JP2023084750A - オペレータ検出システム及び自動搬送車管理システム - Google Patents

Abstract

【課題】基板に対する作業を行う基板作業装置の周囲にいるオペレータをセンサによって検出する場合に、基板作業装置の配置が変更されてもセンサの位置や角度などを変更する工事を極力不要にすること。【解決手段】基板に対する作業を行う基板作業装置Ｍの周囲にいる設備オペレータ１７を検出するオペレータ検出システム６０であって、設備オペレータ１７を検出するためのオペレータ検出センサ１２と、オペレータ検出センサ１２の検出信号に基づいて設備オペレータ１７を検出する自動搬送車管理装置１３（オペレータ検出装置）と、を備え、オペレータ検出センサ１２が基板作業装置Ｍに配されている、オペレータ検出システム６０。【選択図】図５

Description

本明細書で開示する技術はオペレータ検出システム及び自動搬送車管理システムに関する。

従来、工場などにおいて、設備に補給する補給品などを自動搬送車によって自動搬送する場合に、搬送経路上の障害物（オペレータや何らかの物体など）をセンサによって検出することが行われている（例えば、特許文献１参照）。
具体的には、特許文献１には、自律車両の計画経路が横切る領域を監視下におく多数のカメラを配置し、自律車両が領域内の計画経路に沿って動いている間に、カメラを使用して、領域内の物体の存在を検出し、現在の位置における物体が、自律車両の計画経路を妨害している場合、自律車両の動きを変更することが記載されている。

特開２０１９－１０９８７９号公報

上述した特許文献１には、工場の内壁、天井、柱、床などにカメラが配置されることが記載されている。しかしながら、工場の内壁、天井、柱、床などにカメラを配置すると、設備の配置が変更されて計画経路が変更になった場合にカメラの位置や角度などが合わなくなり、それらを変更する工事が必要になる。
本明細書では、基板に対する作業を行う基板作業装置の周囲にいるオペレータをセンサによって検出する場合に、基板作業装置の配置が変更されてもセンサの位置や角度などを変更する工事を極力不要にできる技術を開示する。

基板に対する作業を行う基板作業装置の周囲にいるオペレータを検出するオペレータ検出システムであって、オペレータを検出するためのセンサと、前記センサの検出信号に基づいてオペレータを検出するオペレータ検出装置と、を備え、前記センサが前記基板作業装置に配されている。

上記の構成によれば、基板に対する作業を行う基板作業装置の周囲にいるオペレータをセンサによって検出する場合に、基板作業装置の配置が変更されてもセンサの位置や角度などを変更する工事を極力不要にできる。

実施形態１に係る製造工場の模式図 基板作業装置の電気的構成を示すブロック図 基板作業装置、オペレータ検出センサ及び設備オペレータを上側から見た模式図 自動搬送車管理装置の電気的構成を示すブロック図 オペレータ検出システム（自動搬送車管理システを兼ねる）の模式図 経路計画の作成のシーケンスチャート 経路計画の作成の具体例を示す模式図 実施形態２に係るオペレータ検出システム（自動搬送車管理システを兼ねる）の模式図 基板作業装置、オペレータ検出センサ及び設備オペレータを上側から見た模式図 全方位カメラによって撮像された３６０度画像の模式図 全方位カメラによって撮像された３６０度画像の模式図 実施形態３に係るオペレータ検出システムの模式図 実施形態４に係るオペレータ検出システム（自動搬送車管理システを兼ねる）の模式図 実施形態５に係る経路計画の具体例を示す模式図 実施形態６に係る基板作業装置への補給品の搬送の指示の具体例を示す模式図 実施形態７に係る基板作業装置の電気的構成を示すブロック図

（本実施形態の概要）
（１）本開示に係るオペレータ検出システムは、基板に対する作業を行う基板作業装置の周囲にいるオペレータを検出するオペレータ検出システムであって、オペレータを検出するためのセンサと、前記センサの検出信号に基づいてオペレータを検出するオペレータ検出装置と、を備え、前記センサが前記基板作業装置に配されている。

上記のオペレータ検出システムによると、基板作業装置にセンサが配されているので、基板作業装置の配置が変更されるとセンサの位置や角度も変更される。このため、基板作業装置の周囲にいるオペレータをセンサによって検出する場合に、基板作業装置の配置が変更されてもセンサの位置や角度などを変更する工事を極力不要にできる。

（２）本開示に係るオペレータ検出システムは、基板に対する作業を行う基板作業装置の周囲にいるオペレータを検出するオペレータ検出システムであって、前記基板作業装置と、オペレータを検出するためのセンサと、前記基板作業装置と通信可能に接続されており、前記センサの検出信号に基づいてオペレータを検出するオペレータ検出装置と、を備え、前記センサが前記基板作業装置に配されており、前記センサの検出信号が前記基板作業装置を介して前記オペレータ検出装置に送信される。

上記のオペレータ検出システムによると、基板作業装置にセンサが配されているので、基板作業装置の配置が変更されるとセンサの位置や角度も変更される。このため、基板作業装置の周囲にいるオペレータをセンサによって検出する場合に、基板作業装置の配置が変更されてもセンサの位置や角度などを変更する工事を極力不要にできる。
更に、上記のオペレータ検出システムによると、センサの検出信号が基板作業装置を介してオペレータ検出装置に送信される。このため、オペレータ検出装置と基板作業装置とを通信可能に接続している通信線とは別の信号線を用いてセンサの検出信号をオペレータ検出装置に送信する場合に比べ、オペレータ検出システムの構成を簡素にできる。

（３）本開示に係るオペレータ検出システムは、基板に対する作業を行う基板作業装置の周囲にいるオペレータを検出するオペレータ検出システムであって、前記基板作業装置と、オペレータを検出するためのセンサと、を備え、前記センサが前記基板作業装置に配されており、前記基板作業装置は、前記センサの検出信号に基づいてオペレータを検出するオペレータ検出装置としても機能する。

上記のオペレータ検出システムによると、基板作業装置にセンサが配されているので、基板作業装置の配置が変更されるとセンサの位置や角度も変更される。このため、基板作業装置の周囲にいるオペレータをセンサによって検出する場合に、基板作業装置の配置が変更されてもセンサの位置や角度などを変更する工事を極力不要にできる。
更に、上記のオペレータ検出システムによると、基板作業装置がオペレータ検出装置としても機能するので、センサの検出信号に基づいてオペレータを検出する装置を基板作業装置とは別に用意する場合に比べ、オペレータ検出システムの構成を簡素にできる。

（４）上記のオペレータ検出システムは、複数の前記センサを備え、複数の前記センサの検出信号に基づいてオペレータの位置を検出してもよい。

上記のオペレータ検出システムによると、複数のセンサの検出信号に基づくことにより、オペレータがいるか否かだけでなく、オペレータがいる場合にそのオペレータの位置（方位及び距離）まで検出できる。言い換えると、複数のセンサを備えていると、それら複数のセンサの検出信号を統合してステレオ的な処理を行うことにより、オペレータの位置を検出できる。

（５）前記センサはカメラであってもよい。

センサとしてカメラを用いる場合は、各カメラによって撮像された画像上のオペレータの位置から、各カメラについてそのカメラから見てどの方向にオペレータがいるかを判断し、カメラ毎に判断したオペレータがいる方向の交点をオペレータの位置（方位及び距離）として検出することにより、オペレータがいるか否かだけでなく、オペレータがいる場合にそのオペレータの位置まで検出できる。

（６）オペレータ検出システムは、種類の異なる複数の前記センサを備えていてもよい。

センサの種類が１種類だけである場合は、オペレータとオペレータ以外の物体とを識別できないこともあり得る。種類の異なる複数のセンサを備えていると、センサの種類が１種類だけである場合に比べ、オペレータとオペレータ以外の物体との識別精度が向上する。

（７）本開示に係る自動搬送車管理システムは、基板に対する作業を行う基板作業装置に補給品を自動で搬送する自動搬送車を管理する自動搬送車管理システムであって、（１）から（６）のいずれか一つに記載のオペレータ検出システムと、管理装置と、を備え、前記管理装置は、前記オペレータ検出システムの検出結果に基づいて、前記自動搬送車を効率よく運行するための所定の処理を実行する。

上記の自動搬送車管理システムによると、オペレータ検出システムの検出結果に基づいて自動搬送車を効率よく運行できる。

（８）前記所定の処理は前記自動搬送車に前記基板作業装置への補給品の搬送を指示する処理であり、前記管理装置は、前記所定の処理において、前記オペレータ検出システムによって検出されたオペレータの近傍の前記基板作業装置以外の前記基板作業装置に補給品を搬送するよう指示してもよい。

オペレータが基板作業装置に対して何らかの作業をしている場合は、その基板作業装置の近傍でオペレータが検出される。その場合、自動搬送車にその基板作業装置への補給品の搬送を指示すると、自動搬送車はオペレータを検知して安全のためにその基板作業装置の近傍からオペレータがいなくなるまで待機する必要がある。
上記の自動搬送車管理システムによると、検出されたオペレータの近傍の基板作業装置（言い換えるとオペレータが作業中の基板作業装置）以外の基板作業装置への補給品の搬送を指示するので、オペレータが作業中の基板作業装置に補給品を搬送する場合に比べて自動搬送車を効率よく運行できる。

（９）前記所定の処理は前記自動搬送車の経路計画を作成する処理であり、前記管理装置は、前記所定の処理において、前記オペレータ検出システムによって検出されたオペレータを避けた搬送経路を走行するように経路計画を作成してもよい。

基板作業装置に補給品を搬送する場合、最短経路で搬送することが望ましいが、最短経路上にオペレータがいる場合も最短経路で搬送すると、自動搬送車はオペレータが最短経路上からいなくなるまで待機する必要がある。
上記の自動搬送車管理システムによると、オペレータ検出システムによって検出されたオペレータを避けた搬送経路を走行するように経路計画を作成するので、搬送経路上からオペレータがいなくなるまで待機する場合に比べて自動搬送車を効率よく運行できる。

（１０）前記所定の処理は前記自動搬送車の経路計画を作成する処理であり、前記管理装置は、前記所定の処理において、前記オペレータ検出システムの検出結果に基づいて搬送経路毎にオペレータの数を判断し、オペレータの数が最も少ない搬送経路を走行するように経路計画を作成してもよい。

搬送経路上にオペレータがいる場合、自動搬送車はオペレータが搬送経路上からいなくなるまで待機する必要があるため、搬送経路上に多くのオペレータがいる場合は搬送経路上にいるオペレータが少ない場合に比べて搬送に時間を要する。
上記の自動搬送車管理システムによると、オペレータの数が最も少ない搬送経路を走行するように経路計画を作成するので、オペレータの数が多い搬送経路を走行する場合に比べて自動搬送車を効率よく運行できる。

（１１）前記所定の処理は、前記オペレータ検出システムによって検出されたオペレータに、前記自動搬送車の搬送経路上にいることを報知する処理であってもよい。

搬送経路上にオペレータがいる場合、自動搬送車はオペレータが搬送経路上からいなくなるまで待機する必要があるため、自動搬送車に待ち時間が生じる。
上記の自動搬送車管理システムによると、報知されたオペレータが搬送経路上から移動することにより、自動搬送車の待ち時間を低減できる。このため自動搬送車を効率よく運行できる。

［本開示の実施形態の詳細］
以下に、本開示の実施形態について説明する。本開示はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
本開示の実施形態は、装置、方法、これらの装置または方法の機能を実現するためのコンピュータプログラム、そのコンピュータプログラムを記録した記録媒体等の種々の態様で実現できる。

＜実施形態１＞
実施形態１を図１ないし図７に基づいて説明する。以降の説明において前後方向及び左右方向とは図１に示す前後方向及び左右方向を基準とする。以降の説明では同一の構成要素には一部を除いて図面の符号を省略している場合がある。

（１）製造工場
図１を参照して、実施形態１に係る製造工場１について説明する。製造工場１は部品が実装された実装基板を製造する工場である。製造工場１には基板に部品を実装する複数の実装ラインＬ（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３）、実装ラインＬを構成している後述する基板作業装置Ｍに補給する補給品が保管されている保管庫１０、補給品を搬送する１以上の自動搬送車１１、設備オペレータ１７（オペレータの一例）を検出するための複数のオペレータ検出センサ１２（センサの一例）、及び、自動搬送車管理装置１３（オペレータ検出装置及び管理装置の一例）が配されている。
基板作業装置Ｍ、自動搬送車１１及び自動搬送車管理装置１３は図示しない通信ネットワークを介して通信可能に接続されている。自動搬送車１１は図示しないアクセスポイントを介して通信ネットワークに無線接続されている。

図１において段取りエリア１４は自動搬送車１１への補給品の搭載（言い換えると積み込み）などを行うための場所である。段取りエリア１４には保管庫１０が配されている。待機エリア１５は自動搬送車１１が待機する場所である。待機エリア１５は段取りエリア１４の近傍に配されている。
段取りエリアオペレータ１６は段取りエリア１４で自動搬送車１１への補給品の搭載などを行うオペレータである。設備オペレータ１７は実装ラインＬで発生した作業（自動搬送車１１によって基板作業装置Ｍまで搬送された補給品を基板作業装置Ｍに取り付ける作業や基板作業装置Ｍのエラー対処など）を行うオペレータである。

（１－１）実装ライン
図１に示すように、実装ラインＬ１は複数の基板作業装置Ｍ（ローダーＭ１１、スクリーン印刷機Ｍ１２、印刷検査機Ｍ１３、ディスペンサＭ１４、表面実装機Ｍ１５、実装後外観検査機Ｍ１６、リフロー装置Ｍ１７、硬化後外観検査機Ｍ１８及びアンローダーＭ１９）を備えており、これらが図示しない複数のコンベアを介して一列に並んでいる。実装ラインＬ２，Ｌ３も同様である。

基板作業装置Ｍに補給する補給品は基板作業装置Ｍによって異なる。例えばスクリーン印刷機Ｍ１２の場合は基板に回路パターンを印刷するための半田ペーストが補給品として補給される。ディスペンサＭ１４の場合は基板に塗布する接着剤が補給品として補給される。表面実装機Ｍ１５の場合は部品テープが巻き回されているリールや、部品が行列状に載置されている部品トレイなどが補給品として補給される。

図２を参照して、各基板作業装置Ｍに共通する電気的構成について説明する。基板作業装置Ｍは制御部２０、記憶部２１、通信部２２、作業部２３及び操作パネル２４を備えている。
制御部２０はＣＰＵ２０Ａ、ＲＡＭ２０Ｂなどを備えている。記憶部２１には制御部２０によって実行される各種のプログラムやデータが記憶されている。通信部２２は基板作業装置Ｍを通信ネットワークに接続するための通信回路である。作業部２３の構成は基板作業装置Ｍによって異なる。例えばスクリーン印刷機Ｍ１２の作業部２３はマスクを用いて基板に回路パターンを印刷する作業を行う。表面実装機Ｍ１５の作業部２３は回路パターンが印刷された基板に部品を実装する作業を行う。
操作パネル２４は液晶ディスプレイ、タッチパネル、各種の操作ボタンなどで構成されている。設備オペレータ１７は操作パネル２４を操作することによって基板作業装置Ｍに対する各種の設定などを行うことができる。

（１－２）オペレータ検出センサ
図２に示すように、実施形態１に係るオペレータ検出センサ１２は基板作業装置Ｍの制御部２０に電気的に接続されている。実施形態１に係るオペレータ検出センサ１２は超音波センサである。１つの基板作業装置Ｍにはオペレータ検出センサ１２が２つ接続されている。２つは一例であり、オペレータ検出センサ１２は１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。

図３を参照して、オペレータ検出センサ１２の配置について説明する。便宜上、図３では基板作業装置Ｍを４つのみ示している。１つの基板作業装置Ｍに配されている２つのオペレータ検出センサ１２は基板作業装置Ｍの上面の左右両側に設けられている。図３において一点鎖線で示す扇状の領域３０はオペレータ検出センサ１２の検出範囲を示している。図３に示すように、隣り合う基板作業装置Ｍのオペレータ検出センサ１２の検出範囲は一部が重なっている。

実施形態１では、オペレータ検出センサ１２（すなわち超音波センサ）の検出範囲内には設備オペレータ１７以外に物体は存在しないものとする。自動搬送車１１も基板作業装置Ｍの周囲に存在することがあるが、一般に自動搬送車１１は基板作業装置Ｍよりも背が低いので、オペレータ検出センサ１２の検出範囲に入らないものとする。このため、本実施形態では、オペレータ検出センサ１２によって物体が検出された場合は、その物体は設備オペレータ１７であるとする。

（１－３）自動搬送車
図１を参照して、自動搬送車１１について説明する。自動搬送車１１は補給品を段取りエリア１４から基板作業装置Ｍに自動で搬送する搬送車である。自動搬送車１１は例えばＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ）である。自動搬送車１１はＡＧＶにロボットを搭載したＡＭＲ（Ａｕｔｏｎｏｍｏｕｓ Ｍｏｂｉｌｅ Ｒｏｂｏｔ）であってもよい。自動搬送車１１がＡＭＲである場合は、基板作業装置Ｍへの補給品の補給は自動搬送車１１によって自動で行われる。

自動搬送車１１は制御部、無線通信部、自車位置を検出するためのセンサ、搬送経路上の障害物（設備オペレータ１７や何らかの物体など）を検知するためのセンサなどを備えている。自動搬送車１１は走行中に搬送経路上の障害物を検知すると安全のために停止し、搬送経路上から障害物がなくなるまで待機する。このため、自動搬送車１１の搬送経路上に障害物があると自動搬送車１１に待ち時間が生じる。

（１－４）自動搬送車管理装置
自動搬送車管理装置１３は自動搬送車１１によって段取りエリア１４から基板作業装置Ｍまで補給品を搬送するときの経路計画を作成する装置である。経路計画の作成は、搬送経路の決定あるいは搬送経路の選択と言い換えることもできる。

図４を参照して、自動搬送車管理装置１３の電気的構成について説明する。自動搬送車管理装置１３は所謂パーソナルコンピュータであり、制御部４０、記憶部４１、通信部４２、入力部４３及び出力部４４を備えている。
制御部４０はＣＰＵ４０Ａ、ＲＡＭ４０Ｂなどを備えている。記憶部４１には制御部４０によって実行される各種のプログラムやデータが記憶されている。通信部４２は自動搬送車管理装置１３を通信ネットワークに接続するための通信回路である。入力部４３はキーボード、マウス、タッチパネルなどの入力装置である。出力部４４は液晶ディスプレイなどの表示装置である。
記憶部４１に記憶されているプログラムにはパーソナルコンピュータを自動搬送車管理装置１３として機能させる自動搬送車管理プログラムが含まれる。

（１－５）オペレータ検出システム及び自動搬送車管理システム
図５に示すように、実施形態１に係るオペレータ検出システム６０は、複数のオペレータ検出センサ１２、複数の基板作業装置Ｍ及び自動搬送車管理装置１３で構成されている。自動搬送車管理装置１３はオペレータ検出装置の一例である。すなわち、実施形態１では自動搬送車管理装置１３がオペレータ検出装置を兼ねている。実施形態１では自動搬送車管理装置１３がオペレータ検出装置を兼ねていることから、オペレータ検出システム６０は実施形態１に係る自動搬送車管理システムの一例でもある。自動搬送車管理装置１３とオペレータ検出装置とは別々の装置として構成されてもよい。

（２）自動搬送車の経路計画の作成
図１を参照して、自動搬送車管理装置１３によって実行される自動搬送車の経路計画の作成について説明する。
基板作業装置Ｍは補給品の残数（あるいは残量）とその補給品の使用状況とから補給品切れとなる時刻を予測する。基板作業装置Ｍには補給品切れとなる時刻までの余裕時間が記憶されている。基板作業装置Ｍは補給品切れとなる時刻までの時間が余裕時間を下回ると自動搬送車管理装置１３に補給品の補給要求を送信する。

自動搬送車管理装置１３は、基板作業装置Ｍから補給要求を受信すると、オペレータ検出センサ１２の検出信号に基づいて自動搬送車１１の経路計画を作成する。自動搬送車管理装置１３がオペレータ検出センサ１２の検出信号に基づいて経路計画を作成する処理は、自動搬送車を効率よく運行するための所定の処理の一例である。
ここでは先ず経路計画の作成のシーケンスについて説明し、その後に具体例について説明する。

（２－１）経路計画の作成のシーケンス
図６を参照して、経路計画の作成のシーケンスについて説明する。
Ｓ１０１では、いずれかの基板作業装置Ｍから自動搬送車管理装置１３に補給要求が送信される。
Ｓ１０２では、自動搬送車管理装置１３は各基板作業装置Ｍにオペレータ検出センサ１２の検出信号の送信を要求する。
Ｓ１０３では、各基板作業装置Ｍはオペレータ検出センサ１２から検出信号を取得する。

Ｓ１０４では、各基板作業装置Ｍはオペレータ検出センサ１２の検出信号を自動搬送車管理装置１３に送信する。
Ｓ１０５では、自動搬送車管理装置１３は各基板作業装置Ｍから受信した検出信号に基づいて、基板作業装置Ｍの周囲にいる設備オペレータ１７を検出する。
Ｓ１０６では、自動搬送車管理装置１３は検出した設備オペレータ１７を避けた搬送経路を走行するように経路計画を作成する。

Ｓ１０７では、自動搬送車管理装置１３は補給要求の要求元（言い換えると補給品の搬送先）の基板作業装置ＭとＳ１０６で作成した経路計画とを示す搬送情報を自動搬送車１１に送信する。
Ｓ１０８では、自動搬送車１１は受信した搬送情報によって示される基板作業装置Ｍに、搬送情報によって示される搬送経路を走行して補給品を搬送する。

（２－２）経路計画の作成の具体例
図７を参照して、経路計画の作成の具体例について説明する。図７に示す例では基板作業装置Ｍ２９から補給要求を受信した場合を示している。図７に示す搬送経路Ｒ２は基板作業装置Ｍ２９までの最短経路である。本来は最短経路Ｒ２を走行することが好ましいが、図７に示す例では最短経路Ｒ２上に設備オペレータ１７がいる。このため、自動搬送車管理装置１３は、検出した設備オペレータ１７を避けた搬送経路を走行するように経路計画を作成する。

具体的には、図７に示す例では検出した設備オペレータ１７を避けた搬送経路として搬送経路Ｒ１、Ｒ３及びＲ４がある。検出した設備オペレータ１７を避けて補給品を搬送できる搬送経路が複数ある場合は、自動搬送車管理装置１３はそれら複数の搬送経路のうち最も短い搬送経路（図７に示す例では搬送経路Ｒ１）を選択することが好ましい。

（３）実施形態の効果
実施形態１に係るオペレータ検出システム６０によると、オペレータ検出センサ１２が基板作業装置Ｍに配されているので、基板作業装置Ｍの配置が変更されるとオペレータ検出センサ１２の位置や角度も変更される。このため、基板作業装置Ｍの周囲にいる設備オペレータ１７をオペレータ検出センサ１２によって検出する場合に、基板作業装置Ｍの配置が変更されてもオペレータ検出センサ１２の位置や角度などを変更する工事を極力不要にできる。

オペレータ検出システム６０によると、オペレータ検出センサ１２の検出信号が基板作業装置Ｍを介して自動搬送車管理装置１３（オペレータ検出装置の一例）に送信される。このため、自動搬送車管理装置１３と基板作業装置Ｍとを通信可能に接続している通信線（すなわち通信ネットワーク）とは別の信号線を用いてオペレータ検出センサ１２の検出信号を自動搬送車管理装置１３に送信する場合に比べ、オペレータ検出システム６０の構成を簡素にできる。

自動搬送車管理システム６０によると、オペレータ検出システム６０によって検出された設備オペレータ１７を避けた搬送経路を走行するように経路計画を作成するので、搬送経路上から設備オペレータ１７がいなくなるまで待機する場合に比べて自動搬送車１１を効率よく運行できる。

＜実施形態２＞
図８を参照して、実施形態２に係るオペレータ検出システム２６０について説明する。実施形態２に係るオペレータ検出システム２６０は実施形態１と同様に複数のオペレータ検出センサ２１２、複数の基板作業装置Ｍ及び自動搬送車管理装置１３で構成されている。オペレータ検出センサ２１２も基板作業装置Ｍに接続されている。実施形態２でも自動搬送車管理装置１３がオペレータ検出装置を兼ねている。
実施形態２に係るオペレータ検出センサ２１２は３６０度画像を撮像する全方位カメラ（カメラの一例）である。実施形態２では基板作業装置Ｍ毎に１つの全方位カメラ２１２が基板作業装置Ｍの上面の概ね中央に配されている。

図９Ａは実装ラインの周囲に３人の設備オペレータ１７がいる状況を示している。図９Ｂに示す画像７０は、図９Ａに示す状況で基板作業装置Ｍ１１に配されている全方位カメラ２１２によって撮像された３６０度画像を模式的に示している。図９Ｃに示す画像７１は、基板作業装置Ｍ１２に配されている全方位カメラ２１２によって撮像された３６０度画像を模式的に示している。

自動搬送車管理装置１３は、各基板作業装置Ｍから３６０度画像（検出信号の一例）を受信すると、受信した３６０度画像上で設備オペレータ１７を検出する。画像上で設備オペレータ１７を検出する方法としては、Ｈａａｒ－ｌｉｋｅ特徴量を用いた顔検出や、ＨＯＧ（Ｈｉｓｔｏｇｒａｍｓ ｏｆ Ｏｒｉｅｎｔｅｄ Ｇｒａｄｉｅｎｔｓ）特徴量による人物シルエットの検出などが挙げられる。この他、設備オペレータ１７は作業帽などを着用しているのが一般的なため、作業帽を特徴として検出してもよい。あるいは設備オペレータ１７の衣類を特徴として検出してもよい。

図９Ａに示すように、自動搬送車管理装置１３は、３６０度画像上で設備オペレータ１７を検出すると、その３６０度画像を撮像した全方位カメラ２１２に対する設備オペレータ１７の角度方向を判断する。そして、自動搬送車管理装置１３は全方位カメラ２１２毎にその全方位カメラ２１２を起点として上述した角度方向に延びる直線を設定し、全方位カメラ２１２毎に設定した直線の交点の位置（ＸＹ座標）を設備オペレータ１７の位置（方位及び距離）として検出する。

複数の全方位カメラ２１２のキャリブレーションは、ステレオカメラのキャリブレーションと同様の方法で行うことができる。一般にステレオカメラのキャリブレーションでは各カメラ共通で見える位置にキャリブレーションの治具を配置し、各カメラでその治具を撮像して分解能や位置関係を調整することが行われている。複数の全方位カメラ２１２についてもそのような方法でキャリブレーションが可能である。

実施形態２に係るオペレータ検出システム２６０によると、複数の全方位カメラ２１２を備えており、各全方位カメラ２１２についてその全方位カメラ２１２から見てどの方向に設備オペレータ１７がいるかを判断し、全方位カメラ２１２毎に判断した設備オペレータ１７がいる方向の交点を設備オペレータ１７の位置として検出することにより、設備オペレータ１７がいるか否かだけでなく、設備オペレータ１７がいる場合にその設備オペレータ１７の位置まで検出できる。言い換えると、複数の全方位カメラ２１２を備えていると、それら複数の全方位カメラ２１２の検出信号を統合してステレオ的な処理を行うことにより、設備オペレータ１７の位置を検出できる。

通常、複数の基板作業装置Ｍは図示しないコンベアを基準にした直線状配置が保証されるため、全方位カメラ２１２を基板作業装置Ｍに配すると、基板作業装置Ｍの配置が変更されても複数の全方位カメラ２１２の位置関係が変化し難い。このため、基板作業装置Ｍに全方位カメラ２１２を配すると、複数の全方位カメラ２１２の検出信号に基づいて設備オペレータ１７の位置を検出する場合に、基板作業装置Ｍの配置が変更されても複数の全方位カメラ２１２の位置関係を調整することなく（あるいは少ない調整で）設備オペレータ１７の位置を検出できるという利点もある。

＜実施形態３＞
図１０に示すように、実施形態３に係るオペレータ検出システム３６０はオペレータ検出センサ１２と基板作業装置Ｍとで構成されている。実施形態３では各基板作業装置Ｍがそれぞれオペレータ検出センサ１２の検出信号に基づいて設備オペレータ１７を検出するオペレータ検出装置としても機能する。各基板作業装置Ｍは検出結果を自動搬送車管理装置１３に送信する。

実施形態３に係るオペレータ検出システム３６０によると、基板作業装置Ｍがオペレータ検出装置としても機能するので、オペレータ検出センサ１２の検出信号に基づいて設備オペレータ１７を検出する装置を基板作業装置Ｍとは別に用意する場合に比べ、オペレータ検出システム３６０の構成を簡素にできる。

自動搬送車管理装置１３が各基板作業装置Ｍから送信された検出信号に基づいて設備オペレータ１７を検出する場合は、自動搬送車管理装置１３に負荷が集中する。これに対し、実施形態３に係るオペレータ検出システム３６０では設備オペレータ１７を検出する処理が複数の基板作業装置Ｍに分散されるので、自動搬送車管理装置１３への負荷の集中を回避できるという利点もある。

更に、自動搬送車管理装置１３が各基板作業装置Ｍから送信された検出信号に基づいて設備オペレータ１７を検出する場合は、通信ネットワークを介して検出信号が送信されるので通信ネットワークの負荷が大きくなる。これに対し、基板作業装置Ｍが設備オペレータ１７を検出する場合はその検出結果を自動搬送車管理装置１３に送信すればよいので、検出信号を送信する場合に比べて通信ネットワークの負荷を軽減できるという利点もある。

＜実施形態４＞
図１１に示すように、実施形態４に係るオペレータ検出システム４６０は複数のオペレータ検出センサ１２と自動搬送車管理装置１３とで構成されている。実施形態４でも自動搬送車管理装置１３がオペレータ検出装置を兼ねている。実施形態４では基板作業装置Ｍはオペレータ検出システム４６０を構成していない。

実施施形態４に係るオペレータ検出センサ１２も基板作業装置Ｍに配されているが、基板作業装置Ｍには電気的に接続されておらず、信号線６１を介して自動搬送車管理装置１３に直接接続されている。このため、オペレータ検出センサ１２の検出信号は基板作業装置Ｍを介さずに自動搬送車管理装置１３に送信される。

実施形態４に係るオペレータ検出システム４６０によると、基板作業装置Ｍの周囲にいる設備オペレータ１７をオペレータ検出センサ１２によって検出する場合に、基板作業装置Ｍの配置が変更されてもオペレータ検出センサ１２の位置や角度などを変更する工事を極力不要にできる。

＜実施形態５＞
前述した実施形態１では、自動搬送車管理装置１３は、自動搬送車を効率よく運行するための所定の処理として、検出した設備オペレータ１７を避けた搬送経路を走行するように経路計画を作成する処理を実行する。これに対し、実施形態５では、自動搬送車管理装置１３はオペレータ検出システム６０の検出結果に基づいて搬送経路毎に設備オペレータ１７の数を判断し、設備オペレータ１７の数が最も少ない搬送経路を走行するように経路計画を作成する。

図１２を参照して、実施形態５に係る経路計画の作成の具体例について説明する。図１２に示す例では基板作業装置Ｍ２９に補給品を搬送する搬送経路として４つの搬送経路Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３及びＲ４がある。図１２に示す例では搬送経路Ｒ１に３人の設備オペレータ１７がおり、搬送経路Ｒ２及びＲ３にそれぞれ２人の設備オペレータ１７、搬送経路Ｒ４に１人の設備オペレータ１７がいる。この場合、設備オペレータ１７の数が最も少ない搬送経路は搬送経路Ｒ４であるので、自動搬送車管理装置１３は搬送経路Ｒ４を走行するように経路計画を作成する。

実施形態５に係る自動搬送車管理システム６０によると、設備オペレータ１７の数が最も少ない搬送経路を走行するように経路計画を作成するので、設備オペレータ１７の数が多い搬送経路を走行する場合に比べて自動搬送車１１を効率よく運行できる。

＜実施形態６＞
実施形態６に係る所定の処理は、自動搬送車１１に基板作業装置Ｍへの補給品の搬送を指示する処理であり、オペレータ検出システムによって検出されたオペレータの近傍の基板作業装置Ｍ以外の基板作業装置Ｍへの補給品の搬送を指示する。

図１３を参照して、実施形態６に係る所定の処理の具体例について説明する。図１３に示す例では基板作業装置Ｍ２６及び基板作業装置Ｍ３４が自動搬送車管理装置１３に補給要求を送信しているとする。図１３に示す例では、設備オペレータ１７が基板作業装置Ｍ２６に対して何らかの作業をしている。このため基板作業装置Ｍ２６の近傍に設備オペレータ１７が検出される。この場合、自動搬送車１１に基板作業装置Ｍ２６への補給品の搬送を指示すると、自動搬送車１１は設備オペレータ１７が基板作業装置Ｍ２６の近傍からいなくなるまで待ち時間が生じる。このため、自動搬送車管理装置１３は、近傍に設備オペレータ１７が検出されていない基板作業装置Ｍ３４に補給品を搬送するよう自動搬送車１１に指示する。

実施形態６に係る自動搬送車管理システム６０によると、検出された設備オペレータ１７の近傍の基板作業装置Ｍ２６以外の基板作業装置Ｍ３４に補給品を搬送するよう指示するので、設備オペレータ１７が近傍にいる基板作業装置Ｍ２６に補給品を搬送する場合に比べて自動搬送車１１を効率よく運行できる。

＜実施形態７＞
実施形態７に係る所定の処理は、オペレータ検出システム６０によって検出された設備オペレータ１７に、自動搬送車１１の搬送経路上にいることを報知する処理である。
図１４に示すように、実施形態７に係る基板作業装置Ｍはブザーやスピーカなどの発音部２５を備えている。実施形態７では、自動搬送車管理装置１３は自動搬送車１１が基板作業装置Ｍまで最短経路で走行するように経路計画を作成する。そして、自動搬送車管理装置１３は、最短経路上で設備オペレータ１７が検出された場合は、検出された設備オペレータ１７に最も近い基板作業装置Ｍに報知音の発音を指示する。発音を指示された基板作業装置Ｍは発音部２５によって報知音を発音する。自動搬送車管理装置１３は設備オペレータ１７に最も近い基板作業装置Ｍだけでなくその周囲の基板作業装置Ｍにも発音を指示してもよい。

実施形態７に係る自動搬送車管理システム６０によると、報知された設備オペレータ１７が搬送経路上から移動することにより、自動搬送車１１の待ち時間を低減できる。このため自動搬送車１１を効率よく運行できる。

＜他の実施形態＞
本明細書によって開示される技術は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本明細書によって開示される技術的範囲に含まれる。

（１）上記実施形態ではオペレータ検出センサとして超音波センサや全方位カメラを例に説明したが、オペレータ検出センサはこれらに限定されない。例えば、オペレータ検出センサはＬｉＤＡＲ（Ｌｉｇｈｔ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ Ａｎｄ Ｒａｎｇｉｎｇ）、デジタルカメラ（カメラの一例）、人感センサ（赤外線センサ）であってもよい。
ＬｉＤＡＲは光によって物体を検知するセンサである。一般にＬｉＤＡＲは全方位を検出できるので、ＬｉＤＡＲを用いる場合は基板作業装置Ｍの上面の中央に１つだけ設けてもよい。ＬｉＤＡＲの場合はセンサ単体で設備オペレータ１７の位置（方位及び距離）を検出できる。

オペレータ検出センサとしてデジタルカメラを用いる場合は、全方位カメラ２１２の場合と同様に、複数のデジタルカメラの検出信号を統合してステレオ的な処理を行うことによって設備オペレータ１７の位置（方位及び距離）を検出してもよい。
ここでは全方位カメラ２１２やデジタルカメラの検出信号を統合して設備オペレータ１７の位置を検出する場合を説明したが、全方位カメラ２１２やデジタルカメラ以外のセンサの検出信号を統合して設備オペレータ１７の位置を検出してもよい。

（２）上記実施形態では１種類のオペレータ検出センサ（実施形態１の場合は超音波センサ、実施形態２の場合は全方位カメラ）を用いて設備オペレータ１７を検出する場合を例に説明したが、検出に用いるオペレータ検出センサは１種類に限定されず、複数種類のセンサを組み合わせてもよい。例えば超音波センサやＬｉＤＡＲは物体を検出できるが、それが人であるか否かまでは検出できない。このため、人感センサと組み合わせ、検出された物体の温度が所定値以上であれば設備オペレータ１７であると判断してもよい。
このように、種類の異なる複数のオペレータ検出センサ１２を備えていると、オペレータ検出センサ１２の種類が１種類だけである場合に比べ、オペレータとオペレータ以外の物体との識別精度が向上する。

（３）上記実施形態２ではオペレータ検出センサとして全方位カメラ２１２を用いる場合を例に説明したが、２つの１８０度カメラで３６０度を撮像してもよいし、３６０度をｎ等分してｎ個のカメラで３６０度を撮像してもよい。

（４）上記実施形態ではオペレータ検出センサが基板作業装置Ｍの上面に配されている場合を例に説明した。これに対し、オペレータ検出センサは基板作業装置Ｍの左右の側面に配されてもよい。

（５）上記実施形態では複数の基板作業装置Ｍのそれぞれにオペレータ検出センサが配されている場合を例に説明した。これに対し、オペレータ検出センサはいずれか一つの基板作業装置Ｍだけに配されていてもよい。あるいは、複数の基板作業装置Ｍに一つ置きにオペレータ検出センサを配するなどのように、必ずしも全ての基板作業装置Ｍにオペレータ検出センサが配されなくてもよい。

（６）上記実施形態７では最短経路上にいる設備オペレータ１７に報知する場合を例に説明した。これに対し、実施形態５のように設備オペレータ１７の数が最も少ない搬送経路を走行するように経路計画を作成する場合に、設備オペレータ１７の数が最も少ない搬送経路上の設備オペレータ１７に報知してもよい。

１１：自動搬送車
１２：オペレータ検出センサ（センサの一例）
１３：自動搬送車管理装置（オペレータ検出装置及び管理装置の一例）
１７：設備オペレータ（オペレータの一例）
６０：オペレータ検出システム（自動搬送車管理システム）
２１２：オペレータ検出センサ、全方位カメラ（センサの一例）
２６０：オペレータ検出システム（自動搬送車管理システム）
３６０：オペレータ検出システム
４６０：オペレータ検出システム（自動搬送車管理システム）
Ｍ（Ｍ１１～Ｍ１９、Ｍ２１～Ｍ２９、Ｍ３１～Ｍ３９）：基板作業装置
Ｒ１～Ｒ４：搬送経路

Claims (11)

1. 基板に対する作業を行う基板作業装置の周囲にいるオペレータを検出するオペレータ検出システムであって、
   オペレータを検出するためのセンサと、
   前記センサの検出信号に基づいてオペレータを検出するオペレータ検出装置と、
   を備え、
   前記センサが前記基板作業装置に配されている、オペレータ検出システム。
2. 基板に対する作業を行う基板作業装置の周囲にいるオペレータを検出するオペレータ検出システムであって、
   前記基板作業装置と、
   オペレータを検出するためのセンサと、
   前記基板作業装置と通信可能に接続されており、前記センサの検出信号に基づいてオペレータを検出するオペレータ検出装置と、
   を備え、
   前記センサが前記基板作業装置に配されており、前記センサの検出信号が前記基板作業装置を介して前記オペレータ検出装置に送信される、オペレータ検出システム。
3. 基板に対する作業を行う基板作業装置の周囲にいるオペレータを検出するオペレータ検出システムであって、
   前記基板作業装置と、
   オペレータを検出するためのセンサと、
   を備え、
   前記センサが前記基板作業装置に配されており、
   前記基板作業装置は、前記センサの検出信号に基づいてオペレータを検出するオペレータ検出装置としても機能する、オペレータ検出システム。
4. 請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のオペレータ検出システムであって、
   複数の前記センサを備え、複数の前記センサの検出信号に基づいてオペレータの位置を検出する、オペレータ検出システム。
5. 請求項４に記載のオペレータ検出システムであって、
   前記センサはカメラである、オペレータ検出システム。
6. 請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のオペレータ検出システムであって、
   種類の異なる複数の前記センサを備えている、オペレータ検出システム。
7. 基板に対する作業を行う基板作業装置に補給品を自動で搬送する自動搬送車を管理する自動搬送車管理システムであって、
   請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のオペレータ検出システムと、
   管理装置と、
   を備え、
   前記管理装置は、前記オペレータ検出システムの検出結果に基づいて、前記自動搬送車を効率よく運行するための所定の処理を実行する、自動搬送車管理システム。
8. 請求項７に記載の自動搬送車管理システムであって、
   前記所定の処理は前記自動搬送車に前記基板作業装置への補給品の搬送を指示する処理であり、
   前記管理装置は、前記所定の処理において、前記オペレータ検出システムによって検出されたオペレータの近傍の前記基板作業装置以外の前記基板作業装置に補給品を搬送するよう指示する、自動搬送車管理システム。
9. 請求項７に記載の自動搬送車管理システムであって、
   前記所定の処理は前記自動搬送車の経路計画を作成する処理であり、
   前記管理装置は、前記所定の処理において、前記オペレータ検出システムによって検出されたオペレータを避けた搬送経路を走行するように経路計画を作成する、自動搬送車管理システム。
10. 請求項７に記載の自動搬送車管理システムであって、
    前記所定の処理は前記自動搬送車の経路計画を作成する処理であり、
    前記管理装置は、前記所定の処理において、前記オペレータ検出システムの検出結果に基づいて搬送経路毎にオペレータの数を判断し、オペレータの数が最も少ない搬送経路を走行するように経路計画を作成する、自動搬送車管理システム。
11. 請求項７に記載の自動搬送車管理システムであって、
    前記所定の処理は、前記オペレータ検出システムによって検出されたオペレータに、前記自動搬送車の搬送経路上にいることを報知する処理である、自動搬送車管理システム。

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