JP2017224812A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017224812A5 JP2017224812A5 JP2017110546A JP2017110546A JP2017224812A5 JP 2017224812 A5 JP2017224812 A5 JP 2017224812A5 JP 2017110546 A JP2017110546 A JP 2017110546A JP 2017110546 A JP2017110546 A JP 2017110546A JP 2017224812 A5 JP2017224812 A5 JP 2017224812A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mold
- amount
- positional deviation
- deforming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 99
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2017/020961 WO2017213133A1 (ja) | 2016-06-09 | 2017-06-06 | 位置合わせ方法、インプリント装置、プログラム、および物品の製造方法 |
| KR1020187038069A KR102378292B1 (ko) | 2016-06-09 | 2017-06-06 | 위치 정렬 방법, 임프린트 장치, 프로그램 및 물품의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016115109 | 2016-06-09 | ||
| JP2016115109 | 2016-06-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017224812A JP2017224812A (ja) | 2017-12-21 |
| JP2017224812A5 true JP2017224812A5 (enExample) | 2020-07-30 |
Family
ID=60687192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017110546A Pending JP2017224812A (ja) | 2016-06-09 | 2017-06-05 | 位置合わせ方法、インプリント装置、プログラム、および物品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2017224812A (enExample) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7555756B2 (ja) | 2020-08-07 | 2024-09-25 | キヤノン株式会社 | インプリントシステム、インプリント方法、および物品製造方法 |
| JP7610463B2 (ja) * | 2021-04-20 | 2025-01-08 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010122526A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Shinko Electric Ind Co Ltd | マスクレス露光方法 |
| JP2010186918A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Nikon Corp | アライメント方法、露光方法及び露光装置、デバイス製造方法、並びに露光システム |
| JP2010283207A (ja) * | 2009-06-05 | 2010-12-16 | Toshiba Corp | パターン形成装置およびパターン形成方法 |
| JP5428671B2 (ja) * | 2009-09-08 | 2014-02-26 | 株式会社ニコン | 露光方法、デバイス製造方法、及び露光システム |
| JP6412317B2 (ja) * | 2013-04-24 | 2018-10-24 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置および物品の製造方法 |
| JP6552329B2 (ja) * | 2014-09-12 | 2019-07-31 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリントシステム及び物品の製造方法 |
| JP6506521B2 (ja) * | 2014-09-17 | 2019-04-24 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 |
-
2017
- 2017-06-05 JP JP2017110546A patent/JP2017224812A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2013138175A5 (enExample) | ||
| US9244342B2 (en) | Imprint apparatus and pattern transfer method | |
| JP2015111657A5 (enExample) | ||
| JP2013162045A5 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 | |
| JP2013219331A5 (enExample) | ||
| JP2014225637A5 (enExample) | ||
| JP2014229883A5 (enExample) | ||
| JP2015056589A5 (enExample) | ||
| JP2016201423A5 (enExample) | ||
| JP2013004744A5 (enExample) | ||
| JP2015170815A5 (enExample) | ||
| JP6457773B2 (ja) | インプリント方法、インプリント装置及び物品製造方法 | |
| JP2016021441A5 (enExample) | ||
| JP2013058517A5 (enExample) | ||
| JP2011151092A5 (enExample) | ||
| JP2012164832A5 (enExample) | ||
| CN106004136A (zh) | 网版印刷方法及压印装置 | |
| JP2016127167A (ja) | インプリント装置、および物品の製造方法 | |
| JP2012134466A5 (enExample) | ||
| JP2016195183A5 (enExample) | ||
| JP2013162046A5 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 | |
| KR20160037252A (ko) | 신발 솔의 실시간 품질검사방법 | |
| JP2016042501A5 (enExample) | ||
| JP2017224812A5 (enExample) | ||
| JP2015228463A5 (enExample) |