JP2023129431A - ペリクルフレーム及びペリクルアセンブリ - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、2017年10月27日に出願されたEP出願第17198755.5号の優先権を主張する。これは援用により全体が本願に含まれる。
Claims (38)
- ペリクルを支持するためのペリクルフレームであって、
第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、
前記第1及び第2の表面の間に設けられた構造と、
を備え、前記第1及び第2の表面並びに前記構造は、それらの間に、前記フレームを形成する材料が存在しない少なくとも1つの体積を少なくとも部分的に画定する、ペリクルフレーム。 - 前記フレームの少なくとも1つの部分は、前記フレームの少なくとも1つの他の部分とは異なる断面プロファイルを有し得る、請求項1に記載のペリクルフレーム。
- 前記フレームの前記少なくとも1つの部分と前記少なくとも1つの他の部分とで、前記第1及び第2の表面の間に設けられている前記構造の形態及び/又は体積の量が異なる、請求項2に記載のペリクルフレーム。
- 前記体積は、少なくとも1つの空隙、空間、中空、ポケット、又はチャンバを画定するか又は含む、請求項1から3のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記体積は前記フレームの周縁部の少なくとも一部に延出している、請求項1から4のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記体積は空である、請求項1から5のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記体積は前記第1及び第2の表面の間でマトリックス状体積に構成されている、請求項1から6のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記構造は前記第1及び第2の表面を接続する少なくとも第1の壁を含む、請求項1から7のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記フレームは、前記第1の壁とは反対側の、前記第1及び第2の表面を接続する第2の壁を含み、前記体積は前記第1及び第2の表面を通って又は前記第1及び第2の表面の間に延出している、請求項8に記載のペリクルフレーム。
- 前記第1及び第2の表面並びに前記第1及び第2の壁は、前記フレームの側面の長さの少なくとも一部に沿って中空管を形成する、請求項9に記載のペリクルフレーム。
- 前記第1及び第2の表面並びに前記第1の壁は、前記フレームの側面の長さの少なくとも一部に沿ってI字形断面を形成する、請求項1から10のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記フレームの前記側面は、パターニングデバイスに直接取り付けられておらずパターニングデバイスに取り付け可能でもない自由側面である、請求項10又は11のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記フレームの前記側面はパターニングデバイスに取り付け可能に構成されている支持側面である、請求項10又は11のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記第1の表面及び前記第2の表面のうち少なくとも1つは連続的である、請求項1から13のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記第1の表面及び前記第2の表面のうち少なくとも1つは少なくとも1つのくぼみを有する、請求項1から14のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記フレームは、前記フレームをパターニングデバイスに取り付けるための少なくとも1つの係合機構を備える、請求項1から15のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記フレームの前記側面は支持側面であり、前記中空管は前記フレームの自由側面から前記係合機構まで延出している、請求項10に従属する場合の請求項16に記載のペリクルフレーム。
- 前記フレームは複数の係合機構を備え、各係合機構は、位置付けられている前記フレームの側面に対して垂直な方向からは外れて配向されている、請求項16又は17に記載のペリクルフレーム。
- 各係合機構は前記フレームの中心点と実質的に対向する、請求項16から18のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記係合機構は、前記係合機構の実質的に中心の位置で取り付け部材を着脱可能に固定できるように構成されている、請求項16から19のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記係合機構は、1対の第1の板バネと、前記第1の板バネにそれぞれ接続された1対の第2の板バネと、を備え、各板バネは概ね同一の方向に延出している、請求項16から20のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記第1の板バネと前記第2の板バネとの間に中間部が位置付けられている、請求項21に記載のペリクルフレーム。
- 前記第1の板バネ及び前記第2の板バネの長さは1.5:1から2.5:1の比を有する、請求項21から22のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記第1の板バネは弾性的に可撓性の係合アームを含み、前記2つの係合アームの間にビームが位置付けられ、前記ビームは前記係合機構の幅の半分にわたって延出している、請求項21から23のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- 前記ペリクルフレームはアルミニウム及び窒化アルミニウムのうち少なくとも1つから作製される、請求項1から24のいずれかに記載のペリクルフレーム。
- ペリクルを支持するためのペリクルフレームを製造する方法であって、
フレーム材料からペリクルフレームを形成することであって、前記フレームは、第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、前記第1及び第2の表面の間の構造と、を備える、ことと、
前記第1及び第2の表面の間に、フレーム材料が存在しない少なくとも1つの体積を形成することと、
を含む方法。 - 前記少なくとも1つの体積は、前記第1及び第2の表面の間でフレーム材料の少なくとも1つの体積を除去することによって形成される、請求項26に記載の方法。
- 前記方法は、前記フレームの剛性、前記フレームの曲げ剛性、及び/又は前記フレームのねじれ剛性に実質的に寄与しない前記フレームの部分において前記体積を形成することを含む、請求項26又は27に記載の方法。
- 前記フレーム材料はアルミニウム及び窒化アルミニウムのうち少なくとも1つから形成される、請求項26から29のいずれかに記載の方法。
- 請求項1から25のいずれかに記載のペリクルフレーム及びペリクルを備えるペリクルアセンブリ。
- ペリクル境界を更に備える、請求項30に記載のペリクルアセンブリ。
- 前記ペリクル境界及び前記ペリクルフレームは同一の材料である、請求項31に記載のペリクルアセンブリ。
- 前記ペリクル境界はアルミニウム及び窒化アルミニウムのうち少なくとも1つから作製される、請求項31から32に記載のペリクルアセンブリ。
- 前記ペリクルフレームはアルミニウム及び窒化アルミニウムのうち少なくとも1つから作製される、請求項30から33に記載のペリクルアセンブリ。
- 前記ペリクルフレームは係合機構を備える、請求項30から34のいずれか記載のペリクルアセンブリ。
- 前記係合機構を保持するためのブロックは前記ペリクルフレームと同一の材料から形成される、請求項35に記載のペリクルアセンブリ。
- 4つの係合機構を備えるペリクルフレームであって、各係合機構は前記フレームの中心点と実質的に対向する、ペリクルフレーム。
- 係合機構を備えるペリクルフレームであって、前記係合機構は、前記係合機構の実質的に中心で取り付け部材を着脱可能に固定できるように構成されている、ペリクルフレーム。
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