1の半導体基板2は、複数のチップ領域15Aを有している。同様に、第2の半導体基板3も複数のチップ領域15Bを有している。図3では図示を省略しているが、第1の半導体基板2における各チップ領域15Aは、上記したように第1の金属パッド5及び第1の配線層6と、CMOS等のトランジスタや受動素子等の周辺回路や配線層等を含む第1の回路を有している。第2の半導体基板3における各チップ領域15Bは、上記したように第2の金属パッド8及び第2の配線層9と、画素アレイやメモリセルアレイと配線層等を含む第2の回路を有している。
すなわち、第1及び第2の半導体基板2、3における各チップ領域15A、15Bの表面には、それぞれ第1及び第2の金属パッド5、8が露出するように設けられている。各チップ領域15A、15Bにおける第1及び第2の金属パッド5、8とその周囲に設けられた第1及び第2の絶縁層7、10は、それぞれ接合されている。これらによって、複数の第1のチップ領域15Aと複数の第2のチップ領域15Bは、それぞれ互いに貼合されている。これら複数のチップ領域15A、15Bは、貼合基板4をダイシングすることにより複数の半導体チップを構成する。
さらに、第1及び第2の半導体基板2、3の外周領域には、それぞれ第1及び第2の半導体基板2、3の外周に沿って、上面視で第1の回路領域12内の第1の回路(及び第2の回路領域14内の第2の回路)を囲うように第1及び第2の金属リング16、17が設けられている。第1及び第2の金属リング16、17は、複数のチップ領域15A、15Bを有するチップ形成領域を囲うように半導体基板2、3の外周に沿って設けられている。第1及び第2の金属リング16、17は、複数の配線層に対して後述するリング状のパターン露光処理や金属材料の埋め込み処理を繰り返し施して形成した複数のリング状の金属パターンが積層された構造を有していてもよい。図1及び後述する図4は、第1の半導体基板2及び第2の半導体基板3が対向する方向(後述するZ方向)に複数のリング状の金属パターンを積層し、第1及び第2の半導体基板2、3の対向面(第1及び第2の絶縁層7、10の表面)から第1及び第2の回路領域12、14までZ方向に延伸された第1及び第2の金属リング16、17を示している。
第1の金属パッド5と第2の金属パッド8、及び第1の金属リング16と第2の金属リング17は、第1の半導体基板2と第2の半導体基板3との貼合に寄与する。また、第1の絶縁層7と第2の絶縁層10も、第1の半導体基板2と第2の半導体基板3との貼合に寄与する。第1及び第2の絶縁層7、10には、酸化珪素(SiO)、窒化珪素(SiN)、炭化珪素(SiC)、酸窒化珪素(SiON)、窒素含有炭化珪素(SiCN)等の無機絶縁材料が用いられるが、それら以外の絶縁材料からなるものであってもよい。第1及び第2の絶縁層7、10は、1種類もしくは複数の材料を積層した構造であってもよい。第1及び第2の金属パッド5、8と第1及び第2の金属リング16、17には、第1及び第2の絶縁層7、10に用いられる無機絶縁材料より熱膨張率が高い金属材料、例えば銅や銅合金等が用いられるが、それら以外の金属材料からなるものであってもよい。
第1の半導体基板2の貼合面に露出させた第1の金属パッド5の表面と第2の半導体基板3の貼合面に露出させた第2の金属パッド8の表面、及び第1の金属リング16の表面と第2の金属リング17の表面とを、金属間の元素拡散、ファンデルワールス力、体積膨張(熱膨張)による金属結合等により直接接合すると共に、第1の半導体基板2の貼合面に露出させた第1の絶縁層7の表面と第2の半導体基板3の貼合面に露出させた第2の絶縁層10の表面とを、絶縁物間の元素拡散、ファンデルワールス力、脱水縮合やポリマー化等の化学反応等により直接接合する。これらによって、第1の半導体基板2と第2の半導体基板3とは貼合されている。
例えば、第1及び第2の絶縁層7、10にSiO膜等を適用した場合、第1及び第2の絶縁層7、10の表面を窒素(N)プラズマ等により活性化する。次いで、脱イオン化水等で第1及び第2の絶縁層7、10の表面を洗浄し、それらの表面にOH基(Si-OH結合)を付与する。続いて、第1の半導体基板2と第2の半導体基板3とを位置合わせして積層する。この際、第1の絶縁層7の表面と第2の絶縁層10の表面との間の水素結合により接合する。この後、例えば300~400℃の温度で1時間程度のアニール処理を施すことによって、銅の熱膨張により銅パッド間及び銅リング間を金属接合させると共に、SiO膜間を脱水縮合により共有結合させる。これらによって、第1の半導体基板2と第2の半導体基板3とを強固に貼合させることができる。
第1の半導体基板2と第2の半導体基板3とを貼合するにあたって、第1及び第2の半導体基板2、3は、第1及び第2の金属パッド5、8と第1及び第2の金属リング16、17が露出する表面を平坦化するために、例えば化学機械研磨(Chemical Mechanical Polishing:CMP)により加工される。第1の半導体基板2と第2の半導体基板3とを外周まで貼合するためには、第1及び第2の半導体基板2、3の表面をそれらの外周まで高精度に平坦化することが望まれるが、貼合工程の前工程での成膜プロセスやCMPプロセス等に起因して、第1及び第2の半導体基板2、3の外周まで平坦化することが困難であり、外周の角部が丸まってしまう場合がある。このような第1の半導体基板2と第2の半導体基板3とを貼合すると、外周部まで十分に貼合することができないおそれがある。第1及び第2の半導体基板2、3の外周部の貼り合わせが不十分であると、後工程で第1及び第2の半導体基板2、3間に剥がれが生じたり、さらに貼合基板4に欠損が生じるおそれがある。
そこで、実施形態の半導体装置1(貼合基板4)においては、第1及び第2の半導体基板2、3の外周部間の接合性を高めるために、第1及び第2の半導体基板2、3の略円形の外周に沿って、それぞれ第1及び第2の金属リング16、17を形成し、これら第1及び第2の金属リング16、17を例えば熱膨張させて接合している。従来の貼合基板の外周部のように、表面に露出しているのが第1及び第2の絶縁層7、10のみでは平坦化が不十分となるだけでなく、そのような第1及び第2の絶縁層7、10同士では十分な接合が期待できない。これに対して、第1及び第2の金属リング16、17をそれぞれ熱膨張させて接合することによって、第1及び第2の半導体基板2、3の外周部間の接合性を高めることが可能になる。接合された第1及び第2の金属リング16、17は、周辺シールリング18を構成している。
第1及び第2の半導体基板2、3の外周部に沿って第1及び第2の金属リング16、17を形成するにあたって、第1及び第2の金属リング16、17は第1及び第2の半導体基板2、3の外周面に露出させることなく、第1及び第2の半導体基板2、3の外周から内側に向けて離れて位置するように設けられていることが好ましい。図4は図1に示す半導体装置1の一部を拡大して示す断面図である。なお、図4はダミー用の第1及び第2の金属パッド5、8を示しているため、第1及び第2の配線層6、9は図示されていない。ただし、第1及び第2の金属パッド5、8の少なくとも一部は図1に示したように、それぞれ第1及び第2の配線層6、9に接続されている。図4は前述したように、第1の半導体基板2と第2の半導体基板3が対向する方向(Z方向)に複数のリング状の金属パターンを積層し、第1及び第2の半導体基板2、3の対向面(第1及び第2の絶縁層7、10の表面)から第1及び第2の回路領域12、14までZ方向に延伸された第1及び第2の金属リング16、17を示している。
図4に示すように、第1及び第2の金属リング16、17は第1及び第2の半導体基板2、3の外周から所定の距離Lだけ内側に位置するように設けられていることが好ましい。これによって、第1及び第2の絶縁層7、10に対する第1及び第2の金属リング16、17の形成性を高めることができる。後述する半導体装置1の製造工程に示すように、第1及び第2の金属リング16、17は第1及び第2の絶縁層7、10上に形成されたレジスト膜を露光、現像して凹部を形成し、凹部内に銅等の金属材料を充填することにより形成される。この際、第1及び第2の絶縁層7、10上に形成されたレジスト膜の最外周まで露光してしまうと、第1及び第2の金属リング16、17の充填部となる凹部を形成することができない。これに対して、第1及び第2の金属リング16、17を外周から所定の距離Lだけ内側に位置するように設けることによって、第1及び第2の金属リング16、17の充填部となる凹部を良好に形成することができる。すなわち、第1及び第2の金属リング16、17を良好に形成することが可能になる。
第1及び第2の半導体基板2、3の外周部に沿って形成する第1及び第2の金属リング16、17の幅は、それぞれ異ならせるようにしてもよい。図5は図4に示す半導体装置1の第1及び第2の金属リング16、17を拡大して示す断面図である。図5に示すように、第2の金属リング17の幅をW2としたとき、第1の金属リング16の幅W1をそれより広くしてもよい。例えば、第2の金属リング17の幅W2を1μm以上10μm以下としたとき、第1の金属リング16の幅W1は3μm以上30μm以下の範囲内で、W1>W2を満足するように設定することが好ましい。これによって、第1の金属リング16と第2の金属リング17との位置合わせ精度が向上し、それらの接合性を高めることができる。この際、幅W1を広く設定する第1の金属リング16は、図5に示すように、接合部分の幅W1のみを広くしてもよい。なお、図5では第1の金属リング16の幅W1を広く設定しているが、逆に第2の金属リング17の幅W2を広く設定してよい。
次に、実施形態の半導体装置1の製造工程について、図6を参照して説明する。なお、図6は第1の半導体基板2及び第2半導体基板3の一方のみを示している。これらは、CMOS等のトランジスタや受動素子等の周辺回路等を含む第1の回路を有しているか、あるいは画素アレイやメモリセルアレイ等を含む第2の回路を有しているのかについて違うものの、第1及び第2の金属パッド5、8と第1及び第2の金属リング16、17の形成工程は実質的に同じである。従って、同様な工程で第1の金属パッド5と第1の金属リング16を有する第1の半導体基板2と第2の金属パッド8と第2の金属リング17を有する第2の半導体基板3とを作製し、それらを貼合することにより半導体装置1が製造される。図6は第1の半導体基板2における第1の金属リング16の形成工程を示している。
なお、図6はダミー用の第1の金属パッド5を示しているため、第1の配線層6は図示されていない。ただし、第1の金属パッド5の少なくとも一部は図1に示したように、第1の配線層6に接続されている。さらに、図6は最上層の金属パッド5が形成される層に対して露光処理及び金属材料の埋め込み処理を施して形成された、第1の回路領域12とは接続されていない第1の金属リング16を示している。第1の金属リング16(及び第2の金属リング17)の形状は、図4に示した形状、及び図6に示した形状のいずれでもよい。図5に示した幅が異なる2つ以上の部分を有する第1の金属リング16(及び第2の金属リング17)は、金属パッド5(及び金属パッド8)を形成する層、並びに絶縁層7(及び絶縁層10)内に設けられる複数の配線層に対して、リング状のパターン露光処理や金属材料の埋め込み処理を繰り返し施して形成された複数のリング状の金属パターンをZ方向に積層した構造を有することが好ましい。
まず、図6(A)に示すように、第1の半導体基板2における基板部分11上に設けられた第1の絶縁層7上に感光性有機材料等からなるレジスト膜19を形成する。図6(B)に示すように、第1の金属リング16の形成位置に対応する部分を露光して、第1の金属リング16用の露光領域E1を形成する。露光領域E1の形成にあたっては、図7及び図8に示すような周辺露光装置100が用いられる。図7及び図8は実施形態の半導体製造装置としての周辺露光装置100を示す図であって、図7は周辺露光装置100の平面図、図8は正面図である。
周辺露光装置100は図7及び図8に示すように、被処理基板101としての半導体基板の支持部102と、被処理基板101を支持する支持部102を回転させる回答機構103と、周辺シールリング用アパーチャ(リング露光用アパーチャ)、周辺露光用アパーチャ105と、周辺シールリング用アパーチャ104と周辺露光用アパーチャ105とを切り替える切替機構106と、光源107と、光学ユニット108とを備えている。光学ユニット108は、光源107から射出された光を被処理基板101としての半導体基板に照射する導光部材やレンズ等を有している。光源107には、露光に応じた紫外線(UV)光源、極端紫外線(Extreme Ultraviolet:EUV)光源、エキシマレーザ光源等が用いられる。
周辺シールリング用アパーチャ104は、金属リング16の形成に用いられるものであって、ホール状の第1の開口パターン109を有している。第1の開口パターン109は、金属リング16の幅に応じて露光幅が変えられるように、開口パターン径を変化させることが可能なように構成されている。周辺露光用アパーチャ105は、金属リング16の形成とは別に、被処理基板101のエッジカット処理に用いられるものであって、被処理基板101の周辺部におけるレジストを除去するように、被処理基板101の最外周まで露光することが可能なスリット状の第2の開口パターン110を有している。このような周辺露光装置100を用いることによって、被処理基板101のエッジカット処理とは別に、被処理基板101の外周に沿ってリング状のパターン露光処理を施し、外周から所定の距離Lだけ内側に位置する金属リング16のための露光領域E1を形成することができる。エッジカット処理に適用する場合には、切替機構106により周辺シールリング用アパーチャ104及び周辺露光用アパーチャ105を矢印Aの方向に移動させて切り替えて、周辺露光装置100が使用される。
次に、図6(C)に示すように、金属パッド5の形成位置に対応する部分を露光して、金属パッド5用の露光領域E2を形成する。図6(D)に示すように、金属リング16用の露光領域E1及び金属パッド5用の露光領域E2を現像処理することによって、レジスト膜19に金属リング16用のリング状のパターンホールPH1及び金属パッド5用の略矩形状のパターンホールPH2を形成する。次いで、図6(E)に示すように、パターンホールPH1、PH2を有するレジスト膜19をマスクとして、絶縁層7をドライエッチング又はウェットエッチングによりエッチング処理し、金属リング16用の凹部H1及び金属パッド5用の凹部H2を形成する。レジスト膜19を除去した後、図6(F)に示すように、銅や銅合金等の金属材料を凹部H1、H2内に埋め込みつつ、絶縁層7上に金属膜20を形成する。この後、図6(G)に示すように、金属膜20をCMP等により研磨加工することによって、凹部H1、H2内に埋め込まれた金属材料を除いて、不要な金属膜20を除去する。
上述した製造工程を適用することによって、図6(G)に示すように、凹部H1内に金属材料を埋め込んで形成された第1の金属リング16と凹部H2内に金属材料を埋め込んで形成された第1の金属パッド5とを有する第1の半導体基板2を作製する。同様な工程を適用することによって、凹部H1内に金属材料を埋め込んで形成された第2の金属リング17と凹部H2内に金属材料を埋め込んで形成された第2の金属パッド8とを有する第2の半導体基板3を作製する。
次に、第1の金属パッド5、第1の絶縁層7、及び第1の金属リング16の表面が露出された第1の半導体基板2と、第2の金属パッド8、第2の絶縁層10、及び第2の金属リング17の表面が露出された第2の半導体基板3とを貼合する。貼合プロセスは従来から公知の条件より実施される。例えば、第1の半導体基板2と第2の半導体基板3とを機械的圧力により貼り合わせる。これによって、第1の絶縁層7と第2の絶縁層10とを接合・一体化する。次いで、第1の半導体基板2及び第2の半導体基板3に、例えば300~400℃の温度で1時間程度のアニール処理を施す。これによって、第1の金属パッド5と第2の金属パッド8、及び第1の金属リング16と第2の金属リング17とが接合され、第1及び第2の金属パッド5、8間が電気的に接続されると共に一体化される。
このようにして、第1の半導体基板2と第2の半導体基板3とを貼合した貼合基板4を作製する。第1の金属リング16と第2の金属リング17は、接合・一体化されて周辺シールリング18を構成する。第1の半導体基板2及び第2の半導体基板3の外周部を周辺シールリング18で一体化することによって、後工程における第1及び第2の半導体基板2、3間の剥がれや貼合基板4の欠損等を抑制することができる。従って、貼合基板4を備える半導体装置1の製造歩留りや品質を向上させることが可能になる。
次に、上述した実施形態の半導体装置1を用いて作製される半導体チップの一例について、図9を参照して説明する。図9に示す半導体チップ21は、第1の回路領域を有する第1の半導体基板2の一部からなる制御回路チップ22と、第2の回路領域を有する第2の半導体基板3の一部からなるアレイチップ23とを備えている。このような半導体チップ21は、実施形態の半導体装置1を各チップ領域15A、15Bに沿って切断して個片化することで作製される。制御回路チップ22とアレイチップ23とは貼合されている。
アレイチップ23は、複数のメモリセルを含むメモリセルアレイ24と、メモリセルアレイ24上の絶縁膜25と、メモリセルアレイ24下の層間絶縁膜26とを備えている。回路チップ22は、アレイチップ23下に設けられている。符号Sは、アレイチップ23と制御回路チップ22との貼合面を示す。制御回路チップ22は、層間絶縁膜27と、層間絶縁膜27下の基板28とを備えている。基板28は、例えばシリコン基板等の半導体基板である。絶縁膜25、26、27は、例えば酸化珪素膜、窒化珪素膜、酸窒化珪素膜等であり、1種類又は複数の材料を混合又は積層した構造であってもよい。
図9は、基板28の表面に平行で互いに垂直なX方向及びY方向と、基板28の表面に垂直なZ方向とを示している。ここでは、+Z方向を上方向として取り扱い、-Z方向を下方向として取り扱う。例えば、アレイチップ23において第2の回路領域として機能するメモリセルアレイ24は基板28の上方に位置しており、基板28はメモリセルアレイ24の下方に位置している。-Z方向は、重力方向と一致していてもよいし、一致していなくてもよい。
アレイチップ23は、メモリセルアレイ24内の電極層として、複数のワード線WLと図示を省略した選択ゲート線とを備えている。図9はメモリセルアレイ24の階段構造部を示している。ワード線WLを貫通する柱状部CLは、一端がソース線BGと電気的に接続され、他端がビット線BLと電気的に接続され、柱状部CLとワード線WLとの交差部にメモリセルが形成されている。
制御回路チップ22は、第1の回路領域の一部として機能する複数のトランジスタ29を備えている。各トランジスタ29は、基板28上にゲート絶縁膜を介して設けられたゲート電極30と、基板28内に設けられた不図示のソース拡散層及びドレイン拡散層とを備えている。制御回路チップ22はさらに、これらのトランジスタ29のソース拡散層又はドレイン拡散層上に設けられた複数のプラグ31と、これらのプラグ31上に設けられ、複数の配線を含む配線層32と、配線層32上に設けられ、複数の配線を含む配線層33とを備えている。制御回路チップ22はさらに、配線層33上に設けられた複数のビアプラグ34と、絶縁膜27内でビアプラグ34上に設けられた複数の金属パッド5とを備えている。以上のような制御回路チップ22は、アレイチップ23を制御する制御回路(論理回路)として機能する。
アレイチップ23は、絶縁膜26内で金属パッド5上に設けられた複数の金属パッド8と、金属パッド8上に設けられた複数のビアプラグ35と、ビアプラグ35上に設けられ、複数の配線を含む配線層36とを備えている。各ワード線WLや各ビット線BLは、配線層36内の対応する配線と電気的に接続されている。アレイチップ23はさらに、絶縁膜26内や絶縁膜25内に設けられ、配線層36上に設けられたビアプラグ37と、絶縁膜25上やビアプラグ37上に設けられた金属パッド38とを備えている。
金属パッド38は図9に示す半導体チップ21の外部接続パッドとして機能し、ボンディングワイヤ、はんだボール、金属バンプ等を介して実装基板や他の装置に接続可能である。アレイチップ23はさらに、絶縁膜25および金属パッド38上に形成されたパッシベーション膜39を備えている。パッシベーション膜39は、金属パッド38の上面を露出させる開口部Pを有しており、開口部Pは例えば金属パッド38にボンディングワイヤを接続するために使用される。
なお、上述した各実施形態の構成は、それぞれ組合せて適用することができ、また一部置き換えることも可能である。ここでは、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図するものではない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施し得るものであり、発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の省略、置き換え、変更等を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同時に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
1…半導体装置、2…第1の半導体基板、3…第2の半導体基板、4…貼合基板、5…第1の金属パッド、6…第1の配線層、7…第1の絶縁層、8…第2の金属パッド、9…第2の配線層、10…第2の絶縁層、11,13…基板部分、12…第1の回路領域、14…第2の回路領域、16…第1の金属リング、17…第2の金属リング、18…周辺シールリング、101…周辺露光装置、102…支持部、104…周辺シールリング用アパーチャ、105…周辺露光用アパーチャ、106…切替機構、107…光源、109…第1の開口パターン、110…第2の開口パターン。

Claims (5)

  1. 略円形状の半導体基板に設けられた第1の金属パッドと、前記第1の金属パッドの少なくとも一部に接続された第1の回路と、上面視で前記第1の回路を囲うように、前記半導体基板の略円形の外周に沿って設けられた第1の金属リングとを備える第1のデバイス構成部と、
    前記第1の金属パッドと対応するように設けられ、前記第1の金属パッドと接合された第2の金属パッドと、前記第2の金属パッドの少なくとも一部に接続された第2の回路と、前記第1の金属リングと対応するように設けられ、前記第1の金属リングと接合された第2の金属リングとを備え、前記第1のデバイス構成部に貼合された第2のデバイス構成部とを具備し、
    接合された前記第1の金属リングと前記第2の金属リングとは、周辺シールリングを構成している、半導体装置。
  2. 前記第1のデバイス構成部は、それぞれ前記第1の金属パッド及び前記第1の回路を有する複数の第1のチップ領域を備え、
    前記第2のデバイス構成部は、それぞれ前記第2の金属パッド及び前記第2の回路を有する複数の第2のチップ領域を備え、
    前記複数の第1のチップ領域と前記複数の第2のチップ領域は、接合された前記第1の金属パッド及び前記第2の金属パッドにより貼合されており、
    前記第1の金属リング及び第2の金属リングは、それぞれ貼合された前記複数の第1及び第2のチップ領域を囲うように設けられている、請求項1に記載の半導体装置。
  3. 前記第1の金属リングは、前記半導体基板の外周から内側に向けて離れた位置に設けられている、請求項1又は請求項2に記載の半導体装置。
  4. ホール状の第1の開口パターンを有するリング露光用アパーチャと、
    スリット状の第2の開口パターンを有する周辺露光用アパーチャと、
    前記リング露光用アパーチャと前記周辺露光用アパーチャとを切り替える切替機構と、
    前記第1の開口パターン又は前記第2の開口パターンを介して、被処理基板に光を照射する光源と
    を具備する半導体製造装置。
  5. 前記リング露光用アパーチャは、前記第1の開口パターンの径を変化させることが可能なように構成されている、請求項4に記載の半導体製造装置。
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