KR20070087968A - 프레임 휨 교정이 가능한 펠리클 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판디스플레이 제조용 노광 마스크에 장착되는 펠리클에 관한 것이다. 본 발명에 따른 펠리클은 펠리클 막과, 상기 펠리클 막이 부착된 적어도 네 변으로 이루어진 프레임과, 상기 프레임 표면에 형성되되 상기 프레임 변의 길이 방향과 대체로 평행한 홈과, 상기 홈에 탑재된 적어도 하나 이상의 교정용 활대 및, 상기 프레임의 휨 정도에 따라 상기 교정용 활대의 굽힘을 조절하는 굽힘 조절수단을 포함한다. 그러므로 본 발명에 따른 펠리클은 프레임의 휨을 교정할 수 있어 펠리클 막의 불균일한 수축을 억제하고 마스크의 유효 노광 면적이 줄어드는 것을 방지한다.
평판디스플레이, 노광, 펠리클, 프레임

Description

프레임 휨 교정이 가능한 펠리클{FRAME BENDING CORRECTABLE PELLICLE}
도 1 및 도 2는 종래 기술에 따른 펠리클에서 프레임의 휨 현상을 설명하는 사시도들,
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 펠리클의 프레임을 설명하기 위한 개략적인 평면도들,
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 펠리클을 구성하는 프레임의 평면도들 및 사시단면도,
도 8 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예를 설명하기 위한 평면도들,
도 11은 교정용 활대의 다른 예를 나타내는 평면도,
도 12 및 도 13은 교정용 활대의 또 다른 예를 나타내는 평면도들,
도 14는 교정용 활대의 또 다른 예를 나타내는 평면도,
도 15 및 도 16은 교정용 활대 굽힘 조절 나사의 배치를 나타내는 평면도들,
도 17 내지 도 19는 교정용 활대 구조와 이에 따른 교정용 활대 굽힘 조절 나사의 위치를 설명하기 위한 평면도들,
도 20 내지 도 22는 교정용 활대의 굽힘을 조절하는 수단의 다른 예를 설명하기 위한 평면도들,
도 23 내지 도 25는 교정용 활대의 굽힘을 조절하는 수단의 또 다른 예를 설 명하기 위한 평면도들,
도 26 및 도 27은 교정용 활대가 탑재되는 홈의 위치를 설명하기 위한 사시단면도들,
도 28 및 도 29는 본 발명의 다른 실시예에 따른 펠리클을 구성하는 프레임의 사시단면도들,
도 30 내지 도 32는 본 발명의 다른 실시예를 설명하기 위한 평면투시도들,
도 33은 본 발명의 다른 실시예에 따른 펠리클에서 교정용 활대 굽힘 조절수단의 다른 예를 설명하기 위한 평면투시도,
도 34 내지 도 36은 본 발명의 또 다른 실시예 중 대체로 곧은 교정용 활대를 이용하는 예를 설명하기 위한 평면도들,
도 37 내지 도 39는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 펠리클에서 끝부분이 굽은 활대를 이용하는 경우의 예를 도시하는 평면도들이다.
<도면의 주요 부호에 대한 간략한 설명>
100, 120, 130, 140, 150, 160: 프레임
200, 220, 230, 240: 홈
250, 260: 공동
280, 290: 고정 구조물
300, 310, 320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390, 400: 교정용 활대
500, 510, 520, 540, 550: 나사
본 발명은 LCD(Liquid Crystal Display)와 같은 평판디스플레이(flat panel display) 제조용 노광 마스크에 장착되는 펠리클(pellicle)에 관한 것이다.
최근 평판디스플레이 화면이 대형화됨에 따라 이들 제조에 이용되는 노광용 마스크 및 마스크에 장착되어 마스크를 이물질로부터 보호하는 펠리클의 대형화도 요구되고 있다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 일반적으로 펠리클은 직사각형 모양의 프레임(frame)(10)에 펠리클 막(20)을 부착함으로써 제작되는데, 펠리클이 대형화됨에 따라 펠리클 막(20)을 프레임(10)에 부착한 이후 펠리클 막(20)의 표면 장력에 의해 프레임(10)의 휨 현상이 발생한다. 특히, 프레임(10)의 장변(12')은 단변(14)에 비해 휨 정도가 심한데 이는 휨 정도가 대체로 변 길이의 4 제곱에 비례하기 때문이다. 이와 같이, 대형화 된 프레임(10)의 휨 현상 때문에 펠리클 막(20)이 불균일한 수축을 일으키거나 마스크의 유효 노광 면적이 감소된다.
이와 같은 문제점의 해결책 중 하나는, 일본 공개특허공보 2001-42507호에 공개된 바와 같이 장변이 바깥쪽으로 돌출된 프레임에 펠리클 막을 접착하여 프레임 장변이 안쪽으로 휘는 것을 억제하도록 하는 것이다. 그러나 상기 방법은 표면 장력에 의한 펠리클 막의 수축을 제어할 수 없으며, 또한 펠리클 막의 두께 또는 막의 특성에 따라 변화하는 표면 장력의 크기에 맞추어 프레임 장변의 돌출 정도를 결정해야 하는 어려움이 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 펠리클 막의 불균일한 수축을 억제하고 마스크의 유효 노광 면적이 줄어드는 것을 방지할 수 있도록 프레임의 휨 교정이 가능한 펠리클을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 평판디스플레이 제조용 노광 마스크에 장착되는 펠리클은, 펠리클 막과, 상기 펠리클 막이 부착된 적어도 네 변으로 이루어진 프레임과, 상기 프레임 표면에 형성되되 상기 프레임 변의 길이 방향과 대체로 평행한 홈과, 상기 홈에 탑재된 적어도 하나 이상의 교정용 활대 및, 상기 프레임의 휨 정도에 따라 상기 교정용 활대의 굽힘을 조절하는 굽힘 조절수단을 포함한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 평판디스플레이 제조용 노광 마스크에 장착되는 펠리클은, 펠리클 막과, 상기 펠리클 막이 부착된 적어도 네 변으로 이루어진 프레임과, 상기 프레임 내부에 형성되되 상기 프레임 변의 길이 방향과 대체로 평행한 공동과, 상기 공동에 탑재된 적어도 하나 이상의 교정용 활대 및, 상기 프레임의 휨 정도에 따라 상기 교정용 활대의 굽힘을 조절하는 굽힘조절수단을 포함한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 평판디스플레이 제조용 노광 마스크에 장착되는 펠리클은, 펠리클 막과, 상기 펠리클 막이 부착된 적어도 네 변으로 이루어진 프레임과, 상기 프레임 표면에 결합되되 상기 프레임 변의 길이 방향을 따라 형성된 고리형태의 고정 구조물과, 상기 고정 구 조물 내부를 따라 탑재된 적어도 하나 이상의 교정용 활대 및, 상기 프레임의 휨 정도에 따라 상기 교정용 활대의 굽힘을 조절하는 굽힘조절수단을 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명의 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이며, 도면상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 의미한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 펠리클을 구성하는 프레임(50)의 개략적인 평면도로서 프레임(50)은 직사각형 모양을 띄며 장변(52)과 단변(54)으로 이루어져 있다. 또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 프레임(60)은 장변(62)과 단변(64) 이외에도 모서리 부분을 모따기 하는 모서리변(66)으로 이루어질 수 있다. 이와 같이 본 발명의 실시예는 적어도 네 변으로 이루어진 프레임으로 구성될 수 있으나, 도면의 단순화를 위해 직사각형으로 이루어진 프레임만을 예로 들어 설명하기로 한다.
도 5 내지 도 27은 본 발명의 일 실시예에 따른 펠리클을 설명하기 위한 평면도들 및 사시도들이다.
먼저, 도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 펠리클을 구성하는 프레임(100)의 한 변을 나타내는 부분 평면도들 및 사시단면도이다. 먼저, 도 5 및 도 6을 참조하면, 프레임(100)의 표면에는 프레임(100)의 변 방향과 대체로 평행한 홈(groove)(200, 202)이 형성되어 있다. 특히, 도 6에 도시된 바와 같이 프레임(100) 변의 중간 지점에서 홈(202)이 프레임(100)의 바깥쪽을 향해 굽어 질 수 있 다. 이후의 도면에서는 도면의 단순화를 위해 도 5와 같이 직선으로 묘사되는 홈(200)만을 도시하기로 한다. 도 7은 도 5의 AA' 단면을 보여주는 사시단면도인데 홈(200)의 단면 모양은 도시된 바와 같이 사각형을 띌 수도 있고, 도시하지는 않았지만 반원, V자형 또는 U자형 등의 모양을 띌 수 있다.
도 8 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예를 설명하기 위한 평면도들이다.
먼저, 도 8을 참조하면, 상기 프레임(100)에 형성된 홈(200)에 프레임(100) 모서리 부분에서 굽혀진 교정용 활대(300)를 탑재하고 교정용 활대(300)의 굽힘 조절수단으로서 나사(500)를 프레임(100)에 결합한다. 여기서, 교정용 활대(300) 끝부분(302)은 교정용 활대(300)의 작동을 설명하기 위해 나사(500)와 접촉하지 않도록 도시되어 있지만 나사(500)와 접촉할 수도 있다. 교정용 활대(300)는 알루미늄 합금, 철 합금 또는 FRP(Fiber Reinforced Plastic)와 같은 물질로 이루어질 수 있다. 이어서, 도 9에 도시된 바와 같이 펠리클 막(900)을 프레임(100')에 부착함으로써 펠리클이 완성되는데, 펠리클 막(900)의 표면 장력에 의해 프레임(100') 및 홈(200')이 휘어져 교정용 활대 끝부분(302')이 상기 나사(500)와 접촉하게 된다. 도 10을 참조하면, 나사(500')를 돌려 넣으면 나사(500')와 접촉하고 있는 교정용 활대 끝부분(302'')이 안쪽으로 밀리게 되고 이로 인하여 교정용 활대의 중앙부분(304)이 위로 솟게 된다. 이러한 교정용 활대(300'')의 작용은 상기 휘어진 프레임(100')을 휘어지기 전의 상태로 복원한다. 그러므로 도시된 바와 같이 프레임(100'')의 휨을 최소화 할 수 있는 상태까지 나사(500')를 조정하면, 마스크의 유효 노광 면적의 감소를 최소화 할 수 있으며 펠리클 막(900')의 주름도 방지할 수 있다.
도 11은 교정용 활대(310)의 다른 예를 나타내는 평면도로서, 활대 끝부분(312)이 홈(200)의 벽(204)과 접촉하고 있다. 이때에도 상술한 방법과 마찬가지로 펠리클 막 부착 후 나사(500)를 조정하여 교정용 활대(310)의 굽힘을 조절할 수 있다.
도 12 및 도 13은 교정용 활대의 또 다른 예를 나타내는 평면도들로서, 먼저 도 12에 도시된 바와 같이 프레임(100)의 휘어짐을 2개의 교정용 활대(320)로 교정할 수 있다. 도 13은 상술한 도 12의 방법을 프레임(120) 전체에 적용한 예를 나타낸다.
도 14는 교정용 활대의 또 다른 예를 나타내는 평면도로서, 하나의 몸체로 이루어진 교정용 활대(330)를 홈(220)에 탑재한 후 나사들(500)을 조절함으로써 프레임(120)의 휘어짐을 교정할 수 있다.
교정용 활대가 탑재되어 휨을 교정하는 변은 일반적으로 프레임의 장변이 되나, 단변 쪽에도 활대가 탑재될 수 있으며 도 14에 도시된 바와 같이 장, 단변을 거쳐 모든 변에 탑재될 수도 있다.
도 15 및 도 16은 교정용 활대(310)의 굽힘 조절수단으로 이용되는 나사의 배치를 나타내는 평면도들인데, 먼저 도 15에 도시된 바와 같이, 프레임(100) 중 교정용 활대(310) 끝부분에 해당되는 장소에 복수개의 나사를(500, 510)을 결합시킬 수 있다. 또한, 도 16에 도시된 바와 같이 교정용 활대(310)의 끝부분에 해당되는 프레임(100)의 한쪽 변에 제1 나사(520)를 그리고 이웃하는 변에 제2 나사(530) 를 결합시킬 수 있다.
도 17 내지 도 19는 교정용 활대 구조와 이에 따른 교정용 활대 굽힘 조절 나사의 위치를 설명하기 위한 평면도들이다. 먼저, 도 17을 참조하면, 프레임(100)에 홈(200)이 형성되고 대체로 곧은 형태의 교정용 활대(340)가 홈(200)에 탑재되며 교정용 활대(340)의 끝부분(342)을 아래 방향으로 누를 수 있도록 나사(540)를 프레임(100)에 결합한다. 이어서, 도 18에 도시된 바와 같이, 펠리클 막(900)을 프레임(100')에 부착함으로써 펠리클이 완성되는데, 펠리클 막(900)의 표면 장력에 의해 프레임(100') 및 홈(200')이 휘어져 교정용 활대(340') 끝부분(342')이 상기 나사(540)와 접촉하게 된다. 그러면 도 19에 도시된 바와 같이 나사(540')를 돌려 넣으면 나사(540')와 접촉하고 있는 교정용 활대 끝부분(342'')이 아래쪽으로 밀리게 되고 이로 인하여 교정용 활대의 중앙부분(344)이 위로 솟게 된다. 이러한 교정용 활대(340'')의 작용은 상기 휘어진 프레임(100')을 휘어지기 전의 상태로 복원한다. 그러므로 도시된 바와 같이 프레임(100'')의 휨을 최소화 할 수 있는 상태까지 나사(540')를 조정한다. 그러면, 마스크의 유효 노광 면적의 감소를 최소화 할 수 있으며 펠리클 막(900')의 주름도 방지할 수 있다.
상술한 예들에서는 나사를 조절하여 교정용 활대의 굽힘을 제어함으로써 프레임의 휨을 교정하였는데, 도 20 내지 도 22는 교정용 활대의 굽힘을 제어하는 수단의 다른 예를 설명하기 위한 평면도들이다.
도 20을 참조하면, 프레임(100)에 형성된 홈(200)에 교정용 활대(300)를 탑재하고 교정용 활대(300)의 굽힘 조절 수단으로서 쐐기(wedge)(600)를 프레임(100) 에 결합한다. 이어서, 도 21에 도시된 바와 같이, 펠리클 막(900)을 프레임(100')에 부착함으로써 펠리클이 완성되는데, 펠리클 막(900)의 표면 장력에 의해 프레임(100') 및 홈(200')이 휘어지고 교정용 활대(300') 끝부분(302')이 바깥쪽으로 벌어진다. 이어서, 도 22를 참조하면, 쐐기(600')를 아래쪽으로 내리면 교정용 활대 끝부분(302'')이 안쪽으로 밀리게 되고 이로 인하여 교정용 활대의 중앙부분(304)이 위로 솟게 된다. 이러한 교정용 활대(300'')의 작용은 상기 휘어진 프레임(100')을 휘어지기 전의 상태로 복원한다. 그러므로 도시된 바와 같이 프레임(100'')의 휨을 최소화 할 수 있는 상태까지 쐐기(600')의 위치를 조정한다. 그러면, 마스크의 유효 노광 면적의 감소를 최소화 할 수 있으며 펠리클 막(900')의 주름도 방지할 수 있다.
도 23 내지 도 25는 교정용 활대의 굽힘을 조절하는 수단의 또 다른 예를 설명하기 위한 평면도들이다.
도 23 및 도 24를 참조하면, 프레임(130)의 한 변을 따라 홈(230)을 형성한 후 교정용 활대(350)를 상기 홈(230) 내에 탑재하되 교정용 활대의 끝부분(352)이 프레임(130) 외부로 나오게 한 후 구부린다. 또한, 교정용 활대 끝부분(352)을 잡을 수 있는 루프(loop)형태의 구조물(702)과 상기 구조물(702)이 연결된 나사(704) 그리고 상기 나사(704)가 들어갈 수 있는 구멍(706)으로 이루어진 교정용 활대(350) 굽힘 조절수단(700)을 프레임(130)에 형성한다. 이어서, 도 24에 도시된 바와 같이, 펠리클 막(900)을 프레임(130')에 부착함으로써 펠리클이 완성되는데, 펠리클 막(900)의 표면 장력에 의해 프레임(130') 및 홈(230')이 휘어지고 교정용 활 대(350')가 변형하여 교정용 활대 끝부분(352')이 바깥쪽으로 벌어진다. 이어서, 도 25를 참조하면, 나사(704')를 구멍(706')안으로 돌려 넣으면 교정용 활대 끝부분(352'')이 루프형태의 구조물(702')에 잡혀 안쪽으로 댕겨지고 이로 인하여 교정용 활대의 중앙부분(354)이 위로 솟게 된다. 이러한 교정용 활대(350'')의 작용은 상기 휘어진 프레임(130')을 휘어지기 전의 상태로 복원한다. 그러므로 도시된 바와 같이 프레임(130'')의 휨을 최소화 할 수 있는 상태까지 교정용 활대(350'') 굽힘 조절수단(700')을 조정한다. 그러면, 마스크의 유효 노광 면적의 감소를 최소화 할 수 있으며 펠리클 막(900')의 주름도 방지할 수 있다.
도 26 및 도 27은 교정용 활대가 탑재되는 홈의 위치를 설명하기 위한 사시단면도들이다. 상술한 예들에서는, 프레임 면들 중에서 펠리클 막이 부착되는 프레임 상부면에 홈이 형성되었는데 도 26에 도시된 바와 같이 프레임(140)의 면들 중 바깥쪽 면에 홈(240)을 형성할 수 있다. 도 27은 상기 홈(240)에 교정용 활대(360)를 탑재하고 프레임(140)에 펠리클 막(900)을 부착한 상태를 나타내는데, 상기 홈(240) 내에 교정용 활대(360)를 적절히 가두어 둘 수 있도록 철사나 얇은 판재 등으로 이루어진 고정 구조물(242)을 프레임(140)에 결합할 수 있다. 이러한 고정 구조물(242)은 특히 도시된 바와 같이 홈(240)이 프레임(140)의 바깥쪽 면에 형성되었을 경우, 교정용 활대(360)의 변형에 따른 힘이 프레임(140)에 적절히 작용할 수 있도록 한다. 또한 도시하지는 않았지만 홈은 프레임(140)의 아래쪽 면에도 형성될 수 있다.
도 28 내지 도 33은 본 발명의 다른 실시예에 따른 펠리클을 설명하기 위한 도면들이다.
먼저, 도 28은 본 발명의 다른 실시예에 따른 펠리클을 구성하는 프레임(150)의 사시단면도인데, 프레임(150) 내부에는 프레임(150)의 변 방향과 대체로 평행한 공동(hollow)(250)이 형성되어 있다. 공동(250)의 단면 모양은 도시된 바와 같이 사각형을 띌 수도 있고, 도시하지는 않았지만 원형, 타원형 등의 모양을 띌 수 있다. 도 29는 상기 프레임(150)의 공동(250)에 교정용 활대(370)가 탑재되고 프레임(150) 상부면에 펠리클 막(900)이 부착된 펠리클의 사시단면도이다.
도 30 내지 도 32는 본 발명의 다른 실시예를 설명하기 위한 평면투시도들이다. 먼저, 도 30을 참조하면, 프레임(150) 내부에 형성된 공동(250)에 교정용 활대(370)가 탑재되며 교정용 활대(370)의 끝부분(372)을 아래방향으로 누를 수 있도록 나사(550)를 프레임(150)에 결합한다. 이어서, 도 31에 도시된 바와 같이, 펠리클 막(900)을 프레임(150')에 부착함으로써 펠리클이 완성되는데, 펠리클 막(900)의 표면 장력에 의해 프레임(150') 및 공동(250')이 휘어져 교정용 활대(370') 끝부분(372')이 나사(550)와 접촉하게 된다. 그러면 도 32에 도시된 바와 같이 나사(550')를 돌려 넣으면 나사(550')와 접촉하고 있는 교정용 활대 끝부분(372'')이 아래쪽으로 밀리게 되고 이로 인하여 교정용 활대의 중앙부분(374)이 위로 솟게 된다. 이러한 교정용 활대(370'')의 작용은 상기 프레임(150')을 휘어지기 전의 상태로 복원한다. 그러므로 도시된 바와 같이 프레임(150'')의 휨을 최소화 할 수 있는 상태까지 나사(550')를 조정한다. 그러면, 마스크의 유효 노광 면적의 감소를 최소화 할 수 있으며 펠리클 막(900')의 주름도 방지할 수 있다.
도 33은 본 발명의 다른 실시예에 따른 펠리클에서 교정용 활대 굽힘 조절수단의 다른 예를 설명하기 위한 투시평면도이다. 도면을 참조하면, 프레임(150)의 한 변을 따라 형성된 공동(260)에 교정용 활대(380)를 탑재하되 교정용 활대의 끝부분(382)을 프레임(150) 외부로 나오게 한 후 도시된 바와 같이 구부린다. 또한, 교정용 활대 끝부분(382)을 잡을 수 있는 루프형태의 구조물(712)과 상기 구조물(712)이 연결된 나사(714) 그리고 상기 나사(714)가 들어갈 수 있는 구멍(716)으로 이루어진 교정용 활대(380) 굽힘 조절수단(710)을 프레임(150)에 형성한 후 도시하지는 않았지만 펠리클 막을 부착하고 굽힘 조절수단(710)을 이용하여 프레임(150)의 휨을 최소화 한다.
도 34 내지 도 39는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 펠리클을 설명하기 위한 평면도들이다.
도 34 내지 도 36은 본 발명의 또 다른 실시예 중 대체로 곧은 교정용 활대를 이용하는 예를 설명하기 위한 평면도들이다. 먼저, 도 34를 참조하면, 프레임(160) 바깥쪽 면에 고리형태의 고정 구조물(280)을 달고 상기 고정 구조물(280) 내부를 관통시킴으로써 대체로 곧은 교정용 활대(390)를 프레임(160)과 결합한다. 고리형태의 고정 구조물(280)에 고정된 교정용 활대(390)는 좌우로는 어느 정도 움직일 수 있지만 상하로는 움직임이 제약된다. 그리고 교정용 활대(390)의 끝부분(392)과 연결된 끈(802)과 나사(804)로 이루어진 교정용 활대 굽힘 조절수단(800)을 프레임(160)에 결합한다. 이어서, 도 35에 도시된 바와 같이, 펠리클 막(900)을 프레임(160)에 부착함으로써 펠리클이 완성되는데, 펠리클 막(900)의 표면 장력에 의해 프레임(160')이 휘어져 교정용 활대(390') 끝부분(392')과 연결된 끈(802')이 팽팽해진다. 그러면, 도 36에 도시된 바와 같이 나사(804')를 돌리면 끈(802'')이 감기고, 끈(802'')과 연결된 교정용 활대 끝부분(392'')이 아래쪽으로 당기어져서 교정용 활대의 중앙부분(394)이 위로 올라간다. 이러한 교정용 활대(390'')의 작용은 상기 휘어진 프레임(160')을 휘어지기 전의 상태로 복원한다. 그러므로 도시된 바와 같이 프레임(160'')의 휨을 최소화 할 수 있는 상태까지 나사(804')를 조정한다. 그러면, 마스크의 유효 노광 면적의 감소를 최소화 할 수 있으며 펠리클 막(900')의 주름도 방지할 수 있다.
도 37 내지 도 39는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 펠리클에서 끝부분이 굽은 활대를 이용하는 경우의 예를 도시하는 평면도들이다. 먼저, 도 37을 참조하면, 프레임(160) 바깥쪽 면에 고리형태의 고정 구조물(290)을 달고 상기 고정 구조물(290) 내부를 관통시킨 후 끝부분(402)을 구부림으로써 교정용 활대(400)를 프레임(160)과 결합한다. 또한, 교정용 활대 끝부분(402)을 잡을 수 있는 루프형태의 구조물(722)과 상기 구조물(722)이 연결된 나사(724) 그리고 상기 나사(724)가 들어갈 수 있는 구멍(726)으로 이루어진 교정용 활대(400) 굽힘 조절수단(720)을 프레임(160)에 형성한다. 이어서, 도 38에 도시된 바와 같이, 펠리클 막(900)을 프레임(160')에 부착함으로써 펠리클이 완성되는데, 펠리클 막(900)의 표면 장력에 의해 프레임(160') 및 교정용 활대(400')가 변형하여 교정용 활대 끝부분(402')이 바깥쪽으로 벌어진다. 이어서, 도 39를 참조하면, 나사(724')를 구멍(726')안으로 돌려 넣으면 교정용 활대 끝부분(402'')이 루프형태의 구조물(722')에 잡혀 안쪽으로 댕겨지고 이로 인하여 교정용 활대의 중앙부분(404)이 위로 올라간다. 이러한 교정용 활대(400'')의 작용은 상기 휘어진 프레임(160')을 휘어지기 전의 상태로 복원한다. 그러므로 도시된 바와 같이 프레임(160'')의 휨을 최소화 할 수 있는 상태까지 교정용 활대(400'') 굽힘 조절수단(720')을 조정한다. 그러면, 마스크의 유효 노광 면적의 감소를 최소화 할 수 있으며 펠리클 막(900')의 주름도 방지할 수 있다.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명의 펠리클은 펠리클 막의 표면 장력에 의한 프레임의 휨 현상을 교정용 활대와 교정용 활대 굽힘 조절수단에 의해 최소화함으로써 펠리클 막의 불균일한 수축을 억제하고 마스크의 유효 노광 면적이 줄어드는 것을 방지할 수 있다.
한편, 본 발명은 상술한 실시 예에 국한되는 것이 아니라 후술되는 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상과 범주 내에서 당업자에 의해 여러 가지 변형이 가능하다.

Claims (8)

  1. 평판디스플레이 제조용 노광 마스크에 장착되는 펠리클로서,
    펠리클 막;
    상기 펠리클 막이 부착된 적어도 네 변으로 이루어진 프레임;
    상기 프레임 표면에 형성되되 상기 프레임 변의 길이 방향과 대체로 평행한 홈;
    상기 홈에 탑재된 적어도 하나 이상의 교정용 활대; 및
    상기 프레임의 휨 정도에 따라 상기 교정용 활대의 굽힘을 조절하는 굽힘 조절수단을 포함하는 펠리클.
  2. 평판디스플레이 제조용 노광 마스크에 장착되는 펠리클로서,
    펠리클 막;
    상기 펠리클 막이 부착된 적어도 네 변으로 이루어진 프레임;
    상기 프레임 내부에 형성되되 상기 프레임 변의 길이 방향과 대체로 평행한 공동;
    상기 공동에 탑재된 적어도 하나 이상의 교정용 활대; 및
    상기 프레임의 휨 정도에 따라 상기 교정용 활대의 굽힘을 조절하는 굽힘 조절수단을 포함하는 펠리클.
  3. 평판디스플레이 제조용 노광 마스크에 장착되는 펠리클로서,
    펠리클 막;
    상기 펠리클 막이 부착된 적어도 네 변으로 이루어진 프레임;
    상기 프레임 표면에 결합되되 상기 프레임 변의 길이 방향을 따라 형성된 고리형태의 고정 구조물;
    상기 고정 구조물 내부를 따라 탑재된 적어도 하나 이상의 교정용 활대; 및
    상기 프레임의 휨 정도에 따라 상기 교정용 활대의 굽힘을 조절하는 굽힘 조절수단을 포함하는 펠리클.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에서,
    상기 프레임은 대체로 직사각형 모양인 것을 특징으로 하는 펠리클.
  5. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에서,
    상기 교정용 활대는 상기 프레임의 모서리 부분에서 굽혀진 것을 특징으로 하는 펠리클.
  6. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에서,
    상기 교정용 활대는 대체로 곧은 형태인 것을 특징으로 하는 펠리클.
  7. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에서,
    상기 굽힘 조절수단은 나사로 이루어진 것을 특징으로 하는 펠리클.
  8. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에서,
    상기 굽힘 조절수단은 상기 교정용 활대의 끝부분을 당길 수 있는 루프형태의 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2021500595A (ja) * 2017-10-27 2021-01-07 エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． ペリクルフレーム及びペリクルアセンブリ
CN112272874A (zh) * 2018-06-12 2021-01-26 应用材料公司 掩模框架及掩模组件

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