JP2023067694A - キャパシタ部品 - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性を向上させることができるキャパシタ部品を提供する。【解決手段】本開示によるキャパシタ部品は、内部電極層、及び隣接する上記内部電極層の間に配置された誘電体層を含む本体と、上記本体の一面に配置される外部電極と、を含み、上記内部電極層及び上記誘電体層のそれぞれは、モリブデン（Ｍｏ）を含有し、上記誘電体層は、厚さ方向の中央部と、上記中央部と上記内部電極層との間に配置された外郭部を有し、上記誘電体層の中央部に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量は、上記誘電体層の外郭部に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量よりも少ない。【選択図】図３

Description

本発明は、キャパシタ部品に関するものである。

キャパシタ部品の一つであるＭＬＣＣは、小型でありながらも高容量が保障され、実装が容易であるという利点により、通信、コンピュータ、家電、自動車などの産業に用いられる重要なチップ部品であり、特に、携帯電話、コンピュータ、デジタルＴＶなどの各種電気、電子、情報通信機器に用いられる核心受動素子である。

ＭＬＣＣの高性能化の要求に応じて、誘電体層はますます薄くなっている。しかし、誘電体層が薄くなると容量は向上させることができるが、その他の特性、例えば、温度特性及びＤＣ－ｂｉａｓなどの電気的特性及び信頼性が低下するという問題が発生することがある。

韓国公開特許第２０２１－００７１４９６号

本発明のいくつかの目的の一つは、信頼性を向上させることができるキャパシタ部品を提供することである。

本発明の一側面は、内部電極層、及び隣接する上記内部電極層の間に配置された誘電体層を含む本体と、上記本体の一面に配置される外部電極と、を含み、上記内部電極層及び上記誘電体層のそれぞれは、モリブデン（Ｍｏ）を含有し、上記誘電体層は、厚さ方向の中央部と、上記中央部と上記内部電極層との間に配置された外郭部を有し、上記誘電体層の中央部に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量は、上記誘電体層の外郭部に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量よりも少ない、キャパシタ部品を提供する。

本発明の一実施形態によると、キャパシタ部品の信頼性を向上させることができる。

本発明の一実施形態に係るキャパシタ部品を概略的に示した図面である。 図１のＩ－Ｉ'線に沿った断面を概略的に示した図面である。 本体の一領域に対するＴＥＭイメージを概略的に示した図面である。 本体の一領域に対するＴＥＭイメージを概略的に示した図面である。

以下では、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は、いくつかの他の形態に変形することができ、本発明の範囲が以下説明する実施形態に限定されるものではない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために拡大縮小表示（又は強調表示や簡略化表示）がされることがある。

また、各実施形態の図面に示された同一思想の範囲内の機能が同一である構成要素は、同一の参照符号を付与して説明する。

さらに、明細書全体において、ある構成要素を「含む」というのは、特に反対される記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。

また、明細書全体において、「上に」形成されるというのは、直接的に接触して形成されることを意味するだけでなく、間に他の構成要素をさらに含むことを意味することができると文脈に応じて適切に解釈されるべきである。

そして、図面において本発明を明確に説明するために説明と関係のない部分は省略し、複数の層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示し、明細書全体において類似する部分については、類似した図面符号を付与する。

図１は、本発明の一実施形態に係るキャパシタ部品を概略的に示した図面であり、図２は、図１のＩ－Ｉ'線に沿った断面を概略的に示した図面であり、図３及び図４のそれぞれは、本体の一領域に対するＴＥＭイメージを概略的に示した図面である。

図１及び図２を参照すると、本発明の一実施形態に係るキャパシタ部品１００は、本体１１０並びに第１及び第２外部電極１３０、１４０を含む。

本体１１０は、キャパシタ容量の形成に寄与する部分としての活性領域と、上下マージン部として活性領域の上下部にそれぞれ形成される上部カバー１１２、及び下部カバー１１３を含むことができる。

本発明の一実施形態において、本体１１０は形状に特に制限はないが、実質的に六面体状であることができる。すなわち、本体１１０は、内部電極層１２１、１２２の配置に応じた厚さの差及び角部の研磨により、完全な六面体状ではないが、実質的に六面体に近い形状を有することができる。

本発明の実施形態を明確に説明するために、六面体の方向を定義すると、図面上に示されたＬ、Ｗ及びＴは、それぞれ長さ方向、幅方向及び厚さ方向を示す。ここで、厚さ方向は、誘電体層が積層された積層方向と同一概念として用いることができる。

また、本体１１０において、Ｔ方向に互いに対向する両面を第１面１及び第２面２と定義し、第１面１及び第２面２と連結され、Ｌ方向に互いに対向する両面を第３面３及び第４面４と定義し、第１面１及び第２面２と連結され、第３面３及び第４面４と連結され、かつＷ方向に互いに対向する両面を第５面５及び第６面６と定義する。このとき、第１面１は実装面となることができる。

上記活性領域は、複数の誘電体層１１１と、誘電体層１１１を間に挟んで複数の第１及び第２内部電極層１２１、１２２とが交互に積層される構造からなることができる。

誘電体層１１１は、高誘電率を有するセラミック粉末、例えば、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）系またはチタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ_３）系粉末を用いて形成されることができ、本発明がこれに限定されるものではない。ここで、例えば、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）系粉末を用いて誘電体層１１１が形成されるというのは、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）粉末を主成分とし、主成分に副成分粉末を追加したものを用いたことを意味することができる。副成分は、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）のペロブスカイト構造（ＡＢＯ_３）において、バリウム（Ｂａ）及び／またはチタン（Ｔｉ）の格子位置、すなわち、Ａ－ｓｉｔｅ及び／またはＢ－ｓｉｔｅを置換（ｓｕｂｓｔｉｔｕｔｅ）または侵入（ｉｎｔｅｒｓｔｉｔｉａｌ）することができる元素のカチオンを含む化合物（酸化物及び窒化物などを意味する）を含むことができる。

誘電体層１１１の厚さは、キャパシタ部品１００の容量設計に合わせて任意に変更することができ、本体１１０の大きさ及び容量を考慮して１層の厚さは焼成後に０．１μｍ～１０μｍとなるように構成することができるが、本発明がこれに限定されるものではない。一方、誘電体層１１１の厚さとは、Ｗ方向の中央部で切り取った本体１００のＬ－Ｔ断面に対する光学顕微鏡写真、ＳＥＭ写真またはＴＥＭ写真に示されたいずれか一つの誘電体層１１１のＴ方向に沿った数値（ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ）をＬ方向に複数回測定した算術平均値を意味することができる。ここで、Ｌ方向に沿った複数回測定は、Ｌ方向に沿って等間隔であることができるが、これに制限されるものではない。または、誘電体層１１１の厚さとは、上記写真に示された複数の誘電体層１１１のそれぞれについて、上述したＴ方向に沿った数値の算術平均値を求め、これらの合計を誘電体層１１１の総数で割った値を意味することができる。

第１内部電極層１２１及び第２内部電極層１２２は、誘電体層１１１を間に挟んで互いに向かい合うように配置されることができる。

第１内部電極層１２１及び第２内部電極層１２２は、誘電体層１１１を形成するための誘電体グリーンシート上に所定厚さで導電性金属を含む導電性ペーストを印刷して誘電体グリーンシートを間に挟んで誘電体グリーンシートの積層方向に沿って積層した後、このような積層体を焼結することにより形成されることができる。第１内部電極層１２１及び第２内部電極層１２２は、積層体が焼結されて形成された本体１１０の第３面３及び第４面４を介して交互に露出するように形成されることができ、中間に配置された誘電体層１１１によって互いに電気的に絶縁されることができる。

このような第１内部電極層１２１及び第２内部電極層１２２は、本体１１０の第３面３及び第４面４を介して交互に露出する部分によって第１外部電極１３０及び第２外部電極１４０とそれぞれ電気的に連結されることができる。

したがって、第１外部電極１３０及び第２外部電極１４０に電圧を印加すると、互いに対向する第１内部電極層１２１及び第２内部電極層１２２の間に電荷が蓄積され、このとき、キャパシタ部品１００の静電容量は、第１内部電極層１２１及び第２内部電極層１２２の互いに重なる領域の面積に比例するようになる。

このような第１内部電極層１２１及び第２内部電極層１２２の厚さは用途に応じて決定されることができ、例えば、セラミック本体１１０の大きさ及び容量を考慮して０．１μｍ～１．０μｍの範囲内になるように決定されることができるが、本発明がこれに限定されるものではない。一方、例えば、第１内部電極層１２１の厚さとは、上述した誘電体層１１１の厚さに対する測定方法と同一測定方法で算出されることができる。

誘電体層１１１及び第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２のそれぞれは、モリブデン（Ｍｏ）を含有することができる。すなわち、誘電体層１１１はモリブデン（Ｍｏ）を含有することができ、第１内部電極層１２１はモリブデン（Ｍｏ）を含有することができ、第２内部電極層１２２はモリブデン（Ｍｏ）を含有することができる。

誘電体層１１１がモリブデン（Ｍｏ）を含有する場合、モリブデン（Mｏ）がドナー（Ｄｏｎｏｒ）として機能し、誘電体層１１１の信頼性特性を改善することができる。すなわち、例えば、誘電体層１１１がＢａＴｉＯ_３系誘電体を含む場合、+６価と知られているモリブデン（Ｍｏ）がＢａＴｉＯ_３系誘電体のＴｉ位のうち少なくとも一部を置換することができるが、このとき、モリブデン（Ｍｏ）がドナー（ｄｏｎｏｒ）として適用して誘電体層１１１において酸素空孔の濃度を下げることができる。これにより、誘電体層１１１の信頼性特性が改善されることができる。

第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２がモリブデン（Ｍｏ）を含む場合、第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２の信頼性特性を改善することができる。すなわち、第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２に含まれているモリブデン（Ｍｏ）は、可塑及び焼成の熱処理過程中にほとんど第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２のニッケル（Ｎｉ）と合金を形成するようになるが、モリブデン（Ｍｏ）の融点（２６２３℃）は、ニッケル（Ｎｉ）の融点（１４５５℃）よりも１０００℃以上高いため、第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２がニッケル（Ｎｉ）－モリブデン（Ｍｏ）合金を含む場合、大きい熱的安定性を有するようになる。さらに、ニッケル（Ｎｉ）－モリブデン（Ｍｏ）合金の場合、異種元素であるモリブデン（Ｍｏ）が第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２を構成する結晶粒の結晶粒界（ｇｒａｉｎ ｂｏｕｎｄａｒｙ）にｐｉｎｎｉｎｇされる傾向が優勢であるため、第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２の結晶粒を小さくすることができる。また、ニッケル（Ｎｉ）－モリブデン（Ｍｏ）合金の場合、他のニッケル系合金と比較して、拡散係数の差が１００倍以上があるため、焼結過程中に影響を及ぼして第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２の平坦度及び連結性が改善されることができる。また、ニッケル（Ｎｉ）－モリブデン（Ｍｏ）合金は、耐腐食性に優れた合金として広く知られているが、本実施形態の場合、第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２がニッケル（Ｎｉ）－モリブデン（Ｍｏ）合金を含むようになるため、外部電極などを形成するためのめっき工程におけるニッケル（Ｎｉ）腐食による不良を改善することができる。これにより、高温高湿信頼性の評価においても改善された特性を示すことができる。さらに、ニッケル（Ｎｉ）－モリブデン（Ｍｏ）合金は、主に第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２の界面領域に分布するようになるが、モリブデン（Ｍｏ）の融点（２６２３℃）は誘電体であるＢａＴｉＯ_３の融点（１６２５℃）よりも非常に高いため、焼結時に発生する第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２と誘電体層１１１との間の焼結ｍｉｓｍａｔｃｈを克服することにおいて効果的である。

誘電体層１１１は、厚さ方向Ｔに中央部１１１ａと、中央部１１１ａと第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２との間に配置された外郭部１１１ｂを有することができ、誘電体層１１１の中央部１１１ａに含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量は、誘電体層１１１の外郭部１１１ｂに含まれたモリブデン（Ｍｏ）含有量よりも少ないことができる。第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２のモリブデン（Ｍｏ）含有量は、誘電体層１１１の中央部１１１ａ及び外郭部１１１ｂのそれぞれのモリブデン（Ｍｏ）含有量よりも高いことができる。すなわち、誘電体層１１１においてモリブデン（Ｍｏ）含有量は、領域別に相違し、誘電体層１１１のうち第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２と比較的近い外郭部１１１ｂでさらに高いことができる。これは、第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２に比較的高い含有量で含有されたモリブデン（Ｍｏ）が焼結過程中に誘電体層１１１に拡散するためである可能性があるが、本発明の範囲はこれに制限されるものではない。誘電体層１１１のうち第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２と比較的近い外郭部１１１ｂでモリブデン（Ｍｏ）含有量がさらに高いため、本実施形態に係るキャパシタ部品１の信頼性を向上させることができる。具体的には、モリブデン（Ｍｏ）の融点（２６２３℃）は、誘電体であるＢａＴｉＯ_３の融点（１６２５℃）よりも非常に高いため、誘電体層１１１と第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２との間の界面に近い領域にモリブデン（Ｍｏ）含有量を増加させることで焼結時に発生する第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２と誘電体層１１１との間の焼結ｍｉｓｍａｔｃｈを減少させることができる。ここで、誘電体層１１１の外郭部１１１ｂは、誘電体層１１１と第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２との間の界面から誘電体層１１１の中央部１１１ａ側に５０ｎｍまでの領域を意味することができる。また、誘電体層１１１の中央部１１１ａは、誘電体層１１１のうち誘電体層１１１の上下部の外郭部１１１ｂを除外した領域を意味することができる。

誘電体層１１１の中央部１１１ａに含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量は、キャパシタ部品１の幅方向Ｗの中央で切り取った長さ方向－厚さ方向の断面（ＬＴ断面）において、誘電体層１１１の中央部１１１ａの複数の地点に対してＴＥＭ－ＥＤＳマッピングを行い、各地点別にモリブデン（Ｍｏ）含有量を取得し、これを算術平均して導出することができる。例えば、図３を参照すると、誘電体層１１１の中央部１１１ａのモリブデン（Ｍｏ）含有量は、誘電体層１１１の中央部１１１ａの１００ｎｍ間隔で互いに離隔した５つのポイントにＴＥＭ－ＥＤＳを行い、これにより取得したモリブデン（Ｍｏ）含有量に対する算術平均値を意味することができる。誘電体層１１１の外郭部１１１ｂに含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量は、キャパシタ部品１の幅方向Ｗの中央で切り取った長さ方向－厚さ方向の断面（ＬＴ断面）において、誘電体層１１１の外郭部１１１ｂの複数の地点に対してＴＥＭ－ＥＤＳマッピングを行い、各地点別にモリブデン（Ｍｏ）含有量を取得し、これを算術平均して導出することができる。例えば、図３を参照すると、誘電体層１１１の外郭部１１１ｂのモリブデン（Ｍｏ）含有量は、それぞれ誘電体層１１１と第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２との間の界面から誘電体層１１１の中央部１１１ａ側に５０ｎｍ離れており、１００ｎｍ間隔で互いに離隔した５つのポイントにＴＥＭ－ＥＤＳを行い、これにより取得したモリブデン（Ｍｏ）含有量に対する算術平均値を意味することができる。第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量は、キャパシタ部品１の幅方向Ｗの中央で切り取った長さ方向－厚さ方向の断面（ＬＴ断面）において、厚さ方向Ｔの中央に配置されたいずれか一つの第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２の複数の地点に対してＴＥＭ－ＥＤＳマッピングを行い、各地点別にモリブデン（Ｍｏ）含有量を取得し、これを算術平均して導出することができる。例えば、図４を参照すると、第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量は、第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２の厚さ方向Ｔの中央にそれぞれ配置され、１００ｎｍ間隔で互いに離隔した５つのポイントにＴＥＭ－ＥＤＳを行い、これにより取得したモリブデン（Ｍｏ）含有量に対する算術平均値を意味することができる。

誘電体層１１１の中央部１１１ａにおいて、モリブデン（Ｍｏ）は、例えば、バリウム（Ｂａ）１００ａｔ％に対して０．０５ａｔ％以上０．５ａｔ％以下含有されることができる。モリブデン（Ｍｏ）含有量が０．０５ａｔ％未満の場合には、加速寿命テスト（ＨＡＬＴ）で不良が発生する可能性がある。モリブデン（Ｍｏ）含有量が０．５ａｔ％超過の場合には、加速寿命評価（ＨＡＬＴ：Ｈｉｇｈｌｙ Ａｃｃｅｌｅｒａｔｅｄ Ｌｉｆｅ Ｔｉｍｅ Ｔｅｓｔ）で不良が発生する可能性があり、耐電圧特性が低下することがある。誘電体層１１１の外郭部１１１ｂにおいて、モリブデン（Ｍｏ）は、バリウム（Ｂａ）１００ａｔ％に対して０．５ａｔ％以上１ａｔ％以下含有されることができる。

第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２において、モリブデン（Ｍｏ）は、ニッケル（Ｎｉ）１００ｗｔ％に対して０．１ｗｔ％以上５ｗｔ％以下含有されることができる。０．１ｗｔ％未満または５ｗｔ％超過の場合、耐電圧特性の低下、加速寿命テスト（ＨＡＬＴ）不良、及び８５８５テスト不良の少なくとも一つが発生する可能性がある。

上部及び下部カバー１１２、１１３は、内部電極層を含まないことを除いては、上記活性領域の誘電体層１１１と同一材料で形成されることができる。または、カバー１１２、１１３は、誘電体層１１１と異なる材質であるセラミック誘電体粉末を用いて形成されることができる。ここで、カバー１１２、１１３が誘電体層１１１と異なる材質のセラミック誘電体粉末を用いて形成されるとは、カバー１１２、１１３を形成するために用いられる誘電体粉末と、誘電体層１１１を形成するための誘電体粉末が互いに同一元素で構成されるが、これらの比、上述した副成分の元素の種類、または上述した副成分の元素の含有量が異なることを意味することもできる。

上部カバー１１２及び下部カバー１１３は、単一誘電体層または２つ以上の誘電体層を上記活性領域の上下面にそれぞれＴ方向に積層して形成されたものと見なされ、基本的に物理的または化学的ストレスによる第１内部電極層１２１及び第２内部電極層１２２の損傷を防止する役割を果たすことができる。

外部電極１３０、１４０は本体１００の第３面３及び第４面４に配置され、第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２と連結される。具体的には、第１外部電極１３０は、本体１１０の第３面３に配置され、本体１１０の第３面３に露出した第１内部電極層１２１と連結される。第２外部電極１４０は、本体１１０の第４面４に配置され、本体１１０の第４面４に露出した第２内部電極層１２２と連結される。第１外部電極１３０及び第２外部電極１４０は、第１電極層１３１、１４１及び第１電極層１３１、１４１上に配置される第２電極層１３２、１４２をそれぞれ含むことができる。一方、第１外部電極１３０及び第２外部電極１４０は、第１内部電極層１２１、第２内部電極層１２２との連結関係及び本体１１０に形成された位置のみが異なる。したがって、以下では、説明の便宜のため、本体１１０の第３面３に配置された第１外部電極１３０を中心に説明し、第２外部電極１４０に対する説明は省略する。後述する第１外部電極１３０に対する説明は、第２外部電極１４０にも同様に適用されることができる。

第１電極層１３１は、本体１１０の第３面３を介して露出した第１内部電極層１２１とそれぞれ接触して直接的に連結されることにより、第１外部電極１３０と第１内部電極層１２１との間の電気的導通を確保する。第１電極層１３１は、例えば、銅（Ｃｕ）及び銀（Ａｇ）の少なくとも一つを含む導電性粉末を含む導電性ペーストを塗布した後、これを硬化または焼成したものであることができる。他の例として、第１電極層１３１は、銅（Ｃｕ）めっき層であることができる。

第２電極層１３２は、第１電極層１３１に配置される。制限されない例として、第２電極層１３２は電解めっきで形成されためっき層であることができる。第２電極層１３２は、例えば、ニッケルめっき層及びスズめっき層が順に積層された構造であることができる。

第１外部電極１３０は、本体の第３面３に形成される接続部と、上記接続部から本体１１０の第１面１、第２面２、第５面５及び第６面６のそれぞれの少なくとも一部まで延長するバンド部を含むことができる。但し、本実施形態の範囲が上記説明に制限されるものではなく、第１外部電極１３０は、例えば、Ｌ型、Ｃ型などに多様に変形されることができる。

下記の表１は、誘電体層の中央部におけるモリブデン含有量の変化による破壊電圧（Ｂｒｅａｋ Ｄｏｗｎ Ｖｏｌｔａｇｅ、ＢＤＶ）評価及び加速寿命評価（Ｈｉｇｈ Ａｃｃｅｌｅｒａｔｅｄ Ｌｉｆｅ Ｔｅｓｔ；ＨＡＬＴ）を示す。下記の表２は、誘電体層の中央部でモリブデン含有量を固定し、内部電極層でモリブデン含有量を変化させることによって破壊電圧（ＢＤＶ）評価、加速寿命評価（ＨＡＬＴ）及び耐湿信頼性評価（８５８５）を行った結果を示す。

下記の表において、「誘電体層のＭｏ含有量」は、誘電体層の中央部においてａｔ％単位でモリブデン含有量及びバリウム含有量を測定した後、バリウム（Ｂａ）１００ａｔ％に対するモリブデンのａｔ％の比を記載した。下記の表において、「内部電極層のＭｏ含有量」は、内部電極層の厚さ方向の中央領域において、ｗｔ％単位でモリブデン含有量及びニッケル含有量を測定した後、ニッケル１００ｗｔ％に対するモリブデンのｗｔ％の比を記載した。

下記の実験例は、上述内容のモリブデン含有量のみを異ならせて、他の条件、例えば、ｉ）誘電体グリーンシートの組成、ｉｉ）内部電極層形成用導電性ペーストに含まれたセラミック粉末の組成及び含有量、ｉｉｉ）グリーン本体のｓｉｚｅ（Ｌ×Ｗ×Ｔ）、ｉｖ）昇温条件及び焼結雰囲気などの焼結条件、ｖ）誘電体層の総層数、ｖｉ）内部電極層の総層数、ｖｉｉ）内部電極層の平均厚さ、ｖｉｉｉ）誘電体層の平均厚さ、ｉｘ）外部電極組成及び形成条件などを同様にした。例えば、実験例１～５ともに、各内部電極層の平均厚さは４８０ｎｍ、各誘電体層の平均厚さは５５０ｎｍ、内部電極層の総数は２８７、グリーン本体のｓｉｚｅはＬ＝７８５μｍ、Ｗ＝４４０μｍ、Ｔ＝４３０μｍと互いに同一である。

破壊電圧（Ｂｒｅａｋ Ｄｏｗｎ Ｖｏｌｔａｇｅ、ＢＤＶ）評価は、各実験例当たり２０個のサンプルに対して破壊電圧を測定し、これを平均した値が評価基準電圧（例えば、３６．５Ｖ）に満たない場合を不良（×）と判定した。

加速寿命試験（Ｈｉｇｈ Ａｃｃｅｌｅｒａｔｅｄ Ｌｉｆｅ Ｔｅｓｔ；ＨＡＬＴ）評価は、各実験例当たり４０個のサンプルに対して１０５℃で１．５Ｖｒの直流電圧を印加状態に維持し、絶縁抵抗の劣化程度を測定した。この時、１２時間の間、各サンプルを評価して抵抗の劣化する程度を確認し、絶縁抵抗が初期の絶縁抵抗に対して２ｏｒｄｅｒ以上(１０^２以上)低下するサンプルが１／１０以上である場合、不良（×）と判定した。

耐湿信頼性評価（８５８５）は、各実験例当たり４０個のサンプルに対して温度８５℃、相対湿度８５％、及び印加電圧１．５Ｖｒを実験条件で、時間（ｔ）による絶縁抵抗（ＩＲ）の変化を測定して行った。６時間の間評価して絶縁抵抗が初期の絶縁抵抗に対して２ｏｒｄｅｒ以上（１０^２以上）低下するサンプルが１／１０以上である場合、不良（×）と判定した。

表１を参照すると、中央部１１１ａのモリブデン（Ｍｏ）含有量（バリウム含有量に対する割合）が０．０５未満である実験例１では、加速寿命試験（ＨＡＬＴ）で不良が発生した。中央部１１１ａのモリブデン（Ｍｏ）含有量（バリウム含有量に対する割合）が０．５超過である実験例５では、ＢＤＶ評価及びＨＡＬＴ評価のすべてにおいて不良が発生した。

表２を参照すると、内部電極層のモリブデン（Ｍｏ）含有量（ニッケル含有量に対する割合）が０．１未満である実験例６及び１２では、８５８５評価で不良が発生した。内部電極層のモリブデン（Ｍｏ）含有量（ニッケル含有量に対する割合）が５超過である実験例１１及び１７では、ＢＤＶ評価、ＨＡＬＴ評価及び８５８５評価のすべてにおいて不良が発生した。

以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から逸脱しない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかである。

１００ キャパシタ部品
１１０ 本体
１１１ 誘電体層
１２１、１２２ 第１及び第２内部電極層
１３０、１４０ 第１及び第２外部電極
１３１、１４１ 第１電極層
１３２、１４２ 第２電極層

Claims (12)

1. 内部電極層、及び隣接する前記内部電極層の間に配置された誘電体層を含む本体と、
   前記本体の一面に配置される外部電極と、を含み、
   前記内部電極層及び前記誘電体層のそれぞれは、モリブデン（Ｍｏ）を含有し、
   前記誘電体層は、厚さ方向の中央部と、前記中央部と前記内部電極層との間に配置された外郭部を有し、
   前記誘電体層の中央部に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量は、前記誘電体層の外郭部に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量よりも少ない、キャパシタ部品。
2. 前記誘電体層の外郭部は、前記誘電体層と前記内部電極層との界面から前記誘電体層の中央部側に５０ｎｍまでの領域である、請求項１に記載のキャパシタ部品。
3. 前記誘電体層の外郭部に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量は、前記外郭部の互いに離隔した５つ以上の地点におけるモリブデン（Ｍｏ）含有量に対する平均値である、請求項２に記載のキャパシタ部品。
4. 前記誘電体層の中央部に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量は、前記中央部の互いに離隔した５つ以上の地点におけるモリブデン（Ｍｏ）含有量に対する平均値である、請求項３に記載のキャパシタ部品。
5. 前記誘電体層の中央部においてモリブデン（Ｍｏ）は、バリウム（Ｂａ）１００ａｔ％に対して０．０５ａｔ％以上０．５ａｔ％以下含有された、請求項１から４のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。
6. 前記誘電体層の外郭部においてモリブデン（Ｍｏ）は、バリウム（Ｂａ）１００ａｔ％に対して０．５ａｔ％以上１ａｔ％以下含有された、請求項５に記載のキャパシタ部品。
7. 前記内部電極層に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量は、前記誘電体層の中央部に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量よりも多い、請求項１から６のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。
8. 前記内部電極層に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量は、前記誘電体層の外郭部に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量よりも多い、請求項７に記載のキャパシタ部品。
9. 前記内部電極層に含有されたモリブデン（Ｍｏ）含有量は、前記内部電極層の厚さ方向の中央部の互いに離隔した５つ以上の地点におけるモリブデン（Ｍｏ）含有量に対する平均値である、請求項８に記載のキャパシタ部品。
10. 前記内部電極層においてモリブデン（Ｍｏ）は、ニッケル（Ｎｉ）１００ｗｔ％に対して０．１ｗｔ％以上５ｗｔ％以下含有された、請求項７に記載のキャパシタ部品。
11. 前記外部電極は、
    前記本体に配置された第１電極層、及び前記第１電極層に配置された第２電極層を含む、請求項１から１０のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。
12. 前記第２電極層は、ニッケル（Ｎｉ）及びスズ（Ｓｎ）の少なくとも一つを含む、請求項１１に記載のキャパシタ部品。

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