JP2023044344A - 電子部品の処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】処理効率の向上に有用な電子部品の処理装置を提供する。【解決手段】本開示の一側面に係る電子部品の処理装置は、所定の第１方向に沿って電子部品と対向した状態で電子部品を保持する部品保持部と、所定の中心軸まわりの円軌道に位置するように部品保持部を支持する支持部と、中心軸まわりに支持部を回転させる搬送駆動部と、第１方向に沿って部品保持部を移動させる第１駆動部と、第１方向に交差する第２方向に沿って部品保持部を移動させる第２駆動部と、を備える。【選択図】図２

Description

本開示は、電子部品の処理装置に関する。

特許文献１には、パッケージに極小部品を接着して実装する際に好適な搬送装置が開示されている。この搬送装置は、ノズルを中心軸線方向に沿って案内する案内機構と、ノズルと共に中心軸線方向に沿って案内される被係合部と、被係合部と係合して付勢することによりノズルを中心軸線方向に駆動する駆動手段とを備える。

特開２０１６－９２３９１号公報

本開示は、処理効率の向上に有用な電子部品の処理装置を提供する。

本開示の一側面に係る電子部品の処理装置は、所定の第１方向に沿って電子部品と対向した状態で電子部品を保持する部品保持部と、所定の中心軸まわりの円軌道に位置するように部品保持部を支持する支持部と、中心軸まわりに支持部を回転させる搬送駆動部と、第１方向に沿って部品保持部を移動させる第１駆動部と、第１方向に交差する第２方向に沿って部品保持部を移動させる第２駆動部と、を備える。

本開示によれば、処理効率の向上に有用な電子部品の処理装置が提供される。

図１は、電子部品の処理装置の一例を模式的に示す平面図である。 図２は、電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。 図３は、コントローラの機能構成の一例を示すブロック図である。 図４は、コントローラのハードウェア構成の一例を示すブロック図である。 図５は、コントローラが実行する一連の制御処理の一例を示すフローチャートである。 図６（ａ）～図６（ｃ）は、検査時の部品保持部の様子を例示する模式図である。 図７は、電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。 図８（ａ）及び図８（ｂ）は、検査時の部品保持部の様子を例示する模式図である。 図９は、電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。 図１０は、コントローラが実行する一連の制御処理の一例を示すフローチャートである。

以下、図面を参照して一実施形態について説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図面には必要に応じてＸＹＺ直交座標系が示される。例えば、Ｘ軸及びＹ軸が水平方向であり、Ｚ軸が鉛直方向である。

図１に示される電子部品の処理装置１は、所謂ダイソータである。処理装置１は、電子部品Ｗを搬送しながら、外観検査、電気特性検査、及びマーキング等の処理を施したうえでキャリアテープ及びトレイ等の収容部材に梱包する装置である。処理対象の電子部品Ｗは、例えば、半導体製造の前工程で形成された後にダイシング等によって個片化された部品である。

処理装置１は、複数種類の電子部品Ｗそれぞれに対する処理を行うように構成されていてもよい。処理個数又は日数等の単位で、処理対象の電子部品Ｗの種類が入れ替えられてもよい。処理装置１は、１つの種類の電子部品Ｗに対する処理を連続して行った後に、他の種類の電子部品Ｗに対する処理を連続して行ってもよい。処理装置１によって処理可能な複数種類の電子部品Ｗの大きさが、互いに異なっていてもよい。

処理装置１は、搬送処理ユニット２と、コントローラ１００とを備える。搬送処理ユニット２は、複数の電子部品Ｗを順に搬送しながら、複数の電子部品Ｗに対して順に処理を施すユニットである。搬送処理ユニット２は、回転搬送ユニット１０と、複数の処理ユニット４とを有する。

（回転搬送ユニット）
回転搬送ユニット１０は、所定の中心軸Ａｘ１まわりの円軌道ＣＲ１に沿って電子部品Ｗを搬送する。搬送対象の電子部品Ｗは、図２に示されるように、直方体状に形成されていてもよい。図２に例示される電子部品Ｗは、互いに平行な（互いに逆向きの）主面Ｗａ，Ｗｂと、主面Ｗａ及び主面Ｗｂを接続する４つの側面Ｗｃとを有する。回転搬送ユニット１０は、例えば、支持部１２と、複数の部品保持部１４と、搬送駆動部１６と、複数の昇降駆動部１８とを有する（図１も参照）。

支持部１２は、円軌道ＣＲ１に位置するように部品保持部１４を支持する。支持部１２によって支持された状態の複数の部品保持部１４は、円軌道ＣＲ１に位置する。支持部１２は、円軌道ＣＲ１の中心軸Ａｘ１まわりに回転可能となるように設けられている。円軌道ＣＲ１は、水平な円軌道であってもよく、中心軸Ａｘ１は鉛直な軸線であってもよい（鉛直方向に沿って延びていてもよい）。支持部１２は、例えば、ターンテーブルである。

複数の部品保持部１４は、中心軸Ａｘ１を中心とする円周に沿って等間隔に配置されており、支持部１２に固定されている（取り付けられている）。本開示において、１つの部材が他の部材に固定されているとは、１つの部材が他の部材に直接接続されている場合に加えて、これら以外の部材を介して接続されている場合も含む。複数の部品保持部１４それぞれは、電子部品Ｗを保持するように構成されている。部品保持部１４は、所定の方向に沿って電子部品Ｗと対向した状態で、その電子部品Ｗを保持する。部品保持部１４は、いかなる方式で電子部品Ｗを保持してもよい。電子部品Ｗを保持する方式の具体例としては、真空吸着、静電気式の吸着、及び把持等が挙げられる。部品保持部１４は、支持部１２（ターンテーブルの上面）に垂直な方向の一方側から、主面Ｗａ，Ｗｂのいずれかを真空吸着してもよい。

一例では、部品保持部１４は、図２に示されるように、吸着部２０と、ホルダ２２と、昇降部２４とを有する。吸着部２０（部品保持部）は、電子部品Ｗの主面Ｗａ，Ｗｂのいずれかを上方から吸着するように構成されている。吸着部２０は、例えば、支持部１２に対して垂直に延びるように構成された吸着ロッドであり、その下端部において電子部品Ｗの主面Ｗａを吸着する。吸着部２０の下面には、電子部品Ｗに対して吸引力を加える吸引孔が設けられてもよい。ホルダ２２は、支持部１２よりも外方に配置されており、吸着部２０を保持する。本開示では、中心軸を基準に「内」及び「外」の用語を使用する。昇降部２４は、ホルダ２２を支持しており、支持部１２に対して昇降可能に固定されている。昇降部２４の詳細については、後述する。

回転搬送ユニット１０は、複数の進退駆動部２５と設置部２８とを有する。複数の進退駆動部２５は、複数の部品保持部１４にそれぞれ対応するように設けられている。図２では、複数の進退駆動部２５のうちの１つの進退駆動部２５が示されている。進退駆動部２５（第２駆動部）は、中心軸Ａｘ１に交差する方向（第２方向）に沿って、対応する部品保持部１４を移動させる。本開示において、交差は、所謂立体交差のように互いにねじれの位置（関係）にある状態での交差を含む。進退駆動部２５による部品保持部１４の移動軸（部品保持部１４の移動軌跡の延長線）は、中心軸Ａｘ１に交点を有するように交差してもよく、中心軸Ａｘ１に交点を有さないように交差してもよい。所定の方向に沿って移動させるとは、部品保持部１４がその方向に沿って直進することを意味する。すなわち、進退駆動部２５が部品保持部１４を所定の方向に沿って移動させた場合には、部品保持部１４の移動軌跡が、その方向に沿って延びることになる。

進退駆動部２５によって部品保持部１４が移動する方向は、円軌道ＣＲ１の径方向（第２方向）であってもよい。以下では、特に説明がない限り、単に「径方向」と表記した場合には、円軌道ＣＲ１の径方向を意味する。駆動対象の部品保持部１４と中心軸Ａｘ１とを最短の距離で結ぶ方向が、径方向に相当する。進退駆動部２５は、中心軸Ａｘ１から離れる方向、又は中心軸Ａｘ１に近づく方向に部品保持部１４を移動させる。径方向に沿った部品保持部１４の移動により、部品保持部１４と中心軸Ａｘ１との間の距離が変化する。

進退駆動部２５は、部品保持部１４の昇降部２４を円軌道ＣＲ１の径方向に沿って移動させてもよい。進退駆動部２５は、例えば、進退部２６と、モータ２７とを有する。進退部２６は、円軌道ＣＲ１の径方向に沿って移動可能となるように支持部１２に固定されている。モータ２７は、進退部２６を移動させるための駆動力を発生させる。進退部２６の詳細については後述する。

設置部２８は、進退駆動部２５が設置される部材である。設置部２８は、支持部１２の上面の外周部に設けられている。設置部２８は、基部２９ａと、突出部２９ｂとを含む。基部２９ａは、支持部１２の上面及び上記径方向に沿って延びるように板状に形成されている。突出部２９ｂは、基部２９ａの中心軸Ａｘ１から遠い方（外周側）の端部に設けられ、基部２９ａの上面から突出する。突出部２９ｂは、支持部１２の外周縁に位置していてもよい。

ここで、進退部２６及び昇降部２４の一例について、その詳細を説明する。進退部２６は、基部３１と、可動部３２と、受け部３４と、接続部３５と、スプリング３７と、延出部３８とを含む。基部３１は、設置部２８の上方において設置部２８を覆うように配置され、支持部１２の上面及び径方向に沿って延びるように形成されている。基部３１は、その一部が支持部１２の外周縁よりも外に張り出すように配置されている。

可動部３２は、径方向に沿って移動可能となるように、その下面が設置部２８の基部２９ａに接続されている。可動部３２は、基部３１を支持している。受け部３４は、基部３１の内側の端部において、基部３１の下面から下方に向けて突出している。受け部３４には、モータ２７からの外向きの駆動力が付与される。接続部３５は、基部３１の下面から下方に延びており、径方向において、受け部３４との間に可動部３２を挟むように設けられる。接続部３５は、設置部２８の突出部２９ｂと径方向において対向しており、突出部２９ｂの内側に位置する。スプリング３７は、突出部２９ｂと接続部３５との間に設けられており、進退部２６の移動に伴って反力を発生させるように構成されている。

延出部３８は、基部３１の外側の端部において、基部３１の下面から下方に向けて延びるように形成されている。延出部３８の延在方向の長さは、接続部３５の長さ及び受け部３４の長さよりも長くてもよい。延出部３８は、突出部２９ｂ及び支持部１２の外周縁よりも外に位置しており、径方向において延出部３８と突出部２９ｂとが互いに対向している。延出部３８の外方を向く側面には、上述の昇降部２４が昇降可能に設けられている。

昇降部２４は、可動部４２と、延出部４４ａ，４４ｂと、受け部４６と、スプリング４８とを含む。可動部４２は、中心軸Ａｘ１が延びる方向（図示のＺ軸方向）に沿って移動可能となるように、延出部３８の外方を向く側面に接続されている。延出部４４ａは、延出部３８との間に可動部４２を挟むように、可動部４２に接続されている。延出部４４ａは、中心軸Ａｘ１に沿って延びるように形成されており、基部３１の上面よりも上方に張り出している。

延出部４４ｂは、延出部４４ａの上端に接続されており、延出部４４ａとの接続部分を起点として、径方向に沿って中心軸Ａｘ１に向かって延びている。延出部４４ｂは、基部３１の一部を覆うように配置されている。受け部４６は、延出部４４ｂの上面に設けられている。受け部４６は、昇降部２４を下降させるための駆動力を受ける部分である。受け部４６は、径方向に沿って延びるように形成されている。上方から見て、受け部４６は、四角形であってもよく、楕円形であってもよい。受け部４６は、長手方向又は長軸方向が径方向に沿うように延出部４４ｂの上面に設けられていてもよい。

スプリング４８は、延出部４４ｂと基部３１との間に設けられており、昇降部２４の移動に伴って反力を発生させるように構成されている。昇降部２４は、２つのスプリング４８を含んでもよい。上方から見て、少なくとも１つのスプリング４８が、受け部４６によって覆われていてもよい。

図１に戻り、搬送駆動部１６は、円軌道ＣＲ１の中心軸Ａｘ１まわりに支持部１２を回転させるように構成されている。搬送駆動部１６は、例えば、電動モータ等の動力源を用いて、ギヤを介さないダイレクトドライブによって中心軸Ａｘ１まわりに支持部１２を回転させる。支持部１２の回転により、円軌道ＣＲ１に沿って複数の部品保持部１４が移動する。その結果、部品保持部１４によって保持されている電子部品Ｗが、円軌道ＣＲ１に沿って搬送される。

搬送駆動部１６は、隣り合う部品保持部１４同士の角度ピッチ（中心軸Ａｘまわりの角度ピッチ）にて、支持部１２の回転と停止とを繰り返すように制御される。以下、搬送駆動部１６が支持部１２を停止させる際に複数の部品保持部１４（より詳細には、複数の吸着部２０）それぞれが配置される複数の位置を「複数の停止位置ＳＰ」という。

昇降駆動部１８（第１駆動部）は、部品保持部１４と、その部品保持部１４によって保持されている電子部品Ｗとが対向する方向に沿って、部品保持部１４を移動させる。部品保持部１４と、その部品保持部１４によって保持されている電子部品Ｗとが互いに対向する方向（第１方向）は、中心軸Ａｘと平行であってもよい。上記円軌道ＣＲ１の接線方向は、部品保持部１４と電子部品Ｗとが互いに対向する上記方向に交差する。部品保持部１４が上方から電子部品Ｗの主面Ｗａを吸着保持する場合には、主面Ｗａに垂直な方向において、部品保持部１４と電子部品Ｗとが互いに対向している（並んでいる）。昇降駆動部１８は、中心軸Ａｘ１が延びる方向に沿って部品保持部１４を移動させてもよい。

複数の昇降駆動部１８は、複数の部品保持部１４を個別に昇降させるように構成されている。図１では、昇降駆動部１８の図示は省略されており、図２では、複数の昇降駆動部１８のうちの１つの昇降駆動部１８が示されている。昇降駆動部１８は、停止位置ＳＰに配置された部品保持部１４に外力を加えることで、その部品保持部１４を支持部１２に垂直な方向の一方側に移動させる。昇降駆動部１８は、例えば、鉛直方向において部品保持部１４を下方に移動させる。

複数の昇降駆動部１８は、複数の停止位置ＳＰにそれぞれ対応するように設けられてもよい。部品保持部１４を昇降させる必要がない停止位置ＳＰには、昇降駆動部１８が設けられていなくてもよい。昇降駆動部１８は、平面視（上方から見ること）において、対応する停止位置ＳＰ又はその近傍に配置されている。昇降駆動部１８は、対応する停止位置ＳＰに配置されている部品保持部１４の上方に位置する。昇降駆動部１８は、対応する停止位置ＳＰに順次配置されてくる部品保持部１４を下方に移動させる。

回転搬送ユニット１０は、図２に示されるように、複数の昇降駆動部１８を固定する（支持する）固定部１１を有してもよい。固定部１１は、例えば、板状の部材であり、支持部１２の上方に配置されている。固定部１１は、支持部１２の回転と共に回転しないように設けられている。そのため、支持部１２が回転しても、複数の昇降駆動部１８は移動しない。昇降駆動部１８は、例えば、ホルダ５２と、可動部５３と、昇降ロッド５４と、モータ５８と、スプリング５６とを有する。

ホルダ５２は、支持部１２の外周縁の鉛直上方において、固定部１１の外周部に固定されている。ホルダ５２の外周面には、ホルダ５２の下半分における外方を向く側面よりも外に突出する突出部５２ａと、ホルダ５２の下半分の上記側面よりも内側に窪む（凹む）窪み５２ｂとが設けられている。可動部５３は、中心軸Ａｘ１が延びる方向（例えば、図示のＺ軸方向）に沿って移動可能となるように、ホルダ５２の下半分の領域における上記側面に接続されている。昇降ロッド５４は、中心軸Ａｘ１と平行な方向に沿って延びるように棒状に形成されており、可動部５３によって支持（接続）されている。

受け部５５は、昇降ロッド５４の上端部に接続されており、昇降ロッド５４との接続部分を起点として、内側に延びるように形成されている。受け部５５は、突出部５２ａを覆うように配置されている。モータ５８は、昇降ロッド５４を下降させるための駆動力を受け部５５に付与する。スプリング５６は、受け部５５と突出部５２ａとの間に設けられており、昇降ロッド５４及び受け部５５の移動に伴って反力を発生させるように構成されている。

図２に例示される回転搬送ユニット１０において、中心軸Ａｘ１が延びる方向（鉛直方向）に沿って吸着部２０を移動させる際には、以下の動作が行われる。まず、モータ５８によって、受け部５５に対して下向きの力が付与される。受け部５５への下向きの力の付与によって、可動部５３及び昇降ロッド５４が下降する。そして、昇降ロッド５４の下降によって、昇降部２４の受け部４６に対して下向きの力が付与される。受け部４６への下向きの力の付与によって、可動部４２及び延出部４４ａ，４４ｂが下降し、その結果、ホルダ２２と共に吸着部２０が下降する。

吸着部２０を元の位置（下降前の高さ位置）に戻す際には、以下の動作が行われる。モータ５８からの受け部５５への下向きの力が解除されると、スプリング５６の反力によって、昇降ロッド５４が上昇する。昇降ロッド５４の上昇により、昇降ロッド５４からの受け部４６への下向きの力が解除され、スプリング４８の反力によって、昇降部２４、ホルダ２２、及び吸着部２０が元の位置まで上昇する。

吸着部２０を円軌道ＣＲ１の径方向に沿って移動させる際には、以下の動作が行われる。まず、進退駆動部２５のモータ２７によって、受け部３４に対して外向きの力が付与される。受け部３４への外向きの力の付与によって、進退部２６が、中心軸Ａｘ１から遠ざかるように移動する。進退部２６の移動によって、昇降部２４が外方に向かって移動し、その結果、ホルダ２２と共に吸着部２０が外方に向かって移動する。

吸着部２０を元の位置（移動前の位置）に戻す際には、以下の動作が行われる。モータ２７からの受け部３４への外向きの力が解除されると、スプリング３７の反力によって、進退部２６が、中心軸Ａｘ１に近づくように移動する。進退部２６の移動によって、昇降部２４が内側に向かって移動し、その結果、ホルダ２２と共に吸着部２０が内側に向かって移動する。

（処理ユニット）
複数の処理ユニット４は、図１に示されるように、いくつかの停止位置ＳＰにそれぞれ対応するように設けられている。図１に示される例とは異なり、全ての停止位置ＳＰそれぞれに処理ユニット４が設けられてもよい。処理ユニット４は、対応する停止位置ＳＰに配置された部品保持部１４が保持する電子部品Ｗに対して、予め定められた処理を施すように構成されている。いくつかの処理ユニット４は、対応する停止位置ＳＰの下方に配置されてもよい。

本開示において、電子部品Ｗに対して行う「処理」は、電子部品Ｗの状態を変化させるあらゆる行為を含む。例えば、電子部品Ｗにマーキング等を施すこと、電子部品Ｗを部品保持部１４に保持させること（引き渡すこと）、及び部品保持部１４から電子部品Ｗを回収すること（受け取ること）は、「処理」に該当する。また、電子部品Ｗに対する何らかの検査を実行することも、検査データが未知の状態を検査データが既知の状態に変化させるので「処理」に該当する。複数の処理ユニット４は、例えば、部品供給ユニット６と、部品回収ユニット７と、１つ又は複数の中間処理ユニット８とを含む。

部品供給ユニット６は、回転搬送ユニット１０に対して電子部品Ｗを供給するユニットである。部品供給ユニット６は、いずれかの停止位置ＳＰに対応するように配置されている。部品供給ユニット６は、例えば、複数の電子部品Ｗが収容された状態の収容部材（例えば、ウェハシート）を移動させることで、各電子部品Ｗを順に対応する停止位置ＳＰの鉛直下方に配置する。対応する停止位置ＳＰに配置された部品保持部１４が、昇降駆動部１８により下降しつつ、その停止位置ＳＰの鉛直下方に配置された電子部品Ｗを受け取る。これにより、部品供給ユニット６から回転搬送ユニット１０に電子部品Ｗが供給される。以下、部品供給ユニット６が電子部品Ｗを供給する供給用の停止位置ＳＰを「供給位置ＳＰ１」と称する。

部品回収ユニット７は、回転搬送ユニット１０から電子部品Ｗを回収するユニットである。部品回収ユニット７は、いずれかの停止位置ＳＰに対応するように配置されている。部品回収ユニット７は、例えば、複数の電子部品Ｗを収容することが可能な収容部材（例えば、キャリアテープ）を移動させることで、収容部材に含まれる各収容部を対応する停止位置ＳＰの鉛直下方に順に配置する。対応する停止位置ＳＰに配置された部品保持部１４が、昇降駆動部１８により下降しつつ、その停止位置ＳＰの下方に配置された収容部に電子部品Ｗを引き渡す。これにより、回転搬送ユニット１０から部品回収ユニット７に電子部品Ｗが回収される。以下、部品回収ユニット７が電子部品Ｗを回収する回収用の停止位置ＳＰを「回収位置ＳＰ２」と称する。

中間処理ユニット８は、供給位置ＳＰ１及び回収位置ＳＰ２以外のいずれかの停止位置ＳＰに対応するように配置されており、電子部品Ｗに対して所定の処理を施すユニットである。中間処理ユニット８は、円軌道ＣＲ１において供給位置ＳＰ１よりも下流且つ回収位置ＳＰ２よりも上流に位置する停止位置ＳＰにおいて、電子部品Ｗに対して処理を行う。中間処理ユニット８による処理の具体例としては、電気特性検査、光学特性検査、外観検査、姿勢又は位置の補正、及びマーキング（レーザマーキング）等が挙げられる。

複数の中間処理ユニット８は、外観検査ユニット６０を含む。外観検査ユニット６０は、円軌道ＣＲ１において供給位置ＳＰ１と回収位置ＳＰ２との間の経路上のいずれかの停止位置ＳＰに対応するように配置されている。外観検査ユニット６０は、対応する停止位置ＳＰに配置された部品保持部１４が保持する電子部品Ｗの外観検査を行うユニットである。以下では、外観検査ユニット６０により検査が行われる検査用の停止位置ＳＰを「検査位置ＩＰ」と称する。

外観検査ユニット６０は、例えば、検査位置ＩＰに配置された部品保持部１４が保持する電子部品Ｗの１つの側面Ｗｃを撮像することで、その側面Ｗｃにおける外観を検査する。一例では、外観検査ユニット６０による撮像画像によって、検査対象面である側面Ｗｃにおける傷、チッピング（欠け）、又は異物の有無が検査される。外観検査ユニット６０は、可視光を用いて側面Ｗｃを撮像するカメラ６２を含んでもよい。

カメラ６２は、検査対象面である側面Ｗｃから出射される光を集光することで、その側面Ｗｃの撮像を行う。カメラ６２は、例えば、検査対象面である側面Ｗｃからの反射光を集光することで、当該側面Ｗｃの撮像を行う。なお、カメラ６２は、検査対象面である側面Ｗｃを透過した光を集光することで、当該側面Ｗｃの撮像を行ってもよい。カメラ６２は、検査位置ＩＰに位置する部品保持部１４が保持する電子部品Ｗのうちの、円軌道ＣＲ１の径方向に沿って延びる側面Ｗｃを撮像可能となるように配置されている。カメラ６２が撮像する側面Ｗｃは、円軌道ＣＲ１において下流を向く側面であってもよい。

カメラ６２は、搬送駆動部１６による複数の部品保持部１４の移動と干渉しないように配置されており、その位置は固定されていてもよい。この場合、カメラ６２による撮像範囲（以下、「撮像範囲ＰＡ」という。）は一定である。大きいサイズの電子部品Ｗが搬送される際に、カメラ６２による撮像範囲ＰＡの横幅は、側面Ｗｃの横幅よりも小さくてもよく、カメラ６２による撮像範囲ＰＡの縦幅は、側面Ｗｃの縦幅よりも大きくてもよい。以上のように、電子部品Ｗの種類によっては、カメラ６２による撮像範囲ＰＡ（視野）が、側面Ｗｃの全体よりも小さくなるように設定されていてもよい。

（コントローラ）
コントローラ１００は、搬送処理ユニット２を制御する。コントローラ１００は、１つ又は複数の制御用コンピュータによって構成される。コントローラ１００は、複数の電子部品Ｗに対して所定の処理が順に施されるように、予め定められた制御手順に従って搬送処理ユニット２を制御する。

コントローラ１００は、機能上の構成（以下、「機能モジュール」という。）として、例えば、搬送制御部１１２と、昇降制御部１１４と、進退制御部１１６と、検査制御部１１８とを有する。これらの機能モジュールが実行する処理は、コントローラ１００が実行する処理に相当する。以下、各機能モジュール（コントローラ１００）が実行する処理を、処理ユニット４による電子部品Ｗへの処理と区別するために「制御処理」と称する。

搬送制御部１１２は、円軌道ＣＲ１において隣り合う部品保持部１４同士の角度ピッチにて、支持部１２の回転と停止とを繰り返すように搬送駆動部１６を制御する。支持部１２の回転と停止とが交互に繰り返されることで、上述の停止位置ＳＰにおける部品保持部１４（吸着部２０）の停止と、停止位置ＳＰから次の停止位置ＳＰへの部品保持部１４（吸着部２０）の移動とが繰り返される。

昇降制御部１１４は、停止位置ＳＰに配置された部品保持部１４（吸着部２０）を下降させるように、当該停止位置ＳＰに対応する昇降駆動部１８を制御する。昇降制御部１１４は、例えば、停止位置ＳＰの鉛直下方に配置された処理ユニット４に対して、部品保持部１４が電子部品Ｗを引き渡す又は受け取る際に、部品保持部１４を昇降駆動部１８により下降させて元の位置まで上昇させる。この場合、昇降駆動部１８は、処理ユニット４に近づけるように又は処理ユニット４から離れるように、中心軸Ａｘ１に沿って部品保持部１４を移動させる。

進退制御部１１６は、部品保持部１４を円軌道ＣＲ１の径方向に沿って移動させるように進退駆動部２５を制御する。進退制御部１１６は、検査位置ＩＰに配置される際の部品保持部１４の径方向の位置を変化させるように、進退駆動部２５により部品保持部１４を径方向に沿って移動させる。部品保持部１４を径方向に沿って移動させた後に、進退制御部１１６は、移動前の位置に戻すように進退駆動部２５により部品保持部１４を移動させてもよい。進退制御部１１６は、検査位置ＩＰに部品保持部１４が配置された状態で進退駆動部２５により部品保持部１４を移動させてもよい。進退制御部１１６は、検査位置ＩＰへの部品保持部１４の配置前又は検査位置ＩＰからの部品保持部１４の移動後において、進退駆動部２５により、その部品保持部１４を移動させてもよい。進退制御部１１６は、例えば、搬送駆動部１６により支持部１２が回転している間において、進退駆動部２５により部品保持部１４を径方向に沿って移動させてもよい。

検査制御部１１８は、検査位置ＩＰに配置された部品保持部１４が保持する電子部品Ｗに対する検査を実行するように、外観検査ユニット６０を制御する。検査制御部１１８は、例えば、検査位置ＩＰに位置する電子部品Ｗの検査対象となる側面Ｗｃをカメラ６２により撮像させることで、当該側面Ｗｃの撮像画像を取得する。検査制御部１１８は、側面Ｗｃ全体の検査を行うように、カメラ６２に複数回の撮像を実行させてもよい。検査制御部１１８は、側面Ｗｃの撮像画像に基づいて、その側面Ｗｃにおける異常の有無（例えば、傷の有無）を判定してもよい。

コントローラ１００は、図４に示されるように、回路１５０を有する。回路１５０は、１つ又は複数のプロセッサ１５２と、メモリ１５４と、ストレージ１５６と、入出力ポート１５８と、タイマ１６２とを含む。ストレージ１５６は、例えば不揮発性の半導体メモリ等、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体を有する。ストレージ１５６は、予め設定された制御手順で搬送処理ユニット２に含まれる各要素を制御することをコントローラ１００に実行させるためのプログラムを記憶している。例えばストレージ１５６は、上述した各機能モジュールを構成するためのプログラムを記憶している。

メモリ１５４は、ストレージ１５６の記憶媒体からロードしたプログラム及びプロセッサ１５２による演算結果を一時的に記憶する。プロセッサ１５２は、メモリ１５４と協働して上記プログラムを実行することで、コントローラ１００の各機能モジュールを構成する。入出力ポート１５８は、プロセッサ１５２からの指令に従って、搬送処理ユニット２の各要素との間で電気信号の入出力を行う。タイマ１６２は、例えば一定周期の基準パルスをカウントすることで経過時間を計測する。なお、回路１５０は、必ずしもプログラムにより各機能を構成するものに限られない。例えば回路１５０は、専用の論理回路又はこれを集積したＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）により少なくとも一部の機能を構成してもよい。

（制御方法）
続いて、コントローラ１００が実行する制御手順（制御方法）の一例を説明する。図５は、サイズが大きい１つの電子部品Ｗが検査位置ＩＰに搬送され、その電子部品Ｗに対して検査を行う際の一連の制御手順を示すフローチャートである。この一連の制御手順では、検査対象の電子部品Ｗを保持する吸着部２０が、検査位置ＩＰよりも１つ上流の停止位置ＳＰに位置する状態で、コントローラ１００がステップＳ１１を実行する。

ステップＳ１１では、例えば、搬送制御部１１２が、検査対象の電子部品Ｗを保持する吸着部２０が検査位置ＩＰに配置されるように搬送駆動部１６を制御する。ステップＳ１１の実行により、図６（ａ）に示されるように、吸着部２０が保持する電子部品Ｗの側面Ｗｃの中央部分がカメラ６２による撮像範囲ＰＡに含まれるように、その吸着部２０が検査位置ＩＰに移動する。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１２，Ｓ１３を実行する。ステップＳ１２では、例えば、検査制御部１１８が、側面Ｗｃの中央部分の撮像画像を取得するようにカメラ６２を制御する。ステップＳ１３では、例えば、進退制御部１１６が、吸着部２０を円軌道ＣＲ１の径方向に沿って外方へ移動させるように進退駆動部２５を制御する。進退制御部１１６は、図６（ｂ）に示されるように、吸着部２０が保持する電子部品Ｗの側面Ｗｃの中央部分よりも左側の部分（内側寄りの部分）が撮像範囲ＰＡに含まれる状態となるように、進退駆動部２５により吸着部２０を移動させる。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１４，Ｓ１５を実行する。ステップＳ１４では、例えば、検査制御部１１８が、側面Ｗｃの左側部分の撮像画像を取得するようにカメラ６２を制御する。ステップＳ１５では、例えば、進退制御部１１６が、吸着部２０を径方向に沿って内側へ移動させるように進退駆動部２５を制御する。進退制御部１１６は、図６（ｃ）に示されるように、吸着部２０が保持する電子部品Ｗの側面Ｗｃの中央部分よりも右側の部分（外側寄りの部分）が撮像範囲ＰＡに含まれる状態となるように、進退駆動部２５により吸着部２０を移動させる。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１６を実行する。ステップＳ１６では、例えば、検査制御部１１８が、側面Ｗｃの右側部分の撮像画像を取得するようにカメラ６２を制御する。以上のステップＳ１６までの制御処理の実行により、カメラ６２（外観検査ユニット６０）は、電子部品Ｗの径方向における位置が互いに異なる状態で複数回の撮像を実行する。側面Ｗｃに対する複数回の撮像（この例では、３回の撮像）により、側面Ｗｃ全体について画像データが得られる。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１７，Ｓ１８を実行する。ステップＳ１７では、例えば、進退制御部１１６が、吸着部２０をステップＳ１３の開始前の位置に戻すように進退駆動部２５を制御する。ステップＳ１８では、例えば、検査制御部１１８が、ステップＳ１２，Ｓ１４，Ｓ１６それぞれで得られた画像データに基づいて、側面Ｗｃにおける異常の有無を判定する。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１９を実行する。ステップＳ１９では、例えば、搬送制御部１１２が、検査後の電子部品Ｗを保持する吸着部２０が、検査位置ＩＰの１つ先の停止位置ＳＰに配置されるように搬送駆動部１６を制御する。以上により、外観検査ユニット６０を用いて、１つの電子部品Ｗに対して行う検査が終了する。ステップＳ１９の実行により、次の検査対象の電子部品Ｗを保持する別の吸着部２０が検査位置ＩＰに配置される。以降、コントローラ１００は、ステップＳ１２～Ｓ１９の一連の制御処理を繰り返し実行する。

（変形例）
図６に示される上述の一連の制御処理は一例であり、適宜変更可能である。上記一連の制御処理において、コントローラ１００は、一のステップと次のステップとを並列に実行してもよく、上述した例とは異なる順序で各ステップを実行してもよい。コントローラ１００は、いずれかのステップを省略してもよく、いずれかのステップにおいて上述の例とは異なる処理を実行してもよい。コントローラ１００は、例えば、ステップＳ１５，Ｓ１６の実行後に、ステップＳ１３，Ｓ１４を実行してもよい。コントローラ１００は、例えば、ステップＳ１７とステップＳ１８とを、これらの実行タイミングが少なくとも部分的に重複するように並行して実行してもよい。

コントローラ１００は、ステップＳ１６の実行後において、ステップＳ１７，Ｓ１９を、これらの実行タイミングが少なくとも部分的に重複するように並行して実行してもよい。コントローラ１００は、ステップＳ１１の実行中においてステップＳ１３を実行し、ステップＳ１７の実行後にステップＳ１２を実行してもよい。搬送駆動部１６による部品保持部１４の回転搬送（支持部１２の回転）を行っている間に、径方向に沿って一方側に吸着部２０を移動させることで、１つの電子部品Ｗの検査に要する時間を短縮することができる。

電子部品Ｗのサイズによっては、カメラ６２は、１つの電子部品Ｗの側面Ｗｃに対して、進退駆動部２５によって吸着部２０の径方向における位置を変えながら、２回の撮像を行ってもよく、４回以上の撮像を行ってもよい。電子部品Ｗのサイズが小さい場合には、検査対象面である側面Ｗｃの全体が撮像範囲ＰＡに含まれる場合もある。この場合、コントローラ１００は、進退駆動部２５によって吸着部２０の径方向の位置を変えずに、電子部品Ｗの側面Ｗｃに対して１回の撮像を行ってもよい。

上述の例では、部品保持部１４（吸着部２０）を径方向に移動させる進退駆動部２５が、支持部１２に設けられているが、部品保持部１４を径方向に移動させる進退駆動部が、支持部１２と共に回転しないように設けられてもよい。図７に示される回転搬送ユニット１０Ａは、部品保持部１４に代えて部品保持部１４Ａを有し、進退駆動部２５に代えて進退駆動部７０を有する。部品保持部１４Ａ（部品保持部１４Ａの吸着部２０）は、昇降駆動部１８によって中心軸Ａｘ１が延びる方向に沿って移動し、進退駆動部７０によって中心軸Ａｘ１まわりの円軌道ＣＲ１の径方向に沿って移動する。部品保持部１４Ａは、昇降部２４と、進退部８２とを有する。

部品保持部１４Ａの昇降部２４は、進退部８２に接続される点を除き、部品保持部１４の昇降部２４と同様に構成されている。進退部８２は、径方向に沿って移動可能となるように支持部１２に設けられており、昇降部２４の可動部４２を昇降可能に保持する。進退部８２は、例えば、可動部８４と、延出部８８と、受け部８６と、を有する。可動部８４は、径方向に沿って移動可能となるように、支持部１２の外周部に設けられている。可動部８４の一端は、支持部１２の外周縁よりも外方へ張り出している。

可動部８４の外周側の先端には、その先端から下方に延びる延出部８８が接続されている。延出部８８の外方を向く側面には、昇降部２４の可動部４２が接続されている。受け部８６は、可動部８４の下面に接続されており、その接続部分を起点として下方に延びるように形成されている。受け部８６は、支持部１２の下面よりも下まで延びており、支持部１２は、受け部８６の径方向に沿う移動を妨げない形状とされている。

進退駆動部７０（第２駆動部）は、部品保持部１４（吸着部２０）を径方向に沿って移動させる。進退駆動部７０は、支持部１２の回転と共に移動しないように設けられている。処理装置１は、搬送駆動部１６等が設置されるベース部７９を備えてもよい。進退駆動部７０は、ベース部７９に設けられていてもよい。進退駆動部７０は、検査位置ＩＰに配置された部品保持部１４（吸着部２０）を径方向に沿って移動させる。上述の進退駆動部２５が対応する部品保持部１４を移動させるのに対して、進退駆動部７０は、検査位置ＩＰに配置されるいずれかの部品保持部１４を移動させる。回転搬送ユニット１０Ａは、部品保持部１４を径方向に移動させる停止位置ＳＰ（例えば、検査位置ＩＰ）に対応する位置に進退駆動部７０を有し、部品保持部１４を径方向に移動させない停止位置ＳＰには進退駆動部を有しなくてもよい。

進退駆動部７０は、例えば、ホルダ７２と、進退ロッド７４と、モータ７６とを有する。ホルダ７２は、ベース部７９に設けられている。そのため、ホルダ７２は、支持部１２が回転しても移動しない。進退ロッド７４は、ホルダ７２に対して移動可能となるようにホルダ７２に設けられている。進退ロッド７４は、円軌道ＣＲ１の径方向に沿って延びるように棒状に形成されており、径方向に沿って移動可能となるようにホルダ７２に保持されている。進退ロッド７４は、受け部８６よりも内側に配置されている。モータ７６は、外方に向けて移動させるための駆動力を進退ロッド７４に付与する。

回転搬送ユニット１０Ａでは、モータ７６による駆動力によって、進退ロッド７４が、径方向に沿って外方に向けて移動する。進退ロッド７４の外方への移動により、進退ロッド７４から受け部８６に対して外力が付与される。これにより、可動部８４及び昇降部２４が径方向に沿って外方に移動する。その結果、ホルダ２２に保持された吸着部２０が、径方向に沿って外方に移動する。モータ７６による進退ロッド７４への駆動力の付与を解除すると、吸着部２０が移動する前の位置に戻る。回転搬送ユニット１０Ａを備える処理装置１においても、図５に示される一連の制御処理が実行されてもよい。

図２に示されるように、回転搬送ユニット１０は、回転駆動部１９を有してもよい。回転駆動部１９は、中心軸Ａｘ２まわりに吸着部２０（部品保持部）を回転させる駆動部である。中心軸Ａｘ２は、中心軸Ａｘ１と平行な軸線である。中心軸Ａｘ２は、吸着部２０の下面の中心を通るように設定されていてもよい。回転駆動部１９は、ホルダ２２に固定されており、ホルダ２２の昇降又は径方向に沿った進退と共に移動してもよい。回転搬送ユニット１０は、複数の吸着部２０にそれぞれ対応する複数の回転駆動部１９を有してもよい。

回転駆動部１９が、電子部品Ｗを保持した吸着部２０を中心軸Ａｘ２まわりに回転させることで、その電子部品Ｗの中心軸Ａｘ２まわりの姿勢が変化する。中心軸Ａｘ２まわりの電子部品Ｗの姿勢を変化させることで、いずれかの停止位置ＳＰ（例えば、検査位置ＩＰ）に配置される際の電子部品Ｗの１つの側面Ｗｃの向きを変化させることができる。コントローラ１００は、図３に示されるように、機能モジュールとして、姿勢制御部１２２を有してもよい。姿勢制御部１２２は、吸着部２０によって保持された電子部品Ｗの中心軸Ａｘ２まわりの姿勢を変化させるように回転駆動部１９を制御する。

回転駆動部１９が設けられる場合に、１つの側面Ｗｃだけでなく、他の１つ以上の側面Ｗｃに対して、外観検査ユニット６０のカメラ６２による撮像が行われてもよい。例えば、４つの側面Ｗｃそれぞれに対して、カメラ６２による撮像が順に行われてもよい。この場合、他の側面Ｗｃに対しても、吸着部２０の径方向における位置を変化させながら、カメラ６２による複数回の撮像が実行されてもよい。

一例では、図５に示される一連の制御手順において、ステップＳ１７の実行後に、姿勢制御部１２２が、吸着部２０を中心軸Ａｘ２まわりに９０°回転させるように回転駆動部１９を制御してもよい。これにより、他の側面Ｗｃがカメラ６２に正対した状態となる。そして、コントローラ１００は、他の側面Ｗｃについて、ステップＳ１２～Ｓ１７の一連の制御手順を実行してもよい。

１つの側面Ｗｃに対する外観検査時に、姿勢制御部１２２は、回転駆動部１９により、中心軸Ａｘ２まわりの電子部品Ｗの姿勢を変化させてもよい。ここで、電子部品Ｗを透過する光（例えば、近赤外線）を用いて電子部品Ｗを検査する場合がある。回転搬送ユニット１０は、例えば、外観検査ユニット６０に代えて外観検査ユニット６０Ａを有する。外観検査ユニット６０Ａは、図８（ａ）に示されるように、照射部６４と撮像部６６とを有する。照射部６４と撮像部６６とは、検査対象の電子部品Ｗを間に挟むように配置されてもよい。照射部６４及び撮像部６６は、搬送駆動部１６による部品保持部１４の移動と干渉しないように配置されている。

照射部６４は、電子部品Ｗの側面Ｗｃに向けて、電子部品Ｗの内部を透過可能な光を照射するように構成されている。撮像部６６（受光部）は、照射部６４から照射され、電子部品Ｗの内部を透過して、反対側の側面Ｗｃから出射される光（以下、「透過光」という。）を受光するように構成されている。仮に、撮像部６６に対向する側面ＷｃにクラックＣｒが生じている場合、撮像部６６が受光する透過光の一部が、そのクラックＣｒに遮られる。この場合、撮像部６６が受光した光に基づく画像データにおいて、クラックＣｒによる影が生じ、検査制御部１１８は、クラックＣｒを検出することができる。

撮像部６６に対する１つの側面Ｗｃの角度が互いに異なる状態で、外観検査ユニット６０Ａは、複数回の撮像を実行してもよい。一例では、図８（ａ）に示されるように、照射部６４から撮像部６６への光路に対して、撮像部６６を向く側面Ｗｃが垂直な状態で、外観検査ユニット６０Ａは１回目の撮像を行ってもよい。そして、図８（ｂ）に示されるように、側面Ｗｃが上記光路に垂直な状態から、その側面Ｗｃを所定の角度だけ回転駆動部１９により傾けたうえで、外観検査ユニット６０Ａが２回目の撮像を行ってもよい。２回目の撮像時に傾ける上記所定の角度は、４５°よりも小さくてもよく、一例では、５°～３０°であってもよい。外観検査ユニット６０Ａは、２以上の側面Ｗｃそれぞれの検査を行ってもよい。この場合、外観検査ユニット６０Ａは、１つの側面Ｗｃごとに、側面Ｗｃの向きを変えながら複数回の撮像を行ってもよい。

照射部６４から撮像部６６への光路に沿って延びるようにクラックＣｒが生じていると、画像データに含まれる影が小さくなり、クラックＣｒを検出し難い場合がある。これに対して、中心軸Ａｘ２まわりの電子部品Ｗの姿勢が互いに異なる状態で、外観検査ユニット６０Ａによる複数回の撮像が行われることで、少なくとも１回の撮像では、上記光路に対してクラックＣｒが傾くことになる。その結果、クラックＣｒの検出精度を向上させることができる。

処理装置１は、回転搬送ユニット１０に対して電子部品Ｗを供給する別の回転搬送部を備えてもよい。一例では、部品供給ユニット６が、図９に示されるように、回転搬送部９０と、位置調節部９８とを有する。回転搬送部９０は、所謂ロータリーピックアップであり、供給部９９から電子部品Ｗを受け取り円軌道ＣＲ３に沿って移動させ、その電子部品Ｗを部品保持部１４（吸着部２０）に引き渡す。

回転搬送部９０は、ロータ９１と、複数の部品保持部９２と、搬送駆動部９６とを有する。ロータ９１は、部品供給ユニット６に対応する停止位置ＳＰ（上述の供給位置ＳＰ１）の下方において、水平な中心軸Ａｘ３まわりに回転可能となるように設けられている。複数の部品保持部９２は、中心軸Ａｘ３を中心とする円周に沿って等間隔に配置されており、ロータ９１に固定されている。部品保持部９２は、円軌道ＣＲ３の径方向の端部において、円軌道ＣＲ３の外に向けて電子部品Ｗを吸着するように構成された吸着部９４を有する。

搬送駆動部９６は、例えば電動モータ等の動力源を含み、中心軸Ａｘ３まわりにロータ９１を回転させる。ロータ９１の回転により、中心軸Ａｘ３を中心とする鉛直な円軌道ＣＲ３に沿って、複数の部品保持部９２（吸着部９４）が移動する。搬送駆動部９６は、隣り合う部品保持部９２同士の角度ピッチ（中心軸Ａｘ３まわりの角度ピッチ）にて、ロータ９１の回転と停止とを繰り返すように制御される。以下、搬送駆動部９６がロータ９１を停止させる際に複数の部品保持部９２がそれぞれ配置される複数の位置を「複数の停止位置ＳＰ３」という。

円軌道ＣＲ３上に位置する１つの停止位置ＳＰ３は、部品保持部９２と部品保持部１４との間で電子部品Ｗの受け渡しが可能な位置に設定される。例えば、最上の停止位置ＳＰ３が、供給位置ＳＰ１の鉛直下方に配置される。部品保持部９２から部品保持部１４への電子部品Ｗの受け渡しは、供給位置ＳＰ１及び最上の停止位置ＳＰ３の近傍において、部品保持部９２及び部品保持部１４が互いに最接近した状態で行われる。

位置調節部９８は、供給位置ＳＰ１に配置された部品保持部１４に対する部品保持部９２の位置を調節する。図９に例示される位置調節部９８は、最上の停止位置ＳＰ３に配置される際の部品保持部１４の中心軸Ａｘ３に沿った方向における位置を調節するように、ロータ９１を移動させる。

処理装置１は、部品保持部９２が保持する電子部品Ｗに対して処理を施す処理ユニットの一例として、検出ユニット６８を更に備えてもよい。検出ユニット６８は、最上の停止位置ＳＰ３よりも上流に位置する停止位置ＳＰ３において、部品保持部９２が保持する電子部品Ｗの状態を検出する。検出ユニット６８は、例えば、上記停止位置ＳＰ３において、部品保持部９２に対する電子部品Ｗの位置ずれ、及び部品保持部９２に対する傾きを検出する。すなわち、検出ユニット６８は、電子部品Ｗが部品保持部９２から部品保持部１４に移る前に、部品保持部９２に対する電子部品Ｗの位置ずれ及び傾きを検出する。

検出ユニット６８は、カメラ６９を有してもよい。カメラ６９は、例えば、対応する停止位置ＳＰ３に配置された電子部品Ｗの外を向く主面全体を含む撮像範囲を撮像する。コントローラ１００は、図３に示されるように、機能モジュールとして、処理制御部１２４と、受渡制御部１２６と、状態検出部１２８と、を有する。処理制御部１２４は、部品供給ユニット６を制御し、受渡制御部１２６は、電子部品Ｗの受け渡しを行うように回転搬送ユニット１０を制御する。状態検出部１２８は、検出ユニット６８により、部品保持部９２に対する電子部品Ｗの位置ずれ及び傾きを検出する。

コントローラ１００は、部品保持部１４に移る前における電子部品Ｗの部品保持部９２に対する位置ずれに比較して、部品保持部１４に移った後における電子部品Ｗの部品保持部１４に対する位置ずれが小さくなるように、進退駆動部２５及び位置調節部９８を制御する。コントローラ１００は、部品保持部１４に移った後において、電子部品Ｗの傾き（理想状態に対する傾き）が小さくなるように、回転駆動部１９を制御する。

図１０は、図９に示される部品供給ユニット６から回転搬送ユニット１０に電子部品Ｗが供給される際に、コントローラ１００が実行する一連の制御処理の一例を示すフローチャートである。この一連の制御処理では、供給対象の電子部品Ｗが、検出ユニット６８に対応する停止位置ＳＰ３に配置された状態で、コントローラ１００がステップＳ３１を実行する。ステップＳ３１では、例えば、状態検出部１２８が、検出ユニット６８のカメラ６９から画像データを取得して、部品保持部９２に対する電子部品Ｗの位置ずれ及び傾きを検出する。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ３２，Ｓ３３を実行する。ステップＳ３２では、例えば、処理制御部１２４が、供給対象の電子部品Ｗを保持する部品保持部９２（吸着部９４）が、最上の停止位置ＳＰ３に配置されるように、搬送駆動部９６によりロータ９１を回転させる。ステップＳ３３では、搬送制御部１１２が、供給対象の電子部品Ｗを受け取る予定の吸着部２０が、供給位置ＳＰ１に配置されるように搬送駆動部１６により支持部１２を回転させる。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ３４を実行する。ステップＳ３４では、例えば、進退制御部１１６及び処理制御部１２４が、最上の停止位置ＳＰ３に配置された部品保持部９２が保持する電子部品Ｗに対する吸着部２０の相対位置を調節するように、進退駆動部２５及び位置調節部９８をそれぞれ制御する。進退制御部１１６及び処理制御部１２４は、ステップＳ３１で得られた部品保持部９２に対する位置ずれに応じて、吸着部２０に受け渡された後の吸着部２０に対する電子部品Ｗの位置ずれ（例えば、中心同士の差）が縮小するように、進退駆動部２５及び位置調節部９８をそれぞれ制御する。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ３５を実行する。ステップＳ３５では、例えば、昇降制御部１１４が、供給位置ＳＰ１に配置された吸着部２０を最上の停止位置ＳＰ３に近づけるように、昇降駆動部１８により吸着部２０を下降させる。一例では、昇降制御部１１４は、吸着部２０の下面と電子部品Ｗとの間に僅かなクリアランスが設けられる程度まで、昇降駆動部１８により吸着部２０を下降させる。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ３６，Ｓ３７を実行する。ステップＳ３６では、例えば、受渡制御部１２６が、下降させた吸着部２０により電子部品Ｗの吸着を開始した後に、吸着部９４による電子部品Ｗの吸着を解除するように回転搬送ユニット１０を制御する。ステップＳ３７では、例えば、昇降制御部１１４が、電子部品Ｗを受け取った吸着部２０を元の高さに戻すように、昇降駆動部１８により当該吸着部２０を上昇させる。

次に、コントローラ１００は、ステップＳ３８，Ｓ３９を実行する。ステップＳ３８では、例えば、進退制御部１１６が、ステップＳ３４の実行前の位置に吸着部２０を戻すように進退駆動部２５を制御し、処理制御部１２４が、ステップＳ３４の実行前の位置にロータ９１を戻すように位置調節部９８を制御する。ステップＳ３９では、例えば、姿勢制御部１２２が、ステップＳ３１で得られた部品保持部９２に対する電子部品Ｗの傾きに応じて、理想状態に対する電子部品Ｗの傾きが小さくなるように回転駆動部１９により中心軸Ａｘ２まわりに吸着部２０を回転させる。

以上により、部品供給ユニット６から１つの電子部品Ｗを回転搬送ユニット１０に供給する際の一連の制御処理が終了する。コントローラ１００は、後続の複数の電子部品Ｗそれぞれについて、ステップＳ３１～Ｓ３９の一連の制御処理を繰り返し実行してもよい。上述の一連の制御処理において、吸着部２０と部品保持部９２の吸着部９４とが、電子部品Ｗを挟み込んだ状態で（両方の吸着部が電子部品Ｗの主面Ｗａ，Ｗｂに接触した状態で）、電子部品Ｗの受け渡しが行われてもよい。以下、両方の吸着部が接触した状態で受け渡しが行われる場合の一例について、装置の構成を含めて、その詳細を説明する。

図９に示されるように、回転搬送ユニット１０は、吸着部２０において電子部品Ｗを吸着する吸引力を発生させる吸引部１０１を有する。吸引部１０１は、例えば、吸引路１０２と、バルブ１０３とを含む。吸引路１０２は、吸着部２０の吸引孔と吸引ポンプ（例えば、真空ポンプ）とを接続する。バルブ１０３は、吸引路１０２に設けられている。バルブ１０３は、制御信号の入力に応じて吸引路１０２内の流路の開閉状態を切り替える。

バルブ１０３が開状態に切り替わることで、吸着部２０による吸着がオンとなり、バルブ１０３が閉状態となることで、吸着部２０の吸引孔が大気開放され、吸着部２０による吸着がオフとなる。回転搬送ユニット１０は、吸着部９４において電子部品Ｗを吸着する吸引力を発生させる吸引部１０５を有する。吸引部１０５は、例えば、吸引路１０６と、バルブ１０７とを含む。吸引路１０６は、吸引部１０１の吸引路１０２と同様の構成及び機能を有し、バルブ１０７は、吸引部１０１のバルブ１０３と同様の構成及び機能を有する。なお、図９には、一つの吸引部１０１及び一つの吸引部１０５が記載されているが、複数の吸着部それぞれに対応するように、複数の吸引部が設けられてもよい。

回転搬送ユニット１０は、吸着部２０が下降した際に、電子部品Ｗに加わる荷重を検出可能な荷重検出部１０８（荷重センサ）を有してもよい。荷重検出部１０８は、例えば、図２に示されるように、昇降駆動部１８（昇降ロッド５４）に設けられてもよい。部品保持部９２の吸着部９４が電子部品Ｗを保持した状態で、吸着部２０が下降して電子部品Ｗに接触した後に、吸着部２０には、電子部品Ｗからの反力が加わる。荷重検出部１０８は、その反力を検出することで、電子部品Ｗに加わる荷重を検出してもよい。昇降駆動部１８は、電子部品Ｗに加わる荷重を調節する荷重調節部１０９を有してもよい。荷重調節部１０９は、例えば、ボイスコイルモータである。

ステップＳ３５において、昇降制御部１１４が、所定の目標位置まで、昇降駆動部１８により吸着部２０を下降させる。目標位置は、上述の例とは異なり、吸着部２０の下面と電子部品Ｗとの間にクリアランスが設けられずに、吸着部２０と電子部品Ｗの主面Ｗａとが接触する程度に設定されている。昇降制御部１１４は、吸着部２０が上記目標位置に到達する前において、吸着部２０が、予め定められた減速開始位置まで達した後に、吸着部２０を減速させるように昇降駆動部１８を制御してもよい。

受渡制御部１２６は、吸着部２０が電子部品Ｗに接触した後において、吸着部２０から電子部品Ｗに加わる荷重（荷重検出部１０８による検出値）が、予め設定された許容荷重以下となるように荷重調節部１０９を制御してもよい。ステップＳ３６において、受渡制御部１２６が、下降させた吸着部２０による電子部品Ｗの吸着を開始するように、吸引部１０１のバルブ１０３を閉状態から開状態に遷移させてもよい。吸着部２０による吸着開始後に、受渡制御部１２６は、吸着部９４による電子部品Ｗの吸着を解除するように、吸引部１０５のバルブ１０７を開状態から閉状態に遷移させてもよい。

以上の一連の制御処理では、互いに逆向きの主面Ｗａ，Ｗｂに２つの吸着部が接触し、且つ２つの吸着部が電子部品Ｗを吸着した状態を介して、一つの吸着部から他方の吸着部に電子部品Ｗが引き渡される。これにより、受け渡しに伴う電子部品Ｗの落下等のトラブルを抑制できる。なお、電子部品Ｗの吸着を解除する際に、吸引をオフにすることに代えて、吸着部の吸引孔からブロー排気が行われてもよい。吸着部２０の下降に代えて、又は加えて、電子部品Ｗの受け渡しが行われる際に、吸着部９４が上方に移動してもよい。

以上に説明した変形例では、電子部品Ｗが供給される際に位置が補正され、吸着部２０が電子部品Ｗを保持したまま、電子部品Ｗの姿勢が補正される。そのため、供給位置ＳＰ１の下流の停止位置ＳＰにおいて、電子部品Ｗを部品保持部１４から受け取って位置及び姿勢を補正した後に、部品保持部１４に戻すように構成されたアライメントユニットを配置する必要がない。この場合、処理装置１での電子部品Ｗの受け渡し回数が減少するので、電子部品Ｗの落下等のトラブルの発生が抑制され、処理効率を向上させることができる。

上述の例では、部品保持部１４（吸着部２０）を中心軸Ａｘ１に沿って移動させる昇降駆動部１８に加えて、円軌道ＣＲ１の径方向に沿って部品保持部１４を移動させる進退駆動部２５，７０が備えられる。回転搬送ユニット１０，１０Ａは、昇降駆動部１８に加えて、円軌道ＣＲ１の径方向とは異なり、且つ、中心軸Ａｘ１に交差するいずれかの方向（第２方向）に沿って部品保持部１４を移動させる駆動部（第２駆動部）を備えてもよい。中心軸Ａｘ１に交差するいずれかの方向に沿って部品保持部１４を移動させる駆動部は、各部品保持部１４に対応して支持部１２に設けられてもよい。この場合、コントローラ１００（進退制御部１１６）は、搬送駆動部１６により支持部１２が回転している間において、その駆動部により、対応する部品保持部１４を上記いずれかの方向に沿って移動させてもよい。

回転搬送ユニット１０，１０Ａは、例えば、昇降駆動部１８に加えて、円軌道ＣＲ１の接線方向（第２方向）に沿って部品保持部１４を移動させる水平駆動部（第２駆動部）を有してもよい。上記水平駆動部は、各部品保持部１４に対応して支持部１２に設けられてもよく、検査位置ＩＰに配置されるいずれかの部品保持部１４を移動させるように、ベース部７９に設けられてもよい。各部品保持部１４に対応して支持部１２に水平駆動部が設けられる場合、進退制御部１１６は、搬送駆動部１６により支持部１２が回転している間において、その水平駆動部により、対応する部品保持部１４を接線方向に沿って移動させてもよい。水平駆動部によって部品保持部１４を移動させる上記接線方向は、円軌道ＣＲ１を含む平面において、吸着部２０（停止位置ＳＰ）と中心軸Ａｘ１とを結ぶラインに対して垂直であり、且つ吸着部２０を通るラインに沿った方向である。外観検査ユニット６０，６０Ａは、検査対象の電子部品Ｗを保持した吸着部２０の上記接線方向における位置が互いに異なる状態で、電子部品Ｗの検査対象面（例えば、側面Ｗｃ）について複数回の撮像を実行してもよい。

回転搬送ユニット１０，１０Ａは、昇降駆動部１８に加えて、進退駆動部２５，７０と、吸着部２０を円軌道ＣＲ１の接線方向に沿って移動させる水平駆動部とを有してもよい。図１０に示される一連の制御手順と同様に、吸着部２０が電子部品Ｗを受け取る前に、部品保持部９２に保持された電子部品Ｗの中心と、吸着部２０の中心とが略一致するように、コントローラ１００が進退駆動部２５，７０及び水平駆動部を制御してもよい。この場合、部品供給ユニット６は、ロータ９１の位置を調節する位置調節部９８を有しなくてもよい。進退駆動部２５と共に上記水平駆動部が、各部品保持部１４に対応して支持部１２に設けられてもよい。この場合、進退制御部１１６は、搬送駆動部１６により支持部１２が回転している間において、進退駆動部２５及び上記水平駆動部により、対応する部品保持部１４を径方向及び接線方向それぞれに沿って移動させてもよい。

上述の例では、部品保持部１４が電子部品Ｗを保持する方向（部品保持部１４と電子部品Ｗとが互いに対向する方向）が、中心軸Ａｘ１に沿って延びるように設定されている。この構成に代えて、処理装置１は、電子部品Ｗを円軌道ＣＲ１の外に向けて保持する部品保持部（吸着部）を備えてもよい。この場合、部品保持部と、その部品保持部によって保持されている電子部品Ｗとが互いに対向する方向が、円軌道ＣＲ１の径方向に沿って延びるように設定される。

処理装置１は、円軌道ＣＲ１の外に向けて電子部品Ｗを保持する部品保持部を円軌道ＣＲ１の径方向（第１方向）に沿って進退させる駆動部（第１駆動部）に加えて、その径方向に交差する方向（第２方向）に沿って部品保持部を移動させる別の駆動部（第２駆動部）を備えてもよい。上記別の駆動部は、各部品保持部１４に対応して支持部１２に設けられてもよい。この場合、進退制御部１１６は、搬送駆動部１６により支持部１２が回転している間において、上記別の駆動部により、対応する部品保持部１４を径方向に交差する方向に沿って移動させてもよい。上記別の駆動部（第２駆動部）は、部品保持部を円軌道ＣＲ１の接線方向（第２方向）に沿って移動させてもよく、部品保持部を中心軸Ａｘ１が延びる方向（第２方向）に沿って移動させてもよい。

他の処理ユニットとの間で電子部品Ｗの受け渡しを行う場合以外にも、電子部品Ｗを保持する方向に沿って駆動部が部品保持部を移動させてもよい。例えば、電気特性等の検査を行う検査ユニットにおいて電子部品Ｗに対する検査を行う際に、電子部品Ｗを保持する方向に部品保持部を移動させた状態で、検査ユニットにおいて電子部品Ｗの検査が行われてもよい。電子部品Ｗを別の回転搬送ユニットに受け渡す場合に、電子部品Ｗを保持する方向に沿って駆動部が部品保持部を移動させてもよい。外観検査ユニット６０，６０Ａは、側面Ｗｃに代えて又は加えて、主面Ｗａ及び主面Ｗｂの少なくとも一方について検査を行ってもよい。

［実施形態の効果］
電子部品Ｗに対する外観検査の精度を保つ又は向上させるためには、電子部品Ｗを撮像するカメラの撮像範囲をある程度小さくして解像度を上げる必要がある。電子部品Ｗの種類によっては、電子部品Ｗのサイズが大きくなり、外観検査の対象となる部分がカメラの撮像範囲に収まらない場合もある。処理対象の電子部品Ｗをサイズが大きいものに切り替える際に、そのサイズに合わせて外観検査用のカメラを入れ替えると、その入れ替えに多くの時間を要することになる。

これに対して、上記処理装置１は、部品保持部１４と電子部品Ｗとが互いに対向する第１方向に沿って部品保持部１４を移動させる第１駆動部と、第１方向に交差する第２方向に沿って、部品保持部１４を移動させる第２駆動部とを有する。そのため、外観検査の対象となる部分がカメラの撮像範囲に収まらなくても、第２駆動部により部品保持部１４を移動させることで、外観検査の対象となる部分全体についてカメラによる撮像を行うことができる。これにより、大きいサイズの電子部品Ｗに合わせてカメラを入れ替える必要がなくなるので、電子部品Ｗの切り替えに伴う時間を短縮できる。従って、処理装置１は、処理効率の向上に有用である。

第１方向は、中心軸Ａｘ１が延びる方向であってもよい。第２方向は、円軌道ＣＲ１の径方向又は接線方向であってもよい。この場合、電子部品Ｗを中心軸Ａｘ１に沿って移動させつつ、円軌道ＣＲ１を含む平面においても、電子部品Ｗを移動させることができる。この場合、電子部品Ｗの撮像可能な部分を円軌道ＣＲ１の径方向又は接線方向に広げることができる。従って、検査精度と外観検査用のカメラの簡素化との両立に有用である。

１…電子部品の処理装置、１２…支持部、１４…部品保持部、２０…吸着部、１６…搬送駆動部、１８…昇降駆動部、２５，７０…進退駆動部、ＣＲ１…円軌道、Ａｘ１…中心軸。

Claims (2)

1. 所定の第１方向に沿って電子部品と対向した状態で前記電子部品を保持する部品保持部と、
   所定の中心軸まわりの円軌道に位置するように前記部品保持部を支持する支持部と、
   前記中心軸まわりに前記支持部を回転させる搬送駆動部と、
   前記第１方向に沿って前記部品保持部を移動させる第１駆動部と、
   前記第１方向に交差する第２方向に沿って前記部品保持部を移動させる第２駆動部と、を備える電子部品の処理装置。
2. 前記第１方向は、前記中心軸が延びる方向であり、
   前記第２方向は、前記円軌道の径方向又は前記円軌道の接線方向である、請求項１に記載の処理装置。

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