JP2023070981A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023070981A5 JP2023070981A5 JP2021183520A JP2021183520A JP2023070981A5 JP 2023070981 A5 JP2023070981 A5 JP 2023070981A5 JP 2021183520 A JP2021183520 A JP 2021183520A JP 2021183520 A JP2021183520 A JP 2021183520A JP 2023070981 A5 JP2023070981 A5 JP 2023070981A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mold
- unit
- driving unit
- imprint material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021183520A JP7730727B2 (ja) | 2021-11-10 | 2021-11-10 | インプリント装置、及び物品の製造方法 |
| US17/969,909 US12447666B2 (en) | 2021-11-10 | 2022-10-20 | Imprint apparatus and article manufacturing method |
| KR1020220144296A KR20230068314A (ko) | 2021-11-10 | 2022-11-02 | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021183520A JP7730727B2 (ja) | 2021-11-10 | 2021-11-10 | インプリント装置、及び物品の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2023070981A JP2023070981A (ja) | 2023-05-22 |
| JP2023070981A5 true JP2023070981A5 (enExample) | 2024-11-07 |
| JP7730727B2 JP7730727B2 (ja) | 2025-08-28 |
Family
ID=86229363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021183520A Active JP7730727B2 (ja) | 2021-11-10 | 2021-11-10 | インプリント装置、及び物品の製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US12447666B2 (enExample) |
| JP (1) | JP7730727B2 (enExample) |
| KR (1) | KR20230068314A (enExample) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6039917B2 (ja) * | 2012-05-22 | 2016-12-07 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
| JP6363838B2 (ja) * | 2014-01-08 | 2018-07-25 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
| JP6465577B2 (ja) * | 2014-07-11 | 2019-02-06 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
| JP6611450B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2019-11-27 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 |
| JP2017157639A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
-
2021
- 2021-11-10 JP JP2021183520A patent/JP7730727B2/ja active Active
-
2022
- 2022-10-20 US US17/969,909 patent/US12447666B2/en active Active
- 2022-11-02 KR KR1020220144296A patent/KR20230068314A/ko active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2023057171A5 (enExample) | ||
| JP6497938B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法。 | |
| TWI681845B (zh) | 拋磨控制方法及系統 | |
| JP2014229883A5 (enExample) | ||
| JP2013219331A5 (enExample) | ||
| JP2021025973A5 (enExample) | ||
| JP2016213418A5 (enExample) | ||
| JP2016195183A5 (enExample) | ||
| US11059218B1 (en) | Methods for adjusting height of a 3D printer nozzle | |
| JP6140990B2 (ja) | 測定装置、インプリントシステム、測定方法及びデバイス製造方法 | |
| JP2020008841A5 (enExample) | ||
| JP2023070981A5 (enExample) | ||
| KR101042056B1 (ko) | 가변 금형을 이용한 강판의 곡면성형방법 | |
| JP2024078506A5 (enExample) | ||
| JP2002116119A (ja) | タイヤ踏面の接地部測定装置及びタイヤ踏面の接地部測定方法 | |
| JP2019212674A5 (enExample) | ||
| TWI711576B (zh) | 用於調整模板位置的系統及方法 | |
| JP6971599B2 (ja) | インプリント装置、欠陥検査方法、パターン形成方法および物品製造方法 | |
| JP2020091429A5 (enExample) | ||
| JP2017224812A5 (enExample) | ||
| JP2022165816A5 (enExample) | ||
| JP2023088471A5 (enExample) | ||
| JP2856267B2 (ja) | 塗型膜厚の測定方法 | |
| JP2022054250A5 (enExample) | ||
| KR20210052261A (ko) | 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품 제조 방법 |