JP2012164832A5 - - Google Patents
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Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011024437A JP5759195B2 (ja) | 2011-02-07 | 2011-02-07 | 型、インプリント方法及び物品製造方法 |
| US13/361,068 US8609008B2 (en) | 2011-02-07 | 2012-01-30 | Mold, imprint method, and method of manufacturing article |
| KR1020120009003A KR101435250B1 (ko) | 2011-02-07 | 2012-01-30 | 형, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법 |
| TW101103783A TWI532074B (zh) | 2011-02-07 | 2012-02-06 | 模具，壓印方法，及物品製造方法 |
| US14/082,297 US20140070455A1 (en) | 2011-02-07 | 2013-11-18 | Mold, imprint method, and method of manufacturing article |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011024437A JP5759195B2 (ja) | 2011-02-07 | 2011-02-07 | 型、インプリント方法及び物品製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012164832A JP2012164832A (ja) | 2012-08-30 |
| JP2012164832A5 true JP2012164832A5 (enExample) | 2014-03-20 |
| JP5759195B2 JP5759195B2 (ja) | 2015-08-05 |
Family
ID=46600111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011024437A Expired - Fee Related JP5759195B2 (ja) | 2011-02-07 | 2011-02-07 | 型、インプリント方法及び物品製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US8609008B2 (enExample) |
| JP (1) | JP5759195B2 (enExample) |
| KR (1) | KR101435250B1 (enExample) |
| TW (1) | TWI532074B (enExample) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008153102A1 (ja) | 2007-06-14 | 2008-12-18 | Aji Co., Ltd. | 造形方法、レンズの製造方法、造形装置、スタンパの製造方法、マスタ製造装置、スタンパ製造システム、及びスタンパ製造装置 |
| US20140205702A1 (en) * | 2013-01-24 | 2014-07-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Template, manufacturing method of the template, and position measuring method in the template |
| US20140209567A1 (en) * | 2013-01-29 | 2014-07-31 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Template, manufacturing method of the template, and strain measuring method in the template |
| JP6060796B2 (ja) * | 2013-04-22 | 2017-01-18 | 大日本印刷株式会社 | インプリントモールド及びダミーパターン設計方法 |
| JP2014229670A (ja) * | 2013-05-20 | 2014-12-08 | 株式会社東芝 | パターン形成方法及びパターン形成装置 |
| JP5989610B2 (ja) * | 2013-08-05 | 2016-09-07 | 株式会社東芝 | マスクセット設計方法およびマスクセット設計プログラム |
| CN105793777B (zh) * | 2013-12-10 | 2020-02-18 | 佳能纳米技术公司 | 压印光刻术模板和用于零间隙压印的方法 |
| JP6398284B2 (ja) * | 2014-04-21 | 2018-10-03 | 大日本印刷株式会社 | インプリントモールド、インプリントモールド用ブランクス、並びにインプリントモールド用基板の製造方法及びインプリントモールドの製造方法 |
| JP6320183B2 (ja) * | 2014-06-10 | 2018-05-09 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品製造方法 |
| KR102534892B1 (ko) * | 2015-02-13 | 2023-05-23 | 모포토닉스 홀딩 비.브이. | 이산 기판들을 텍스처링하기 위한 방법 |
| JP6138189B2 (ja) * | 2015-04-08 | 2017-05-31 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品の製造方法 |
| US9823061B2 (en) * | 2015-06-15 | 2017-11-21 | Zygo Corporation | Displacement measurement of deformable bodies |
| US10035296B2 (en) * | 2016-10-13 | 2018-07-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Methods for controlling spread of imprint material |
| JP6498343B2 (ja) * | 2017-08-25 | 2019-04-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、物品製造方法、成形装置および成形方法。 |
| US11194247B2 (en) | 2018-01-31 | 2021-12-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Extrusion control by capillary force reduction |
| KR102666843B1 (ko) * | 2018-08-31 | 2024-05-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 나노 임프린트용 스탬프 및 이의 제조 방법 |
| US11562924B2 (en) * | 2020-01-31 | 2023-01-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Planarization apparatus, planarization process, and method of manufacturing an article |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000323461A (ja) | 1999-05-11 | 2000-11-24 | Nec Corp | 微細パターン形成装置、その製造方法、および形成方法 |
| SG142150A1 (en) * | 2000-07-16 | 2008-05-28 | Univ Texas | High-resolution overlay alignment systems for imprint lithography |
| US7309225B2 (en) * | 2004-08-13 | 2007-12-18 | Molecular Imprints, Inc. | Moat system for an imprint lithography template |
| CN1928711B (zh) | 2005-09-06 | 2010-05-12 | 佳能株式会社 | 模具、压印方法和用于生产芯片的工艺 |
| US8850980B2 (en) * | 2006-04-03 | 2014-10-07 | Canon Nanotechnologies, Inc. | Tessellated patterns in imprint lithography |
| JP5258635B2 (ja) * | 2008-03-18 | 2013-08-07 | キヤノン株式会社 | ナノインプリント方法、ナノインプリントに用いられるモールド及び構造体の製造方法 |
| NL2004932A (en) * | 2009-07-27 | 2011-01-31 | Asml Netherlands Bv | Imprint lithography template. |
| JP5703600B2 (ja) * | 2010-06-21 | 2015-04-22 | 大日本印刷株式会社 | インプリント用モールド、アライメント方法、インプリント方法、およびインプリント装置 |
-
2011
- 2011-02-07 JP JP2011024437A patent/JP5759195B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-01-30 US US13/361,068 patent/US8609008B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-01-30 KR KR1020120009003A patent/KR101435250B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 2012-02-06 TW TW101103783A patent/TWI532074B/zh not_active IP Right Cessation
-
2013
- 2013-11-18 US US14/082,297 patent/US20140070455A1/en not_active Abandoned