JP2023046008A - フィルム貼合カット装置、フィルム剥離装置、及びラミネートシステム - Google Patents

Abstract

【課題】ラミネート形成物の良品率を簡易的に且つ経済的に向上できるフィルム貼合カット装置の提供。【解決手段】一実施の形態に係るフィルム貼合カット装置１は、フィルム供給ロールから繰り出されるフィルムＦをワークＷに貼り合わせる貼合部材及びワークＷと重ならない位置でフィルムＦをカットするカッターとを有する貼合ユニット１０Ｕと、ワークＷ及びワークＷ上のフィルムＦに対して貼合ユニット１０Ｕが位置する側と同じ側に配置される第１貼合側冷却部２１と、ワークＷ及びワークＷ上のフィルムＦに対して貼合ユニット１０Ｕが位置する側とは反対の側に配置される第２貼合側冷却部２２と、第１貼合側冷却部２１が供給する空気及び第２貼合側冷却部２２が供給する空気を分岐された空気流路２４Ａ，２４Ｂから第１貼合側冷却部２１と第２貼合側冷却部２２とに送る冷却媒体供給部２３と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明の実施の形態は、例えば配線基板にフィルムを貼合しカットするフィルム貼合カット装置に関する。また、本発明の実施の形態は、例えば配線基板に貼合されたフィルムの一部を剥離するフィルム剥離装置に関する。また、本発明の実施の形態は、ラミネートシステムに関する。

真空ラミネータを備えるラミネートシステムが従来から知られている（例えば、特許文献１参照）。

例えば真空ラミネータを備えるラミネートシステムでは、まず、配線基板等のワークに、ロールから繰り出されたフィルムが仮貼りされる。次いで、ロールとワークとの間に延びるフィルムがカットされ、仮貼りされたフィルムがロールから分離される。その後、フィルム付きのワークは、真空ラミネータが備える真空チャンバに搬送される。

上記真空チャンバの内部は、ワーク搬送後に真空状態に制御され、その後、気圧差を形成してダイヤフラム等の加圧手段によりフィルムが加熱されながらワークに押し付けられる。その後、加圧手段がフィルムから引き離される。このようなラミネート処理では、フィルムとして、ワークに接合される接合層と、接合層を支持する支持層とを有するフィルムが用いられる場合がある。この場合、加圧手段がフィルムから引き離された後、通常、フィルムから支持層を剥離する工程が行われる。

真空ラミネータは、ワークとフィルムとの間の空気を脱気し、ラミネートを行う。これにより、ワークとフィルムとの間の気泡の噛み込みを抑えることができる。気泡の噛み込みが抑えられる場合、気泡が後工程で悪影響を及ぼす事象を回避できる。また、ラミネート処理を経て形成されるラミネート形成物の仕上がりが良好となり、歩留まりを向上できる。

国際公開２０１６／１９９６８７号

上述したラミネートシステムの処理では、フィルム又はワークの状態に応じて、フィルムが適正にカットされなかったり、二層構造のフィルムにおける一つの層が適正に剥離されなかったりする場合がある。

例えば、フィルムがワークに仮貼りされた後にカットされる際においては、環境温度やワークの温度に応じて、カット前にフィルムの一部が溶融したり、全体が軟化したりする場合がある。この場合、フィルムのカット面が粗くなったり、フィルムに皺や伸びが生じたりすることがある。

また、真空ラミネート後のフィルム及びワークは高温になり、二層構造のフィルムの層間の粘着性が低下する場合がある。この状態で剥離を行うと、剥離された層に、ワーク側の層の一部が付着して引き剥がされ、ワーク側の層の表面が粗くなる場合がある。ワークが配線基板であり、ラミネートされた層が絶縁層である場合に、絶縁層の表面が粗くなると、短絡が生じやすくなる虞がある。また、配線基板が多層基板に組み込まれる場合に、多層基板が不良になる虞がある。

また、真空ラミネート後のフィルム及びワークは高温になり膨張している。この場合、フィルムの線膨張係数とワークの線膨張係数との違いにより、反りが生じることがある。このような反りが生じた場合には、歩留まりが低下する。

本発明の課題は、ラミネート処理によってフィルムをラミネートされるラミネート形成物の良品率を簡易的に且つ経済的に向上できるフィルム貼合カット装置、フィルム剥離装置、及びラミネートシステムを提供することである。

本発明の一実施の形態に係るフィルム貼合カット装置は、
フィルムを巻き回したフィルム供給ロール、前記フィルム供給ロールから繰り出される前記フィルムをワークに貼り合わせる貼合部材、及び前記ワークと重ならない位置で前記フィルムをカットするカッターとを有する貼合ユニットと、
前記ワーク及び前記ワーク上の前記フィルムが重なる方向で、前記ワーク及び前記ワーク上の前記フィルムに対して前記貼合ユニットが位置する側と同じ側に配置され、前記貼合ユニット及び／又はその周囲に冷却用の空気を供給する第１貼合側冷却部と、
前記ワーク及び前記ワーク上の前記フィルムに対して前記貼合ユニットが位置する側とは反対の側に配置され、前記反対の側の領域に冷却用の空気を供給する第２貼合側冷却部と、
前記第１貼合側冷却部が供給する空気及び前記第２貼合側冷却部が供給する空気を分岐された空気流路から前記第１貼合側冷却部と前記第２貼合側冷却部とに送るか、又は、前記第１貼合側冷却部が供給する空気及び前記第２貼合側冷却部が供給する空気を冷却する冷媒を分岐された冷媒流路から前記第１貼合側冷却部と前記第２貼合側冷却部とに送る冷却媒体供給部と、を備える。

本発明の一実施の形態に係るフィルム剥離装置は、
支持層と接合層とを有するフィルムが接合されたワークであって、前記接合層がワークに直接的に接合された状態のワーク上の前記フィルムから前記支持層を剥離する剥離ユニットと、
前記ワーク及び前記ワーク上の前記フィルムが重なる方向で、前記ワーク及び前記ワーク上の前記フィルムに対して前記剥離ユニットが位置する側と同じ側に配置され、前記支持層の剥離の前に、前記ワーク上の前記フィルムに冷却用の空気を供給する第１ラミネート側冷却部と、
前記ワーク及び前記ワーク上の前記フィルムに対して前記剥離ユニットが位置する側とは反対の側に配置され、前記反対側の領域に冷却用の空気を供給する第２ラミネート側冷却部と、
前記第１ラミネート側冷却部が供給する空気及び前記第２ラミネート側冷却部が供給する空気を空気流路を分岐させて前記第１ラミネート側冷却部と前記第２ラミネート側冷却部とに送るか、又は、前記第１ラミネート側冷却部が供給する空気及び前記第２ラミネート側冷却部が供給する空気を冷却する冷媒を冷媒流路を分岐させて前記第１ラミネート側冷却部と前記第２ラミネート側冷却部とに送る冷却媒体供給部と、を備える。

本発明の一実施の形態に係るラミネートシステムは、前記のフィルム貼合カット装置、及び／又は、前記のフィルム剥離装置を備える。

本発明によれば、ラミネート形成物の良品率を簡易的に且つ経済的に向上できる。

第１の実施の形態に係る基板ラミネートシステムを概略的に示す図である。 第１の実施の形態に係る基板ラミネートシステムが備えるフィルム貼合カット装置の概略的な拡大図である。 第２の実施の形態に係る基板ラミネートシステムが備えるフィルム貼合カット装置を概略的に示す図である。 第３の実施の形態に係る基板ラミネートシステムが備えるフィルム貼合カット装置を概略的に示す図である。 第４の実施の形態に係る基板ラミネートシステムが備えるフィルム貼合カット装置を概略的に示す図である。 第５の実施の形態に係る基板ラミネートシステムが備えるフィルム貼合カット装置の動作を説明する図である。 第５の実施の形態に係る基板ラミネートシステムにおけるフィルムの移動パターンと、フィルム貼合カット装置においてフィルムを空気で冷却する際の送風パターンとの関係を示すグラフを示す図である。 第６の実施の形態に係る基板ラミネートシステムが備えるフィルム貼合カット装置を概略的に示す図である。 第６の実施の形態に係るフィルム貼合カット装置においてワークを空気で冷却する際の送風パターンを説明する図である。 第７の実施の形態に係る基板ラミネートシステムを概略的に示す図である。

以下に、添付の図面を参照して、各実施の形態を詳細に説明する。

＜第１の実施の形態＞
図１は、第１の実施の形態に係るラミネートシステムとしての基板ラミネートシステムＳ１を概略的に示している。図１に示される基板ラミネートシステムＳ１は、フィルム貼合カット装置１と、搬送シート繰り出し装置３と、真空ラミネータ４と、平面プレス装置５と、下流側冷却装置６と、搬送シート巻取り装置７と、を備える。

基板ラミネートシステムＳ１は、順次搬送されるワークＷを連続的にラミネートするシステムである。ワークＷは、フィルム貼合カット装置１、搬送シート繰り出し装置３、真空ラミネータ４、平面プレス装置５、下流側冷却装置６及び搬送シート巻取り装置７をこの順で通過する。

ワークＷは、フィルム貼合カット装置１から搬送シート繰り出し装置３の入口までは簡易的に示されたコンベアＣで搬送される。その後、ワークＷは、搬送シート繰り出し装置３から搬送シート巻取り装置７に延びる搬送シートＴＳにより搬送される。

ワークＷは、一例としてプリント基板であり、両面に接合層としての絶縁層がラミネートされる。プリント基板は、フレキシブルタイプでも、リジッドタイプでもよい。ワークＷは特に限られるものではなく、半導体ウェハでもよい。ワークＷが半導体ウェハである場合には、半導体ウェハにドライレジストフィルムがラミネートされてもよい。また、ワークＷの片面のみにラミネートがなされてもよい。

フィルム貼合カット装置１は、第１貼合ユニット１０Ｕと、第２貼合ユニット１０Ｄと、第１貼合ユニット１０Ｕ及び第２貼合ユニット１０Ｄを収容する筐体１０Ｂと、冷却ユニット２０と、を備える。筐体１０Ｂには、フィルムＦを巻き回した一対のフィルム供給ロール１１と、各フィルム供給ロール１１から繰り出されるフィルムＦをワークＷに押し付けて貼り合わせる一対の貼合部材１２と、フィルムＦをカットする一対のカッター１３と、が収容されている。ここで、第１貼合ユニット１０Ｕは、一対のフィルム供給ロール１１、一対の貼合部材１２及び一対のカッター１３それぞれのうちの一方を有して構成される。第２貼合ユニット１０Ｄは、一対のフィルム供給ロール１１、一対の貼合部材１２及び一対のカッター１３それぞれのうちの他方を有して構成される。

本実施の形態では、コンベアＣがフィルム貼合カット装置１のうちの筐体１０Ｂを通過するように配置されており、筐体１０Ｂの壁部及びその内部には、コンベアＣの一部を通す搬送路１Ｒが設けられている。

一対のフィルム供給ロール１１、一対の貼合部材１２、及び一対のカッター１３はそれぞれ、搬送路１Ｒに対して一方側（図１では上側）と他方側（図１では下側）とに振り分けて配置されている。すなわち、第１貼合ユニット１０Ｕ及び第２貼合ユニット１０Ｄは、搬送路１Ｒに対して一方側（図１では上側）と他方側（図１では下側）とに振り分けて配置されている。ワークＷは搬送路１Ｒ上で搬送され、搬送路１Ｒ上でフィルムＦを貼り合わされる。別の言い方で説明すると、ワークＷ及びワークＷ上のフィルムＦが重なる方向で、ワークＷ及びワークＷ上のフィルムＦに対して一方側（図１では上側）に、第１貼合ユニット１０Ｕが配置され、他方側（図１では下側）に、第２貼合ユニット１０Ｄが配置されている。

詳しくは、一方側の貼合部材１２は、搬送路１Ｒに近接して配置され、一方側のフィルム供給ロール１１は、貼合部材１２よりも搬送路１Ｒから離れた位置に配置される。そして、一方側のカッター１３は、フィルムＦにおける一方側のフィルム供給ロール１１と一方側の貼合部材１２との間に延びる部分に対して接近及び離間自在になるように配置されている。同様に、他方側の貼合部材１２は、搬送路１Ｒに近接して配置され、他方側のフィルム供給ロール１１は、他方側の貼合部材１２よりも搬送路１Ｒから離れた位置に配置される。そして、他方側のカッター１３は、フィルムＦにおける他方側のフィルム供給ロール１１と他方側の貼合部材１２との間に延びる部分に対して接近及び離間自在になるように配置されている。

フィルム貼合カット装置１は、ワークＷを外部から搬送路１Ｒに受け入れる。その後、ワークＷは、貼合部材１２側に送り出され、貼合部材１２によるフィルムＦの貼り合せ及びカッター１３によるフィルムＦのカットが行われる。

図１及び図２を参照し、貼合部材１２は、フィルム供給ロール１１から繰り出されるフィルムＦの先端部を保持し、ワークＷの移動に伴い、保持したフィルムＦの先端部をワークＷの前端部に押し付け、その後、ワークＷの移動により繰り出されるフィルムＦをワークＷの表面又は裏面に押し付けて、ワークＷに貼り合わせる又は重ねる。

そして、本実施の形態におけるカッター１３は、貼合部材１２によるフィルムＦの貼り合わせの途中でフィルムＦをワークＷと重ならない位置で図１の右方向（図２の矢印Ａ１の方向）にカットする。これにより、ワークＷに貼り合わされたフィルムＦがフィルム供給ロール１１から分離する。カッター１３によりカットされたワークＷ側のフィルムＦの貼り合わせ前の部分は、その後、ワークＷの移動に伴い、ワークＷと貼合部材１２との間に巻き込まれ、ワークＷの後端部まで貼り合わされる。

一方で、カッター１３によりカットされたフィルム供給ロール１１側のフィルムＦの先端部は、例えばカットに連動して貼合部材１２に保持される。これにより、次に搬送されるワークＷに対しても、同様に、フィルムＦを貼り合わせることが可能となる。なお、以上に説明した貼り合せ及びカットに関する動作は、搬送路１Ｒの一方側の貼合部材１２及びカッター１３と、搬送路Ｒの他方側の貼合部材１２及びカッター１３とで同時に行われる。また、カッター１３は、スリットカッターや、ロールカッターを利用するものでもよい。

また、本実施の形態では、ワークＷに貼り合わされたフィルムＦの位置が、ワークＷとフィルムＦとの間に部分的に設けられる溶融部により維持されてもよい。この場合、溶融部は、フィルムＦの一部を溶融することで形成され、図示しない加熱及び加圧手段が設けられる。また、フィルムＦの位置は、ワークＷとフィルムＦとの間に部分的に設けられる接着剤により維持されてもよい。

また、本実施の形態で使用されるフィルムＦは、支持層Ｆ１と接合層である絶縁層Ｆ２とを有する。そして、フィルムＦは、絶縁層Ｆ２がワークＷに直接的に接した状態でワークＷに貼り合わされている。ただし、フィルムＦは、単層のフィルムでもよい。詳細は後述するが、搬送シート巻取り装置７は、支持層Ｆ１の剥離装置としても機能する。剥離は、搬送シート巻取り装置７が巻き取る搬送シートＴＳに支持層Ｆ１を付着させることにより行われる。このような剥離を実現すべく、本実施の形態では、支持層Ｆ１に接着部が設けられる。そして、ワークＷが搬送シート繰り出し装置３に搬送された際に、支持層Ｆ１に設けられた接着部が搬送シート繰り出し装置３が繰り出す搬送シートＴＳに付着される。

冷却ユニット２０は、第１貼合側冷却部２１と、第２貼合側冷却部２２と、冷却媒体供給部２３と、を有する。第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２は、搬送路１Ｒに対して一方側（図１では上側）と他方側（図１では下側）とに振り分けて配置される。別の言い方で説明すると、ワークＷ及びワークＷ上のフィルムＦが重なる方向で、ワークＷ及びワークＷ上のフィルムＦに対して一方側（図１では上側）に、第１貼合側冷却部２１が配置され、他方側（図１では下側）に、第２貼合側冷却部２２が配置されている。

つまり、第１貼合側冷却部２１は、ワークＷ及びワークＷ上のフィルムＦに対して第１貼合ユニット１０Ｕが位置する側と同じ側に配置されている。第２貼合側冷却部２２は、ワークＷ及びワークＷ上のフィルムＦに対して第１貼合ユニット１０Ｕが位置する側とは反対の側（第２貼合ユニット１０Ｄ側）に配置されている。

第１貼合側冷却部２１は、筐体１０Ｂ内において第１貼合ユニット１０Ｕ及び／又はその周囲に冷却用の空気を供給し、第２貼合側冷却部２２は、筐体１０Ｂ内において第２貼合ユニット１０Ｄ及び／又はその周囲に冷却用の空気を供給する。

本実施の形態における第１貼合側冷却部２１は、接続ボックス２１Ａと、パンチングプレート２１Ｂとを有する。第１貼合側冷却部２１は、冷却媒体供給部２３から空気流路２４を介して送られる冷却された空気を接続ボックス２１Ａで膨張させた後、パンチングプレート２１Ｂを通して筐体１０Ｂ内に供給する。同様に、本実施の形態における第２貼合側冷却部２２は、接続ボックス２２Ａと、パンチングプレート２２Ｂとを有する。

パンチングプレート２１Ｂ，２２Ｂは、平板に複数の貫通孔が規則的に配列されて形成されてもよい。この場合、パンチングプレート２１Ｂ，２２Ｂの全域からワークＷ側に向かう空気の流量及び圧力が均一化され、ワークＷが全体的に均一的に冷却され得る。パンチングプレート２１Ｂ，２２Ｂは、フィルム供給ロール１１の軸方向での両端の間に配置されることが望ましい。また、フィルム供給ロール１１の軸方向でのパンチングプレート２１Ｂ，２２Ｂの中点は、フィルム供給ロール１１の軸方向における中点に一致することがより望ましい。

本実施の形態における冷却媒体供給部２３は、第１貼合側冷却部２１が第１貼合ユニット１０Ｕ及び／又はその周囲に供給する空気及び第２貼合側冷却部２２が第２貼合ユニット１０Ｄ及び／又はその周囲に供給する空気を分岐された空気流路２４（後述の第１流路部２４Ａ、第２流路部２４Ｂ）から第１貼合側冷却部２１と第２貼合側冷却部２２とに送る。

冷却媒体供給部２３は、上方に開口する空気供給口２３Ａを有し、空気供給口２３Ａから空気流路２４に空気を送る。冷却媒体供給部２３は、冷凍回路２５と送風機２６とを筐体に収容する。冷凍回路２５は、圧縮機２５Ａ、凝縮器２５Ｂ、膨張弁２５Ｃ及び熱交換器２５Ｄを有し、冷媒をこの順で循環させる。送風機２６は、羽根車の回転により外部から取り込んだ空気を熱交換器２５Ｄで冷却した後、吐出する。本実施の形態では、送風機２６の吐出口が空気供給口２３Ａを形成している。送風機２６は、空気流路２４が比較的長くなり風量及び圧力の確保が必要となり得るため、ターボファン、斜流ファン、シロッコファンなどでもよい。ただし、送風機２６の形式は特に限られない。

空気流路２４は、空気供給口２３Ａから上方に延びた後に側方に、本例では水平に延びる共通流路部２４Ｕと、共通流路部２４Ｕから分岐する第１流路部２４Ａ及び第２流路部２４Ｂとを有する。そして、第１流路部２４Ａは、共通流路部２４Ｕから直線状に延びた後に下方に延びて第１貼合側冷却部２１の接続ボックス２１Ａに接続されている。第２流路部２４Ｂは、共通流路部２４Ｕから下方に延びた後に側方に、本例では水平に延びて第２貼合側冷却部２２の接続ボックス２２Ａに接続されている。なお、第１流路部２４Ａは、第１貼合側冷却部２１の接続ボックス２１Ａに直接的に接続されてもよいし、間接的に接続されてもよい。また、第２流路部２４Ｂは第２貼合側冷却部２２の接続ボックス２２Ａに直接的に接続されてもよいし、間接的に接続されてもよい。

搬送シート繰り出し装置３は、それぞれ搬送シートＴＳを巻き回した一対の搬送シート供給ロール３１を有する。搬送シート繰り出し装置３内には、コンベアＣの下流側端部が位置する。一対の搬送シート供給ロール３１の一方は、コンベアＣ及びワークＷの一方側（図１では上側）に配置され、一対の搬送シート供給ロール３１の他方は、コンベアＣ及びワークＷの他方側（図１では下側）に配置されている。

搬送シート繰り出し装置３から繰り出される搬送シートＴＳの先端は、搬送シート巻取り装置７に接続されている。搬送シート繰り出し装置３と搬送シート巻取り装置７との間に延びる搬送シートＴＳは、真空ラミネータ４、平面プレス装置５、及び下流側冷却装置６に通されている。

搬送シート繰り出し装置３は、一対の搬送シート供給ロール３１から繰り出す搬送シートＴＳの間に、フィルムＦが付いたワークＷを挟み込んで保持する。この際、本実施の形態では、フィルムＦの支持層Ｆ１に設けられた上述の接着部が、搬送シートＴＳに付着される。搬送シートＴＳが搬送シート巻取り装置７に巻き取られた際には、一対の搬送シートＴＳの間に保持されたワークＷが、搬送シート巻取り装置７側に移動する。これにより、フィルムＦ付きのワークＷは、順次、真空ラミネータ４、平面プレス装置５、及び下流側冷却装置６を通過し、搬送シート巻取り装置７に至る。

真空ラミネータ４は、第１チャンバ半体４１と、第２チャンバ半体４２とを有する。第１チャンバ半体４１は、一対の搬送シートＴＳが形成する搬送経路に対して一方側（図１では上側）に配置され、第２チャンバ半体４２は、一対の搬送シートＴＳが形成する搬送経路に対して他方側（図１では下側）に配置されている。

真空ラミネータ４は、フィルムＦ付きのワークＷが搬送された際、第１チャンバ半体４１と第２チャンバ半体４２とで、一対の搬送シートＴＳを介してフィルムＦ付きのワークＷを挟み込む。第１チャンバ半体４１と第２チャンバ半体４２は互いに接することで真空チャンバ４０を形成し、真空チャンバ４０内にフィルムＦ付きのワークＷを受け入れる。その後、真空ラミネータ４は、真空チャンバ４０の空気抜きを行い、真空チャンバ４０を真空状態にして、フィルムＦを加熱しながらワークＷに加圧して接合する。

フィルムＦに対する加熱は、本実施の形態では第１チャンバ半体４１に設けられた第１ヒータ４３及び第２チャンバ半体４２に設けられた第２ヒータ４４により行われる。また、ワークＷへのフィルムＦの加圧は、第１チャンバ半体４１及び第２チャンバ半体４２のそれぞれに設けられた図示しないダイヤフラムにより行われる。ダイヤフラムは、ワークＷ側とその反対側とに気圧差を形成することでワークＷを加圧できる。ただし、ワークＷへフィルムＦを加圧する手段は特に限られるものではなく、プレス板をシリンダ等で駆動して機械的に圧力を付与してもよい。

なお、本実施の形態ではワークＷとフィルムＦとの間の空気の巻き込みの抑制が求められるため、真空ラミネータ４が用いられる。ただし、空気の巻き込みの抑制が強く求められない場合には、真空ラミネータ４に代えて、一般的な加熱加圧式のラミネータが用いられてもよい。

平面プレス装置５は、第１プレス板５１と、第２プレス板５２とを有する。第１プレス板５１は、一対の搬送シートＴＳが形成する搬送経路に対して一方側（図１では上側）に配置され、第２プレス板５２は、一対の搬送シートＴＳが形成する搬送経路に対して他方側（図１では下側）に配置されている。平面プレス装置５は、フィルムＦ付きのワークＷが搬送された際、第１プレス板５１と第２プレス板５２とで、一対の搬送シートＴＳを介してフィルムＦ付きのワークＷを挟み込み、加熱及び加圧を行う。第１プレス板５１と第２プレス板５２はそれぞれヒータを内蔵し、各ヒータによりフィルムＦ付きのワークＷを加熱する。

下流側冷却装置６は、平面プレス装置５から送り出されたフィルムＦ付きのワークＷを冷却する。

下流側冷却装置６は、一対の搬送シートＴＳが形成する搬送経路に対して一方側に配置された第１ラミネート側冷却部６Ｕと、一対の搬送シートＴＳが形成する搬送経路に対して他方側に配置された第２ラミネート側冷却部６Ｄと、を有する。第１ラミネート側冷却部６Ｕ及び第２ラミネート側冷却部６Ｄはそれぞれ、ファンフィルタユニット６２と、空気吐出部６３と、を有する。

本実施の形態では、第１ラミネート側冷却部６Ｕと第２ラミネート側冷却部６Ｄとが、共通の下流側冷却媒体供給部６０から冷却用の空気を供給される。そして、第１ラミネート側冷却部６Ｕ及び第２ラミネート側冷却部６Ｄはそれぞれ、下流側の搬送シート巻取り装置７によって行われるフィルムＦにおける支持層Ｆ１の剥離の前に、ワークＷ上のフィルムＦに冷却用の空気を供給する。

下流側冷却媒体供給部６０の構造は、フィルム貼合カット装置１側の冷却媒体供給部２３と基本的に同じである。すなわち、下流側冷却媒体供給部６０は、第１ラミネート側冷却部６Ｕが使用する冷却用の空気及び第２ラミネート側冷却部６Ｄが使用する冷却用の空気を分岐された空気流路６４（後述の第１流路部６４Ａ、第２流路部６４Ｂ）から第１ラミネート側冷却部６Ｕと第２ラミネート側冷却部６Ｄとに送る。

下流側冷却媒体供給部６０は、上方に開口する空気供給口６０Ａを有し、空気供給口６０Ａから空気流路６４に空気を送る。下流側冷却媒体供給部６０は、冷凍回路６５と送風機６６とを筐体に収容する。冷凍回路６５は、圧縮機６５Ａ、凝縮器６５Ｂ、膨張弁６５Ｃ及び熱交換器６５Ｄを有し、冷媒をこの順で循環させる。送風機６６は、羽根車の回転により外部から取り込んだ空気を熱交換器６５Ｄで冷却した後、吐出する。本実施の形態では、送風機６６の吐出口が空気供給口６０Ａを形成している。

空気流路６４は、空気供給口６０Ａから上方に延びた後に側方に、本例では水平に延びる共通流路部６４Ｕと、共通流路部６４Ｕから分岐する第１流路部６４Ａ及び第２流路部６４Ｂとを有する。そして、第１流路部６４Ａは、共通流路部６４Ｕから直線状に延びた後に下方に延びて第１ラミネート側冷却部６Ｕに接続されている。第２流路部６４Ｂは、共通流路部６４Ｕから下方に延びた後に側方に、本例では水平に延びて第２ラミネート側冷却部６Ｄに接続されている。これにより、第１ラミネート側冷却部６Ｕの空気吐出部６３からワークＷの表面上のフィルムＦに空気が供給され、フィルムＦが冷却される。第２ラミネート側冷却部６Ｄの空気吐出部６３からワークＷの裏面上のフィルムＦに空気が供給され、フィルムＦが冷却される。

そして、搬送シート巻取り装置７は、それぞれ搬送シートＴＳを巻き取る一対の搬送シート巻取りロール７１を有する。一対の搬送シート巻取りロール７１のうちの一方は、一対の搬送シートＴＳが形成する搬送経路に対して一方側（図１では上側）に配置され、一対の搬送シート巻取りロール７１のうちの他方は、一対の搬送シートＴＳが形成する搬送経路に対して他方側（図１では下側）に配置されている。

搬送シート巻取り装置７は、一対の搬送シート巻取りロール７１により搬送シートＴＳを巻き取ることにより、一対の搬送シートＴＳの間に保持されたワークＷを搬送シート巻取り装置７側に移動させる。また、本実施の形態では、搬送シート巻取り装置７が、ワークＷ上のフィルムＦから支持層Ｆ１を剥離するフィルム剥離装置として機能する。この剥離は、上述したように搬送シートＴＳに支持層Ｆ１を接着部を介して付着させることにより、実現される。そして、支持層Ｆ１が剥離された後、絶縁層Ｆ２のみがラミネートされたワークＷは、搬送シート巻取り装置７の外部に取り出される。

一対の搬送シート巻取りロール７１のうちの搬送経路に対して一方側に配置される搬送シート巻取りロール７１は、第１剥離ユニットを構成し、他方側の送シート巻取りロール７１は、第２剥離ユニットを構成する。ここで、第１ラミネート側冷却部６Ｕは、ワークＷ及びワークＷ上のフィルムＦが重なる方向で、ワークＷ及びワークＷ上のフィルムＦに対して第１剥離ユニットが位置する側と同じ側に配置されている。一方で、第２ラミネート側冷却部６Ｄは、ワークＷ及びワークＷ上のフィルムＦに対して第１剥離ユニットが位置する側とは反対の側に配置される。なお、本実施の形態では、下流側冷却装置６が搬送シート巻取り装置７から分離されているが、下流側冷却装置６は、搬送シート巻取り装置７に一体に組み込まれてもよい。

次に、本実施の形態の作用及び効果について説明する。

まず、ワークＷは、外部からフィルム貼合カット装置１の搬送路１Ｒに受け入れられ、その後、貼合部材１２によるフィルムＦの貼り合せ及びカッター１３によるフィルムＦのカットが行われる（フィルム貼合カット工程）。この際、貼合部材１２及びカッター１３が配置され筐体１０Ｂ内の空気の温度は、第１貼合側冷却部２１と、第２貼合側冷却部２２とにより低温に維持されている。

その後、フィルムＦ付きのワークＷは、真空ラミネータ４に搬送され、真空状態で、フィルムＦが加熱されながらワークＷに加圧されて接合される（真空ラミネート工程）。次いで、フィルムＦ付きのワークＷは、平面プレス装置５に搬送され、第１プレス板５１と第２プレス板５２とにより挟み込まれ、加熱及び加圧される。

その後、フィルムＦ付きのワークＷは、下流側冷却装置６で冷却される（冷却工程）。その後、フィルムＦ付きのワークＷは、搬送シート巻取り装置７に搬送され、ワークＷ上のフィルムＦから支持層Ｆ１が剥離される（フィルム剥離工程）。その後、絶縁層Ｆ２のみがラミネートされたワークＷが、搬送シート巻取り装置７から外部に取り出される。

このようなラミネート処理において、本実施の形態ではワークＷ及びワークＷに貼り合わされる前後のフィルムＦが、第１貼合側冷却部２１と第２貼合側冷却部２２により冷却される。これにより、フィルムＦが、カットされる前に、温度環境等に起因して一部が溶融したり、軟化したりして、カットされ難くなる状況が回避される。これにより、フィルムＦを適正にカットできる。そして、フィルムＦがカットし難くなることで、フィルムＦのカット面が粗くなったり、フィルムＦに皺や伸びが生じたりする状況が抑制される。

また、真空ラミネータ４及び平面プレス装置５により加熱及び加圧されたフィルムＦ付きのワークＷは、下流側冷却装置６で冷却された後、搬送シート巻取り装置７により支持層Ｆ１を剥離される。これにより、高温であることに起因して支持層Ｆ１の剥離の際に、絶縁層Ｆ２の一部が支持層Ｆ１に付着して引き剥がされる状況が抑制される。これにより、絶縁層Ｆ２の表面が粗くなることが抑制される。

したがって、本実施の形態によれば、絶縁層Ｆ２に皺や伸びがなく且つ表面が平滑で、反りも生じていないワークＷを、歩留まりよく製造できる。よって、ラミネート形成品である絶縁層Ｆ２がラミネートされたワークＷの良品率を向上できる。しかも、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２は、共通の冷却媒体供給部２３から冷却された空気を供給される。また、第１ラミネート側冷却部６Ｕ及び第２ラミネート側冷却部６Ｄは、共通の下流側冷却媒体供給部６０から冷却された空気を供給される。これにより、冷却のための装置の複雑化及びエネルギー消費量を抑制できる。よって、ラミネート形成物の良品率を簡易的に且つ経済的に向上できる。

また、本実施の形態における冷却媒体供給部２３は、上方に開口する空気供給口２３Ａを有し、空気供給口２３Ａから空気流路２４に空気を送り、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２に分配する。空気流路２４は、空気供給口２３Ａから上方に延びた後に側方に延びる共通流路部２４Ｕと、共通流路部２４Ｕから分岐する第１流路部２４Ａ及び第２流路部２４Ｂとを有する。そして、第１流路部２４Ａは、共通流路部２４Ｕから直線状に延びた後に下方に延びて第１貼合側冷却部２１に接続され、第２流路部２４Ｂは、共通流路部２４Ｕから下方に延びた後に側方に延びて第２貼合側冷却部２２に接続される。

上記のような流路の構成により、圧損を極力抑制でき、エネルギー消費量を抑制できる。また、冷却媒体供給部２３は送風機２６を有し、送風機２６の吐出口が空気供給口２３Ａを形成する。このように送風機２６も１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２とで共通化することで、冷却のための装置の複雑化及びエネルギー消費量を効果的に抑制できる。

＜第２の実施の形態＞
次に、第２の実施の形態について説明する。本実施の形態における構成部分のうちの第１の実施の形態と同じものには、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図３は、第２の実施の形態に係る基板ラミネートシステムが備えるフィルム貼合カット装置１を概略的に示す図である。本実施の形態ではフィルム貼合カット装置１の構成が第１の実施の形態と異なる。

すなわち、図３に示される本実施の形態に係るフィルム貼合カット装置１では、第１貼合側冷却部２１が、接続ボックス２１Ａと、接続ボックス２１Ａに収容される第１送風機２１１とを有する。同様に、第２貼合側冷却部２２は、接続ボックス２２Ａと、接続ボックス２２Ａに収容される第２送風機２２１とを有する。

本実施の形態では、第１送風機２１１及び第２送風機２２１における羽根車の回転により、冷却媒体供給部２３からの空気が第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２に導入される。第１貼合側冷却部２１に導入される空気は、接続ボックス２１Ａに流入して第１送風機２１１を通過した後、接続ボックス２１Ａに形成された吐出口から筐体１０Ｂ内に供給される。第２貼合側冷却部２２に導入される空気は、接続ボックス２２Ａに流入して第２送風機２２１を通過した後、接続ボックス２２Ａに形成された吐出口から筐体１０Ｂ内に供給される。

一方で、冷却媒体供給部２３には第１の実施の形態で説明した送風機２６が設けられない。したがって、熱交換器２５Ｄと熱交換させる空気は、第１送風機２１１及び第２送風機２２１の回転により流動する。ただし、冷却媒体供給部２３は送風機２６を有していてもよい。

本実施の形態では、第１送風機２１１及び第２送風機２２１がクロスフローファンで構成される。クロスフローファンである第１送風機２１１及び第２送風機２２１は、それぞれ回転軸がフィルム供給ロール１１の回転軸と平行になるように設けられる。また、本実施の形態では、第１送風機２１１及び第２送風機２２１それぞれの羽根車としてのランナ２１１Ｒ，２２１Ｒの回転軸方向における寸法が、フィルムＦの幅方向寸法以上になっている。ただし、ランナ２１１Ｒ，２２１ＲとフィルムＦとの寸法関係は特に限られるものではない。

以上に説明した第２の実施の形態では、第１貼合側冷却部２１が第１送風機２１１を有し、第２貼合側冷却部２２が第２送風機２２１を有する。これにより、例えば第１貼合ユニット１０Ｕ側に供給する空気の風量及び第２貼合ユニット１０Ｄ側に供給する空気の風量を柔軟に調節できる。例えば、第１流路部２４Ａと第２流路部２４Ｂとの長さが異なる場合に、例えば第２送風機２２１の回転数を第１送風機２１１の回転数よりも大きくすることで風量を均一化し、ワークＷやフィルムＦの冷却ムラや温度ムラを抑制できる。

特に本実施の形態では、第１送風機２１１及び第２送風機２２１がクロスフローファンで構成されることで、比較長い幅にわたり均一的な風量の空気を提供できる。また、クロスフローファンから均一的な風量の空気を提供できることで、パンチングプレート等の整流部材を用いてなくも好適な風の流れを形成できるため、構造の簡素化の点等で有利になる。

なお、第２の実施の形態で説明したフィルム貼合カット装置１における第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２に関する構成は、第１の実施の形態における下流側冷却装置６に適用されてもよい。

＜第３の実施の形態＞
次に、第３の実施の形態について説明する。本実施の形態における構成部分のうちの第１及び第２の実施の形態と同じものには、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図４は、第３の実施の形態に係る基板ラミネートシステムが備えるフィルム貼合カット装置１を概略的に示す図である。本実施の形態ではフィルム貼合カット装置１の構成が第１及び第２の実施の形態と異なる。

すなわち、図４に示される本実施の形態に係るフィルム貼合カット装置１では、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２が、貼合ユニット１０Ｕ，１０Ｄの筐体１０Ｂ内に配置される。

そして、第１貼合側冷却部２１は、本体ケース２１０と、本体ケース２１０に収容された第１送風機２１１及び第１熱交換器２１２と、本体ケース２１０に取り付けられた風向調節羽根２１３と、を有する。同様に、第２貼合側冷却部２２は、本体ケース２２０と、本体ケース２２０に収容された第２送風機２２１及び第２熱交換器２２２と、本体ケース２２０に取り付けられた風向調節羽根２２３と、を有する。

一方で、冷却媒体供給部２３の構成も第１及び第２の実施の形態と異なる。すなわち、冷却媒体供給部２３は、第１貼合側冷却部２１が使用する空気及び第２貼合側冷却部２２が使用する空気を冷却する冷媒を分岐される冷媒流路２４０（後述の第１流路部２４０Ａ、第２流路部２４０Ｂ）から第１貼合側冷却部２１と第２貼合側冷却部２２とに送る。

冷却媒体供給部２３は、圧縮機２５Ａ、凝縮器２５Ｂ、第１膨張弁２５Ｃ１及び第２膨張弁２５Ｃ２と、これら各部を接続する冷媒流路２４０と、を有する冷凍回路２５’を備える。なお、凝縮器２５Ｂは、空冷式でも液冷式でもよい。冷媒流路２４０は、共通流路部２４０Ｕと、共通流路部２４０Ｕの下流側端部から分岐し且つそれぞれ共通流路部２４０Ｕの上流側端部に接続する第１流路部２４０Ａ及び第２流路部２４０Ｂと、を有する。

共通流路部２４０Ｕに圧縮機２５Ａと凝縮器２５Ｂとが設けられ、圧縮機２５Ａの下流側に凝縮器２５Ｂが位置する。第１流路部２４０Ａは第１熱交換器２１２に接続し、第１熱交換器２１２に冷媒を供給するとともに、第１熱交換器２１２から流出した冷媒を受け入れて圧縮機２５Ａに送る。第１流路部２４０Ａにおける第１熱交換器２１２に対して上流側の部分に第１膨張弁２５Ｃ１が設けられている。第１膨張弁２５Ｃ１は冷媒を膨張させて第１熱交換器２１２に送ることで、第１熱交換器２１２は低温の冷媒による冷却が可能となる。

第２流路部２４０Ｂは第２熱交換器２２２に接続し、第２熱交換器２２２に冷媒を供給するとともに、第２熱交換器２２２から流出した冷媒を受け入れて圧縮機２５Ａに送る。第２流路部２４０Ｂにおける第２熱交換器２２２に対して上流側の部分に第２膨張弁２５Ｃ２が設けられている。第２膨張弁２５Ｃ２は冷媒を膨張させて第２熱交換器２２２に送ることで、第２熱交換器２２２は低温の冷媒による冷却が可能となる。

第１熱交換器２１２及び第２熱交換器２２２が空気を冷却する際には、結露が生じ得る。そのため、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２はそれぞれ、筐体１０Ｂの外部まで延びるドレンホース２１４，２２４を有する。

第１貼合側冷却部２１は、冷却媒体供給部２３からの冷媒を第１熱交換器２１２で受け入れ、第１熱交換器２１２で冷却した空気を筐体１０Ｂ内に供給する。同様に、第２貼合側冷却部２２は、冷却媒体供給部２３からの冷媒を第２熱交換器２２２で受け入れ、第２熱交換器２２２で冷却した空気を筐体１０Ｂ内に供給する。第１熱交換器２１２で冷却される空気は、第１送風機２１１の回転により第１熱交換器２１２に引き込まれる。第２熱交換器２２２で冷却される空気は、第２送風機２２１の回転により第２熱交換器２２２に引き込まれる。

本体ケース２１０，２２０にはそれぞれ空気の吐出口が形成され、各吐出口の周縁に風向調節羽根２１３，２２３が設けられている。第１送風機２１１及び第２送風機２２１はクロスフローファンで構成される。本体ケース２１０，２２０に形成される上記吐出口はそれぞれ、ランナ２１１Ｒ，２２１Ｒの長手方向に平行に長尺に延びる。風向調節羽根２１３，２２３はそれぞれ一対で構成され、長尺な上記吐出口の周縁における長手方向に延びる一対の縁部分にそれぞれ振り分けて設けられる。

風向調節羽根２１３，２２３はそれぞれ、ランナ２１１Ｒ，２２１Ｒの回転軸に平行な回転軸周りに回転可能である。熱交換器２１２，２２２を通過した後、送風機２１１，２２１から吐出される空気は、本体ケース２１０，２２０の上記吐出口から筐体１０Ｂ内に供給される。この際、本実施の形態では、供給する空気の向きを風向調節羽根２１３，２２３によって上下に調節できる。

また、本実施の形態におけるフィルム貼合カット装置１は、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２からの空気の供給態様が第１の実施の形態と異なる。すなわち、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２は、ワークＷに貼り合わせる前のフィルムＦに空気を向けて供給することで、フィルムＦをカット前に冷却する。

詳しくは、一方側の貼合部材１２は、搬送路１Ｒに近接して配置され、一方側のフィルム供給ロール１１は、貼合部材１２よりも搬送路１Ｒから離れた位置に配置される。そして、一方側のカッター１３は、フィルムＦにおける一方側のフィルム供給ロール１１と一方側の貼合部材１２との間に延びる部分に対して接近及び離間自在になるように配置されている。同様に、他方側の貼合部材１２は、搬送路１Ｒに近接して配置され、他方側のフィルム供給ロール１１は、貼合部材１２よりも搬送路１Ｒから離れた位置に配置される。そして、他方側のカッター１３は、フィルムＦにおける他方側のフィルム供給ロール１１と他方側の貼合部材１２との間に延びる部分に対して接近及び離間自在になるように配置されている。

そして、第１貼合側冷却部２１は、一方側のカッター１３よりも一方側のフィルム供給ロール１１側の位置で、フィルムＦにおける一方側のフィルム供給ロール１１と一方側の貼合部材１２との間に延びる部分に空気を供給する。詳しくは、風向調節羽根２１３をフィルムＦに向けるようにして、風向調節羽根２１３の表面に沿って空気をフィルムＦに供給する。第２貼合側冷却部２２は、他方側のカッター１３よりも他方側のフィルム供給ロール１１側の位置で、フィルムＦにおける他方側のフィルム供給ロール１１と他方側の貼合部材１２との間に延びる部分に空気を供給する。詳しくは、風向調節羽根２２３をフィルムＦに向けるようにして、風向調節羽根２２３の表面に沿って空気をフィルムＦに供給する。

以上に説明した本実施の形態においても、カッター１３によりカットされるフィルムＦの切断箇所が、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２によってカット前に冷却される。これにより、フィルムＦが、カットされる前に、温度環境等に起因して一部が溶融したり、軟化したりして、カットされ難くなる状況が回避される。これにより、フィルムＦを適正にカットできる。そして、フィルムＦがカットし難くなることで、フィルムＦのカット面が粗くなったり、フィルムＦに皺や伸びが生じたりする状況が抑制される。よって、ラミネート形成品である絶縁層Ｆ２がラミネートされたワークＷの良品率を向上できる。

また、第２の実施の形態と同様に、第１貼合側冷却部２１が第１送風機２１１を有し、第２貼合側冷却部２２が第２送風機２２１を有する。これにより、例えば第１貼合ユニット１０Ｕ側に供給する空気の風量及び第２貼合ユニット１０Ｄ側に供給する空気の風量を柔軟に調節できる。さらに、本実施の形態では第１貼合側冷却部２１が第１熱交換器２１２を有し、第２貼合側冷却部２２が第２熱交換器２２２を有する。これにより、例えば第１貼合ユニット１０Ｕ側に供給する空気の温度及び第２貼合ユニット１０Ｄ側に供給する空気の温度も柔軟に調節できる。

また、冷媒を第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２まで送る場合、圧縮機２５Ａ及び凝縮器２５Ｂから第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２までの距離が比較的大きい場合でも、送風機に比べて比較的容易に或いはエネルギーを抑制しつつ、冷却媒体としての冷媒を第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２まで送ることが可能となる。

なお、第３の実施の形態で説明したフィルム貼合カット装置１における第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２に関する構成は、第１の実施の形態における下流側冷却装置６に適用されてもよい。

＜第４の実施の形態＞
次に、第４の実施の形態について説明する。本実施の形態における構成部分のうちの第１乃至第３の実施の形態と同じものには、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図５は、第４の実施の形態に係る基板ラミネートシステムが備えるフィルム貼合カット装置１を概略的に示す図である。本実施の形態ではフィルム貼合カット装置１の構成が第１乃至第３の実施の形態と異なる。

すなわち、図５に示される本実施の形態に係るフィルム貼合カット装置１では、第３の実施の形態で説明した第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２から第１熱交換器２１２及び第２熱交換器２２２が取り除かれている。そして、第１貼合側冷却部２１の本体ケース２１０には空気流路としての第１ダクト２１５が接続され、第２貼合側冷却部２２の本体ケース２２０には空気流路としての第２ダクト２２５が接続されている。

一方で、冷却媒体供給部２３は、空気供給口２３Ａを有するとともに熱交換器２５Ｄを収容する熱交換器ユニット２３Ｘと、熱交換器２５Ｄに供給する冷媒を凝縮させる凝縮器２５Ｂ及び熱交換器２５Ｄから流出する冷媒を圧縮する圧縮機２５Ａを有する冷凍回路ユニット２３Ｙと、を有する。膨張弁２５Ｃは冷凍回路ユニット２３Ｙに設けられるが、熱交換器ユニット２３Ｘに設けられてもよい。

そして、熱交換器ユニット２３Ｘは、第１貼合ユニット１０Ｕ及び第２貼合ユニット１０Ｄを収容する筐体１０Ｂに収容されている。一方で、冷凍回路ユニット２３Ｙは、筐体１０Ｂの外部に配置されている。熱交換器ユニット２３Ｘと冷凍回路ユニット２３Ｙとの間の冷媒流路の一部は、外部に露出する。なお、熱交換器ユニット２３Ｘは、筐体１０Ｂに隣り合うように配置されてもよい。

以上に説明した本実施の形態では、冷却媒体供給部２３の熱交換器２５Ｄと、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２とを近づけることが可能となるため、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２が空気を導入する際の圧損を抑制できる。

＜第５の実施の形態＞
次に、第５の実施の形態について説明する。本実施の形態における構成部分のうちの第１乃至第４の実施の形態と同じものには、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図６は、第５の実施の形態に係る基板ラミネートシステムが備えるフィルム貼合カット装置１の動作を説明する図である。図７は、第５の実施の形態に係る基板ラミネートシステムにおけるフィルムＦの移動パターンと、フィルム貼合カット装置１においてフィルムＦを空気で冷却する際の送風パターンとの関係を示すグラフを示す図である。

本実施の形態は、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２における空気の供給態様が、第３の実施の形態と異なるが、その他の構成は第３の実施の形態と同じである。詳しくは、本実施の形態における第１貼合側冷却部２１は、移動するフィルムＦに追従するように空気を供給する向きを変更する。同様に、第２貼合側冷却部２２は、移動するフィルムＦに追従するように空気を供給する向きを変更する。

図６を参照し、第１貼合側冷却部２１は、フィルム供給ロール１１のフィルムＦの繰り出しによりフィルムＦがフィルム供給ロール１１側から貼合部材１２側に移動する際、フィルムＦに追従するように、供給する空気の向きをフィルム供給ロール１１側から貼合部材１２側に変更する。この際の空気の供給量は、ローレベルに設定される。そして、フィルムＦは、間欠的に繰り出されており、上述のように繰り出された後、一定期間にわたり停止する。このフィルムＦの停止中において、第１貼合側冷却部２１は、供給する空気の向きを貼合部材１２側からフィルム供給ロール１１側に変更する。この際の空気の供給量は、ハイレベルに設定され、供給する空気の向きをフィルム供給ロール１１側から貼合部材１２側に変更する場合よりも大きくする。そして、供給する空気の向きがフィルム供給ロール１１側に至った際には、空気の供給量がローレベルに設定され、その後、供給する空気の向きを、フィルムＦの移動に合わせて、フィルム供給ロール１１側から貼合部材１２側に変更する。

供給する空気の向きは、本実施の形態では風向調節羽根２１３の角度を変更することで行われる。以上のような供給する空気の向きの変更は、第２貼合側冷却部２２側でも同じ態様で行われる。

図７は、上段にフィルムＦの移動パターンのグラフを示し、下段にフィルムＦを空気で冷却する際の送風パターンを示す。横軸は時間を示し、上段グラフの縦軸は、フィルムＦの移動速度（ｍ／ｓ）を示し、下段グラフの縦軸は、供給する空気の向きを示す。空気の向きθが０°である場合は、第１貼合側冷却部２１が、供給する空気の向きを貼合部材１２側に設定していることを意味する。

フィルムＦはワークＷと同じ移動パターンで移動するが、動き始めで加速され、一定速度になった後、減速して停止する。そして、フィルムＦは、一定期間停止した後、再度同じ加減速で移動する。フィルムＦが移動している際には、フィルムＦがワークＷに貼り合わされる。

一方で、フィルムＦが停止している際に、カッター１３によりフィルムＦがカットされる。下段のグラフを参照し、フィルムＦが停止した瞬間に（停止に応じて）、第１貼合側冷却部２１は、供給する空気の向きを貼合部材１２側からフィルム供給ロール１１側に変更し始める。この際の空気の供給量は、ハイレベルに設定されていることで、フィルムＦは次回貼り合わされる範囲を均一的に且つ十分に冷却される。一方で、フィルムＦが移動し始めると、第１貼合側冷却部２１は、供給する空気の向きをフィルム供給ロール１１側から貼合部材１２側に変更し始める。この際の空気の供給量はローレベルに設定されているため、エネルギー消費量が抑制される。

以上に説明した本実施の形態では、フィルムＦがフィルム供給ロール１１側から貼合部材１２側に移動する際、フィルムＦに追従するように、供給する空気の向きがフィルム供給ロール１１側から貼合部材１２側に変更される。その後、フィルムＦの停止中において、供給する空気の向きが貼合部材１２側からフィルム供給ロール１１側に変更される。

以上のような動作によれば、フィルムＦの停止中に、フィルムＦの異なる領域を空気供給方向を変更しつつ冷却することで、フィルムＦは次回貼り合わされる範囲を均一的に且つ十分に冷却される。また、フィルムＦが移動し始めると、第１貼合側冷却部２１は、供給する空気の向きをフィルム供給ロール１１側から貼合部材１２側に変更し始める。そして、この際の空気の供給量がローレベルに設定されていることで、エネルギー消費量が抑制される。したがって、エネルギー消費量を抑制しつつ、効果的にフィルムＦを冷却することが可能となる。

＜第６の実施の形態＞
次に、第６の実施の形態について説明する。本実施の形態における構成部分のうちの第１乃至第５の実施の形態と同じものには、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図８は、第６の実施の形態に係る基板ラミネートシステムが備えるフィルム貼合カット装置１を概略的に示す図である。図９は、第６の実施の形態に係るフィルム貼合カット装置１においてワークＷを空気で冷却する際の送風パターンを説明する図である。本実施の形態ではフィルム貼合カット装置１の構成が第１乃至第５の実施の形態と異なる。フィルム貼合カット装置１は、主にワークＷを冷却した後、ワークＷ上のフィルムＦをカットする。

すなわち、図８に示される本実施の形態に係るフィルム貼合カット装置１では、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２が、貼合ユニット１０Ｕ，１０Ｄの筐体１０Ｂ内に配置される。そして、第１貼合側冷却部２１は、本体ケース２１０と、本体ケース２１０に収容された第１送風機２１１及び第１熱交換器２１２と、を有する。同様に、第２貼合側冷却部２２は、本体ケース２２０と、本体ケース２２０に収容された第２送風機２２１及び第２熱交換器２２２と、を有する。

第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２は、ワークＷの搬送方向で第１貼合ユニット１０Ｕ及び第２貼合ユニット１０Ｄの上流側に配置されている。そして、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２は、搬送路１Ｒ及び搬送路１Ｒ上のワークＷを挟み込むように位置し、第１貼合ユニット１０Ｕ及び第２貼合ユニット１０Ｄに受け入れられる前のワークＷに空気を供給してワークＷを冷却する。第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２はそれぞれ、搬送路Ｒ側に開口する空気供給口を有している。

そして、本実施の形態では、本体ケース２１０及び本体ケース２２０それぞれに設けられた支持回転軸２１６，２２６を中心に、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２が揺動自在になっている。これにより、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２は、支持回転軸２１６，２２６を中心に姿勢を変更することで、供給する空気の向きを変更できる。

そして、図９（Ａ）～（Ｃ）に示すように、本実施の形態では第１貼合側冷却部２１は、移動するワークＷに追従するように空気を供給する向きを変更する。第２貼合側冷却部２２も、同様に、移動するワークＷに追従するように空気を供給する向きを変更する。

以上に説明した本実施の形態では、ワークＷが移動中に常時空気を供給されることで、ワークＷを十分に冷却できる。ワークＷが冷却された場合には、その後にワークＷに貼り合わされるフィルムＦがワークＷによって冷却されることで、その後のカットを適正に行うことができる。これにより、ラミネート形成品である絶縁層Ｆ２がラミネートされたワークＷの良品率を向上できる。

一方で、ワークＷが間欠的に搬送される場合、上述のように移動するワークＷに空気の向きを追従させた後、ワークＷの停止中に空気の向きを、ワークＷの搬送方向で下流側から上流側に戻してもよい。そして、この際の空気の供給量を、移動するワークＷに追従させる際の空気の供給量よりも小さくしてもよい。これにより、エネルギー消費量を抑制しつつ好適なワークＷの冷却を実現できる。

＜第７の実施の形態＞
次に、第７の実施の形態について説明する。本実施の形態における構成部分のうちの第１乃至第６の実施の形態と同じものには、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図１０は、第７の実施の形態に係る基板ラミネートシステムを概略的に示す図である。本実施の形態ではフィルム貼合カット装置１及び下流側冷却装置６の構成が第１乃至第６の実施の形態と異なる。

すなわち、図１０に示されるシステムでは、第１貼合側冷却部２１が使用する冷却用の空気、第２貼合側冷却部２２が使用する冷却用の空気、第１ラミネート側冷却部６Ｕが使用する冷却用の空気、及び第２ラミネート側冷却部６Ｄが使用する冷却用の空気を冷却する冷媒を、冷却媒体供給部２３が、分岐された冷媒流路２４０から第１貼合側冷却部２１、第２貼合側冷却部２２、第１ラミネート側冷却部６Ｕ及び第２ラミネート側冷却部６Ｄのそれぞれに供給する。

冷媒流路２４０は、凝縮器２５Ｂの下流側の部分で、第１貼合側冷却部２１及び第２貼合側冷却部２２に接続される貼合ユニット側流路部２４１と、第１ラミネート側冷却部６Ｕ及び第２ラミネート側冷却部６Ｄに接続されるラミネート側流路部２４２とに分岐する。貼合ユニット側流路部２４１には貼合ユニット側膨張弁２５Ｃａが設けられ、ラミネート側流路部２４２にはラミネート側膨張弁２５Ｃｂが設けられる。貼合ユニット側流路部２４１は、貼合ユニット側膨張弁２５Ｃａ側の下流側の部分で分岐して、第１熱交換器２１２と第２熱交換器２２２とに接続される。また、ラミネート側流路部２４２は、ラミネート側膨張弁２５Ｃｂの下流側の部分で分岐して、第１ラミネート側冷却部６Ｕ及び第２ラミネート側冷却部６Ｄにおける熱交換器に接続される。

以上に説明した第７の実施の形態では、冷媒流路を簡素化でき且つシステム全体のフットプリントを抑制できる。

以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではない。

Ｓ１…基板ラミネートシステム
１…フィルム貼合カット装置
１Ｒ…搬送路
Ｆ…フィルム
Ｆ１…支持層
Ｆ２…絶縁層
１０Ｕ…第１貼合ユニット
１０Ｄ…第２貼合ユニット
１０Ｂ…筐体
１１…フィルム供給ロール
１２…貼合部材
１３…カッター
２０…冷却ユニット
２１…第１貼合側冷却部
２１Ａ…接続ボックス
２１Ｂ…パンチングプレート
２１０…本体ケース
２１１…第１送風機
２１１Ｒ…ランナ
２１２…第１熱交換器
２１３…風向調節羽根
２２…第２貼合側冷却部
２２Ａ…接続ボックス
２２Ｂ…パンチングプレート
２２０…本体ケース
２２１…第２送風機
２２１Ｒ…ランナ
２２２…第２熱交換器
２３…冷却媒体供給部
２３Ａ…空気供給口
２３Ｘ…熱交換器ユニット
２３Ｙ…冷凍回路ユニット
２４…空気流路
２４Ｕ…共通流路部
２４Ａ…第１流路部
２４Ｂ…第２流路部
２４０…冷媒流路
２４０Ｕ…共通流路部
２４０Ａ…第１流路部
２４０Ｂ…第２流路部
２５，２５’…冷凍回路
２５Ａ…圧縮機
２５Ｂ…凝縮器
２５Ｃ…膨張弁
２５Ｃ１…第１膨張弁
２５Ｃ２…第２膨張弁
２５Ｄ…熱交換器
２６…送風機
４…真空ラミネータ
４０…真空チャンバ
６…下流側冷却装置
６Ｕ…第１ラミネート側冷却部
６Ｄ…第２ラミネート側冷却部
６０…下流側冷却媒体供給部
６０Ａ…空気供給口
６３…空気吐出部
６４…空気流路
６５…冷凍回路
６６…送風機
７…搬送シート巻取り装置
Ｃ…コンベア
ＴＳ…搬送シート

Claims (12)

1. フィルムを巻き回したフィルム供給ロール、前記フィルム供給ロールから繰り出される前記フィルムをワークに貼り合わせる貼合部材、及び前記ワークと重ならない位置で前記フィルムをカットするカッターとを有する貼合ユニットと、
   前記ワーク及び前記ワーク上の前記フィルムが重なる方向で、前記ワーク及び前記ワーク上の前記フィルムに対して前記貼合ユニットが位置する側と同じ側に配置され、前記貼合ユニット及び／又はその周囲に冷却用の空気を供給する第１貼合側冷却部と、
   前記ワーク及び前記ワーク上の前記フィルムに対して前記貼合ユニットが位置する側とは反対の側に配置され、前記反対の側の領域に冷却用の空気を供給する第２貼合側冷却部と、
   前記第１貼合側冷却部が供給する空気及び前記第２貼合側冷却部が供給する空気を分岐された空気流路から前記第１貼合側冷却部と前記第２貼合側冷却部とに送るか、又は、前記第１貼合側冷却部が供給する空気及び前記第２貼合側冷却部が供給する空気を冷却する冷媒を分岐された冷媒流路から前記第１貼合側冷却部と前記第２貼合側冷却部とに送る冷却媒体供給部と、を備える、フィルム貼合カット装置。
2. 前記冷却媒体供給部は、上方に開口する空気供給口を有し、前記空気供給口から前記空気流路に空気を送り、
   前記空気流路は、前記空気供給口から上方に延びた後に側方に延びる共通流路部と、前記共通流路部から分岐する第１流路部及び第２流路部とを有し、
   前記第１流路部は、前記共通流路部から直線状に延びた後に下方に延びて前記第１貼合側冷却部に接続され、前記第２流路部は、前記共通流路部から下方に延びた後に側方に延びて前記第２貼合側冷却部に接続される、請求項１に記載のフィルム貼合カット装置。
3. 前記冷却媒体供給部は送風機を有し、前記送風機の吐出口が前記空気供給口を形成する、請求項２に記載のフィルム貼合カット装置。
4. 前記第１貼合側冷却部及び前記第２貼合側冷却部はそれぞれ、送風機を有し、
   各前記送風機の回転により、前記冷却媒体供給部からの空気が前記第１貼合側冷却部及び第２貼合側冷却部に導入される、請求項１又は２に記載のフィルム貼合カット装置。
5. 前記冷却媒体供給部は、空気供給口を有するとともに熱交換器を収容する熱交換器ユニットと、前記熱交換器に供給する冷媒を凝縮させる凝縮器及び前記熱交換器から流出する冷媒を圧縮する圧縮機を有する冷凍回路ユニットと、を有し、
   前記熱交換器ユニットは、前記貼合ユニットを収容する筐体に収容されるか又は筐体に隣り合うように配置されている、請求項４に記載のフィルム貼合カット装置。
6. 前記第１貼合側冷却部及び前記第２貼合側冷却部はそれぞれ、前記冷媒流路からの冷媒を受け入れる熱交換器を有し、前記熱交換器によって冷却した空気を供給する、請求項１に記載のフィルム貼合カット装置。
7. 前記第１貼合側冷却部及び前記第２貼合側冷却部はそれぞれ、送風機を有し、
   各前記送風機の回転により、前記熱交換器に空気が引き込まれて冷却される、請求項６に記載のフィルム貼合カット装置。
8. 前記冷却媒体供給部は、前記熱交換器に供給する冷媒を凝縮させる凝縮器及び前記熱交換器から流出する冷媒を圧縮する圧縮機を有し、前記凝縮器及び前記圧縮機を前記貼合ユニットを収容する筐体の外部に配置し、
   前記凝縮器及び前記圧縮機と、前記第１貼合側冷却部及び前記第２貼合側冷却部とは、前記冷媒流路によって接続される、請求項７に記載のフィルム貼合カット装置。
9. 前記第１貼合側冷却部は、移動する前記フィルム又は移動する前記ワークに追従するように空気を供給する向きを変更する、請求項１乃至８のいずれかに記載のフィルム貼合カット装置。
10. 前記第１貼合側冷却部は、停止中の前記フィルムに対して、空気を供給する向きを変更しながら空気を供給する、請求項１乃至８のいずれかに記載のフィルム貼合カット装置。
11. 支持層と接合層とを有するフィルムが接合されたワークであって、前記接合層がワークに直接的に接合された状態のワーク上の前記フィルムから前記支持層を剥離する剥離ユニットと、
    前記ワーク及び前記ワーク上の前記フィルムが重なる方向で、前記ワーク及び前記ワーク上の前記フィルムに対して前記剥離ユニットが位置する側と同じ側に配置され、前記支持層の剥離の前に、前記ワーク上の前記フィルムに冷却用の空気を供給する第１ラミネート側冷却部と、
    前記ワーク及び前記ワーク上の前記フィルムに対して前記剥離ユニットが位置する側とは反対の側に配置され、前記反対の側の領域に冷却用の空気を供給する第２ラミネート側冷却部と、
    前記第１ラミネート側冷却部が供給する空気及び前記第２ラミネート側冷却部が供給する空気を空気流路を分岐させて前記第１ラミネート側冷却部と前記第２ラミネート側冷却部とに送るか、又は、前記第１ラミネート側冷却部が供給する空気及び前記第２ラミネート側冷却部が供給する空気を冷却する冷媒を冷媒流路を分岐させて前記第１ラミネート側冷却部と前記第２ラミネート側冷却部とに送る冷却媒体供給部と、を備える、フィルム剥離装置。
12. 請求項１乃至１０のいずれかに記載のフィルム貼合カット装置、及び／又は、請求項１１に記載のフィルム剥離装置を備えるラミネートシステム。

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